Publications HAL du labo/EPI LTM

2023

Journal articles

titre
Impact of Nitrogen Concentration and Post‐Deposition Annealing on Electrical Properties of AlON/Etched N‐GaN MOS Capacitors
auteur
Pedro Fernandes Paes Pinto Rocha, Mohammed Zeghouane, Sarah Boubenia, Franck Bassani, Laura Vauche, Eugénie Martinez, William Vandendaele, Marc Veillerot, Bassem Salem
article
Advanced Electronic Materials, 2023, 10 (3), ⟨10.1002/aelm.202300528⟩
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titre
Programmable frequency-bin quantum states in a nano-engineered silicon device
auteur
Marco Clementi, Federico Andrea Sabattoli, Massimo Borghi, Linda Gianini, Noemi Tagliavacche, Houssein El Dirani, Laurene Youssef, Nicola Bergamasco, Camille Petit-Etienne, Erwine Pargon, J. Sipe, Marco Liscidini, Corrado Sciancalepore, Matteo Galli, Daniele Bajoni
article
Nature Communications, 2023, 14 (1), pp.176. ⟨10.1038/s41467-022-35773-6⟩
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https://arxiv.org/pdf/2212.13191 BibTex
titre
Design and Characterization of 5 μm Pitch InGaAs Photodiodes Using In Situ Doping and Shallow Mesa Architecture for SWIR Sensing
auteur
Jules Tillement, Cyril Cervera, Jacques Baylet, Christophe Jany, François Nardelli, Thomas Di Rito, Sylvain Georges, Gabriel Mugny, Olivier Saxod, Olivier Gravrand, Thierry Baron, François Roy, Frédéric Boeuf
article
Sensors, 2023, 23 (22), pp.9219. ⟨10.3390/s23229219⟩
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https://hal.science/hal-04296954/file/sensors-23-09219%20%281%29.pdf BibTex
titre
3D interconnects for III-V semiconductor heterostructures for miniaturized power devices
auteur
Mathieu de Lafontaine, Thomas Bidaud, Guillaume Gay, Erwine Pargon, Camille Petit-Etienne, Artur Turala, Romain Stricher, Serge Ecoffey, Maïté Volatier, Abdelatif Jaouad, Christopher Valdivia, Karin Hinzer, Simon Fafard, Vincent Aimez, Maxime Darnon
article
Cell Reports Physical Science, 2023, pp.101701. ⟨10.1016/j.xcrp.2023.101701⟩
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titre
Preferential crystal orientation etching of GaN nanopillars in Cl2 plasma
auteur
Lucas Jaloustre, Valentin Ackermann, Saron Sales de Mello, Sébastien Labau, Camille Petit-Etienne, Erwine Pargon
article
Materials Science in Semiconductor Processing, 2023, 165, pp.107654. ⟨10.1016/j.mssp.2023.107654⟩
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titre
Impact of etching process on Al2O3/GaN interface for MOSc-HEMT devices combining ToF-SIMS, HAXPES and AFM
auteur
Tarek Spelta, Marc Veillerot, Eugénie Martinez, Denis Mariolle, Roselyne Templier, Nicolas Chevalier, Pedro Fernandes Paes Pinto Rocha, Bassem Salem, Laura Vauche, Bérangère Hyot
article
Solid-State Electronics, 2023, 208, pp.108743. ⟨10.1016/j.sse.2023.108743⟩
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titre
InGaAs/GaAsP Superlattice Resonant Cavity-Enhanced Photodetector Fabricated on a Nominal Si(001) Substrate for Near- and Short-Wavelength Infrared Applications
auteur
Veronica Letka, Mickaël Martin, Natalia Massara, Charles Leroux, Roselyne Templier, Christophe Licitra, Jérôme Richy, Thierry Baron
article
ACS photonics, 2023, 10 (9), pp.3266-3274. ⟨10.1021/acsphotonics.3c00692⟩
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https://cnrs.hal.science/hal-04216924/file/InGaAs_GaAsP_RCE_PD_paper%20160523.pdf BibTex
titre
Renewable Lignin-Derived Graphene-like/PVDF Nanocomposites with High Dielectric Constant and Low Loss Tangent
auteur
Keerati Meeporn, Gwenn Morvezen, Jon de Vecchy, Vincent Mareau, Wanwitoo Wanmolee, Teera Butburee, Bernard Pelissier, Alain Sylvestre
article
Journal of Physical Chemistry C, 2023, 127 (34), pp.16979-16988. ⟨10.1021/acs.jpcc.3c04246⟩
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titre
Synthesis of AlOxNy thin films using a two-step PE-ALD process
auteur
Mohammed Zeghouane, Pedro Fernandes Paes Pinto Rocha, Sarah Boubenia, Franck Bassani, Gauthier Lefevre, Sebastien Labau, Laura Vauche, Eugénie Martinez, Marc Veillerot, Bassem Salem
article
AIP Advances, 2023, 13 (8), ⟨10.1063/5.0154468⟩
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titre
Influence of the magnetic field on the extension of the ionization region in high power impulse magnetron sputtering discharges
auteur
V Antunes, M Rudolph, A Kapran, H Hajihoseini, M Raadu, N Brenning, J Gudmundsson, D Lundin, T Minea
article
Plasma Sources Science and Technology, 2023, 32 (7), pp.075016. ⟨10.1088/1361-6595/ace847⟩
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titre
Doped and undoped ferroelectric HfO2: Role of Gd-doping in stabilizing the ferroelectric phase
auteur
L. Alrifai, E. Skopin, N. Guillaume, P. Gonon, A. Bsiesy
article
Applied Physics Letters, 2023, 123 (3), ⟨10.1063/5.0151257⟩
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titre
High quality GaN microplatelets grown by metal-organic vapor phase epitaxy on patterned silicon-on-insulator substrates: Toward micro light-emitting diodes
auteur
Kilian Baril, Pierre-Marie Coulon, Mrad Mrad, Nabil Labchir, Guy Feuillet, Matthew Charles, Cécile Gourgon, Philippe Vennéguès, Jesus Zuniga-Perez, Blandine Alloing
article
Journal of Applied Physics, 2023, 133, pp.245702. ⟨10.1063/5.0149882⟩
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https://cnrs.hal.science/hal-04216911/file/Baril_JAP2023.pdf BibTex
titre
Preferential crystal orientation etching of GaN nanopillars in Cl2 plasma
auteur
Lucas Jaloustre, Valentin Ackermann, Saron Sales de Mello, Sébastien Labau, Camille Petit-Etienne, Erwine Pargon
article
Materials Science in Semiconductor Processing, 2023, 165, pp.107654. ⟨10.1016/j.mssp.2023.107654⟩
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https://hal.science/hal-04123125/file/article%20final.pdf BibTex
titre
Reconfigurable Silicon Photonic Chip for the Generation Of Frequency-Bin-Entangled Qudits
auteur
Massimo Borghi, Noemi Tagliavacche, Federico Andrea Sabattoli, Houssein El Dirani, Laurene Youssef, Camille Petit-Etienne, Erwine Pargon, J.E. Sipe, Marco Liscidini, Corrado Sciancalepore, Matteo Galli, Daniele Bajoni
article
Physical Review Applied, 2023, 19 (6), pp.064026. ⟨10.1103/PhysRevApplied.19.064026⟩
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titre
Impact of baculoviral transduction of fluorescent actin on cellular forces
auteur
Sara Bouizakarne, Jocelyn Etienne, Alice Nicolas
article
European Journal of Cell Biology, 2023, 102 (2), pp.151294. ⟨10.1016/j.ejcb.2023.151294⟩
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titre
Influence of the AZO Electrode on ZnO Nanowire Growth by PLI-MOCVD and Related Piezoelectric Performance: Implications for Mechanical Energy Transducers
auteur
Quang Chieu Bui, Vincent Consonni, Sarah Boubenia, Guillaume Gay, Corinne Perret, Mohammed Zeghouane, Sebastien Labau, Carmen Jiménez, Hervé Roussel, Xavier Mescot, Gustavo Ardila, Bassem Salem
article
ACS Applied Nano Materials, 2023, 6 (9), pp.7436-7445. ⟨10.1021/acsanm.3c00608⟩
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https://hal.science/hal-04215277/file/ACSANM_QuangChieuBui_2023_postprint_HAL.pdf BibTex
titre
Characterization of GaN structures for power electronics by secondary ion mass spectrometry and atomic force microscope approach
auteur
Tarek Spelta, Marc Veillerot, Eugénie Martinez, Nicolas Chevalier, Denis Mariolle, Roselyne Templier, Bassem Salem, Pedro Fernandes Paes Pinto Rocha, Laura Vauche, Sarah Boubenia, Bérangère Hyot
article
Journal of Vacuum Science & Technology B, Nanotechnology and Microelectronics, 2023, 41 (3), ⟨10.1116/6.0002573⟩
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titre
Sensitivity analysis of optical scatterometry technique for high-aspect ratio trench measurement
auteur
Justine Grasland, Delphine Le Cunff, Hoang Lam Pham, Maxime Besacier, Jean-Hervé Tortai
article
Proceeding SPIE, Metrology, Inspection, and Process Control , 2023, Proceedings of SPIE Volume 12496. Metrology, Inspection, and Process Control XXXVII, 12496, pp.124960C. ⟨10.1117/12.2657876⟩
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https://hal.science/hal-04238878/file/15fev%20SPIE%20%2Bcorrection%20Delphine%20JH%20Maxime.pdf BibTex
titre
Study of GaN coalescence by dark-field X-ray microscopy at the nanoscale
auteur
Maya Wehbe, Matthew Charles, Kilian Baril, Blandine Alloing, Daniel Pino Munoz, Nabil Labchir, Jesús Zuniga-Perez, Carsten Detlefs, Can Yildirim, Patrice Gergaud
article
Journal of Applied Crystallography, 2023, 56, pp.643 - 649. ⟨10.1107/s160057672300287x⟩
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https://hal.science/hal-04304004/file/xx5023.pdf BibTex
titre
Effects of zinc nitrate and HMTA on the formation mechanisms of ZnO nanowires on Au seed layers
auteur
Clément Lausecker, Bassem Salem, Xavier Baillin, Vincent Consonni
article
Crystal Growth & Design, 2023, 23 (4), pp.2941-2950. ⟨10.1021/acs.cgd.3c00068⟩
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https://hal.science/hal-04060117/file/CGD_Cl%C3%A9mentLausecker_2023_postprint_HAL.pdf BibTex
titre
Plasma Induced Damage on AlGaN/GaN Heterostructure During Gate Opening for Power Devices
auteur
Oleh Fesiienko, Camille Petit-Etienne, Maxime Darnon, Ali Soltani, Hassan Maher, Erwine Pargon
article
Journal of Vacuum Science & Technology A, 2023, 41 (3), ⟨10.1116/6.0002339⟩
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https://hal.science/hal-04030008/file/JVST_Article_FESIIENKO_accepted.pdf BibTex
titre
Impact of Post-Deposition Anneal on ALD Al2O3/etched GaN Interface for Gate-First MOSc-HEMT
auteur
Paes Fernandes Paes Pinto Rocha, L. Vauche, B. Mohamad, W. Vandendaele, E. Martinez, M. Veillerot, T. Spelta, N. Rochat, R. Gwoziecki, B. Salem, V. Sousa
article
Power Electronic Devices and Components, 2023, pp.100033. ⟨10.1016/j.pedc.2023.100033⟩
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https://cnrs.hal.science/hal-03940756/file/Impact%20PDA%20Al2O3-GaN%202023.pdf BibTex
titre
Force tuning through regulation of clathrin-dependent integrin endocytosis
auteur
Alexander Kyumurkov, Anne-Pascale Bouin, Mathieu Boissan, Sandra Manet, Francesco Baschieri, Mathilde Proponnet-Guerault, Martial Balland, Olivier Destaing, Myriam Régent-Kloeckner, Claire Calmel, Alice Nicolas, François Waharte, Philippe Chavrier, Guillaume Montagnac, Emmanuelle Planus, Corinne Albiges-Rizo
article
Journal of Cell Biology, 2023, 222 (1), pp.100033. ⟨10.1083/jcb.202004025⟩
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titre
Investigation of the magnetron balancing effect on the ionized flux fraction and deposition rate of sputtered titanium species for the high-power impulse magnetron sputtering pulses of different lengths
auteur
Anna Kapran, Vinicius Antunes, Zdeněk Hubička, Charles Ballage, Tiberiu Minea
article
Journal of Vacuum Science & Technology A, 2023, 41 (1), ⟨10.1116/6.0002309⟩
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titre
Programmable frequency-bin quantum states in a nano-engineered silicon device
auteur
Marco Clementi, Federico Andrea Sabattoli, Houssein El Dirani, Laurene Youssef, Massimo Borghi, Linda Gianini, Noemi Tagliavacche, Nicola Bergamasco, Camille Petit-Etienne, Erwine Pargon, J. Sipe, Marco Liscidini, Corrado Sciancalepore, Matteo Galli, Daniele Bajoni
article
Nature Communications, 2023, 14 (1), pp.176. ⟨10.1038/s41467-022-35773-6⟩
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https://hal.science/hal-03997028/file/main.pdf BibTex
titre
Hierarchical Structure of Gold and Carbon Electrode for Bilirubin Oxidase-Biocathode
auteur
Yuto Nakagawa, Seiya Tsujimura, Marc Zelsmann, Abdelkader Zebda
article
Biosensors, 2023, 13 (4), pp.482. ⟨10.3390/bios13040482⟩
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https://cnrs.hal.science/hal-04216931/file/biosensors-13-00482-v2.pdf BibTex
titre
Reconfigurable Silicon Photonic Chip for the Generation Of Frequency-Bin-Entangled Qudits
auteur
Massimo Borghi, Noemi Tagliavacche, Federico Andrea Sabattoli, Houssein El Dirani, Laurene Youssef, Camille Petit-Etienne, Erwine Pargon, J.E. Sipe, Marco Liscidini, Corrado Sciancalepore, Matteo Galli, Daniele Bajoni
article
Physical Review Applied, 2023, 19 (6), pp.064026. ⟨10.1103/PhysRevApplied.19.064026⟩
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https://hal.science/hal-04123090/file/Main_manuscript.pdf BibTex
titre
Recent developments and prospects of fully recessed MIS gate structures for GaN on Si power transistors
auteur
Pedro Fernandes Paes Pinto Rocha, Laura Vauche, Patricia Pimenta-Barros, Simon Ruel, René Escoffier, Julien Buckley
article
Energies, 2023, 16 (7), ⟨10.3390/en16072978⟩
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https://hal.science/hal-04215264/file/energies-2219739%20-%20Manuscript%20reviewed_dupl_no-track-changes.pdf BibTex
titre
Correlation between the Dimensions and Piezoelectric Properties of ZnO Nanowires Grown by PLI-MOCVD with Different Flow Rates
auteur
Quang Chieu Bui, Vincent Consonni, Carmen Jiménez, Hervé Roussel, Xavier Mescot, Bassem Salem, Gustavo Ardila
article
Nanoenergy Advances, 2023, 3, pp.220 - 235. ⟨10.3390/nanoenergyadv3030011⟩
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https://hal.science/hal-04189406/file/NEAdvBui2023.pdf BibTex
titre
High figure-of-merit in Al-doped ZnO thin films grown by ALD through the Al content adjustment
auteur
Quang Chieu Bui, Vincent Consonni, Sarah Boubenia, Guillaume Gay, Corinne Perret, Mohammed Zeghouane, Sebastien Labau, Hervé Roussel, Xavier Mescot, Gustavo Ardila, Bassem Salem
article
Materialia, 2023, 31, pp.101863. ⟨10.1016/j.mtla.2023.101863⟩
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https://hal.science/hal-04192037/file/Materialia_QuangChieuBui2023_postprint_HAL.pdf BibTex
titre
Self-organization and dewetting kinetics in sub-10 nm diblock copolymer line/space lithography
auteur
Xavier Chevalier, Gwenaelle Pound-Lana, Cindy Gomes Correia, Sébastien Cavalaglio, Benjamin Cabannes-Boué, Frédéric Restagno, Guillaume Miquelard-Garnier, Sébastien Roland, Christophe Navarro, Guillaume Fleury, Marc Zelsmann
article
Nanotechnology, 2023, 34 (17), pp.175602. ⟨10.1088/1361-6528/acb49f⟩
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https://hal.science/hal-04013897/file/Zelsmann%20Nanotechnology.pdf BibTex
titre
Hybridization of ellipsometry and Xps energy loss: robust band gap and broadband optical constants determination of SiGe, HfON and MoOx thin films
auteur
Théo Levert, Alter Zakhtser, Julien Duval, Chloé Raguenez, Stéphane Verdier, Delphine Le Cunff, Jean-Hervé Tortai, Bernard Pelissier
article
Microelectronic Engineering, 2023, 283, pp.112117. ⟨10.2139/ssrn.4554544⟩
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https://hal.science/hal-04253891/file/SSRN-id4554544.pdf BibTex
titre
Monolithically integrated photonic crystal surface emitters on silicon with a vortex beam by using bound states in the continuum
auteur
Haochuan Li, Mingchu Tang, Taojie Zhou, Wentao Xie, Renjie Li, Yuanhao Gong, Mickael Martin, Thierry Baron, Siming Chen, Huiyun Liu, Zhaoyu Zhang
article
Optics Letters, 2023, 48 (7), pp.1702. ⟨10.1364/OL.484472⟩
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Conference papers

titre
Comparative study between undoped and doped ferroelectric HfO2: Role of Gd-doping in stabilizing the ferroelectric phase and reducing the crystallization temperature
auteur
L. Alrifai, E. Skopin, N. Guillaume, P. Gonon, A. Bsiesy.
article
RAFALD, Nov 2023, LILLE, France
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titre
Plasma etching of high aspect ratio GaN and AlN nanopillars for the next generation of ultraviolet light-emitting diodes
auteur
L. Jaloustre, S. Sales De Mello, S. Labau, C. Petit-Etienne, E. Pargon
article
44rd International Symposium on dry process DPS 2023, Nov 2023, NAGOYA, Japan
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titre
Etude des interactions plasma-surface par dynamique moléculaire : quels apports pour la modélisation des plasmas froids ?
auteur
Emilie Despiau-Pujo
article
2èmes Journées du GDR EMILI, Oct 2023, NANCY, France
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titre
Carbon resist microlens etching in DF-CCP CF4 plasmas: Comparison between modeling and experiments
auteur
P Ducluzaux, D Ristoiu, G Cunge, E Despiau-Pujo
article
69th American Vacuum Society (AVS) International Symposium, Oct 2023, PORTLAND, United States
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titre
Comparative study between undoped and doped ferroelectric HfO2: Role of Gd-doping in stabilizing the ferroelectric phase and reducing the crystallization temperature
auteur
L. Alrifai, E. Skopin, N. Guillaume, P. Gonon, A. Bsiesy
article
E-MRS, Sep 2023, VARSOVIE, Poland
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titre
Mid-IR linear optical properties of hybrid Sb2S3 /SiGe waveguides
auteur
Adam Bieganski, Marko Perestjuk, Remi Armand, Alberto Della Torre, Vincent Reboud, Jean-Michel Hartmann, Jean-Herve Tortai, Thach Nguyen, Arnan Mitchell, Christelle Monat, Sébastien Cueff, Christian Grillet
article
11th EOS (European Optical Society) Annual Meeting (EOSAM 2023), Sep 2023, Dijon, France. pp.01013, ⟨10.1051/epjconf/202328701013⟩
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https://hal.science/hal-04253912/file/epjconf_eosam2023_01013.pdf BibTex
titre
Comparison between Doped and Undoped Ferroelectric HfO2
auteur
L. Alrifai, E. Skopin, N. Guillaume, P. Gonon, A. Bsiesy
article
The AVS 23rd International Conference on Atomic Layer Deposition (ALD 2023), Jul 2023, SEATTLE, United States
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titre
Propriétés optiques linéaires des guides d'ondes hybrides Sb2S3/SiGe dans le moyen-infrarouge
auteur
Adam Bieganski, Marko Perestjuk, Rémi Armand, Alberto Della Torre, Vincent Reboud, Jean-Michel Hartmann, Jean-Hervé Tortai, Thach Nguyen, Arnan Mitchell, Christelle Monat, Sébastien Cueff, Christian Grillet
article
JOURNÉES NATIONALES d’OPTIQUE GUIDÉE JNOG 2023, Jul 2023, Lyon, France
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titre
Mid-IR All-Optical Poling in Silicon Nitride Waveguides
auteur
Ozan Yakar, Christian Laorgue, Arman Ayan, Jonathan Faugier-Tovar, Pierre Chausse, Camille Petit-Etienne, Erwine Pargon, Quentin Wilmart, Camille-Sophie Brès
article
Conference on Lasers and Electro-Optics/Europe – European Quantum Electronics Virtual Conferences (CLEO®/Europe-EQEC 2023), Jun 2023, Munich, Germany
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titre
Plasma etching of nanopatterned GaN-based pillars for integrated μLEDs fabrication: application in μDisplays
auteur
N. Labchir, S. Hammami, K. Baril, S. Labau, C. Petit-Etienne, B. Alloing, M. Charles, J. Zuniga Perez, C. Gourgon
article
13th Plasma Etch and Strip in Microtechnologies workshop (PESM), Jun 2023, Grenoble, France
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titre
Improvement of SiN waveguide LER for photonic application
auteur
V. Antunes, C. Petit-Etienne, E. Pargon
article
13th Plasma Etch and Strip in Microtechnologies workshop (PESM), Jun 2023, Grenoble, France
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titre
Study of the impact of the aspect ratio of etched silicon wafers on the ion angular distribution and ion energy distribution in pulsed plasma etching
auteur
Rochdi N., Cunge G., Kogelschatz M., Petit-Etienne C.
article
13th Plasma Etch and Strip in Microtechnologies workshop (PESM), Jun 2023, Grenoble, France
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titre
Plasma etching of high aspect ratio GaN and AlN nanopillar arrays for next generation of ultraviolet light-emitting diodes fabrication
auteur
Lucas Jaloustre, Saron-Rosy Sales de Mello, Sébastien Labau, Camille Petit-Etienne, Erwine Pargon
article
Plasma Etch and Strip in Microelectronics (PESM), 13th International Workshop, Jun 2023, GRENOBLE, France
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titre
Carbon Resist Microlens Etching in DF-CCP CF4 plasmas: Numerical investigation versus experiments
auteur
P Ducluzaux, D Ristoiu, G Cunge, E Despiau-Pujo
article
Plasma Etch Strip in Microtechnology (PESM), Jun 2023, GRENOBLE, France
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titre
Helium and hydrogen plasmas interaction with Si3N4 and SiO2 materials for advanced etch applications : A molecular dynamics study
auteur
E. Despiau-Pujo, V. Martirosyan, F. Pinzana, C. Petit-Etienne, F. Leverd, O. Joubert
article
13th Plasma Etch and Strip in Microtechnologies workshop (PESM), Jun 2023, Grenoble, France
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titre
Plasma etching of high aspect ratio GaN and AlN nanopillar arrays for next generation of ultraviolet lightemitting diodes fabrication
auteur
L. Jaloustre, S. R. Sales De Mello, S. Labau, C. Petit-Etienne, E. Pargon
article
13th Plasma Etch and Strip in Microtechnologies workshop (PESM), Jun 2023, Grenoble, France
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titre
Plasma etching processes of a sub-10 nm resolution high-x block copolymer self-assembled into spin-on-carbon trenches
auteur
A. F. Putranto, C. Petit-Etienne, B. Cabannes-Boué, G. Fleury, G. Cunge, M. Kogelschatz, M. Zelsmann
article
13th Plasma Etch and Strip in Microtechnologies workshop (PESM), Jun 2023, Grenoble, France
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titre
Plasma etching processes of a sub-10 nm resolution high-X block copolymer self-assembled into spin-on-carbon trenches
auteur
Achmad Fajar Putranto, Camille Petit-Etienne, Benjamin Cabannes-Boué, Guillaume Fleury, Gilles Cunge, Martin Kogelschatz, Marc Zelsmann
article
PESM 2023, Jun 2023, GRENOBLE, France
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titre
Cathodoluminescence characterization of the plasma induced damage during the patterning of high aspect ratio GaN nanowires
auteur
S. R. Sales De Mello, L. Jaloustre, S. Labau, C. Petit-Etienne, G. Jacopin, E. Pargon
article
13th Plasma Etch and Strip in Microtechnologies workshop (PESM), Jun 2023, Grenoble, France
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titre
Helium and hydrogen plasmas interaction with Si3N4 and SiO2 materials for advanced etch applications: A molecular dynamics study
auteur
E Despiau-Pujo, V Martirosyan, C Petit-Etienne, F Pinzan, F Leverd, O Joubert
article
Plasma Etch Strip in Microtechnology (PESM), Jun 2023, GRENOBLE, France
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titre
Diagnostics of industrial plasma reactors to assist process development
auteur
G. Cunge, M. Kogelschatz, E. Pargon, C. Petit-Etienne, O. Joubert, E. Despiau-Pujo
article
13th Plasma Etch and Strip in Microtechnologies workshop (PESM), Jun 2023, Grenoble, France
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titre
Controllable emission of frequency-encoded qudits in silicon photonics devices
auteur
Massimo Borghi, Noemi Tagliavacche, Federico Andrea Sabattoli, Houssein El Dirani, Laurene Youssef, Camille Petit-Etienne, Erwine Pargon, Corrado Sciancalepore, J.E. Sipe, Marco Liscidini, Matteo Galli, Daniele Bajoni
article
PHOTONICS NORTH 2023, Jun 2023, Montreal, Canada
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titre
Wire-based UV-µLED using GaN and AlN microwires as template
auteur
Lucie Valera, Vincent Grenier, Sylvain Finot, Lucas Jaloustre, Saron R.S. De Mello, Erwine Pargon, Camille Petit-Etienne, Joël Eymery, Gwénolé Jacopin, Christophe Durand
article
The 6th International Workshop on Ultraviolet Materials and Devices (IWMUND VI 2023), Jun 2023, METZ, France
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titre
Analyse angulaire parallèle en XPS pour l’étude de la courbure de bande de la surface du GaN selon le dopage et les traitements de surface
auteur
Laurent Xu, Sophie Guillemin, Jérôme Biscarrat, Bernard Pelissier
article
JNPSE 2023, May 2023, SOPHIA ANTIPOLIS, France
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BibTex
titre
Crossbar Arrays based on “Wall” Phase-Change Memory (PCM) and Ovonic- Threshold Switching (OTS) Selector: a Device Integration Challenge Towards New Computing Paradigms in Embedded Applications
auteur
G. Bourgeois, V. Meli, R. Antonelli, C. Socquet-Clerc, T. Magis, F. Laulagnet, B. Hemard, M. Bernard, L. Fellouh, P. Dezest, J. Krawczyk, S. Dominguez, F. Baudin, J. Garrione, C. Pellissier, J.-A. Dallery, N. Castellani, M.-C. Cyrille, C. Charpin, F. Andrieu, G. Navarro
article
IEEE EDTM, Mar 2023, SEOUL, South Korea
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Patents

titre
Gravitational method for assembling particles
auteur
David Peyrade, Anthony Leonard, Julien Cordeiro, Olivier Lecarme
article
United States, Patent n° : 11559825. 2023
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Poster communications

titre
Controlled wettability of mixed surfaces for enhanced water harvesting
auteur
Joyce Estephan, Marie Panabiere, Camille Petit-Etienne, Leo Bon, Jean-Herve Tortai, Cécile Gourgon
article
MNE2023 - Micro and Nano Engineering Conference, Sep 2023, Berlin, Germany
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https://hal.science/hal-04254305/file/Poster_Joyce_MNE.pdf BibTex
titre
Programming Characteristics in Innovative 1S1R “DPSA” Wall PCM + OTS Devices
auteur
Renzo Antonelli, Guillaume Bourgeois, Simon Martin, Valentina Meli, Niccolò Castellani, Antoine Salvi, François Andrieu, Abdelkader Souifi, Gabriele Navarro
article
European Phase Change and Ovonic Symposium (E\PCOS), Sep 2023, ROME, Italy
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titre
Aspect ratio impact of etched silicon wafers on ion energy distribution in plasma etching
auteur
Nouhaila Rochdi, Martin Kogelschatz, Camille Petit-Etienne, Gilles Cunge
article
PESM, Jun 2023, GRENOBLE, France
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Theses

titre
Quantitative analysis of the mechanical properties of healthy and cancer lung tissue for thedesign of mechano-mimetic culture substrates
auteur
Fabien Delebosse
article
Physics [physics]. Université Grenoble Alpes [2020-..], 2023. English. ⟨NNT : 2023GRALY048⟩
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https://theses.hal.science/tel-04405589/file/DELEBOSSE_2023_archivage.pdf BibTex
titre
Elaboration et mise en oeuvre de nanocomposites sous forme de couche mince à haute permittivité
auteur
Cédric Lapeyronie
article
Micro et nanotechnologies/Microélectronique. Université Grenoble Alpes [2020-..], 2023. Français. ⟨NNT : 2023GRALT039⟩
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https://theses.hal.science/tel-04210875/file/LAPEYRONIE_2023_archivage.pdf BibTex
titre
Procédés de micro-nanotechnologies pour la réalisation de spectromètres imageurs dédiés au sondage atmosphérique
auteur
Nadine Gerges
article
Micro et nanotechnologies/Microélectronique. Université Grenoble Alpes [2020-..], 2023. Français. ⟨NNT : 2023GRALT058⟩
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https://theses.hal.science/tel-04343878/file/GERGES_2023_archivage.pdf BibTex

Preprints, Working Papers, ...

titre
2D cell culture on soft hydrogel drives an endoplasmic reticulum stress-dependent S quiescence underlying molecular traits of pulmonary basal cells
auteur
Pierre-Alexandre Laval, Marie Piecyk, Paul Le Guen, Mirela Ilie, Joelle Fauvre, Isabelle Coste, Toufic Renno, N Aznar, Stéphane Ansieau, Celine Hadji, Camille Migdal, Cedric Duret, Philippe Bertolino, Carole Ferraro-Peyret, Alice Nicolas, Cedric Chaveroux
article
2023
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