Publications HAL de Hamraoui du labo/EPI GREMI

2023

auteur
Lamiae Hamraoui, Tinghui Zhang, Angela Crespi, Philippe Lefaucheux, Thomas Tillocher, Mohamed Boufnichel, Rémi Dussart
titre
Atomic layer etching of gallium nitride using fluorine-based chemistry
article
Journal of Vacuum Science & Technology A, 2023, 41 (3), pp.032602. ⟨10.1116/6.0002452⟩
DOI
DOI : 10.1116/6.0002452
Accès au bibtex
BibTex