2023
auteur
Lamiae Hamraoui, Tinghui Zhang, Angela Crespi, Philippe Lefaucheux, Thomas Tillocher, Mohamed Boufnichel, Rémi Dussart
titre
Atomic layer etching of gallium nitride using fluorine-based chemistry
article
Journal of Vacuum Science & Technology A
, 2023, 41 (3), pp.032602.
⟨10.1116/6.0002452⟩
DOI
DOI :
10.1116/6.0002452
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