2024
Journal articles
- titre
- Spectroscopic investigation of oxidation in GaSe 2D layered materials
- auteur
- Badreddine Smiri, Rémy Bernardin, Mickael Martin, Hervé Roussel, Jean Luc Deschanvres, Emmanuel Nolot, Névine Rochat, Franck Bassani, Thierry Baron, Bernard Pelissier
- article
- Microelectronic Engineering, 2024, 294, pp.112256. ⟨10.1016/j.mee.2024.112256⟩
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-
- titre
- Fabrication of high aspect ratio AlN nanopillars by top-down approach combining plasma etching and wet etching
- auteur
- Lucas Jaloustre, Saron Sales de Mello, Sébastien Labau, Camille Petit-Etienne, Erwine Pargon
- article
- Materials Science in Semiconductor Processing, 2024, 181, pp.108615. ⟨10.1016/j.mssp.2024.108615⟩
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-
- titre
- Dimensionality effect on surface states and piezoelectric behavior in ZnO nanowires grown by pulsed-liquid injection metal–organic chemical vapor deposition
- auteur
- Lisa Legardinier, Gustavo Ardila, Quang Chieu Bui, Isabelle Gélard, Carmen Jiménez, Thomas Jalabert, Manuel Manrique, Bassem Salem, Sébastien Labau, Matthieu Weber, Fabrice Donatini, Vincent Consonni
- article
- ACS Applied Electronic Materials, 2024, 6 (9), pp.6344-6355. ⟨10.1021/acsaelm.4c00549⟩
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-
- titre
- Mobility Extraction Using Improved Resistance Partitioning Methodology for Normally-OFF Fully Vertical GaN Trench MOSFETs
- auteur
- Valentin Ackermann, Blend Mohamad, Hala El Rammouz, Vishwajeet Maurya, Eric Frayssinet, Yvon Cordier, Matthew Charles, Gauthier Lefevre, Julien Buckley, Bassem Salem
- article
- Electronics, 2024, 13 (12), pp.2350. ⟨10.3390/electronics13122350⟩
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-
- titre
- Controlled wettability of biphilic patterned surfaces for enhanced atmospheric water harvesting
- auteur
- Joyce Estephan, Marie Panabière, Camille Petit-Etienne, Sebastien Labau, Léo Bon, Jean-Hervé Tortai, Cécile Gourgon
- article
- Micro and Nano Engineering, 2024, 23, pp.100255. ⟨10.1016/j.mne.2024.100255⟩
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-
- titre
- Development of Nanopillar Arrays Nanopatterning Without Lift‐Off for Transferable GaN‐Based µLEDs
- auteur
- Nabil Labchir, Saber Hammami, Kilian Baril, Maya Wehbe, Sebastien Labau, Jerome Reche, Camille Petit-Etienne, Marie Panabière, Pierre‐marie Coulon, Blandine Alloing, Daniel Pino Munoz, Jesus Zuniga-Perez, Patrice Gergaud, Matthew Charles, Cécile Gourgon
- article
- Advanced Materials Technologies, 2024, ⟨10.1002/admt.202400166⟩
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-
- titre
- Controlled Anisotropic Wetting by Plasma Treatment for Directed Self-Assembly of High-χ Block Copolymers
- auteur
- Achmad Fajar Putranto, Camille Petit-Etienne, Sébastien Cavalaglio, Benjamin Cabannes-Boué, Marie Panabiere, Gianluca Forcina, Guillaume Fleury, Martin Kogelschatz, Marc Zelsmann
- article
- ACS Applied Materials & Interfaces, 2024, 16 (21), pp.27841-27849. ⟨10.1021/acsami.4c01657⟩
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-
- titre
- PbS quantum dot thin film dry etching
- auteur
- Nicolas Le Brun, Gilles Cunge, Pascal Gouraud, Camille Petit-Etienne, Linda Parmigiani, Stéphane Allegret-Maret, Denis Guiheux, Jonathan Steckel
- article
- Journal of Vacuum Science & Technology A, 2024, 42 (3), ⟨10.1116/6.0003335⟩
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-
- titre
- Thermal catalytic etching of diamond by double-metal layers
- auteur
- D.D. Tran, C. Mannequin, M. Bonvalot, A. Traoré, H. Mariette, M. Sasaki, Etienne Gheeraert
- article
- Diamond and Related Materials, 2024, 145, pp.111075. ⟨10.1016/j.diamond.2024.111075⟩
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-
- titre
- Organized AlN Nanowire Arrays by Hybrid Approach of Top-Down Processing and MOVPE Overgrowth for Deep UV Emission Devices
- auteur
- Lucie Valera, Lucas Jaloustre, Valérie Reita, Saron R.S. de Mello, Edith Bellet-Amalric, Camille Petit-Étienne, Erwine Pargon, Gwenolé Jacopin, Christophe Durand
- article
- ACS Applied Nano Materials, 2024, 7 (9), pp.10338-10349. ⟨10.1021/acsanm.4c00814⟩
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-
- titre
- Vapor chemical composition in Electron Beam Powder Bed Fusion using Ti-6Al-4V powder
- auteur
- Vinicius Antunes, Abderzak El Farsy, Angela Crespi, Charles Ballage, Ovidiu Vasilovici, Patrick Chapon, Camille Petit-Etienne, Erwine Pargon, Tiberiu Minea
- article
- International Journal of Advanced Manufacturing Technology, 2024, 132 (9-10), pp.5103-5110. ⟨10.1007/s00170-024-13553-4⟩
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-
- titre
- Synthesis and Optical Properties of CH3NH3PbI3 Nanorods with Defects States
- auteur
- Hassan Najih, Nabil Labchir, Abdellah Tihane, Abdelfattah Narjis, Lahoucine Atourki, Abdessalam Elfanaoui, Ahmed Ihlal
- article
- Journal of Nano Research, 2024, 82, pp.47-53. ⟨10.4028/p-FSoIl4⟩
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-
- titre
- Sb2S3 as a low-loss phase-change material for mid-IR photonics
- auteur
- Adam Biegański, Marko Perestjuk, Rémi Armand, Alberto Della Torre, Capucine Laprais, Guillaume Saint-Girons, Vincent Reboud, Jean-Michel Hartmann, Jean-Hervé Tortai, Antonin Moreau, Julien Lumeau, Thach Nguyen, Arnan Mitchell, Christelle Monat, Sébastien Cueff, Christian Grillet
- article
- Optical Materials Express, 2024, 14 (4), pp.862. ⟨10.1364/OME.511923⟩
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-
- titre
- Effect of Al 2 O 3 thickness and oxidant precursors on the interface composition and contamination in Al 2 O 3 /GaN structures
- auteur
- Tarek Spelta, Eugénie Martinez, Marc Veillerot, Pedro Fernandes Paes Pinto Rocha, Laura Vauche, Bassem Salem, Bérangère Hyot
- article
- Surface and Interface Analysis, 2024, 57 (21), pp.215106. ⟨10.1002/sia.7299⟩
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-
- titre
- A nanoscale study of hafnium oxide resistive memory switching dynamics
- auteur
- S Blonkowski, M Benyoussef, M Kogelschatz
- article
- Journal of Physics D: Applied Physics, 2024, 57 (21), pp.215106. ⟨10.1088/1361-6463/ad2ab4⟩
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-
- titre
- Comparative Passivation of Si(100) by H 2 and D 2 Atmospheres under Simultaneous Xe + Bombardment: An X-ray Photoelectron Spectroscopy Analysis
- auteur
- V. Antunes, M. Jimenez, F. Cemin, C. Figueroa, F. Alvarez
- article
- Langmuir, 2024, 40 (9), pp.4824-4830. ⟨10.1021/acs.langmuir.3c03723⟩
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-
- titre
- Enhancing the Output Voltage of Piezoelectric Nanogenerators Based on ZnO Nanowires Grown by Chemical Bath Deposition Using Compensatory Cu Doping
- auteur
- Manuel Manrique, Vincent Consonni, Sarah Boubenia, Hervé Roussel, Mohammed Zeghouane, Sébastien Labau, Sébastien Cavalaglio, Catherine Pudda, Véronique Jacob, Gwenael Le Rhun, Bassem Salem
- article
- Energy Technology, 2024, ⟨10.1002/ente.202301381⟩
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-
- titre
- Steady-State Semi-Analytical Modeling of p-Doped Quantum Dot Lasers Thermal Characteristics and Extrapolation to Membrane Lasers
- auteur
- Mattéo Chobé, Karim Hassan
- article
- IEEE Journal of Quantum Electronics, 2024, 60 (1), pp.1-9. ⟨10.1109/JQE.2023.3342180⟩
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-
- titre
- Optical trapping and fast discrimination of label‐free bacteriophages at the single virion level
- auteur
- Nicolas Villa, Enrico Tartari, Simon Glicenstein, Hugues de Villiers de la Noue, Emmanuel Picard, Pierre Marcoux, Marc Zelsmann, Grégory Resch, Emmanuel Hadji, Romuald Houdré
- article
- Small, 2024, ⟨10.1002/smll.202308814⟩
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-
- titre
- Faceting mechanisms of GaN nanopillar under KOH wet etching
- auteur
- Lucas Jaloustre, Saron Sales De Mello, Sébastien Labau, Camille Petit-Etienne, Erwine Pargon
- article
- Materials Science in Semiconductor Processing, 2024, 173, pp.108095. ⟨10.1016/j.mssp.2023.108095⟩
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- titre
- Enhancing minority carrier lifetime in Ge: Insights from HF and HCl cleaning procedures
- auteur
- Alexandre Chapotot, Jérémie Chrétien, Oleh Fesiienko, Erwine Pargon, Jinyoun Cho, Kristof Dessein, Abderraouf Boucherif, Gwenaëlle Hamon, Maxime Darnon
- article
- Journal of Vacuum Science & Technology A, 2024, 42, pp.013203. ⟨10.1116/6.0003236⟩
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- titre
- Impact of plasma operating conditions on the ion energy and angular distributions in dual-frequency capacitively coupled plasma reactors using CF4 chemistry
- auteur
- Pierre Ducluzaux, Delia Ristoiu, Gilles Cunge, Emilie Despiau-Pujo
- article
- Journal of Vacuum Science & Technology A, 2024, 42 (1), ⟨10.1116/6.0003291⟩
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-
- titre
- Impact of plasma operating conditions on the ion energy and angular distributions in dual-frequency capacitively coupled plasma reactors using CF4 chemistry
- auteur
- Pierre Ducluzaux, Delia Ristoiu, Gilles Cunge, Emilie Despiau-Pujo
- article
- Journal of Vacuum Science & Technology A, 2024, 42 (1), ⟨10.1116/6.0003291⟩
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- titre
- Hybridization of ellipsometry and XPS energy loss: Robust band gap and broadband optical constants determination of SiGe, HfON and MoOx thin films
- auteur
- Théo Levert, Alter Zakhtser, Julien Duval, Chloé Raguenez, Stéphane Verdier, Delphine Le Cunff, Jean-Hervé Tortai, Bernard Pelissier
- article
- Microelectronic Engineering, 2024, 283 (1), pp.112117. ⟨10.1016/j.mee.2023.112117⟩
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- titre
- Programming Operations Analysis and Statistics in One Selector and One Memory Ovonic Threshold Switching + Phase‐Change Memory Double‐Patterned Self‐Aligned Structure
- auteur
- Renzo Antonelli, Guillaume Bourgeois, Simon Martin, Valentina Meli, Niccoló Castellani, Antoine Salvi, Sylvain Gout, Mathieu Bernard, Pattamon Dezest, François Andrieu, Abdelkader Souifi, Gabriele Navarro
- article
- physica status solidi (RRL) - Rapid Research Letters, 2024, ⟨10.1002/pssr.202300429⟩
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-
Conference papers
- titre
- Reading reliability in 1S1R OTS+PCM devices based on Double-Patterned Self-Aligned structure
- auteur
- Renzo Antonelli, Guillaume Bourgeois, Valentina Meli, Zineb Saghi, Théo Monniez, Simon Martin, Niccoló Castellani, Mathieu Bernard, Leila Fellouh, Antoine Salvi, Sylvain Gout, Francois Andrieu, Abdelkader Souifi, Gabriele Navarro
- article
- ESREF 2024 - 35th European Symposium on Reliability of Electron Devices, Failure Physics and Analysis, Sep 2024, Parme, Italy
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-
- titre
- Soft extracellular matrix drives an endoplasmic reticulum stress-dependent S quiescence underlying molecular traits of pulmonary basal cells
- auteur
- Cedric Chaveroux, Alice Nicolas
- article
- 6th workshop of mechanobiology and physics of life, Jan 2024, GRENOBLE, France
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- titre
- Monolithic integration of GaAs based compounds on silicon platform for photonic and optoelectronic devices,
- auteur
- T. Baron, V. Letka, H. Hijazi, M. Chobe, L. Mallet-Dida, M. Martin, J. Moeyaert, N. Massara, J. Mignot, J. Ritchy, C. Licitra, R. Thibon, S. Barbet, D. Mouloua, F. Boeuf, C. Jany, K. Hassan
- article
- SPIE Photonics West, Jan 2024, San Francisco, United States
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- titre
- Trapping of biological objects on SOI optical microresonators
- auteur
- K. Arfaoui, N. Villa, E. Tartari, S. Glicenstein, E. Picard, G. Resch, E. Hadji, P. Marcoux, R. Houdré, Valerie Stambouli, M. Zelsmann
- article
- SPIE Photonics Europe, 2024, Strasbourg, France
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-
- titre
- Trapping of biological objects on SOI optical photonic crystal microresonators
- auteur
- K. Arfaoui, N. Villa, E. Tartari, S. Glicenstein, Dylan David, E. Picard, G. Resch, E. Hadji, P. Marcoux, R. Houdré, Valerie Stambouli, M. Zelsmann
- article
- IEEE Sensors, 2024, Grenoble, France
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- titre
- Optical trapping of bacteria for ultrafast bacteriophage lysis detection at the single-cell level
- auteur
- H. de Villiers de La Noue, N. Villa, E. Tartari, S. Glicenstein, E. Picard, E. Hadji, P. Marcoux, M. Zelsmann, R. Houdré, G. Resch
- article
- 34th European Congress of Clinical Microbiology and Infectious Deseases, 2024, Barcelona, Spain
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- titre
- Photonic crystal cavities as real-time sensors for single bacteria-antimicrobial interaction
- auteur
- E. Tartari, N. Villa, H. de Villiers de La Noue, S. Glicenstein, E. Picard, P. Marcoux, M. Zelsmann, E. Hadji, G. Resch, R. Houdré
- article
- Nanoinnovation conference, 2024, Rome, Italy
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Poster communications
- titre
- 3D scaffolds with tunable physical properties for the study of cell behavior
- auteur
- Aída Gabriela Fernández Contreras, Jean-Hervé Tortai, Alice Nicolas
- article
- 6th workshop of mechanobiology and physics of life, Jan 2024, GRENOBLE, France
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- titre
- Quantitative analysis of the mechanical properties of healthy and cancer lung tissue for the design of mechano-mimetic culture substrates
- auteur
- F. Delebosse, D. Fuard, S. Soulan, C. Perrin, L. Chalabreysse, C. Migdal, A. Nicolas
- article
- 6th workshop of mechanobiology and physics of life, Jan 2024, GRENOBLE, France
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Theses
- titre
- 3D simulation of etching processes by reactive plasma : application to the etching of resist microlenses in CF4 chemistry
- auteur
- Pierre Ducluzaux
- article
- Micro et nanotechnologies/Microélectronique. Université Grenoble Alpes [2020-..], 2024. Français. ⟨NNT : 2024GRALT039⟩
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-
2023
Journal articles
- titre
- Impact of Nitrogen Concentration and Post‐Deposition Annealing on Electrical Properties of AlON/Etched N‐GaN MOS Capacitors
- auteur
- Pedro Fernandes Paes Pinto Rocha, Mohammed Zeghouane, Sarah Boubenia, Franck Bassani, Laura Vauche, Eugénie Martinez, William Vandendaele, Marc Veillerot, Bassem Salem
- article
- Advanced Electronic Materials, 2023, 10 (3), ⟨10.1002/aelm.202300528⟩
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-
- titre
- Programmable frequency-bin quantum states in a nano-engineered silicon device
- auteur
- Marco Clementi, Federico Andrea Sabattoli, Massimo Borghi, Linda Gianini, Noemi Tagliavacche, Houssein El Dirani, Laurene Youssef, Nicola Bergamasco, Camille Petit-Etienne, Erwine Pargon, J. Sipe, Marco Liscidini, Corrado Sciancalepore, Matteo Galli, Daniele Bajoni
- article
- Nature Communications, 2023, 14 (1), pp.176. ⟨10.1038/s41467-022-35773-6⟩
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-
- titre
- Design and Characterization of 5 μm Pitch InGaAs Photodiodes Using In Situ Doping and Shallow Mesa Architecture for SWIR Sensing
- auteur
- Jules Tillement, Cyril Cervera, Jacques Baylet, Christophe Jany, François Nardelli, Thomas Di Rito, Sylvain Georges, Gabriel Mugny, Olivier Saxod, Olivier Gravrand, Thierry Baron, François Roy, Frédéric Boeuf
- article
- Sensors, 2023, 23 (22), pp.9219. ⟨10.3390/s23229219⟩
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-
- titre
- 3D interconnects for III-V semiconductor heterostructures for miniaturized power devices
- auteur
- Mathieu de Lafontaine, Thomas Bidaud, Guillaume Gay, Erwine Pargon, Camille Petit-Etienne, Artur Turala, Romain Stricher, Serge Ecoffey, Maïté Volatier, Abdelatif Jaouad, Christopher Valdivia, Karin Hinzer, Simon Fafard, Vincent Aimez, Maxime Darnon
- article
- Cell Reports Physical Science, 2023, pp.101701. ⟨10.1016/j.xcrp.2023.101701⟩
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-
- titre
- Room-temperature continuous-wave topological Dirac-vortex microcavity lasers on silicon
- auteur
- Jingwen Ma, Taojie Zhou, Mingchu Tang, Haochuan Li, Zhan Zhang, Xiang Xi, Mickael Martin, Thierry Baron, Huiyun Liu, Zhaoyu Zhang, Siming Chen, Xiankai Sun
- article
- Light: Science and Applications, 2023, 12 (1), pp.255. ⟨10.1038/s41377-023-01290-4⟩
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-
- titre
- Preferential crystal orientation etching of GaN nanopillars in Cl2 plasma
- auteur
- Lucas Jaloustre, Valentin Ackermann, Saron Sales de Mello, Sébastien Labau, Camille Petit-Etienne, Erwine Pargon
- article
- Materials Science in Semiconductor Processing, 2023, 165, pp.107654. ⟨10.1016/j.mssp.2023.107654⟩
- Accès au bibtex
-
- titre
- Impact of etching process on Al2O3/GaN interface for MOSc-HEMT devices combining ToF-SIMS, HAXPES and AFM
- auteur
- Tarek Spelta, Marc Veillerot, Eugénie Martinez, Denis Mariolle, Roselyne Templier, Nicolas Chevalier, Pedro Fernandes Paes Pinto Rocha, Bassem Salem, Laura Vauche, Bérangère Hyot
- article
- Solid-State Electronics, 2023, 208, pp.108743. ⟨10.1016/j.sse.2023.108743⟩
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-
- titre
- InGaAs/GaAsP Superlattice Resonant Cavity-Enhanced Photodetector Fabricated on a Nominal Si(001) Substrate for Near- and Short-Wavelength Infrared Applications
- auteur
- Veronica Letka, Mickaël Martin, Natalia Massara, Charles Leroux, Roselyne Templier, Christophe Licitra, Jérôme Richy, Thierry Baron
- article
- ACS photonics, 2023, 10 (9), pp.3266-3274. ⟨10.1021/acsphotonics.3c00692⟩
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-
- titre
- Kinetic Study of the Aging and Overaging of Alloy Pb0.058%Ca0.12%Sr1.09%Sn for Battery Grids
- auteur
- Youssef Ait Yassine, Marwan Lakhal, Nabil Labchir, Elhassan Zantalla, Elmadani Saad, Mohamed Sannad
- article
- Coatings, 2023, 13 (9), pp.1534. ⟨10.3390/coatings13091534⟩
- Accès au bibtex
-
- titre
- Renewable Lignin-Derived Graphene-like/PVDF Nanocomposites with High Dielectric Constant and Low Loss Tangent
- auteur
- Keerati Meeporn, Gwenn Morvezen, Jon de Vecchy, Vincent Mareau, Wanwitoo Wanmolee, Teera Butburee, Bernard Pelissier, Alain Sylvestre
- article
- Journal of Physical Chemistry C, 2023, 127 (34), pp.16979-16988. ⟨10.1021/acs.jpcc.3c04246⟩
- Accès au bibtex
-
- titre
- Synthesis of AlOxNy thin films using a two-step PE-ALD process
- auteur
- Mohammed Zeghouane, Pedro Fernandes Paes Pinto Rocha, Sarah Boubenia, Franck Bassani, Gauthier Lefevre, Sebastien Labau, Laura Vauche, Eugénie Martinez, Marc Veillerot, Bassem Salem
- article
- AIP Advances, 2023, 13 (8), ⟨10.1063/5.0154468⟩
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-
- titre
- Influence of the magnetic field on the extension of the ionization region in high power impulse magnetron sputtering discharges
- auteur
- V Antunes, M Rudolph, A Kapran, H Hajihoseini, M Raadu, N Brenning, J Gudmundsson, D Lundin, T Minea
- article
- Plasma Sources Science and Technology, 2023, 32 (7), pp.075016. ⟨10.1088/1361-6595/ace847⟩
- Accès au bibtex
-
- titre
- Doped and undoped ferroelectric HfO2: Role of Gd-doping in stabilizing the ferroelectric phase
- auteur
- L. Alrifai, E. Skopin, N. Guillaume, P. Gonon, A. Bsiesy
- article
- Applied Physics Letters, 2023, 123 (3), ⟨10.1063/5.0151257⟩
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-
- titre
- High quality GaN microplatelets grown by metal-organic vapor phase epitaxy on patterned silicon-on-insulator substrates: Toward micro light-emitting diodes
- auteur
- Kilian Baril, Pierre-Marie Coulon, Mrad Mrad, Nabil Labchir, Guy Feuillet, Matthew Charles, Cécile Gourgon, Philippe Vennéguès, Jesus Zuniga-Perez, Blandine Alloing
- article
- Journal of Applied Physics, 2023, 133, pp.245702. ⟨10.1063/5.0149882⟩
- Accès au texte intégral et bibtex
-
- titre
- Preferential crystal orientation etching of GaN nanopillars in Cl2 plasma
- auteur
- Lucas Jaloustre, Valentin Ackermann, Saron Sales de Mello, Sébastien Labau, Camille Petit-Etienne, Erwine Pargon
- article
- Materials Science in Semiconductor Processing, 2023, 165, pp.107654. ⟨10.1016/j.mssp.2023.107654⟩
- Accès au texte intégral et bibtex
-
- titre
- Reconfigurable Silicon Photonic Chip for the Generation Of Frequency-Bin-Entangled Qudits
- auteur
- Massimo Borghi, Noemi Tagliavacche, Federico Andrea Sabattoli, Houssein El Dirani, Laurene Youssef, Camille Petit-Etienne, Erwine Pargon, J.E. Sipe, Marco Liscidini, Corrado Sciancalepore, Matteo Galli, Daniele Bajoni
- article
- Physical Review Applied, 2023, 19 (6), pp.064026. ⟨10.1103/PhysRevApplied.19.064026⟩
- Accès au bibtex
-
- titre
- Impact of baculoviral transduction of fluorescent actin on cellular forces
- auteur
- Sara Bouizakarne, Jocelyn Etienne, Alice Nicolas
- article
- European Journal of Cell Biology, 2023, 102 (2), pp.151294. ⟨10.1016/j.ejcb.2023.151294⟩
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-
- titre
- Influence of the AZO Electrode on ZnO Nanowire Growth by PLI-MOCVD and Related Piezoelectric Performance: Implications for Mechanical Energy Transducers
- auteur
- Quang Chieu Bui, Vincent Consonni, Sarah Boubenia, Guillaume Gay, Corinne Perret, Mohammed Zeghouane, Sebastien Labau, Carmen Jiménez, Hervé Roussel, Xavier Mescot, Gustavo Ardila, Bassem Salem
- article
- ACS Applied Nano Materials, 2023, 6 (9), pp.7436-7445. ⟨10.1021/acsanm.3c00608⟩
- Accès au texte intégral et bibtex
-
- titre
- Characterization of GaN structures for power electronics by secondary ion mass spectrometry and atomic force microscope approach
- auteur
- Tarek Spelta, Marc Veillerot, Eugénie Martinez, Nicolas Chevalier, Denis Mariolle, Roselyne Templier, Bassem Salem, Pedro Fernandes Paes Pinto Rocha, Laura Vauche, Sarah Boubenia, Bérangère Hyot
- article
- Journal of Vacuum Science & Technology B, Nanotechnology and Microelectronics, 2023, Secondary Ion Mass Spectrometry (SIMS), 41 (3), pp.034003. ⟨10.1116/6.0002573⟩
- Accès au texte intégral et bibtex
-
- titre
- Sensitivity analysis of optical scatterometry technique for high-aspect ratio trench measurement
- auteur
- Justine Grasland, Delphine Le Cunff, Hoang Lam Pham, Maxime Besacier, Jean-Hervé Tortai
- article
- Proceeding SPIE, Metrology, Inspection, and Process Control , 2023, Proceedings of SPIE Volume 12496. Metrology, Inspection, and Process Control XXXVII, 12496, pp.124960C. ⟨10.1117/12.2657876⟩
- Accès au texte intégral et bibtex
-
- titre
- Study of GaN coalescence by dark-field X-ray microscopy at the nanoscale
- auteur
- Maya Wehbe, Matthew Charles, Kilian Baril, Blandine Alloing, Daniel Pino Munoz, Nabil Labchir, Jesús Zuniga-Perez, Carsten Detlefs, Can Yildirim, Patrice Gergaud
- article
- Journal of Applied Crystallography, 2023, 56, pp.643 - 649. ⟨10.1107/s160057672300287x⟩
- Accès au texte intégral et bibtex
-
- titre
- Effects of zinc nitrate and HMTA on the formation mechanisms of ZnO nanowires on Au seed layers
- auteur
- Clément Lausecker, Bassem Salem, Xavier Baillin, Vincent Consonni
- article
- Crystal Growth & Design, 2023, 23 (4), pp.2941-2950. ⟨10.1021/acs.cgd.3c00068⟩
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-
- titre
- Plasma Induced Damage on AlGaN/GaN Heterostructure During Gate Opening for Power Devices
- auteur
- Oleh Fesiienko, Camille Petit-Etienne, Maxime Darnon, Ali Soltani, Hassan Maher, Erwine Pargon
- article
- Journal of Vacuum Science & Technology A, 2023, 41 (3), ⟨10.1116/6.0002339⟩
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-
- titre
- III-V Heterostructure Grown on 300mm Ge/Si Wafer for Large-Scale Fabrication of Red μ -LEDs
- auteur
- P. Gaillard, A. Ndiaye, B. Ben Bakir, P. Le Maitre, J. da Fonseca, J. Hartmann, M. Martin, J. Moeyaert, H. Mehdi, T. Baron, C. Jany
- article
- IEEE Photonics Technology Letters, 2023, 35 (2), pp.101-104. ⟨10.1109/LPT.2022.3225219⟩
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-
- titre
- Impact of Post-Deposition Anneal on ALD Al2O3/etched GaN Interface for Gate-First MOSc-HEMT
- auteur
- Paes Fernandes Paes Pinto Rocha, L. Vauche, B. Mohamad, W. Vandendaele, E. Martinez, M. Veillerot, T. Spelta, N. Rochat, R. Gwoziecki, B. Salem, V. Sousa
- article
- Power Electronic Devices and Components, 2023, pp.100033. ⟨10.1016/j.pedc.2023.100033⟩
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-
- titre
- Force tuning through regulation of clathrin-dependent integrin endocytosis
- auteur
- Alexander Kyumurkov, Anne-Pascale Bouin, Mathieu Boissan, Sandra Manet, Francesco Baschieri, Mathilde Proponnet-Guerault, Martial Balland, Olivier Destaing, Myriam Régent-Kloeckner, Claire Calmel, Alice Nicolas, François Waharte, Philippe Chavrier, Guillaume Montagnac, Emmanuelle Planus, Corinne Albiges-Rizo
- article
- Journal of Cell Biology, 2023, 222 (1), pp.100033. ⟨10.1083/jcb.202004025⟩
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-
- titre
- Investigation of the magnetron balancing effect on the ionized flux fraction and deposition rate of sputtered titanium species for the high-power impulse magnetron sputtering pulses of different lengths
- auteur
- Anna Kapran, Vinicius Antunes, Zdeněk Hubička, Charles Ballage, Tiberiu Minea
- article
- Journal of Vacuum Science & Technology A, 2023, 41 (1), ⟨10.1116/6.0002309⟩
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-
- titre
- Programmable frequency-bin quantum states in a nano-engineered silicon device
- auteur
- Marco Clementi, Federico Andrea Sabattoli, Houssein El Dirani, Laurene Youssef, Massimo Borghi, Linda Gianini, Noemi Tagliavacche, Nicola Bergamasco, Camille Petit-Etienne, Erwine Pargon, J. Sipe, Marco Liscidini, Corrado Sciancalepore, Matteo Galli, Daniele Bajoni
- article
- Nature Communications, 2023, 14 (1), pp.176. ⟨10.1038/s41467-022-35773-6⟩
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-
- titre
- Recent micro-LED technology for display applications based on GaN pendeo-epitaxy using SOI nanopillars
- auteur
- S. Hammami, N. Labchir, K. Baril, P.M. Coulon, B. Alloing, J. Zuniga Perez, C. Gourgon, M. Charles, L. Dupré
- article
- Proceedings Volume PC12421, 2023, ⟨10.1117/12.2649730⟩
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-
- titre
- Post-deposition annealing challenges for ALD Al$_{0.5}$Si$_{0.5}$O$_x$/n-GaN MOS devices
- auteur
- Pedro Fernandes Paes Pinto Rocha, Laura Vauche, Messaoud Bedjaoui, Stephane Cadot, Blend Mohamad, William Vandendaele, Eugénie Martinez, Nicolas Gauthier, Francois Pierre, Helen Grampeix, Gauthier Lefevre, Bassem Salem, Véronique Sousa
- article
- Solid-State Electronics, 2023, 209, pp.108780. ⟨10.1016/j.sse.2023.108780⟩
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-
- titre
- Hierarchical Structure of Gold and Carbon Electrode for Bilirubin Oxidase-Biocathode
- auteur
- Yuto Nakagawa, Seiya Tsujimura, Marc Zelsmann, Abdelkader Zebda
- article
- Biosensors, 2023, 13 (4), pp.482. ⟨10.3390/bios13040482⟩
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-
- titre
- Generation of frequency-bin-encoded ququarts in a programmable silicon photonic chip
- auteur
- Massimo Borghi, Noemi Tagliavacche, Federico Andrea Sabattoli, Houssein El Dirani, Laurene Youssef, Camille Petit-Etienne, Erwine Pargon, Corrado Sciancalepore, J.E. Sipe, Marco Liscidini, Matteo Galli, Daniele Bajoni
- article
- CLEO: Fundamental Science, 2023, pp.FM4E.2. ⟨10.1364/CLEO_FS.2023.FM4E.2⟩
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-
- titre
- Reconfigurable Silicon Photonic Chip for the Generation Of Frequency-Bin-Entangled Qudits
- auteur
- Massimo Borghi, Noemi Tagliavacche, Federico Andrea Sabattoli, Houssein El Dirani, Laurene Youssef, Camille Petit-Etienne, Erwine Pargon, J.E. Sipe, Marco Liscidini, Corrado Sciancalepore, Matteo Galli, Daniele Bajoni
- article
- Physical Review Applied, 2023, 19 (6), pp.064026. ⟨10.1103/PhysRevApplied.19.064026⟩
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-
- titre
- Controlled nanopatterning and plasma etching of sub-100 nm nanopillars for low dislocation density of pendeo-epitaxy GaN: Towards MicroDisplays
- auteur
- S. Hammami, M. Wehbe, S. Labau, C. Petit-Etienne, B. Alloing, L. Dupré, M. Charles, J.Zuniga Perez, C. Gourgon
- article
- Proceedings Volume PC12421, 2023, Proceedings Volume PC12421, pp.Gallium Nitride Materials and Devices XVIII
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-
- titre
- High figure-of-merit in Al-doped ZnO thin films grown by ALD through the Al content adjustment
- auteur
- Quang Chieu Bui, Vincent Consonni, Sarah Boubenia, Guillaume Gay, Corinne Perret, Mohammed Zeghouane, Sebastien Labau, Hervé Roussel, Xavier Mescot, Gustavo Ardila, Bassem Salem
- article
- Materialia, 2023, 31, pp.101863. ⟨10.1016/j.mtla.2023.101863⟩
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-
- titre
- Self-organization and dewetting kinetics in sub-10 nm diblock copolymer line/space lithography
- auteur
- Xavier Chevalier, Gwenaelle Pound-Lana, Cindy Gomes Correia, Sébastien Cavalaglio, Benjamin Cabannes-Boué, Frédéric Restagno, Guillaume Miquelard-Garnier, Sébastien Roland, Christophe Navarro, Guillaume Fleury, Marc Zelsmann
- article
- Nanotechnology, 2023, 34 (17), pp.175602. ⟨10.1088/1361-6528/acb49f⟩
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-
- titre
- Correlation between the Dimensions and Piezoelectric Properties of ZnO Nanowires Grown by PLI-MOCVD with Different Flow Rates
- auteur
- Quang Chieu Bui, Vincent Consonni, Carmen Jiménez, Hervé Roussel, Xavier Mescot, Bassem Salem, Gustavo Ardila
- article
- Nanoenergy Advances, 2023, 3, pp.220 - 235. ⟨10.3390/nanoenergyadv3030011⟩
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-
- titre
- Towards superradiant spontaneous four wave mixing in an array of silicon microresonators
- auteur
- Massimo Borghi, Federico Andrea Sabattoli, Houssein El Dirani, Laurene Youssef, Camille Petit-Etienne, Erwine Pargon, Corrado Sciancalepore, J.E. Sipe, Amideddin Mataji-Kojouri, Marco Liscidini, Matteo Galli, Daniele Bajoni
- article
- CLEO: Science and Innovations, 2023, pp.JTh2A.42. ⟨10.1364/CLEO_AT.2023.JTh2A.42⟩
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-
- titre
- Recent developments and prospects of fully recessed MIS gate structures for GaN on Si power transistors
- auteur
- Pedro Fernandes Paes Pinto Rocha, Laura Vauche, Patricia Pimenta-Barros, Simon Ruel, René Escoffier, Julien Buckley
- article
- Energies, 2023, 16 (7), ⟨10.3390/en16072978⟩
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-
- titre
- Hybridization of ellipsometry and Xps energy loss: robust band gap and broadband optical constants determination of SiGe, HfON and MoOx thin films
- auteur
- Théo Levert, Alter Zakhtser, Julien Duval, Chloé Raguenez, Stéphane Verdier, Delphine Le Cunff, Jean-Hervé Tortai, Bernard Pelissier
- article
- Microelectronic Engineering, 2023, 283, pp.112117. ⟨10.2139/ssrn.4554544⟩
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-
- titre
- Monolithically integrated photonic crystal surface emitters on silicon with a vortex beam by using bound states in the continuum
- auteur
- Haochuan Li, Mingchu Tang, Taojie Zhou, Wentao Xie, Renjie Li, Yuanhao Gong, Mickael Martin, Thierry Baron, Siming Chen, Huiyun Liu, Zhaoyu Zhang
- article
- Optics Letters, 2023, 48 (7), pp.1702. ⟨10.1364/OL.484472⟩
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-
- titre
- CONTROLLING DOPING PROFILES OF SILICON NANOWIRES FOR QUANTUM COMPUTING AND PHOTOVOLTAICS USING MICRO-RAMAN SPECTROSCOPY
- auteur
- Serrano J., Hinojosa Chasiquiza V.G., Mediavilla Martínez I., Jiménez J., Bricio D., Pérez-Murano F., Llobet J., Antonja J., Bausells J., Bassani F., Salem B., Baron T.
- article
- Acta Microscopica, 2023, 32 (2), pp.8-9
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-
Conference papers
- titre
- NIL, Nanopatterning and etching of nanopillars for GaN-based microLEDs
- auteur
- N. Labchir, S. Hammami, K. Baril, M. Wehbe, S. Labau, C. Petit-Etienne, B. Alloing, M. Charles, J. Zuniga Perez, C. Gourgon
- article
- 2023 MRS Fall Meeting & Exhibit, Nov 2023, Boston, Massachusetts, USA, United States
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-
- titre
- Comparative study between undoped and doped ferroelectric HfO2: Role of Gd-doping in stabilizing the ferroelectric phase and reducing the crystallization temperature
- auteur
- L. Alrifai, E. Skopin, N. Guillaume, P. Gonon, A. Bsiesy.
- article
- RAFALD, Nov 2023, LILLE, France
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- titre
- Improving Piezoelectric Properties of ZnO Thin Films Deposited via AP-SALD with Texture Enhancement
- auteur
- Hayri Okcu, Gustavo Ardila, Herve Roussel, Xavier Mescot, Carmen Jiménez, David Munoz-Rojas
- article
- Workshop RAFALD, Nov 2023, Lille, France
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-
- titre
- Plasma etching of high aspect ratio GaN and AlN nanopillars for the next generation of ultraviolet light-emitting diodes
- auteur
- L. Jaloustre, S. Sales De Mello, S. Labau, C. Petit-Etienne, E. Pargon
- article
- 44rd International Symposium on dry process DPS 2023, Nov 2023, NAGOYA, Japan
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-
- titre
- Cellular Interaction with Low-Frequency-Vibrating Magnetic Nanoparticles in Bio-Mimetic Mechanical Environment.
- auteur
- A. Visona, B. Dieny, R. Morel, H. Joisten, A. Nicolas
- article
- 21ème Colloque Louis Néel, Nov 2023, Sète, France
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-
- titre
- Strain and lattice tilt mapping of GaN at early stage of coalescence by synchrotron x-ray nano diffraction
- auteur
- M. Wehbe, M. Charles, D. Pino Munoz, K. Baril, B. Alloing, J. Zuniga Perez, N. Labchir, C. Gourgon, E. Zatterin, P. Gergaud
- article
- 14th International Conference on Nitride Semiconductors (ICNS-14), Nov 2023, Fukuoka, Japan
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-
- titre
- Multiscale Integration in Biological Systems
- auteur
- Alice Nicolas
- article
- Using mechanics to understand cell adhesion in biology, Nov 2023, PARIS, France
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-
- titre
- Etude des interactions plasma-surface par dynamique moléculaire : quels apports pour la modélisation des plasmas froids ?
- auteur
- Emilie Despiau-Pujo
- article
- 2èmes Journées du GDR EMILI, Oct 2023, NANCY, France
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-
- titre
- Carbon resist microlens etching in DF-CCP CF4 plasmas: Comparison between modeling and experiments
- auteur
- P Ducluzaux, D Ristoiu, G Cunge, E Despiau-Pujo
- article
- 69th American Vacuum Society (AVS) International Symposium, Oct 2023, PORTLAND, United States
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-
- titre
- Optical trapping for nondestructive bacterial membrane characterization at the single-cell scale
- auteur
- N. Villa, E. Tartari, S. Glicenstein, E. Picard, P. Marcoux, M. Zelsmann, G. Resch, E. Hadji, R. Houdré
- article
- Annual congress of the French Society for Microbiology - SFM 2023, Oct 2023, Rennes, France
- Accès au bibtex
-
- titre
- III-V monolithic integration for optoelectronic devices and new developments on 2D materials
- auteur
- T Baron, V Letka, H Hijazi, H Mehdi, L Mallet Dida, P Hauchecorne, M Martin, N Massara, P Gaillard, Jeremy Da Fonseca, J Moeyaert, V Loup, J Mignot, F Bassani, B Salem, M Tang, S Chen, H Liu, C Jany
- article
- 2023 IEEE Nanotechnology Materials and Devices Conference (NMDC), Oct 2023, Salerno, Italy
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-
- titre
- Comparative study between undoped and doped ferroelectric HfO2: Role of Gd-doping in stabilizing the ferroelectric phase and reducing the crystallization temperature
- auteur
- L. Alrifai, E. Skopin, N. Guillaume, P. Gonon, A. Bsiesy
- article
- E-MRS, Sep 2023, VARSOVIE, Poland
- Accès au bibtex
-
- titre
- Mid-IR linear optical properties of hybrid Sb2S3 /SiGe waveguides
- auteur
- Adam Bieganski, Marko Perestjuk, Remi Armand, Alberto Della Torre, Vincent Reboud, Jean-Michel Hartmann, Jean-Herve Tortai, Thach Nguyen, Arnan Mitchell, Christelle Monat, Sébastien Cueff, Christian Grillet
- article
- 11th EOS (European Optical Society) Annual Meeting (EOSAM 2023), Sep 2023, Dijon, France. pp.01013, ⟨10.1051/epjconf/202328701013⟩
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-
- titre
- Optical trapping of bacteria for ultrafast bacteriophage lysis detection at the single-cell level
- auteur
- H. de Villiers de La Noue, E. Tartari, N. Villa, S. Glicenstein, E. Picard, E. Hadji, P. Marcoux, M. Zelsmann, R. Houdré, G. Resch
- article
- 25th Biennial Evergreen International Phage Meeting, Aug 2023, Olympia (USA), United States
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-
- titre
- On-chip optical nanotweezers for bacteria and bacteriophages viruses trapping and susceptibility testing
- auteur
- R. Houdré, N. Villa, E. Tartari, S. Glicenstein, E. Picard, P. Marcoux, M. Zelsmann, G. Resch, E. Hadji
- article
- SPIE Optics + Photonics conference - Optical Trapping and Optical Micromanipulation XX, Aug 2023, San Diego (CA), United States
- Accès au bibtex
-
- titre
- Optical trapping of bacteria for ultrafast bacteriophage lysis detection at the single-cell level
- auteur
- N. Villa, H. de Villiers de La Noue, E. Tartari, S. Glicenstein, E. Picard, E. Hadji, P. Marcoux, M. Zelsmann, G. Resch, R. Houdré
- article
- Swiss Society for Microbiology annual congress - SSM 2023, Aug 2023, Lausanne (Suisse), Switzerland
- Accès au bibtex
-
- titre
- Optical trapping of bacteria for ultrafast bacteriophage lysis detection at the single-cell level
- auteur
- N. Villa, H. de Villiers de La Noue, E. Tartari, S. Glicenstein, E. Picard, E. Hadji, P. Marcoux, M. Zelsmann, G. Resch, R. Houdré
- article
- Annual congress of the Swiss Society for Microbiology - SSM 2023, Aug 2023, Lausanne, Switzerland
- Accès au bibtex
-
- titre
- Comparison between Doped and Undoped Ferroelectric HfO2
- auteur
- L. Alrifai, E. Skopin, N. Guillaume, P. Gonon, A. Bsiesy
- article
- The AVS 23rd International Conference on Atomic Layer Deposition (ALD 2023), Jul 2023, SEATTLE, United States
- Accès au bibtex
-
- titre
- Propriétés optiques linéaires des guides d'ondes hybrides Sb2S3/SiGe dans le moyen-infrarouge
- auteur
- Adam Bieganski, Marko Perestjuk, Rémi Armand, Alberto Della Torre, Vincent Reboud, Jean-Michel Hartmann, Jean-Hervé Tortai, Thach Nguyen, Arnan Mitchell, Christelle Monat, Sébastien Cueff, Christian Grillet
- article
- JOURNÉES NATIONALES d’OPTIQUE GUIDÉE JNOG 2023, Jul 2023, Lyon, France
- Accès au texte intégral et bibtex
-
- titre
- Programmable Silicon Photonic Sources of Frequency Bin Entangled Qubits and Qudits
- auteur
- Massimo Borghi, Noemi Tagliavacche, Marco Clementi, Federico Andrea Sabattoli, Linda Gianini, Houssein El Dirani, Laurene Youssef, Nicola Bergamasco, Camille Petit-Etienne, Erwine Pargon, J.E. Sipe, Marco Liscidini, Corrado Sciancalepore, Matteo Galli, Daniele Bajoni
- article
- 2023 23rd International Conference on Transparent Optical Networks (ICTON), Jul 2023, Bucarest, Romania. pp.1-4, ⟨10.1109/ICTON59386.2023.10207478⟩
- Accès au bibtex
-
- titre
- Controllable generation of frequency-encoded qubits and qudits using silicon photonics nano-engineered devices
- auteur
- M. Borghi, N. Tagliavacche, F.A. Sabattoli, H. El Dirani, L. Youssef, C. Petit-Etienne, E. Pargon, C. Sciancalepore, J.E. Sipe, M. Liscidini, M. Galli, D. Bajoni
- article
- International Conference on Metamaterials, Photonic Crystals and Plasmonics, Jul 2023, Paris, France
- Accès au bibtex
-
- titre
- Microcavités résonantes sur guide d’onde pour le piégeage de microorganismes
- auteur
- S. Glicenstein, E. Tartari, N. Villa, E. Picard, P. Marcoux, M. Zelsmann, G. Resch, R. Houdré, E. Hadji
- article
- Journées Nationales de l’Optique Guidée - JNOG 2023, Jul 2023, Lyon, France
- Accès au bibtex
-
- titre
- Mid-IR All-Optical Poling in Silicon Nitride Waveguides
- auteur
- Ozan Yakar, Christian Laorgue, Arman Ayan, Jonathan Faugier-Tovar, Pierre Chausse, Camille Petit-Etienne, Erwine Pargon, Quentin Wilmart, Camille-Sophie Brès
- article
- Conference on Lasers and Electro-Optics/Europe – European Quantum Electronics Virtual Conferences (CLEO®/Europe-EQEC 2023), Jun 2023, Munich, Germany
- Accès au bibtex
-
- titre
- Diagnostics of industrial plasma reactors to assist process development
- auteur
- G. Cunge, M. Kogelschatz, E. Pargon, C. Petit-Etienne, O. Joubert, E. Despiau-Pujo
- article
- 13th Plasma Etch and Strip in Microtechnologies workshop (PESM), Jun 2023, Grenoble, France
- Accès au bibtex
-
- titre
- Plasma etching of nanopatterned GaN-based pillars for integrated μLEDs fabrication: application in μDisplays
- auteur
- N. Labchir, S. Hammami, K. Baril, S. Labau, C. Petit-Etienne, B. Alloing, M. Charles, J. Zuniga Perez, C. Gourgon
- article
- 13th Plasma Etch and Strip in Microtechnologies workshop (PESM), Jun 2023, Grenoble, France
- Accès au bibtex
-
- titre
- Improvement of SiN waveguide LER for photonic application
- auteur
- V. Antunes, C. Petit-Etienne, E. Pargon
- article
- 13th Plasma Etch and Strip in Microtechnologies workshop (PESM), Jun 2023, Grenoble, France
- Accès au bibtex
-
- titre
- Helium and hydrogen plasmas interaction with Si3N4 and SiO2 materials for advanced etch applications : A molecular dynamics study
- auteur
- E. Despiau-Pujo, V. Martirosyan, F. Pinzana, C. Petit-Etienne, F. Leverd, O. Joubert
- article
- 13th Plasma Etch and Strip in Microtechnologies workshop (PESM), Jun 2023, Grenoble, France
- Accès au bibtex
-
- titre
- Plasma etching of high aspect ratio GaN and AlN nanopillar arrays for next generation of ultraviolet light-emitting diodes fabrication
- auteur
- Lucas Jaloustre, Saron-Rosy Sales de Mello, Sébastien Labau, Camille Petit-Etienne, Erwine Pargon
- article
- Plasma Etch and Strip in Microelectronics (PESM), 13th International Workshop, Jun 2023, GRENOBLE, France
- Accès au bibtex
-
- titre
- Carbon Resist Microlens Etching in DF-CCP CF4 plasmas: Numerical investigation versus experiments
- auteur
- P Ducluzaux, D Ristoiu, G Cunge, E Despiau-Pujo
- article
- Plasma Etch Strip in Microtechnology (PESM), Jun 2023, GRENOBLE, France
- Accès au bibtex
-
- titre
- Study of the impact of the aspect ratio of etched silicon wafers on the ion angular distribution and ion energy distribution in pulsed plasma etching
- auteur
- Rochdi N., Cunge G., Kogelschatz M., Petit-Etienne C.
- article
- 13th Plasma Etch and Strip in Microtechnologies workshop (PESM), Jun 2023, Grenoble, France
- Accès au bibtex
-
- titre
- Plasma etching processes of a sub-10 nm resolution high-x block copolymer self-assembled into spin-on-carbon trenches
- auteur
- A. F. Putranto, C. Petit-Etienne, B. Cabannes-Boué, G. Fleury, G. Cunge, M. Kogelschatz, M. Zelsmann
- article
- 13th Plasma Etch and Strip in Microtechnologies workshop (PESM), Jun 2023, Grenoble, France
- Accès au bibtex
-
- titre
- Plasma etching of high aspect ratio GaN and AlN nanopillar arrays for next generation of ultraviolet lightemitting diodes fabrication
- auteur
- L. Jaloustre, S. R. Sales De Mello, S. Labau, C. Petit-Etienne, E. Pargon
- article
- 13th Plasma Etch and Strip in Microtechnologies workshop (PESM), Jun 2023, Grenoble, France
- Accès au bibtex
-
- titre
- Plasma etching processes of a sub-10 nm resolution high-X block copolymer self-assembled into spin-on-carbon trenches
- auteur
- Achmad Fajar Putranto, Camille Petit-Etienne, Benjamin Cabannes-Boué, Guillaume Fleury, Gilles Cunge, Martin Kogelschatz, Marc Zelsmann
- article
- PESM 2023, Jun 2023, GRENOBLE, France
- Accès au bibtex
-
- titre
- Cathodoluminescence characterization of the plasma induced damage during the patterning of high aspect ratio GaN nanowires
- auteur
- S. R. Sales De Mello, L. Jaloustre, S. Labau, C. Petit-Etienne, G. Jacopin, E. Pargon
- article
- 13th Plasma Etch and Strip in Microtechnologies workshop (PESM), Jun 2023, Grenoble, France
- Accès au bibtex
-
- titre
- Helium and hydrogen plasmas interaction with Si3N4 and SiO2 materials for advanced etch applications: A molecular dynamics study
- auteur
- E Despiau-Pujo, V Martirosyan, C Petit-Etienne, F Pinzan, F Leverd, O Joubert
- article
- Plasma Etch Strip in Microtechnology (PESM), Jun 2023, GRENOBLE, France
- Accès au bibtex
-
- titre
- Controllable emission of frequency-encoded qudits in silicon photonics devices
- auteur
- Massimo Borghi, Noemi Tagliavacche, Federico Andrea Sabattoli, Houssein El Dirani, Laurene Youssef, Camille Petit-Etienne, Erwine Pargon, Corrado Sciancalepore, J.E. Sipe, Marco Liscidini, Matteo Galli, Daniele Bajoni
- article
- PHOTONICS NORTH 2023, Jun 2023, Montreal, Canada
- Accès au bibtex
-
- titre
- Wire-based UV-µLED using GaN and AlN microwires as template
- auteur
- Lucie Valera, Vincent Grenier, Sylvain Finot, Lucas Jaloustre, Saron R.S. De Mello, Erwine Pargon, Camille Petit-Etienne, Joël Eymery, Gwénolé Jacopin, Christophe Durand
- article
- The 6th International Workshop on Ultraviolet Materials and Devices (IWMUND VI 2023), Jun 2023, METZ, France
- Accès au bibtex
-
- titre
- On-chip optical nanotweezers for phage trapping and identification
- auteur
- S. Glicenstein, N. Villa, E. Tartari, E. Picard, P. Marcoux, M. Zelsmann, G. Resch, R. Houdré, E. Hadji
- article
- CLEO/Europe-EQEC Conference - Photonic Applications in Biology and Medicine, Jun 2023, Munich (Allemagne), Germany
- Accès au bibtex
-
- titre
- On-chip nanotweezers for ultrafast antibacterial susceptibility testing at the single-cell scale: the case of bacteriophages
- auteur
- E. Tartari, S. Glicenstein, N. Villa, E. Picard, E. Hadji, P. Marcoux, M. Zelsmann, G. Resch, R. Houdré
- article
- CLEO/Europe-EQEC Conference - Photonic Applications in Biology and Medicine, Jun 2023, Munich (Allemagne), Germany
- Accès au bibtex
-
- titre
- Plasma etching processes of a sub-10 nm resolution high-χ block copolymer self-assembled into spin-on-carbon trenches
- auteur
- A. F. Putranto, C. Petit-Etienne, B. Cabannes-Boué, G. Fleury, G. Cunge, M. Kogelschatz, M. Zelsmann
- article
- Plasma Etch and Strip for Microtechnology workshop – PESM 2023, Jun 2023, Grenoble, France
- Accès au bibtex
-
- titre
- Analyse angulaire parallèle en XPS pour l’étude de la courbure de bande de la surface du GaN selon le dopage et les traitements de surface
- auteur
- Laurent Xu, Sophie Guillemin, Jérôme Biscarrat, Bernard Pelissier
- article
- JNPSE 2023, May 2023, SOPHIA ANTIPOLIS, France
- Accès au bibtex
-
- titre
- Large Diameter Epi-Ready InP on Si (InPOSi) Substrates
- auteur
- B. Ghyselen, Fx Darras, O. Mourey, C. Navone, L. Sanchez, C. Di Nardo, C. Crobu, L. Toselli, B. Rousset, J. Dechamp, F. Milesi, L. Gabette, F. Fournel, J. Decobert, C. Besancon, M. Martin, J. Moeyaert, T. Baron
- article
- International Conference on Compound Semiconductor Manufacturing Technology, May 2023, Orlando, United States
- Accès au bibtex
-
- titre
- On-Chip Optical Nanotweezers for Ultrafast Antibiotic and Bacteriophage Susceptibility Testing
- auteur
- Villa N., Tartari E., Glicenstein S., Picard E., Marcoux P., Zelsmann M., Resch G., Hadji E., Houdré R.
- article
- Optica Biophotonics Congress: Optics in the Life Sciences – OLS 2023, Apr 2023, Vancouver (Canada), Canada
- Accès au bibtex
-
- titre
- On Chip Optical Nanotweezers for Ultrafast Antibiotic and Bacteriophage Susceptibility Testing
- auteur
- N. Villa, E. Tartari, S. Glicenstein, E. Picard, P. Marcoux, M. Zelsmann, G. Resch, E. Hadji, R. Houdré
- article
- Optica Biophotonics Congress: Optics in the Life Sciences – OLS 2023, Apr 2023, Vancouver (Canada), Canada
- Accès au bibtex
-
- titre
- Crossbar Arrays based on “Wall” Phase-Change Memory (PCM) and Ovonic- Threshold Switching (OTS) Selector: a Device Integration Challenge Towards New Computing Paradigms in Embedded Applications
- auteur
- G. Bourgeois, V. Meli, R. Antonelli, C. Socquet-Clerc, T. Magis, F. Laulagnet, B. Hemard, M. Bernard, L. Fellouh, P. Dezest, J. Krawczyk, S. Dominguez, F. Baudin, J. Garrione, C. Pellissier, J.-A. Dallery, N. Castellani, M.-C. Cyrille, C. Charpin, F. Andrieu, G. Navarro
- article
- IEEE EDTM, Mar 2023, SEOUL, South Korea
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- titre
- Optical trapping and manipulation of biological objects with photonic crystal nanotweezers
- auteur
- N. Villa, S. Glicenstein, E. Tartari, M. Tardif, E. Picard, P. Marcoux, M. Zelsmann, G. Resch, R. Houdré, E. Hadji
- article
- Photonic and Electromagnetic Crystal Structures conference - PECS-XIII, mars 2023, Tokyo (Japon), Mar 2023, Tokyo (JP), Japan
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- titre
- Controlled nanopatterning and plasma etching of sub-100 nm nanopillars for low dislocation density of pendeo-epitaxy GaN: Towards MicroDisplays,
- auteur
- N. Labchir, S. Hammami, K. Baril, M. Wehbe, S. Labau, C. Petit-Etienne, B. Alloing, M. Charles, J. Zuniga Perez, C. Gourgon
- article
- SPIE Conference: Gallium Nitride Materials and Devices XVIII, Jan 2023, San Francisco, USA, United States
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- titre
- Controlled nanopatterning and plasma etching of sub-100 nm nanopillars for low dislocation density of pendeo-epitaxy GaN: Towards MicroDisplays
- auteur
- S. Hammami, M. Wehbe, S. Labau, C. Petit-Etienne, B. Alloing, L. Dupré, M. Charles, J.Zuniga Perez, C. Gourgon
- article
- SPIE OPTO, 2023, SAN FRANCISCO, United States
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- titre
- Recent micro-LED technology for display applications based on GaN pendeo-epitaxy using SOI nanopillars
- auteur
- S. Hammami, N. Labchir, K. Baril, P.M. Coulon, B. Alloing, J. Zuniga Perez, C. Gourgon, M. Charles, L. Dupré
- article
- SPIE OPTO, 2023, SAN FRANCISCO, United States
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- titre
- Glioblastoma Cancer Cells Destruction by Mechanical Stimulation Using Magnetic Particles: In vitro versus In vivo Assays and Investigations in 3D Gels
- auteur
- C. Naud, C. Thébault, A. Visonà, H. Joisten, F. Berger, M. Carrière, Y. Hou, A. Nicolas, B. Dieny, R. Morel
- article
- IEEE International Magnetics Conference InterMag 2023, 2023, Sendai, Japan
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- titre
- Towards innovative treatments of cancers and diabetes based on magneto-mechanical stimulation of cells
- auteur
- C. Naud, C. Thébault, S. Ponomareva, A. Visonà, H. Joisten, F. Berger, M. Carrière, Y. Hou, R. Morel, A. Nicolas, B. Dieny.
- article
- Trends in MAGnetism, 2023, Rome, Italy
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Patents
- titre
- Procédé de détection d'une sensibilité de phages ou d'antibiotiques vis-à-vis d'une souche bactérienne
- auteur
- P. Marcoux, M. Zelsmann, Y. Roupioz, L. O’connell, E. Picard
- article
- France, N° de brevet: N° FR2302364. 2023
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- titre
- Gravitational method for assembling particles
- auteur
- David Peyrade, Anthony Leonard, Julien Cordeiro, Olivier Lecarme
- article
- United States, Patent n° : 11559825. 2023
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Poster communications
- titre
- Trapping of biological objects on SOI guided optical micro-resonators
- auteur
- K. Arfaoui, M. Zelsmann, E. Picard, P.R. Marcoux, V. Stambouli
- article
- Journée anuelle du GdR BIOMIMM, Dec 2023, GRENOBLE, France
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- titre
- Soft matrix maintains the molecular traits of pulmonary basal cells
- auteur
- Pierre-Alexandre Laval, Marie Piecyk, Paul Le Guen, Mirela-Diana Ilie, Joelle Fauvre, Isabelle Coste, Toufic Renno, N Aznar, Celine Hadji, Camille Migdal, Cedric Duret, Philippe Bertolino, Carole Ferraro-Peyret, Alice Nicolas, Cedric Chaveroux
- article
- Journée collaborative Lyon Biopole, Oct 2023, GRENOBLE, France
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- titre
- Controlled wettability of mixed surfaces for enhanced water harvesting
- auteur
- Joyce Estephan, Marie Panabiere, Camille Petit-Etienne, Leo Bon, Jean-Herve Tortai, Cécile Gourgon
- article
- MNE2023 - Micro and Nano Engineering Conference, Sep 2023, Berlin, Germany
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- titre
- Programming Characteristics in Innovative 1S1R “DPSA” Wall PCM + OTS Devices
- auteur
- Renzo Antonelli, Guillaume Bourgeois, Simon Martin, Valentina Meli, Niccolò Castellani, Antoine Salvi, François Andrieu, Abdelkader Souifi, Gabriele Navarro
- article
- European Phase Change and Ovonic Symposium (E\PCOS), Sep 2023, ROME, Italy
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- titre
- Optical trapping of bacteria for ultrafast bacteriophage lysis detection at the single-cell level
- auteur
- H. de Villiers de La Noue, E. Tartari, N. Villa, S. Glicenstein, E. Picard, E. Hadji, P.R. Marcoux, M. Zelsmann, R. Houdré, G. Resch
- article
- Viruses of Microbes 2023 conference, Jul 2023, Tbilisi, Georgia
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- titre
- Aspect ratio impact of etched silicon wafers on ion energy distribution in plasma etching
- auteur
- Nouhaila Rochdi, Martin Kogelschatz, Camille Petit-Etienne, Gilles Cunge
- article
- PESM, Jun 2023, GRENOBLE, France
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- titre
- Plasma etching of nanopatterned GaN-based pillars for integrated μLEDs fabrication: application in μDisplays
- auteur
- N. Labchir, S. Hammami, K. Baril, M. Wehbe, S. Labau, C. Petit-Etienne, B. Alloing, M. Charles, J. Zuniga Perez, C. Gourgon
- article
- PLASMA ETCH AND STRIP MICROTECHNOLOGY (PESM 2023), Jun 2023, Grenoble, France
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- titre
- Cellular Interaction with Low-Frequency-Vibrating Magnetic Nanoparticles in Bio-Mimetic Mechanical Environment
- auteur
- A. Visonà, B. Dieny, R. Morel, H. Joisten, A. Nicolas
- article
- École Résidentielle Interdisciplinaire en Nanosciences et Nanotechnologies, 2023, Saint-Jacut de la Mer, France
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Theses
- titre
- Quantitative analysis of the mechanical properties of healthy and cancer lung tissue for thedesign of mechano-mimetic culture substrates
- auteur
- Fabien Delebosse
- article
- Physics [physics]. Université Grenoble Alpes [2020-..], 2023. English. ⟨NNT : 2023GRALY048⟩
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- titre
- Procédés de gravure à faible endommagement des surfaces : application à la gravure SiN sur AlGaN/GaN pour les transistors à haute mobilité électronique
- auteur
- Oleh Fesiienko
- article
- Sciences de l'ingénieur [physics]. Université de Sherbrooke (Québec, Canada); Université Grenoble Alpes, 2023. Français. ⟨NNT : ⟩
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- titre
- Developpement and implementation of nanocomposites as high permittivity thin films
- auteur
- Cédric Lapeyronie
- article
- Micro et nanotechnologies/Microélectronique. Université Grenoble Alpes [2020-..], 2023. Français. ⟨NNT : 2023GRALT039⟩
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- titre
- Micro-nanotechnology processes for the realization of imaging spectrometers dedicated to atmospheric survey
- auteur
- Nadine Gerges
- article
- Micro et nanotechnologies/Microélectronique. Université Grenoble Alpes [2020-..], 2023. Français. ⟨NNT : 2023GRALT058⟩
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Preprints, Working Papers, ...
- titre
- 2D cell culture on soft hydrogel drives an endoplasmic reticulum stress-dependent S quiescence underlying molecular traits of pulmonary basal cells
- auteur
- Pierre-Alexandre Laval, Marie Piecyk, Paul Le Guen, Mirela Ilie, Joelle Fauvre, Isabelle Coste, Toufic Renno, N Aznar, Stéphane Ansieau, Celine Hadji, Camille Migdal, Cedric Duret, Philippe Bertolino, Carole Ferraro-Peyret, Alice Nicolas, Cedric Chaveroux
- article
- 2023
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