Publications HAL de Nos du labo/EPI GREMI

2021

auteur
Thomas Tillocher, Jack Nos, Gaëlle Antoun, Philippe Lefaucheux, Mohamed Boufnichel, Rémi Dussart
titre
Comparison between Bosch and STiGer Processes for Deep Silicon Etching
article
Micromachines, MDPI, 2021, 12 (10), pp.1143. ⟨10.3390/mi12101143⟩
DOI
DOI : 10.3390/mi12101143
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