Publications HAL de la structure LTM

2024

Journal articles

titre
Spectroscopic investigation of oxidation in GaSe 2D layered materials
auteur
Badreddine Smiri, Rémy Bernardin, Mickael Martin, Hervé Roussel, Jean Luc Deschanvres, Emmanuel Nolot, Névine Rochat, Franck Bassani, Thierry Baron, Bernard Pelissier
article
Microelectronic Engineering, 2024, 294, pp.112256. ⟨10.1016/j.mee.2024.112256⟩
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titre
Fabrication of high aspect ratio AlN nanopillars by top-down approach combining plasma etching and wet etching
auteur
Lucas Jaloustre, Saron Sales de Mello, Sébastien Labau, Camille Petit-Etienne, Erwine Pargon
article
Materials Science in Semiconductor Processing, 2024, 181, pp.108615. ⟨10.1016/j.mssp.2024.108615⟩
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titre
Dimensionality effect on surface states and piezoelectric behavior in ZnO nanowires grown by pulsed-liquid injection metal–organic chemical vapor deposition
auteur
Lisa Legardinier, Gustavo Ardila, Quang Chieu Bui, Isabelle Gélard, Carmen Jiménez, Thomas Jalabert, Manuel Manrique, Bassem Salem, Sébastien Labau, Matthieu Weber, Fabrice Donatini, Vincent Consonni
article
ACS Applied Electronic Materials, 2024, 6 (9), pp.6344-6355. ⟨10.1021/acsaelm.4c00549⟩
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https://hal.science/hal-04710640/file/ACSAEM_LisaLegardinier_2024_postprint_HAL.pdf BibTex
titre
Mobility Extraction Using Improved Resistance Partitioning Methodology for Normally-OFF Fully Vertical GaN Trench MOSFETs
auteur
Valentin Ackermann, Blend Mohamad, Hala El Rammouz, Vishwajeet Maurya, Eric Frayssinet, Yvon Cordier, Matthew Charles, Gauthier Lefevre, Julien Buckley, Bassem Salem
article
Electronics, 2024, 13 (12), pp.2350. ⟨10.3390/electronics13122350⟩
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https://hal.science/hal-04673055/file/electronics-13-02350.pdf BibTex
titre
Controlled wettability of biphilic patterned surfaces for enhanced atmospheric water harvesting
auteur
Joyce Estephan, Marie Panabière, Camille Petit-Etienne, Sebastien Labau, Léo Bon, Jean-Hervé Tortai, Cécile Gourgon
article
Micro and Nano Engineering, 2024, 23, pp.100255. ⟨10.1016/j.mne.2024.100255⟩
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titre
Development of Nanopillar Arrays Nanopatterning Without Lift‐Off for Transferable GaN‐Based µLEDs
auteur
Nabil Labchir, Saber Hammami, Kilian Baril, Maya Wehbe, Sebastien Labau, Jerome Reche, Camille Petit-Etienne, Marie Panabière, Pierre‐marie Coulon, Blandine Alloing, Daniel Pino Munoz, Jesus Zuniga-Perez, Patrice Gergaud, Matthew Charles, Cécile Gourgon
article
Advanced Materials Technologies, 2024, ⟨10.1002/admt.202400166⟩
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titre
Controlled Anisotropic Wetting by Plasma Treatment for Directed Self-Assembly of High-χ Block Copolymers
auteur
Achmad Fajar Putranto, Camille Petit-Etienne, Sébastien Cavalaglio, Benjamin Cabannes-Boué, Marie Panabiere, Gianluca Forcina, Guillaume Fleury, Martin Kogelschatz, Marc Zelsmann
article
ACS Applied Materials & Interfaces, 2024, 16 (21), pp.27841-27849. ⟨10.1021/acsami.4c01657⟩
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titre
PbS quantum dot thin film dry etching
auteur
Nicolas Le Brun, Gilles Cunge, Pascal Gouraud, Camille Petit-Etienne, Linda Parmigiani, Stéphane Allegret-Maret, Denis Guiheux, Jonathan Steckel
article
Journal of Vacuum Science & Technology A, 2024, 42 (3), ⟨10.1116/6.0003335⟩
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titre
Thermal catalytic etching of diamond by double-metal layers
auteur
D.D. Tran, C. Mannequin, M. Bonvalot, A. Traoré, H. Mariette, M. Sasaki, Etienne Gheeraert
article
Diamond and Related Materials, 2024, 145, pp.111075. ⟨10.1016/j.diamond.2024.111075⟩
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https://hal.science/hal-04606937/file/REVISED_Manuscript_TextUnmarked.pdf BibTex
titre
Organized AlN Nanowire Arrays by Hybrid Approach of Top-Down Processing and MOVPE Overgrowth for Deep UV Emission Devices
auteur
Lucie Valera, Lucas Jaloustre, Valérie Reita, Saron R.S. de Mello, Edith Bellet-Amalric, Camille Petit-Étienne, Erwine Pargon, Gwenolé Jacopin, Christophe Durand
article
ACS Applied Nano Materials, 2024, 7 (9), pp.10338-10349. ⟨10.1021/acsanm.4c00814⟩
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titre
Vapor chemical composition in Electron Beam Powder Bed Fusion using Ti-6Al-4V powder
auteur
Vinicius Antunes, Abderzak El Farsy, Angela Crespi, Charles Ballage, Ovidiu Vasilovici, Patrick Chapon, Camille Petit-Etienne, Erwine Pargon, Tiberiu Minea
article
International Journal of Advanced Manufacturing Technology, 2024, 132 (9-10), pp.5103-5110. ⟨10.1007/s00170-024-13553-4⟩
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https://hal.science/hal-04601592/file/Antunes%202024.pdf BibTex
titre
Synthesis and Optical Properties of CH3NH3PbI3 Nanorods with Defects States
auteur
Hassan Najih, Nabil Labchir, Abdellah Tihane, Abdelfattah Narjis, Lahoucine Atourki, Abdessalam Elfanaoui, Ahmed Ihlal
article
Journal of Nano Research, 2024, 82, pp.47-53. ⟨10.4028/p-FSoIl4⟩
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titre
Sb2S3 as a low-loss phase-change material for mid-IR photonics
auteur
Adam Biegański, Marko Perestjuk, Rémi Armand, Alberto Della Torre, Capucine Laprais, Guillaume Saint-Girons, Vincent Reboud, Jean-Michel Hartmann, Jean-Hervé Tortai, Antonin Moreau, Julien Lumeau, Thach Nguyen, Arnan Mitchell, Christelle Monat, Sébastien Cueff, Christian Grillet
article
Optical Materials Express, 2024, 14 (4), pp.862. ⟨10.1364/OME.511923⟩
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titre
Effect of Al 2 O 3 thickness and oxidant precursors on the interface composition and contamination in Al 2 O 3 /GaN structures
auteur
Tarek Spelta, Eugénie Martinez, Marc Veillerot, Pedro Fernandes Paes Pinto Rocha, Laura Vauche, Bassem Salem, Bérangère Hyot
article
Surface and Interface Analysis, 2024, 57 (21), pp.215106. ⟨10.1002/sia.7299⟩
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https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-04509863/file/paper%20ASS%20Al2O3%20thickness-Spelta%20%281%29.pdf BibTex
titre
A nanoscale study of hafnium oxide resistive memory switching dynamics
auteur
S Blonkowski, M Benyoussef, M Kogelschatz
article
Journal of Physics D: Applied Physics, 2024, 57 (21), pp.215106. ⟨10.1088/1361-6463/ad2ab4⟩
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titre
Comparative Passivation of Si(100) by H 2 and D 2 Atmospheres under Simultaneous Xe + Bombardment: An X-ray Photoelectron Spectroscopy Analysis
auteur
V. Antunes, M. Jimenez, F. Cemin, C. Figueroa, F. Alvarez
article
Langmuir, 2024, 40 (9), pp.4824-4830. ⟨10.1021/acs.langmuir.3c03723⟩
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titre
Enhancing the Output Voltage of Piezoelectric Nanogenerators Based on ZnO Nanowires Grown by Chemical Bath Deposition Using Compensatory Cu Doping
auteur
Manuel Manrique, Vincent Consonni, Sarah Boubenia, Hervé Roussel, Mohammed Zeghouane, Sébastien Labau, Sébastien Cavalaglio, Catherine Pudda, Véronique Jacob, Gwenael Le Rhun, Bassem Salem
article
Energy Technology, 2024, ⟨10.1002/ente.202301381⟩
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titre
Steady-State Semi-Analytical Modeling of p-Doped Quantum Dot Lasers Thermal Characteristics and Extrapolation to Membrane Lasers
auteur
Mattéo Chobé, Karim Hassan
article
IEEE Journal of Quantum Electronics, 2024, 60 (1), pp.1-9. ⟨10.1109/JQE.2023.3342180⟩
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titre
Optical trapping and fast discrimination of label‐free bacteriophages at the single virion level
auteur
Nicolas Villa, Enrico Tartari, Simon Glicenstein, Hugues de Villiers de la Noue, Emmanuel Picard, Pierre Marcoux, Marc Zelsmann, Grégory Resch, Emmanuel Hadji, Romuald Houdré
article
Small, 2024, ⟨10.1002/smll.202308814⟩
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https://hal.science/hal-04431362/file/Small%20-%202024%20-%20Villa%20-%20Optical%20Trapping%20and%20Fast%20Discrimination%20of%20Label%E2%80%90Free%20Bacteriophages%20at%20the%20Single%20Virion%20Level.pdf BibTex
titre
Faceting mechanisms of GaN nanopillar under KOH wet etching
auteur
Lucas Jaloustre, Saron Sales De Mello, Sébastien Labau, Camille Petit-Etienne, Erwine Pargon
article
Materials Science in Semiconductor Processing, 2024, 173, pp.108095. ⟨10.1016/j.mssp.2023.108095⟩
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https://hal.science/hal-04389931/file/Jaloustre-MSSP2024.pdf BibTex
titre
Enhancing minority carrier lifetime in Ge: Insights from HF and HCl cleaning procedures
auteur
Alexandre Chapotot, Jérémie Chrétien, Oleh Fesiienko, Erwine Pargon, Jinyoun Cho, Kristof Dessein, Abderraouf Boucherif, Gwenaëlle Hamon, Maxime Darnon
article
Journal of Vacuum Science & Technology A, 2024, 42, pp.013203. ⟨10.1116/6.0003236⟩
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https://hal.science/hal-04378872/file/JVST_Article_Draft_CHAPOTOT_REVISED_NO-CORR.pdf BibTex
titre
Impact of plasma operating conditions on the ion energy and angular distributions in dual-frequency capacitively coupled plasma reactors using CF4 chemistry
auteur
Pierre Ducluzaux, Delia Ristoiu, Gilles Cunge, Emilie Despiau-Pujo
article
Journal of Vacuum Science & Technology A, 2024, 42 (1), ⟨10.1116/6.0003291⟩
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titre
Impact of plasma operating conditions on the ion energy and angular distributions in dual-frequency capacitively coupled plasma reactors using CF4 chemistry
auteur
Pierre Ducluzaux, Delia Ristoiu, Gilles Cunge, Emilie Despiau-Pujo
article
Journal of Vacuum Science & Technology A, 2024, 42 (1), ⟨10.1116/6.0003291⟩
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titre
Hybridization of ellipsometry and XPS energy loss: Robust band gap and broadband optical constants determination of SiGe, HfON and MoOx thin films
auteur
Théo Levert, Alter Zakhtser, Julien Duval, Chloé Raguenez, Stéphane Verdier, Delphine Le Cunff, Jean-Hervé Tortai, Bernard Pelissier
article
Microelectronic Engineering, 2024, 283 (1), pp.112117. ⟨10.1016/j.mee.2023.112117⟩
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titre
Programming Operations Analysis and Statistics in One Selector and One Memory Ovonic Threshold Switching + Phase‐Change Memory Double‐Patterned Self‐Aligned Structure
auteur
Renzo Antonelli, Guillaume Bourgeois, Simon Martin, Valentina Meli, Niccoló Castellani, Antoine Salvi, Sylvain Gout, Mathieu Bernard, Pattamon Dezest, François Andrieu, Abdelkader Souifi, Gabriele Navarro
article
physica status solidi (RRL) - Rapid Research Letters, 2024, ⟨10.1002/pssr.202300429⟩
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https://hal.science/hal-04493184/file/Programming%20operations%20analysis%20and%20statistics%20in%201S1R%20OTS%2BPCM.pdf BibTex

Conference papers

titre
Reading reliability in 1S1R OTS+PCM devices based on Double-Patterned Self-Aligned structure
auteur
Renzo Antonelli, Guillaume Bourgeois, Valentina Meli, Zineb Saghi, Théo Monniez, Simon Martin, Niccoló Castellani, Mathieu Bernard, Leila Fellouh, Antoine Salvi, Sylvain Gout, Francois Andrieu, Abdelkader Souifi, Gabriele Navarro
article
ESREF 2024 - 35th European Symposium on Reliability of Electron Devices, Failure Physics and Analysis, Sep 2024, Parme, Italy
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https://hal.science/hal-04717271/file/antonelli_esref_2024_vf.pdf BibTex
titre
Soft extracellular matrix drives an endoplasmic reticulum stress-dependent S quiescence underlying molecular traits of pulmonary basal cells
auteur
Cedric Chaveroux, Alice Nicolas
article
6th workshop of mechanobiology and physics of life, Jan 2024, GRENOBLE, France
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titre
Monolithic integration of GaAs based compounds on silicon platform for photonic and optoelectronic devices,
auteur
T. Baron, V. Letka, H. Hijazi, M. Chobe, L. Mallet-Dida, M. Martin, J. Moeyaert, N. Massara, J. Mignot, J. Ritchy, C. Licitra, R. Thibon, S. Barbet, D. Mouloua, F. Boeuf, C. Jany, K. Hassan
article
SPIE Photonics West, Jan 2024, San Francisco, United States
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titre
Trapping of biological objects on SOI optical microresonators
auteur
K. Arfaoui, N. Villa, E. Tartari, S. Glicenstein, E. Picard, G. Resch, E. Hadji, P. Marcoux, R. Houdré, Valerie Stambouli, M. Zelsmann
article
SPIE Photonics Europe, 2024, Strasbourg, France
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titre
Trapping of biological objects on SOI optical photonic crystal microresonators
auteur
K. Arfaoui, N. Villa, E. Tartari, S. Glicenstein, Dylan David, E. Picard, G. Resch, E. Hadji, P. Marcoux, R. Houdré, Valerie Stambouli, M. Zelsmann
article
IEEE Sensors, 2024, Grenoble, France
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BibTex
titre
Optical trapping of bacteria for ultrafast bacteriophage lysis detection at the single-cell level
auteur
H. de Villiers de La Noue, N. Villa, E. Tartari, S. Glicenstein, E. Picard, E. Hadji, P. Marcoux, M. Zelsmann, R. Houdré, G. Resch
article
34th European Congress of Clinical Microbiology and Infectious Deseases, 2024, Barcelona, Spain
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titre
Photonic crystal cavities as real-time sensors for single bacteria-antimicrobial interaction
auteur
E. Tartari, N. Villa, H. de Villiers de La Noue, S. Glicenstein, E. Picard, P. Marcoux, M. Zelsmann, E. Hadji, G. Resch, R. Houdré
article
Nanoinnovation conference, 2024, Rome, Italy
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Poster communications

titre
3D scaffolds with tunable physical properties for the study of cell behavior
auteur
Aída Gabriela Fernández Contreras, Jean-Hervé Tortai, Alice Nicolas
article
6th workshop of mechanobiology and physics of life, Jan 2024, GRENOBLE, France
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titre
Quantitative analysis of the mechanical properties of healthy and cancer lung tissue for the design of mechano-mimetic culture substrates
auteur
F. Delebosse, D. Fuard, S. Soulan, C. Perrin, L. Chalabreysse, C. Migdal, A. Nicolas
article
6th workshop of mechanobiology and physics of life, Jan 2024, GRENOBLE, France
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Theses

titre
3D simulation of etching processes by reactive plasma : application to the etching of resist microlenses in CF4 chemistry
auteur
Pierre Ducluzaux
article
Micro et nanotechnologies/Microélectronique. Université Grenoble Alpes [2020-..], 2024. Français. ⟨NNT : 2024GRALT039⟩
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https://theses.hal.science/tel-04709969/file/DUCLUZAUX_2024_archivage.pdf BibTex

2023

Journal articles

titre
Impact of Nitrogen Concentration and Post‐Deposition Annealing on Electrical Properties of AlON/Etched N‐GaN MOS Capacitors
auteur
Pedro Fernandes Paes Pinto Rocha, Mohammed Zeghouane, Sarah Boubenia, Franck Bassani, Laura Vauche, Eugénie Martinez, William Vandendaele, Marc Veillerot, Bassem Salem
article
Advanced Electronic Materials, 2023, 10 (3), ⟨10.1002/aelm.202300528⟩
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https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-04509895/file/Adv%20Elect%20Materials%20-%202023%20-%20Rocha%20-%20Impact%20of%20Nitrogen%20Concentration%20and%20Post%E2%80%90Deposition%20Annealing%20on%20Electrical.pdf BibTex
titre
Programmable frequency-bin quantum states in a nano-engineered silicon device
auteur
Marco Clementi, Federico Andrea Sabattoli, Massimo Borghi, Linda Gianini, Noemi Tagliavacche, Houssein El Dirani, Laurene Youssef, Nicola Bergamasco, Camille Petit-Etienne, Erwine Pargon, J. Sipe, Marco Liscidini, Corrado Sciancalepore, Matteo Galli, Daniele Bajoni
article
Nature Communications, 2023, 14 (1), pp.176. ⟨10.1038/s41467-022-35773-6⟩
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https://arxiv.org/pdf/2212.13191 BibTex
titre
Design and Characterization of 5 μm Pitch InGaAs Photodiodes Using In Situ Doping and Shallow Mesa Architecture for SWIR Sensing
auteur
Jules Tillement, Cyril Cervera, Jacques Baylet, Christophe Jany, François Nardelli, Thomas Di Rito, Sylvain Georges, Gabriel Mugny, Olivier Saxod, Olivier Gravrand, Thierry Baron, François Roy, Frédéric Boeuf
article
Sensors, 2023, 23 (22), pp.9219. ⟨10.3390/s23229219⟩
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https://hal.science/hal-04296954/file/sensors-23-09219%20%281%29.pdf BibTex
titre
3D interconnects for III-V semiconductor heterostructures for miniaturized power devices
auteur
Mathieu de Lafontaine, Thomas Bidaud, Guillaume Gay, Erwine Pargon, Camille Petit-Etienne, Artur Turala, Romain Stricher, Serge Ecoffey, Maïté Volatier, Abdelatif Jaouad, Christopher Valdivia, Karin Hinzer, Simon Fafard, Vincent Aimez, Maxime Darnon
article
Cell Reports Physical Science, 2023, pp.101701. ⟨10.1016/j.xcrp.2023.101701⟩
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BibTex
titre
Room-temperature continuous-wave topological Dirac-vortex microcavity lasers on silicon
auteur
Jingwen Ma, Taojie Zhou, Mingchu Tang, Haochuan Li, Zhan Zhang, Xiang Xi, Mickael Martin, Thierry Baron, Huiyun Liu, Zhaoyu Zhang, Siming Chen, Xiankai Sun
article
Light: Science and Applications, 2023, 12 (1), pp.255. ⟨10.1038/s41377-023-01290-4⟩
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https://arxiv.org/pdf/2106.13838 BibTex
titre
Preferential crystal orientation etching of GaN nanopillars in Cl2 plasma
auteur
Lucas Jaloustre, Valentin Ackermann, Saron Sales de Mello, Sébastien Labau, Camille Petit-Etienne, Erwine Pargon
article
Materials Science in Semiconductor Processing, 2023, 165, pp.107654. ⟨10.1016/j.mssp.2023.107654⟩
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BibTex
titre
Impact of etching process on Al2O3/GaN interface for MOSc-HEMT devices combining ToF-SIMS, HAXPES and AFM
auteur
Tarek Spelta, Marc Veillerot, Eugénie Martinez, Denis Mariolle, Roselyne Templier, Nicolas Chevalier, Pedro Fernandes Paes Pinto Rocha, Bassem Salem, Laura Vauche, Bérangère Hyot
article
Solid-State Electronics, 2023, 208, pp.108743. ⟨10.1016/j.sse.2023.108743⟩
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https://cnrs.hal.science/hal-04216926/file/EuroSOI%20letter_Spelta-JSSE.pdf BibTex
titre
InGaAs/GaAsP Superlattice Resonant Cavity-Enhanced Photodetector Fabricated on a Nominal Si(001) Substrate for Near- and Short-Wavelength Infrared Applications
auteur
Veronica Letka, Mickaël Martin, Natalia Massara, Charles Leroux, Roselyne Templier, Christophe Licitra, Jérôme Richy, Thierry Baron
article
ACS photonics, 2023, 10 (9), pp.3266-3274. ⟨10.1021/acsphotonics.3c00692⟩
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https://cnrs.hal.science/hal-04216924/file/InGaAs_GaAsP_RCE_PD_paper%20160523.pdf BibTex
titre
Kinetic Study of the Aging and Overaging of Alloy Pb0.058%Ca0.12%Sr1.09%Sn for Battery Grids
auteur
Youssef Ait Yassine, Marwan Lakhal, Nabil Labchir, Elhassan Zantalla, Elmadani Saad, Mohamed Sannad
article
Coatings, 2023, 13 (9), pp.1534. ⟨10.3390/coatings13091534⟩
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titre
Renewable Lignin-Derived Graphene-like/PVDF Nanocomposites with High Dielectric Constant and Low Loss Tangent
auteur
Keerati Meeporn, Gwenn Morvezen, Jon de Vecchy, Vincent Mareau, Wanwitoo Wanmolee, Teera Butburee, Bernard Pelissier, Alain Sylvestre
article
Journal of Physical Chemistry C, 2023, 127 (34), pp.16979-16988. ⟨10.1021/acs.jpcc.3c04246⟩
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BibTex
titre
Synthesis of AlOxNy thin films using a two-step PE-ALD process
auteur
Mohammed Zeghouane, Pedro Fernandes Paes Pinto Rocha, Sarah Boubenia, Franck Bassani, Gauthier Lefevre, Sebastien Labau, Laura Vauche, Eugénie Martinez, Marc Veillerot, Bassem Salem
article
AIP Advances, 2023, 13 (8), ⟨10.1063/5.0154468⟩
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BibTex
titre
Influence of the magnetic field on the extension of the ionization region in high power impulse magnetron sputtering discharges
auteur
V Antunes, M Rudolph, A Kapran, H Hajihoseini, M Raadu, N Brenning, J Gudmundsson, D Lundin, T Minea
article
Plasma Sources Science and Technology, 2023, 32 (7), pp.075016. ⟨10.1088/1361-6595/ace847⟩
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BibTex
titre
Doped and undoped ferroelectric HfO2: Role of Gd-doping in stabilizing the ferroelectric phase
auteur
L. Alrifai, E. Skopin, N. Guillaume, P. Gonon, A. Bsiesy
article
Applied Physics Letters, 2023, 123 (3), ⟨10.1063/5.0151257⟩
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BibTex
titre
High quality GaN microplatelets grown by metal-organic vapor phase epitaxy on patterned silicon-on-insulator substrates: Toward micro light-emitting diodes
auteur
Kilian Baril, Pierre-Marie Coulon, Mrad Mrad, Nabil Labchir, Guy Feuillet, Matthew Charles, Cécile Gourgon, Philippe Vennéguès, Jesus Zuniga-Perez, Blandine Alloing
article
Journal of Applied Physics, 2023, 133, pp.245702. ⟨10.1063/5.0149882⟩
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https://cnrs.hal.science/hal-04216911/file/Baril_JAP2023.pdf BibTex
titre
Preferential crystal orientation etching of GaN nanopillars in Cl2 plasma
auteur
Lucas Jaloustre, Valentin Ackermann, Saron Sales de Mello, Sébastien Labau, Camille Petit-Etienne, Erwine Pargon
article
Materials Science in Semiconductor Processing, 2023, 165, pp.107654. ⟨10.1016/j.mssp.2023.107654⟩
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https://hal.science/hal-04123125/file/article%20final.pdf BibTex
titre
Reconfigurable Silicon Photonic Chip for the Generation Of Frequency-Bin-Entangled Qudits
auteur
Massimo Borghi, Noemi Tagliavacche, Federico Andrea Sabattoli, Houssein El Dirani, Laurene Youssef, Camille Petit-Etienne, Erwine Pargon, J.E. Sipe, Marco Liscidini, Corrado Sciancalepore, Matteo Galli, Daniele Bajoni
article
Physical Review Applied, 2023, 19 (6), pp.064026. ⟨10.1103/PhysRevApplied.19.064026⟩
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BibTex
titre
Impact of baculoviral transduction of fluorescent actin on cellular forces
auteur
Sara Bouizakarne, Jocelyn Etienne, Alice Nicolas
article
European Journal of Cell Biology, 2023, 102 (2), pp.151294. ⟨10.1016/j.ejcb.2023.151294⟩
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BibTex
titre
Influence of the AZO Electrode on ZnO Nanowire Growth by PLI-MOCVD and Related Piezoelectric Performance: Implications for Mechanical Energy Transducers
auteur
Quang Chieu Bui, Vincent Consonni, Sarah Boubenia, Guillaume Gay, Corinne Perret, Mohammed Zeghouane, Sebastien Labau, Carmen Jiménez, Hervé Roussel, Xavier Mescot, Gustavo Ardila, Bassem Salem
article
ACS Applied Nano Materials, 2023, 6 (9), pp.7436-7445. ⟨10.1021/acsanm.3c00608⟩
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https://hal.science/hal-04215277/file/ACSANM_QuangChieuBui_2023_postprint_HAL.pdf BibTex
titre
Characterization of GaN structures for power electronics by secondary ion mass spectrometry and atomic force microscope approach
auteur
Tarek Spelta, Marc Veillerot, Eugénie Martinez, Nicolas Chevalier, Denis Mariolle, Roselyne Templier, Bassem Salem, Pedro Fernandes Paes Pinto Rocha, Laura Vauche, Sarah Boubenia, Bérangère Hyot
article
Journal of Vacuum Science & Technology B, Nanotechnology and Microelectronics, 2023, Secondary Ion Mass Spectrometry (SIMS), 41 (3), pp.034003. ⟨10.1116/6.0002573⟩
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https://cnrs.hal.science/hal-04216907/file/JVST.pdf BibTex
titre
Sensitivity analysis of optical scatterometry technique for high-aspect ratio trench measurement
auteur
Justine Grasland, Delphine Le Cunff, Hoang Lam Pham, Maxime Besacier, Jean-Hervé Tortai
article
Proceeding SPIE, Metrology, Inspection, and Process Control , 2023, Proceedings of SPIE Volume 12496. Metrology, Inspection, and Process Control XXXVII, 12496, pp.124960C. ⟨10.1117/12.2657876⟩
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https://hal.science/hal-04238878/file/15fev%20SPIE%20%2Bcorrection%20Delphine%20JH%20Maxime.pdf BibTex
titre
Study of GaN coalescence by dark-field X-ray microscopy at the nanoscale
auteur
Maya Wehbe, Matthew Charles, Kilian Baril, Blandine Alloing, Daniel Pino Munoz, Nabil Labchir, Jesús Zuniga-Perez, Carsten Detlefs, Can Yildirim, Patrice Gergaud
article
Journal of Applied Crystallography, 2023, 56, pp.643 - 649. ⟨10.1107/s160057672300287x⟩
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https://hal.science/hal-04304004/file/xx5023.pdf BibTex
titre
Effects of zinc nitrate and HMTA on the formation mechanisms of ZnO nanowires on Au seed layers
auteur
Clément Lausecker, Bassem Salem, Xavier Baillin, Vincent Consonni
article
Crystal Growth & Design, 2023, 23 (4), pp.2941-2950. ⟨10.1021/acs.cgd.3c00068⟩
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https://hal.science/hal-04060117/file/CGD_Cl%C3%A9mentLausecker_2023_postprint_HAL.pdf BibTex
titre
Plasma Induced Damage on AlGaN/GaN Heterostructure During Gate Opening for Power Devices
auteur
Oleh Fesiienko, Camille Petit-Etienne, Maxime Darnon, Ali Soltani, Hassan Maher, Erwine Pargon
article
Journal of Vacuum Science & Technology A, 2023, 41 (3), ⟨10.1116/6.0002339⟩
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https://hal.science/hal-04030008/file/JVST_Article_FESIIENKO_accepted.pdf BibTex
titre
III-V Heterostructure Grown on 300mm Ge/Si Wafer for Large-Scale Fabrication of Red μ -LEDs
auteur
P. Gaillard, A. Ndiaye, B. Ben Bakir, P. Le Maitre, J. da Fonseca, J. Hartmann, M. Martin, J. Moeyaert, H. Mehdi, T. Baron, C. Jany
article
IEEE Photonics Technology Letters, 2023, 35 (2), pp.101-104. ⟨10.1109/LPT.2022.3225219⟩
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https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-04625947/file/III-V_Heterostructure_Grown_on_300mm_Ge_Si_Wafer_for_Large-Scale_Fabrication_of_Red_-LEDs.pdf BibTex
titre
Impact of Post-Deposition Anneal on ALD Al2O3/etched GaN Interface for Gate-First MOSc-HEMT
auteur
Paes Fernandes Paes Pinto Rocha, L. Vauche, B. Mohamad, W. Vandendaele, E. Martinez, M. Veillerot, T. Spelta, N. Rochat, R. Gwoziecki, B. Salem, V. Sousa
article
Power Electronic Devices and Components, 2023, pp.100033. ⟨10.1016/j.pedc.2023.100033⟩
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https://cnrs.hal.science/hal-03940756/file/Impact%20PDA%20Al2O3-GaN%202023.pdf BibTex
titre
Force tuning through regulation of clathrin-dependent integrin endocytosis
auteur
Alexander Kyumurkov, Anne-Pascale Bouin, Mathieu Boissan, Sandra Manet, Francesco Baschieri, Mathilde Proponnet-Guerault, Martial Balland, Olivier Destaing, Myriam Régent-Kloeckner, Claire Calmel, Alice Nicolas, François Waharte, Philippe Chavrier, Guillaume Montagnac, Emmanuelle Planus, Corinne Albiges-Rizo
article
Journal of Cell Biology, 2023, 222 (1), pp.100033. ⟨10.1083/jcb.202004025⟩
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BibTex
titre
Investigation of the magnetron balancing effect on the ionized flux fraction and deposition rate of sputtered titanium species for the high-power impulse magnetron sputtering pulses of different lengths
auteur
Anna Kapran, Vinicius Antunes, Zdeněk Hubička, Charles Ballage, Tiberiu Minea
article
Journal of Vacuum Science & Technology A, 2023, 41 (1), ⟨10.1116/6.0002309⟩
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BibTex
titre
Programmable frequency-bin quantum states in a nano-engineered silicon device
auteur
Marco Clementi, Federico Andrea Sabattoli, Houssein El Dirani, Laurene Youssef, Massimo Borghi, Linda Gianini, Noemi Tagliavacche, Nicola Bergamasco, Camille Petit-Etienne, Erwine Pargon, J. Sipe, Marco Liscidini, Corrado Sciancalepore, Matteo Galli, Daniele Bajoni
article
Nature Communications, 2023, 14 (1), pp.176. ⟨10.1038/s41467-022-35773-6⟩
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https://hal.science/hal-03997028/file/main.pdf BibTex
titre
Recent micro-LED technology for display applications based on GaN pendeo-epitaxy using SOI nanopillars
auteur
S. Hammami, N. Labchir, K. Baril, P.M. Coulon, B. Alloing, J. Zuniga Perez, C. Gourgon, M. Charles, L. Dupré
article
Proceedings Volume PC12421, 2023, ⟨10.1117/12.2649730⟩
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BibTex
titre
Post-deposition annealing challenges for ALD Al$_{0.5}$Si$_{0.5}$O$_x$/n-GaN MOS devices
auteur
Pedro Fernandes Paes Pinto Rocha, Laura Vauche, Messaoud Bedjaoui, Stephane Cadot, Blend Mohamad, William Vandendaele, Eugénie Martinez, Nicolas Gauthier, Francois Pierre, Helen Grampeix, Gauthier Lefevre, Bassem Salem, Véronique Sousa
article
Solid-State Electronics, 2023, 209, pp.108780. ⟨10.1016/j.sse.2023.108780⟩
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https://cea.hal.science/cea-04557061/file/SSE-D-23-00146_Manuscript_Clean_V2.pdf BibTex
titre
Hierarchical Structure of Gold and Carbon Electrode for Bilirubin Oxidase-Biocathode
auteur
Yuto Nakagawa, Seiya Tsujimura, Marc Zelsmann, Abdelkader Zebda
article
Biosensors, 2023, 13 (4), pp.482. ⟨10.3390/bios13040482⟩
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https://cnrs.hal.science/hal-04216931/file/biosensors-13-00482-v2.pdf BibTex
titre
Generation of frequency-bin-encoded ququarts in a programmable silicon photonic chip
auteur
Massimo Borghi, Noemi Tagliavacche, Federico Andrea Sabattoli, Houssein El Dirani, Laurene Youssef, Camille Petit-Etienne, Erwine Pargon, Corrado Sciancalepore, J.E. Sipe, Marco Liscidini, Matteo Galli, Daniele Bajoni
article
CLEO: Fundamental Science, 2023, pp.FM4E.2. ⟨10.1364/CLEO_FS.2023.FM4E.2⟩
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BibTex
titre
Reconfigurable Silicon Photonic Chip for the Generation Of Frequency-Bin-Entangled Qudits
auteur
Massimo Borghi, Noemi Tagliavacche, Federico Andrea Sabattoli, Houssein El Dirani, Laurene Youssef, Camille Petit-Etienne, Erwine Pargon, J.E. Sipe, Marco Liscidini, Corrado Sciancalepore, Matteo Galli, Daniele Bajoni
article
Physical Review Applied, 2023, 19 (6), pp.064026. ⟨10.1103/PhysRevApplied.19.064026⟩
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https://hal.science/hal-04123090/file/Main_manuscript.pdf BibTex
titre
Controlled nanopatterning and plasma etching of sub-100 nm nanopillars for low dislocation density of pendeo-epitaxy GaN: Towards MicroDisplays
auteur
S. Hammami, M. Wehbe, S. Labau, C. Petit-Etienne, B. Alloing, L. Dupré, M. Charles, J.Zuniga Perez, C. Gourgon
article
Proceedings Volume PC12421, 2023, Proceedings Volume PC12421, pp.Gallium Nitride Materials and Devices XVIII
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titre
High figure-of-merit in Al-doped ZnO thin films grown by ALD through the Al content adjustment
auteur
Quang Chieu Bui, Vincent Consonni, Sarah Boubenia, Guillaume Gay, Corinne Perret, Mohammed Zeghouane, Sebastien Labau, Hervé Roussel, Xavier Mescot, Gustavo Ardila, Bassem Salem
article
Materialia, 2023, 31, pp.101863. ⟨10.1016/j.mtla.2023.101863⟩
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https://hal.science/hal-04192037/file/Materialia_QuangChieuBui2023_postprint_HAL.pdf BibTex
titre
Self-organization and dewetting kinetics in sub-10 nm diblock copolymer line/space lithography
auteur
Xavier Chevalier, Gwenaelle Pound-Lana, Cindy Gomes Correia, Sébastien Cavalaglio, Benjamin Cabannes-Boué, Frédéric Restagno, Guillaume Miquelard-Garnier, Sébastien Roland, Christophe Navarro, Guillaume Fleury, Marc Zelsmann
article
Nanotechnology, 2023, 34 (17), pp.175602. ⟨10.1088/1361-6528/acb49f⟩
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https://hal.science/hal-04013897/file/Zelsmann%20Nanotechnology.pdf BibTex
titre
Correlation between the Dimensions and Piezoelectric Properties of ZnO Nanowires Grown by PLI-MOCVD with Different Flow Rates
auteur
Quang Chieu Bui, Vincent Consonni, Carmen Jiménez, Hervé Roussel, Xavier Mescot, Bassem Salem, Gustavo Ardila
article
Nanoenergy Advances, 2023, 3, pp.220 - 235. ⟨10.3390/nanoenergyadv3030011⟩
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https://hal.science/hal-04189406/file/NEAdvBui2023.pdf BibTex
titre
Towards superradiant spontaneous four wave mixing in an array of silicon microresonators
auteur
Massimo Borghi, Federico Andrea Sabattoli, Houssein El Dirani, Laurene Youssef, Camille Petit-Etienne, Erwine Pargon, Corrado Sciancalepore, J.E. Sipe, Amideddin Mataji-Kojouri, Marco Liscidini, Matteo Galli, Daniele Bajoni
article
CLEO: Science and Innovations, 2023, pp.JTh2A.42. ⟨10.1364/CLEO_AT.2023.JTh2A.42⟩
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BibTex
titre
Recent developments and prospects of fully recessed MIS gate structures for GaN on Si power transistors
auteur
Pedro Fernandes Paes Pinto Rocha, Laura Vauche, Patricia Pimenta-Barros, Simon Ruel, René Escoffier, Julien Buckley
article
Energies, 2023, 16 (7), ⟨10.3390/en16072978⟩
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https://hal.science/hal-04215264/file/energies-2219739%20-%20Manuscript%20reviewed_dupl_no-track-changes.pdf BibTex
titre
Hybridization of ellipsometry and Xps energy loss: robust band gap and broadband optical constants determination of SiGe, HfON and MoOx thin films
auteur
Théo Levert, Alter Zakhtser, Julien Duval, Chloé Raguenez, Stéphane Verdier, Delphine Le Cunff, Jean-Hervé Tortai, Bernard Pelissier
article
Microelectronic Engineering, 2023, 283, pp.112117. ⟨10.2139/ssrn.4554544⟩
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https://hal.science/hal-04253891/file/SSRN-id4554544.pdf BibTex
titre
Monolithically integrated photonic crystal surface emitters on silicon with a vortex beam by using bound states in the continuum
auteur
Haochuan Li, Mingchu Tang, Taojie Zhou, Wentao Xie, Renjie Li, Yuanhao Gong, Mickael Martin, Thierry Baron, Siming Chen, Huiyun Liu, Zhaoyu Zhang
article
Optics Letters, 2023, 48 (7), pp.1702. ⟨10.1364/OL.484472⟩
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BibTex
titre
CONTROLLING DOPING PROFILES OF SILICON NANOWIRES FOR QUANTUM COMPUTING AND PHOTOVOLTAICS USING MICRO-RAMAN SPECTROSCOPY
auteur
Serrano J., Hinojosa Chasiquiza V.G., Mediavilla Martínez I., Jiménez J., Bricio D., Pérez-Murano F., Llobet J., Antonja J., Bausells J., Bassani F., Salem B., Baron T.
article
Acta Microscopica, 2023, 32 (2), pp.8-9
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Conference papers

titre
NIL, Nanopatterning and etching of nanopillars for GaN-based microLEDs
auteur
N. Labchir, S. Hammami, K. Baril, M. Wehbe, S. Labau, C. Petit-Etienne, B. Alloing, M. Charles, J. Zuniga Perez, C. Gourgon
article
2023 MRS Fall Meeting & Exhibit, Nov 2023, Boston, Massachusetts, USA, United States
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titre
Comparative study between undoped and doped ferroelectric HfO2: Role of Gd-doping in stabilizing the ferroelectric phase and reducing the crystallization temperature
auteur
L. Alrifai, E. Skopin, N. Guillaume, P. Gonon, A. Bsiesy.
article
RAFALD, Nov 2023, LILLE, France
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titre
Improving Piezoelectric Properties of ZnO Thin Films Deposited via AP-SALD with Texture Enhancement
auteur
Hayri Okcu, Gustavo Ardila, Herve Roussel, Xavier Mescot, Carmen Jiménez, David Munoz-Rojas
article
Workshop RAFALD, Nov 2023, Lille, France
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titre
Plasma etching of high aspect ratio GaN and AlN nanopillars for the next generation of ultraviolet light-emitting diodes
auteur
L. Jaloustre, S. Sales De Mello, S. Labau, C. Petit-Etienne, E. Pargon
article
44rd International Symposium on dry process DPS 2023, Nov 2023, NAGOYA, Japan
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titre
Cellular Interaction with Low-Frequency-Vibrating Magnetic Nanoparticles in Bio-Mimetic Mechanical Environment.
auteur
A. Visona, B. Dieny, R. Morel, H. Joisten, A. Nicolas
article
21ème Colloque Louis Néel, Nov 2023, Sète, France
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titre
Strain and lattice tilt mapping of GaN at early stage of coalescence by synchrotron x-ray nano diffraction
auteur
M. Wehbe, M. Charles, D. Pino Munoz, K. Baril, B. Alloing, J. Zuniga Perez, N. Labchir, C. Gourgon, E. Zatterin, P. Gergaud
article
14th International Conference on Nitride Semiconductors (ICNS-14), Nov 2023, Fukuoka, Japan
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titre
Multiscale Integration in Biological Systems
auteur
Alice Nicolas
article
Using mechanics to understand cell adhesion in biology, Nov 2023, PARIS, France
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titre
Etude des interactions plasma-surface par dynamique moléculaire : quels apports pour la modélisation des plasmas froids ?
auteur
Emilie Despiau-Pujo
article
2èmes Journées du GDR EMILI, Oct 2023, NANCY, France
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BibTex
titre
Carbon resist microlens etching in DF-CCP CF4 plasmas: Comparison between modeling and experiments
auteur
P Ducluzaux, D Ristoiu, G Cunge, E Despiau-Pujo
article
69th American Vacuum Society (AVS) International Symposium, Oct 2023, PORTLAND, United States
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titre
Optical trapping for nondestructive bacterial membrane characterization at the single-cell scale
auteur
N. Villa, E. Tartari, S. Glicenstein, E. Picard, P. Marcoux, M. Zelsmann, G. Resch, E. Hadji, R. Houdré
article
Annual congress of the French Society for Microbiology - SFM 2023, Oct 2023, Rennes, France
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BibTex
titre
III-V monolithic integration for optoelectronic devices and new developments on 2D materials
auteur
T Baron, V Letka, H Hijazi, H Mehdi, L Mallet Dida, P Hauchecorne, M Martin, N Massara, P Gaillard, Jeremy Da Fonseca, J Moeyaert, V Loup, J Mignot, F Bassani, B Salem, M Tang, S Chen, H Liu, C Jany
article
2023 IEEE Nanotechnology Materials and Devices Conference (NMDC), Oct 2023, Salerno, Italy
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BibTex
titre
Comparative study between undoped and doped ferroelectric HfO2: Role of Gd-doping in stabilizing the ferroelectric phase and reducing the crystallization temperature
auteur
L. Alrifai, E. Skopin, N. Guillaume, P. Gonon, A. Bsiesy
article
E-MRS, Sep 2023, VARSOVIE, Poland
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BibTex
titre
Mid-IR linear optical properties of hybrid Sb2S3 /SiGe waveguides
auteur
Adam Bieganski, Marko Perestjuk, Remi Armand, Alberto Della Torre, Vincent Reboud, Jean-Michel Hartmann, Jean-Herve Tortai, Thach Nguyen, Arnan Mitchell, Christelle Monat, Sébastien Cueff, Christian Grillet
article
11th EOS (European Optical Society) Annual Meeting (EOSAM 2023), Sep 2023, Dijon, France. pp.01013, ⟨10.1051/epjconf/202328701013⟩
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https://hal.science/hal-04253912/file/epjconf_eosam2023_01013.pdf BibTex
titre
Optical trapping of bacteria for ultrafast bacteriophage lysis detection at the single-cell level
auteur
H. de Villiers de La Noue, E. Tartari, N. Villa, S. Glicenstein, E. Picard, E. Hadji, P. Marcoux, M. Zelsmann, R. Houdré, G. Resch
article
25th Biennial Evergreen International Phage Meeting, Aug 2023, Olympia (USA), United States
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BibTex
titre
On-chip optical nanotweezers for bacteria and bacteriophages viruses trapping and susceptibility testing
auteur
R. Houdré, N. Villa, E. Tartari, S. Glicenstein, E. Picard, P. Marcoux, M. Zelsmann, G. Resch, E. Hadji
article
SPIE Optics + Photonics conference - Optical Trapping and Optical Micromanipulation XX, Aug 2023, San Diego (CA), United States
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BibTex
titre
Optical trapping of bacteria for ultrafast bacteriophage lysis detection at the single-cell level
auteur
N. Villa, H. de Villiers de La Noue, E. Tartari, S. Glicenstein, E. Picard, E. Hadji, P. Marcoux, M. Zelsmann, G. Resch, R. Houdré
article
Swiss Society for Microbiology annual congress - SSM 2023, Aug 2023, Lausanne (Suisse), Switzerland
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BibTex
titre
Optical trapping of bacteria for ultrafast bacteriophage lysis detection at the single-cell level
auteur
N. Villa, H. de Villiers de La Noue, E. Tartari, S. Glicenstein, E. Picard, E. Hadji, P. Marcoux, M. Zelsmann, G. Resch, R. Houdré
article
Annual congress of the Swiss Society for Microbiology - SSM 2023, Aug 2023, Lausanne, Switzerland
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BibTex
titre
Comparison between Doped and Undoped Ferroelectric HfO2
auteur
L. Alrifai, E. Skopin, N. Guillaume, P. Gonon, A. Bsiesy
article
The AVS 23rd International Conference on Atomic Layer Deposition (ALD 2023), Jul 2023, SEATTLE, United States
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BibTex
titre
Propriétés optiques linéaires des guides d'ondes hybrides Sb2S3/SiGe dans le moyen-infrarouge
auteur
Adam Bieganski, Marko Perestjuk, Rémi Armand, Alberto Della Torre, Vincent Reboud, Jean-Michel Hartmann, Jean-Hervé Tortai, Thach Nguyen, Arnan Mitchell, Christelle Monat, Sébastien Cueff, Christian Grillet
article
JOURNÉES NATIONALES d’OPTIQUE GUIDÉE JNOG 2023, Jul 2023, Lyon, France
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https://hal.science/hal-04266403/file/JNOG%20Propri%C3%A9t%C3%A9s%20optiques%20lin%C3%A9aires%20Sb2S3%202.0.pdf BibTex
titre
Programmable Silicon Photonic Sources of Frequency Bin Entangled Qubits and Qudits
auteur
Massimo Borghi, Noemi Tagliavacche, Marco Clementi, Federico Andrea Sabattoli, Linda Gianini, Houssein El Dirani, Laurene Youssef, Nicola Bergamasco, Camille Petit-Etienne, Erwine Pargon, J.E. Sipe, Marco Liscidini, Corrado Sciancalepore, Matteo Galli, Daniele Bajoni
article
2023 23rd International Conference on Transparent Optical Networks (ICTON), Jul 2023, Bucarest, Romania. pp.1-4, ⟨10.1109/ICTON59386.2023.10207478⟩
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titre
Controllable generation of frequency-encoded qubits and qudits using silicon photonics nano-engineered devices
auteur
M. Borghi, N. Tagliavacche, F.A. Sabattoli, H. El Dirani, L. Youssef, C. Petit-Etienne, E. Pargon, C. Sciancalepore, J.E. Sipe, M. Liscidini, M. Galli, D. Bajoni
article
International Conference on Metamaterials, Photonic Crystals and Plasmonics, Jul 2023, Paris, France
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BibTex
titre
Microcavités résonantes sur guide d’onde pour le piégeage de microorganismes
auteur
S. Glicenstein, E. Tartari, N. Villa, E. Picard, P. Marcoux, M. Zelsmann, G. Resch, R. Houdré, E. Hadji
article
Journées Nationales de l’Optique Guidée - JNOG 2023, Jul 2023, Lyon, France
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BibTex
titre
Mid-IR All-Optical Poling in Silicon Nitride Waveguides
auteur
Ozan Yakar, Christian Laorgue, Arman Ayan, Jonathan Faugier-Tovar, Pierre Chausse, Camille Petit-Etienne, Erwine Pargon, Quentin Wilmart, Camille-Sophie Brès
article
Conference on Lasers and Electro-Optics/Europe – European Quantum Electronics Virtual Conferences (CLEO®/Europe-EQEC 2023), Jun 2023, Munich, Germany
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titre
Diagnostics of industrial plasma reactors to assist process development
auteur
G. Cunge, M. Kogelschatz, E. Pargon, C. Petit-Etienne, O. Joubert, E. Despiau-Pujo
article
13th Plasma Etch and Strip in Microtechnologies workshop (PESM), Jun 2023, Grenoble, France
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BibTex
titre
Plasma etching of nanopatterned GaN-based pillars for integrated μLEDs fabrication: application in μDisplays
auteur
N. Labchir, S. Hammami, K. Baril, S. Labau, C. Petit-Etienne, B. Alloing, M. Charles, J. Zuniga Perez, C. Gourgon
article
13th Plasma Etch and Strip in Microtechnologies workshop (PESM), Jun 2023, Grenoble, France
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BibTex
titre
Improvement of SiN waveguide LER for photonic application
auteur
V. Antunes, C. Petit-Etienne, E. Pargon
article
13th Plasma Etch and Strip in Microtechnologies workshop (PESM), Jun 2023, Grenoble, France
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BibTex
titre
Helium and hydrogen plasmas interaction with Si3N4 and SiO2 materials for advanced etch applications : A molecular dynamics study
auteur
E. Despiau-Pujo, V. Martirosyan, F. Pinzana, C. Petit-Etienne, F. Leverd, O. Joubert
article
13th Plasma Etch and Strip in Microtechnologies workshop (PESM), Jun 2023, Grenoble, France
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BibTex
titre
Plasma etching of high aspect ratio GaN and AlN nanopillar arrays for next generation of ultraviolet light-emitting diodes fabrication
auteur
Lucas Jaloustre, Saron-Rosy Sales de Mello, Sébastien Labau, Camille Petit-Etienne, Erwine Pargon
article
Plasma Etch and Strip in Microelectronics (PESM), 13th International Workshop, Jun 2023, GRENOBLE, France
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BibTex
titre
Carbon Resist Microlens Etching in DF-CCP CF4 plasmas: Numerical investigation versus experiments
auteur
P Ducluzaux, D Ristoiu, G Cunge, E Despiau-Pujo
article
Plasma Etch Strip in Microtechnology (PESM), Jun 2023, GRENOBLE, France
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titre
Study of the impact of the aspect ratio of etched silicon wafers on the ion angular distribution and ion energy distribution in pulsed plasma etching
auteur
Rochdi N., Cunge G., Kogelschatz M., Petit-Etienne C.
article
13th Plasma Etch and Strip in Microtechnologies workshop (PESM), Jun 2023, Grenoble, France
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BibTex
titre
Plasma etching processes of a sub-10 nm resolution high-x block copolymer self-assembled into spin-on-carbon trenches
auteur
A. F. Putranto, C. Petit-Etienne, B. Cabannes-Boué, G. Fleury, G. Cunge, M. Kogelschatz, M. Zelsmann
article
13th Plasma Etch and Strip in Microtechnologies workshop (PESM), Jun 2023, Grenoble, France
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BibTex
titre
Plasma etching of high aspect ratio GaN and AlN nanopillar arrays for next generation of ultraviolet lightemitting diodes fabrication
auteur
L. Jaloustre, S. R. Sales De Mello, S. Labau, C. Petit-Etienne, E. Pargon
article
13th Plasma Etch and Strip in Microtechnologies workshop (PESM), Jun 2023, Grenoble, France
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BibTex
titre
Plasma etching processes of a sub-10 nm resolution high-X block copolymer self-assembled into spin-on-carbon trenches
auteur
Achmad Fajar Putranto, Camille Petit-Etienne, Benjamin Cabannes-Boué, Guillaume Fleury, Gilles Cunge, Martin Kogelschatz, Marc Zelsmann
article
PESM 2023, Jun 2023, GRENOBLE, France
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titre
Cathodoluminescence characterization of the plasma induced damage during the patterning of high aspect ratio GaN nanowires
auteur
S. R. Sales De Mello, L. Jaloustre, S. Labau, C. Petit-Etienne, G. Jacopin, E. Pargon
article
13th Plasma Etch and Strip in Microtechnologies workshop (PESM), Jun 2023, Grenoble, France
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BibTex
titre
Helium and hydrogen plasmas interaction with Si3N4 and SiO2 materials for advanced etch applications: A molecular dynamics study
auteur
E Despiau-Pujo, V Martirosyan, C Petit-Etienne, F Pinzan, F Leverd, O Joubert
article
Plasma Etch Strip in Microtechnology (PESM), Jun 2023, GRENOBLE, France
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BibTex
titre
Controllable emission of frequency-encoded qudits in silicon photonics devices
auteur
Massimo Borghi, Noemi Tagliavacche, Federico Andrea Sabattoli, Houssein El Dirani, Laurene Youssef, Camille Petit-Etienne, Erwine Pargon, Corrado Sciancalepore, J.E. Sipe, Marco Liscidini, Matteo Galli, Daniele Bajoni
article
PHOTONICS NORTH 2023, Jun 2023, Montreal, Canada
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BibTex
titre
Wire-based UV-µLED using GaN and AlN microwires as template
auteur
Lucie Valera, Vincent Grenier, Sylvain Finot, Lucas Jaloustre, Saron R.S. De Mello, Erwine Pargon, Camille Petit-Etienne, Joël Eymery, Gwénolé Jacopin, Christophe Durand
article
The 6th International Workshop on Ultraviolet Materials and Devices (IWMUND VI 2023), Jun 2023, METZ, France
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BibTex
titre
On-chip optical nanotweezers for phage trapping and identification
auteur
S. Glicenstein, N. Villa, E. Tartari, E. Picard, P. Marcoux, M. Zelsmann, G. Resch, R. Houdré, E. Hadji
article
CLEO/Europe-EQEC Conference - Photonic Applications in Biology and Medicine, Jun 2023, Munich (Allemagne), Germany
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On-chip nanotweezers for ultrafast antibacterial susceptibility testing at the single-cell scale: the case of bacteriophages
auteur
E. Tartari, S. Glicenstein, N. Villa, E. Picard, E. Hadji, P. Marcoux, M. Zelsmann, G. Resch, R. Houdré
article
CLEO/Europe-EQEC Conference - Photonic Applications in Biology and Medicine, Jun 2023, Munich (Allemagne), Germany
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Plasma etching processes of a sub-10 nm resolution high-χ block copolymer self-assembled into spin-on-carbon trenches
auteur
A. F. Putranto, C. Petit-Etienne, B. Cabannes-Boué, G. Fleury, G. Cunge, M. Kogelschatz, M. Zelsmann
article
Plasma Etch and Strip for Microtechnology workshop – PESM 2023, Jun 2023, Grenoble, France
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Analyse angulaire parallèle en XPS pour l’étude de la courbure de bande de la surface du GaN selon le dopage et les traitements de surface
auteur
Laurent Xu, Sophie Guillemin, Jérôme Biscarrat, Bernard Pelissier
article
JNPSE 2023, May 2023, SOPHIA ANTIPOLIS, France
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Large Diameter Epi-Ready InP on Si (InPOSi) Substrates
auteur
B. Ghyselen, Fx Darras, O. Mourey, C. Navone, L. Sanchez, C. Di Nardo, C. Crobu, L. Toselli, B. Rousset, J. Dechamp, F. Milesi, L. Gabette, F. Fournel, J. Decobert, C. Besancon, M. Martin, J. Moeyaert, T. Baron
article
International Conference on Compound Semiconductor Manufacturing Technology, May 2023, Orlando, United States
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On-Chip Optical Nanotweezers for Ultrafast Antibiotic and Bacteriophage Susceptibility Testing
auteur
Villa N., Tartari E., Glicenstein S., Picard E., Marcoux P., Zelsmann M., Resch G., Hadji E., Houdré R.
article
Optica Biophotonics Congress: Optics in the Life Sciences – OLS 2023, Apr 2023, Vancouver (Canada), Canada
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On Chip Optical Nanotweezers for Ultrafast Antibiotic and Bacteriophage Susceptibility Testing
auteur
N. Villa, E. Tartari, S. Glicenstein, E. Picard, P. Marcoux, M. Zelsmann, G. Resch, E. Hadji, R. Houdré
article
Optica Biophotonics Congress: Optics in the Life Sciences – OLS 2023, Apr 2023, Vancouver (Canada), Canada
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Crossbar Arrays based on “Wall” Phase-Change Memory (PCM) and Ovonic- Threshold Switching (OTS) Selector: a Device Integration Challenge Towards New Computing Paradigms in Embedded Applications
auteur
G. Bourgeois, V. Meli, R. Antonelli, C. Socquet-Clerc, T. Magis, F. Laulagnet, B. Hemard, M. Bernard, L. Fellouh, P. Dezest, J. Krawczyk, S. Dominguez, F. Baudin, J. Garrione, C. Pellissier, J.-A. Dallery, N. Castellani, M.-C. Cyrille, C. Charpin, F. Andrieu, G. Navarro
article
IEEE EDTM, Mar 2023, SEOUL, South Korea
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Optical trapping and manipulation of biological objects with photonic crystal nanotweezers
auteur
N. Villa, S. Glicenstein, E. Tartari, M. Tardif, E. Picard, P. Marcoux, M. Zelsmann, G. Resch, R. Houdré, E. Hadji
article
Photonic and Electromagnetic Crystal Structures conference - PECS-XIII, mars 2023, Tokyo (Japon), Mar 2023, Tokyo (JP), Japan
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Controlled nanopatterning and plasma etching of sub-100 nm nanopillars for low dislocation density of pendeo-epitaxy GaN: Towards MicroDisplays,
auteur
N. Labchir, S. Hammami, K. Baril, M. Wehbe, S. Labau, C. Petit-Etienne, B. Alloing, M. Charles, J. Zuniga Perez, C. Gourgon
article
SPIE Conference: Gallium Nitride Materials and Devices XVIII, Jan 2023, San Francisco, USA, United States
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titre
Controlled nanopatterning and plasma etching of sub-100 nm nanopillars for low dislocation density of pendeo-epitaxy GaN: Towards MicroDisplays
auteur
S. Hammami, M. Wehbe, S. Labau, C. Petit-Etienne, B. Alloing, L. Dupré, M. Charles, J.Zuniga Perez, C. Gourgon
article
SPIE OPTO, 2023, SAN FRANCISCO, United States
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titre
Recent micro-LED technology for display applications based on GaN pendeo-epitaxy using SOI nanopillars
auteur
S. Hammami, N. Labchir, K. Baril, P.M. Coulon, B. Alloing, J. Zuniga Perez, C. Gourgon, M. Charles, L. Dupré
article
SPIE OPTO, 2023, SAN FRANCISCO, United States
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titre
Glioblastoma Cancer Cells Destruction by Mechanical Stimulation Using Magnetic Particles: In vitro versus In vivo Assays and Investigations in 3D Gels
auteur
C. Naud, C. Thébault, A. Visonà, H. Joisten, F. Berger, M. Carrière, Y. Hou, A. Nicolas, B. Dieny, R. Morel
article
IEEE International Magnetics Conference InterMag 2023, 2023, Sendai, Japan
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titre
Towards innovative treatments of cancers and diabetes based on magneto-mechanical stimulation of cells
auteur
C. Naud, C. Thébault, S. Ponomareva, A. Visonà, H. Joisten, F. Berger, M. Carrière, Y. Hou, R. Morel, A. Nicolas, B. Dieny.
article
Trends in MAGnetism, 2023, Rome, Italy
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Patents

titre
Procédé de détection d'une sensibilité de phages ou d'antibiotiques vis-à-vis d'une souche bactérienne
auteur
P. Marcoux, M. Zelsmann, Y. Roupioz, L. O’connell, E. Picard
article
France, N° de brevet: N° FR2302364. 2023
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titre
Gravitational method for assembling particles
auteur
David Peyrade, Anthony Leonard, Julien Cordeiro, Olivier Lecarme
article
United States, Patent n° : 11559825. 2023
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Poster communications

titre
Trapping of biological objects on SOI guided optical micro-resonators
auteur
K. Arfaoui, M. Zelsmann, E. Picard, P.R. Marcoux, V. Stambouli
article
Journée anuelle du GdR BIOMIMM, Dec 2023, GRENOBLE, France
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titre
Soft matrix maintains the molecular traits of pulmonary basal cells
auteur
Pierre-Alexandre Laval, Marie Piecyk, Paul Le Guen, Mirela-Diana Ilie, Joelle Fauvre, Isabelle Coste, Toufic Renno, N Aznar, Celine Hadji, Camille Migdal, Cedric Duret, Philippe Bertolino, Carole Ferraro-Peyret, Alice Nicolas, Cedric Chaveroux
article
Journée collaborative Lyon Biopole, Oct 2023, GRENOBLE, France
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titre
Controlled wettability of mixed surfaces for enhanced water harvesting
auteur
Joyce Estephan, Marie Panabiere, Camille Petit-Etienne, Leo Bon, Jean-Herve Tortai, Cécile Gourgon
article
MNE2023 - Micro and Nano Engineering Conference, Sep 2023, Berlin, Germany
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https://hal.science/hal-04254305/file/Poster_Joyce_MNE.pdf BibTex
titre
Programming Characteristics in Innovative 1S1R “DPSA” Wall PCM + OTS Devices
auteur
Renzo Antonelli, Guillaume Bourgeois, Simon Martin, Valentina Meli, Niccolò Castellani, Antoine Salvi, François Andrieu, Abdelkader Souifi, Gabriele Navarro
article
European Phase Change and Ovonic Symposium (E\PCOS), Sep 2023, ROME, Italy
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titre
Optical trapping of bacteria for ultrafast bacteriophage lysis detection at the single-cell level
auteur
H. de Villiers de La Noue, E. Tartari, N. Villa, S. Glicenstein, E. Picard, E. Hadji, P.R. Marcoux, M. Zelsmann, R. Houdré, G. Resch
article
Viruses of Microbes 2023 conference, Jul 2023, Tbilisi, Georgia
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titre
Aspect ratio impact of etched silicon wafers on ion energy distribution in plasma etching
auteur
Nouhaila Rochdi, Martin Kogelschatz, Camille Petit-Etienne, Gilles Cunge
article
PESM, Jun 2023, GRENOBLE, France
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titre
Plasma etching of nanopatterned GaN-based pillars for integrated μLEDs fabrication: application in μDisplays
auteur
N. Labchir, S. Hammami, K. Baril, M. Wehbe, S. Labau, C. Petit-Etienne, B. Alloing, M. Charles, J. Zuniga Perez, C. Gourgon
article
PLASMA ETCH AND STRIP MICROTECHNOLOGY (PESM 2023), Jun 2023, Grenoble, France
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titre
Cellular Interaction with Low-Frequency-Vibrating Magnetic Nanoparticles in Bio-Mimetic Mechanical Environment
auteur
A. Visonà, B. Dieny, R. Morel, H. Joisten, A. Nicolas
article
École Résidentielle Interdisciplinaire en Nanosciences et Nanotechnologies, 2023, Saint-Jacut de la Mer, France
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Theses

titre
Quantitative analysis of the mechanical properties of healthy and cancer lung tissue for thedesign of mechano-mimetic culture substrates
auteur
Fabien Delebosse
article
Physics [physics]. Université Grenoble Alpes [2020-..], 2023. English. ⟨NNT : 2023GRALY048⟩
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https://theses.hal.science/tel-04405589/file/DELEBOSSE_2023_archivage.pdf BibTex
titre
Procédés de gravure à faible endommagement des surfaces : application à la gravure SiN sur AlGaN/GaN pour les transistors à haute mobilité électronique
auteur
Oleh Fesiienko
article
Sciences de l'ingénieur [physics]. Université de Sherbrooke (Québec, Canada); Université Grenoble Alpes, 2023. Français. ⟨NNT : ⟩
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https://hal.science/tel-04545363/file/fesiienko_oleh_PhD_2023.pdf BibTex
titre
Developpement and implementation of nanocomposites as high permittivity thin films
auteur
Cédric Lapeyronie
article
Micro et nanotechnologies/Microélectronique. Université Grenoble Alpes [2020-..], 2023. Français. ⟨NNT : 2023GRALT039⟩
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https://theses.hal.science/tel-04210875/file/LAPEYRONIE_2023_archivage.pdf BibTex
titre
Micro-nanotechnology processes for the realization of imaging spectrometers dedicated to atmospheric survey
auteur
Nadine Gerges
article
Micro et nanotechnologies/Microélectronique. Université Grenoble Alpes [2020-..], 2023. Français. ⟨NNT : 2023GRALT058⟩
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https://theses.hal.science/tel-04343878/file/GERGES_2023_archivage.pdf BibTex

Preprints, Working Papers, ...

titre
2D cell culture on soft hydrogel drives an endoplasmic reticulum stress-dependent S quiescence underlying molecular traits of pulmonary basal cells
auteur
Pierre-Alexandre Laval, Marie Piecyk, Paul Le Guen, Mirela Ilie, Joelle Fauvre, Isabelle Coste, Toufic Renno, N Aznar, Stéphane Ansieau, Celine Hadji, Camille Migdal, Cedric Duret, Philippe Bertolino, Carole Ferraro-Peyret, Alice Nicolas, Cedric Chaveroux
article
2023
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