2025

Journal articles

titre

Performance optimization of ZnO nanowire/parylene-C composite-based piezoelectric nanogenerators

auteur

Manuel Manrique, Vincent Consonni, Gustavo Ardila, Aymen Ghouma, Gwenaël Le Rhun, Bassem Salem

article

Nano Trends, 2025, 9, pp.100066. ⟨10.1016/j.nwnano.2024.100066⟩

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2024

Journal articles

titre

Incorporation and Compensatory Doping Processes of Cu into ZnO Nanowires Investigated at the Local Scale

auteur

Manuel Manrique, Bassem Salem, Eirini Sarigiannidou, Hervé Roussel, Fabrice Wilhelm, Fabrice Donatini, Véronique Jacob, Gwenaël Le Rhun, Vincent Consonni

article

Small Structures, 2024, pp.2400534. ⟨10.1002/sstr.202400534⟩

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titre

Magnetism for mechanobiology and related biomedical applications

auteur

Bernard Diény, Robert Morel, Hélène Joisten, Cécile Naud, Alice Nicolas, Andrea Visonà, Patricia Obeïd, Stéphane Belin, François Berger

article

Physical Review Applied, In press

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titre

Precision defect integrated graphene as reliable support membrane for high-resolution cryo-transmission electron microscopy

auteur

Kshipra Sharma, Uriel López-Sánchez, Hugues Nury, Guy Schoehn, Claudine Darnault, Cécile Breyton, Camille Petit-Etienne, Céline Vergnaud, Wai Li Ling, Gilles Cunge, Hanako Okuno

article

Carbon, 2024, 230, pp.119625. ⟨10.1016/j.carbon.2024.119625⟩

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titre

Precision defect integrated graphene as reliable support membrane for high-resolution cryo-transmission electron microscopy

auteur

Kshipra Sharma, Uriel López-Sánchez, Hugues Nury, Guy Schoehn, Claudine Darnault, Cécile Breyton, Camille Petit-Etienne, Céline Vergnaud, Wai Li Ling, Gilles Cunge, Hanako Okuno

article

Carbon, 2024, 230, pp.119625. ⟨10.1016/j.carbon.2024.119625⟩

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titre

Spectroscopic investigation of oxidation in GaSe 2D layered materials

auteur

Badreddine Smiri, Rémy Bernardin, Mickael Martin, Hervé Roussel, Jean Luc Deschanvres, Emmanuel Nolot, Névine Rochat, Franck Bassani, Thierry Baron, Bernard Pelissier

article

Microelectronic Engineering, 2024, 294, pp.112256. ⟨10.1016/j.mee.2024.112256⟩

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titre

Passivating and low damaging plasma etching of GaN using Cl 2 and SiCl 4 for recessed gate MOSc-HEMT devices

auteur

David Cascales, Patricia Pimenta Barros, Eugenie Martinez, Riadh Ben Abbes, Bassem Salem

article

Semiconductor Science and Technology, 2024, 39 (11), pp.115026. ⟨10.1088/1361-6641/ad8303⟩

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titre

Fabrication of high aspect ratio AlN nanopillars by top-down approach combining plasma etching and wet etching

auteur

Lucas Jaloustre, Saron Sales de Mello, Sébastien Labau, Camille Petit-Etienne, Erwine Pargon

article

Materials Science in Semiconductor Processing, 2024, 181, pp.108615. ⟨10.1016/j.mssp.2024.108615⟩

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titre

Plasma-enhanced atomic layer deposition of silicon nitride thin films with different substrate biasing using Diiodosilane precursor

auteur

Mohammed Zeghouane, Gauthier Lefevre, Sébastien Labau, Mohammed-Bilal Hachemi, Franck Bassani, Bassem Salem

article

Materials Science in Semiconductor Processing, 2024, 184 (5), pp.108851. ⟨10.1016/j.mssp.2024.108851⟩

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titre

Dimensionality effect on surface states and piezoelectric behavior in ZnO nanowires grown by pulsed-liquid injection metal–organic chemical vapor deposition

auteur

Lisa Legardinier, Gustavo Ardila, Quang Chieu Bui, Isabelle Gélard, Carmen Jiménez, Thomas Jalabert, Manuel Manrique, Bassem Salem, Sébastien Labau, Matthieu Weber, Fabrice Donatini, Vincent Consonni

article

ACS Applied Electronic Materials, 2024, 6 (9), pp.6344-6355. ⟨10.1021/acsaelm.4c00549⟩

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titre

Effective InAsP dislocation filtering layers for InP heteroepitaxy on CMOS-standard (001) silicon

auteur

Shangfeng Liu, Bogdan-Petrin Ratiu, Hui Jia, Zhao Yan, Ka Ming Wong, Mickael Martin, Mingchu Tang, Thierry Baron, Huiyun Liu, Qiang Li

article

Applied Physics Letters, 2024, 125, pp.082102. ⟨10.1063/5.0219507⟩

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titre

Mobility Extraction Using Improved Resistance Partitioning Methodology for Normally-OFF Fully Vertical GaN Trench MOSFETs

auteur

Valentin Ackermann, Blend Mohamad, Hala El Rammouz, Vishwajeet Maurya, Eric Frayssinet, Yvon Cordier, Matthew Charles, Gauthier Lefevre, Julien Buckley, Bassem Salem

article

Electronics, 2024, 13 (12), pp.2350. ⟨10.3390/electronics13122350⟩

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titre

Controlled wettability of biphilic patterned surfaces for enhanced atmospheric water harvesting

auteur

Joyce Estephan, Marie Panabière, Camille Petit-Etienne, Sebastien Labau, Léo Bon, Jean-Hervé Tortai, Cécile Gourgon

article

Micro and Nano Engineering, 2024, 23, pp.100255. ⟨10.1016/j.mne.2024.100255⟩

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titre

Development of Nanopillar Arrays Nanopatterning Without Lift‐Off for Transferable GaN‐Based µLEDs

auteur

Nabil Labchir, Saber Hammami, Kilian Baril, Maya Wehbe, Sebastien Labau, Jerome Reche, Camille Petit-Etienne, Marie Panabière, Pierre‐marie Coulon, Blandine Alloing, Daniel Pino Munoz, Jesus Zuniga-Perez, Patrice Gergaud, Matthew Charles, Cécile Gourgon

article

Advanced Materials Technologies, 2024, ⟨10.1002/admt.202400166⟩

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titre

Controlled Anisotropic Wetting by Plasma Treatment for Directed Self-Assembly of High-χ Block Copolymers

auteur

Achmad Fajar Putranto, Camille Petit-Etienne, Sébastien Cavalaglio, Benjamin Cabannes-Boué, Marie Panabiere, Gianluca Forcina, Guillaume Fleury, Martin Kogelschatz, Marc Zelsmann

article

ACS Applied Materials & Interfaces, 2024, 16 (21), pp.27841-27849. ⟨10.1021/acsami.4c01657⟩

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titre

PbS quantum dot thin film dry etching

auteur

Nicolas Le Brun, Gilles Cunge, Pascal Gouraud, Camille Petit-Etienne, Linda Parmigiani, Stéphane Allegret-Maret, Denis Guiheux, Jonathan Steckel

article

Journal of Vacuum Science & Technology A, 2024, 42 (3), ⟨10.1116/6.0003335⟩

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titre

Thermal catalytic etching of diamond by double-metal layers

auteur

D.D. Tran, C. Mannequin, M. Bonvalot, A. Traoré, H. Mariette, M. Sasaki, Etienne Gheeraert

article

Diamond and Related Materials, 2024, 145, pp.111075. ⟨10.1016/j.diamond.2024.111075⟩

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titre

Organized AlN Nanowire Arrays by Hybrid Approach of Top-Down Processing and MOVPE Overgrowth for Deep UV Emission Devices

auteur

Lucie Valera, Lucas Jaloustre, Valérie Reita, Saron R.S. de Mello, Edith Bellet-Amalric, Camille Petit-Étienne, Erwine Pargon, Gwenolé Jacopin, Christophe Durand

article

ACS Applied Nano Materials, 2024, 7 (9), pp.10338-10349. ⟨10.1021/acsanm.4c00814⟩

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titre

Vapor chemical composition in Electron Beam Powder Bed Fusion using Ti-6Al-4V powder

auteur

Vinicius Antunes, Abderzak El Farsy, Angela Crespi, Charles Ballage, Ovidiu Vasilovici, Patrick Chapon, Camille Petit-Etienne, Erwine Pargon, Tiberiu Minea

article

International Journal of Advanced Manufacturing Technology, 2024, 132 (9-10), pp.5103-5110. ⟨10.1007/s00170-024-13553-4⟩

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titre

Synthesis and Optical Properties of CH₃NH₃PbI₃ Nanorods with Defects States

auteur

Hassan Najih, Nabil Labchir, Abdellah Tihane, Abdelfattah Narjis, Lahoucine Atourki, Abdessalam Elfanaoui, Ahmed Ihlal

article

Journal of Nano Research, 2024, 82, pp.47-53. ⟨10.4028/p-FSoIl4⟩

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titre

Sb2S3 as a low-loss phase-change material for mid-IR photonics

auteur

Adam Biegański, Marko Perestjuk, Rémi Armand, Alberto Della Torre, Capucine Laprais, Guillaume Saint-Girons, Vincent Reboud, Jean-Michel Hartmann, Jean-Hervé Tortai, Antonin Moreau, Julien Lumeau, Thach Nguyen, Arnan Mitchell, Christelle Monat, Sébastien Cueff, Christian Grillet

article

Optical Materials Express, 2024, 14 (4), pp.862. ⟨10.1364/OME.511923⟩

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titre

Effect of Al 2 O 3 thickness and oxidant precursors on the interface composition and contamination in Al 2 O 3 /GaN structures

auteur

Tarek Spelta, Eugénie Martinez, Marc Veillerot, Pedro Fernandes Paes Pinto Rocha, Laura Vauche, Bassem Salem, Bérangère Hyot

article

Surface and Interface Analysis, 2024, 57 (21), pp.215106. ⟨10.1002/sia.7299⟩

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titre

A nanoscale study of hafnium oxide resistive memory switching dynamics

auteur

S Blonkowski, M Benyoussef, M Kogelschatz

article

Journal of Physics D: Applied Physics, 2024, 57 (21), pp.215106. ⟨10.1088/1361-6463/ad2ab4⟩

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titre

Comparative Passivation of Si(100) by H 2 and D 2 Atmospheres under Simultaneous Xe + Bombardment: An X-ray Photoelectron Spectroscopy Analysis

auteur

V. Antunes, M. Jimenez, F. Cemin, C. Figueroa, F. Alvarez

article

Langmuir, 2024, 40 (9), pp.4824-4830. ⟨10.1021/acs.langmuir.3c03723⟩

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titre

Enhancing the Output Voltage of Piezoelectric Nanogenerators Based on ZnO Nanowires Grown by Chemical Bath Deposition Using Compensatory Cu Doping

auteur

Manuel Manrique, Vincent Consonni, Sarah Boubenia, Hervé Roussel, Mohammed Zeghouane, Sébastien Labau, Sébastien Cavalaglio, Catherine Pudda, Véronique Jacob, Gwenael Le Rhun, Bassem Salem

article

Energy Technology, 2024, 12 (5), pp.2301381. ⟨10.1002/ente.202301381⟩

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titre

Steady-State Semi-Analytical Modeling of p-Doped Quantum Dot Lasers Thermal Characteristics and Extrapolation to Membrane Lasers

auteur

Mattéo Chobé, Karim Hassan

article

IEEE Journal of Quantum Electronics, 2024, 60 (1), pp.1-9. ⟨10.1109/JQE.2023.3342180⟩

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titre

Optical trapping and fast discrimination of label‐free bacteriophages at the single virion level

auteur

Nicolas Villa, Enrico Tartari, Simon Glicenstein, Hugues de Villiers de la Noue, Emmanuel Picard, Pierre Marcoux, Marc Zelsmann, Grégory Resch, Emmanuel Hadji, Romuald Houdré

article

Small, 2024, ⟨10.1002/smll.202308814⟩

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titre

Faceting mechanisms of GaN nanopillar under KOH wet etching

auteur

Lucas Jaloustre, Saron Sales De Mello, Sébastien Labau, Camille Petit-Etienne, Erwine Pargon

article

Materials Science in Semiconductor Processing, 2024, 173, pp.108095. ⟨10.1016/j.mssp.2023.108095⟩

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titre

Enhancing minority carrier lifetime in Ge: Insights from HF and HCl cleaning procedures

auteur

Alexandre Chapotot, Jérémie Chrétien, Oleh Fesiienko, Erwine Pargon, Jinyoun Cho, Kristof Dessein, Abderraouf Boucherif, Gwenaëlle Hamon, Maxime Darnon

article

Journal of Vacuum Science & Technology A, 2024, 42, pp.013203. ⟨10.1116/6.0003236⟩

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titre

Impact of plasma operating conditions on the ion energy and angular distributions in dual-frequency capacitively coupled plasma reactors using CF4 chemistry

auteur

Pierre Ducluzaux, Delia Ristoiu, Gilles Cunge, Emilie Despiau-Pujo

article

Journal of Vacuum Science & Technology A, 2024, 42 (1), ⟨10.1116/6.0003291⟩

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titre

Hybridization of ellipsometry and XPS energy loss: Robust band gap and broadband optical constants determination of SiGe, HfON and MoOx thin films

auteur

Théo Levert, Alter Zakhtser, Julien Duval, Chloé Raguenez, Stéphane Verdier, Delphine Le Cunff, Jean-Hervé Tortai, Bernard Pelissier

article

Microelectronic Engineering, 2024, 283 (1), pp.112117. ⟨10.1016/j.mee.2023.112117⟩

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titre

Sclerosing Epithelioid Fibrosarcoma (SEF) versus Low Grade Fibromyxoid Sarcoma (LGFMS): Presentation and outcome in the nationwide NETSARC+ series of 330 patients over 13 years

auteur

JY Blay, C. Tlemsani, M. Toulmonde, A. Italiano, M. Rios, E. Bompas, T. Valentin, F. Duffaud, Lr Le Nail, S. Watson, N. Firmin, P. Dubray-Longeras, M. Ropars, C. Perrin, A. Hervieu, C. Lebbe, E. Saada-Bouzid, P. Soibinet, F. Fiorenza, F. Bertucci, P. Boudou, G. Vaz, S. Bonvalot, C. Honoré, P. Marec-Berard, V. Minard, M. Cleirec, D. Biau, P. Meeus, A. Babinet, V. Dumaine, S. Carriere, M. Fau, G. Decanter, F. Gouin, C. Ngo, F. Le Loarer, M. Karanian, A. Meurgey, A. Dufresne, M. Brahmi, C. Chemin-Airiau, F. Ducimetiere, N. Penel, A. Le Cesne

article

European Journal of Cancer, 2024, 196, pp.113454. ⟨10.1016/j.ejca.2023.113454⟩

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titre

Programming Operations Analysis and Statistics in One Selector and One Memory Ovonic Threshold Switching + Phase‐Change Memory Double‐Patterned Self‐Aligned Structure

auteur

Renzo Antonelli, Guillaume Bourgeois, Simon Martin, Valentina Meli, Niccoló Castellani, Antoine Salvi, Sylvain Gout, Mathieu Bernard, Pattamon Dezest, François Andrieu, Abdelkader Souifi, Gabriele Navarro

article

physica status solidi (RRL) - Rapid Research Letters (pss RRL), 2024, ⟨10.1002/pssr.202300429⟩

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titre

Substrate softness increases magnetic microdiscs-induced cytotoxicity

auteur

Andrea Visonà, Sébastien Cavalaglio, Sébastien Labau, Sébastien Soulan, Hélène Joisten, François Berger, Bernard Diény, Robert Morel, Alice Nicolas

article

Nanoscale Advances, 2024, ⟨10.1039/D4NA00704B⟩

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Conference papers

titre

Cellular interaction with low frequency-vibrating nanoparticles in bio-mimetic mechanical environment

auteur

A. Visonà, Sebastien Soulan, Hélène Joisten, Bernard Diény, R. Morel, Alice Nicolas

article

Journée SFP Physique du vivant, Nov 2024, Grenoble, France

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titre

Enhanced physisorption of CF radicals on Si surfaces cooled at cryogenic temperature and application to deep etching

auteur

J. Nos, S. Iseni, G. Cunge, M. Kogelschatz, P. Lefaucheux, E. Despiau-Pujo, T. Tillocher, R. Dussart

article

45th International Symposium on Dry Process (DPS), Nov 2024, Hokkaïdo, Japan

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titre

Low damaged GaN surface through passivating plasma etching and post-etch treatments for improved GaN-MOS capacitor performance

auteur

David Cascales, Patricia Pimenta Barros, Eugénie Martinez, Riadh Ben Abbes, Bassem Salem

article

AVS 70, Nov 2024, Tampa, United States

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titre

SF6- and CF-based plasmas interaction with Si and SiO2 at room and cryogenic temperature: Insights from molecular dynamics simulation”

auteur

J. Romero Cedillo, G. Cunge, E. Despiau-Pujo

article

70th American Vacuum Society (AVS) International Symposium, Nov 2024, Tampa, United States

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titre

Controlled anisotropic wetting by plasma treatment for DSA of high-x block copolymers and SERS

auteur

Achmad Fajar Putranto, Camille Petit-Etienne, Sébastien Cavalaglio, Benjamin Cabannes-Boué, Marie Panabiere, Gianluca Forcina, Raphael Ramos, Guillaume Fleury, Martin Kogelschatz, Marc Zelsmann

article

Directed Self-Assembly (DSA) 2024, Oct 2024, Grenoble, France

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titre

Le rôle des parois des réacteurs

auteur

Gilles Cunge

article

Ecole Technologique des Plasmas Froids – 17ièmes journées du réseau, Oct 2024, Carry le Rouet, France

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titre

Self-assembly and dry etching of high- block copolymers in a microelectronics context

auteur

M. Zelsmann

article

International Conference on Directed Self‐Assembly and Nanostructured Materials – DSA 2024, Oct 2024, Grenoble, France

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titre

Le rôle des parois des réacteurs.

auteur

Gilles Cunge

article

Ecole Technologique des Plasmas Froids – 17ièmes journées du réseau, Oct 2024, Carry-le rouet, France

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titre

Reading reliability in 1S1R OTS+PCM devices based on Double-Patterned Self-Aligned structure

auteur

Renzo Antonelli, Guillaume Bourgeois, Valentina Meli, Zineb Saghi, Théo Monniez, Simon Martin, Niccoló Castellani, Mathieu Bernard, Leila Fellouh, Antoine Salvi, Sylvain Gout, Francois Andrieu, Abdelkader Souifi, Gabriele Navarro

article

ESREF 2024 - 35th European Symposium on Reliability of Electron Devices, Failure Physics and Analysis, Sep 2024, Parme, Italy

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titre

Toward Large Scale Production of III-VI 2D Materials and heterostructures by Pulsed MOCVD

auteur

R. Bernardin, M. Martin, F. Bassani, H. Okuno, S. Cavalaglio, A. Marty, B. Smiri, J. Moeyaert, B. Hyot, T. Baron

article

E-MRS Fall Meeting 2024, Sep 2024, Varsovie, Poland

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titre

Study of In0.53Ga0.47As/ InP/InAlAs/InP heterostructures by ToF-SIMS and HAXPES

auteur

G. Tsamo Tagougue, E. Martinez, M. Veillerot, V. Thoréton, F. Bassani, M. Martin, T. Baron

article

SIMS-24, 8-13, Sep 2024, La Rochelle, France

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titre

Photonic Crystal Cavities for Ultrafast Antimicrobial Susceptibility Testing at the Single-Bacterium Level

auteur

Enrico Tartari, Nicolas Villa, Hugues de Villiers de la Noue, Simon Glicenstein, Khouloud Arfaoui, Emmanuel Picard, Marc Zelsmann, Pierre Marcoux, Emmanuel Hadji, Grégory Resch, Romuald Houdré

article

2024 IEEE BioSensors Conference (BioSensors), Jul 2024, Cambridge, France. pp.1-4, ⟨10.1109/biosensors61405.2024.10712681⟩

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titre

3D Interconnects and III-V Semiconductor Plasma Etching for Low-cost and High-efficiency Photonic Devices

auteur

Mathieu De Lafontaine, Bidaud Thomas, Gay Guillaume, Pargon Erwine, Petit-Etienne Camille, Turala Artur, Jaouad Abdelatif, Valdivia Christopher E., Hinzer Karin, Fafard Simon, Aimez Vincent, Darnon Maxime

article

optica advanced photonics congress, Jul 2024, Quebec, Canada

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titre

Development and study of active-passive butt-joint regrowth of AlGaInAs and GaInAsP on InP via MOVPE

auteur

G. Afonso De Castro, N. Vaissiere, C. Calo, J.-F. Paret, D. Micha, M. Korti, G. Cerulo, F. Bassani, T. Baron, F. Pommereau, J. Decobert

article

JNOG 2024, Jul 2024, Rouen, France

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titre

Nano-lithography with high- block copolymers: interplay between self-organization and dewetting kinetics

auteur

G. Forcina, C. Petit-Etienne, S. Cavalaglio, B. Cabannes-Boué, M. Panabiere, G. Fleury, M. Zelsmann

article

IUPAC Macro 2024, Jul 2024, Warwick, United Kingdom

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titre

Integrated photonic crystal nanotweezers for bacteria and bacteriophages viruses trapping and susceptibility testing

auteur

N. Villa, E. Tartari, S. Glicenstein, E. Picard, P. Marcoux, M. Zelsmann, G. Resch, E. Hadji, R. Houdré

article

International Conference on Transparent Optical Networks – ICTON 2024, Jul 2024, BARI, Italy

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titre

Magnetic Nanoparticles for Cells Magneto-Mechanical Stimulation: A new tool for Mechanobiology and Innovative Therapies

auteur

R. Morel, Andrea Visonà, Cécile Naud, Caroline Thébault, Svetlana Ponomareva, Hélène Joisten, François Berger, Marie Carrière, Yanxia Hou, Alice Nicolas, Patricia Obeïd, Xavier Gidrol, Bernard Dieny

article

ICM 2024, Jun 2024, Bologne (ITA), Italy

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titre

Large magnetic particles for biomedical applications

auteur

R. Morel, A. Visonà, C. Naud, C. Thébault, S. Ponomareva, H. Joisten, F. Berger, M. Carrière, Y. Hou, A. Nicolas, B. Dieny

article

HMAG'24, Jun 2024, Iglesias, Italy

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titre

Large magnetic particles for biomedical applications

auteur

R. Morel, Andrea Visoná, Cécile Naud, Caroline Thébault, Svetlana Ponomareva, Hélène Joisten, François Berger, Marie Carrière, Yanxia Hou, Alice Nicolas, Bernard Dieny

article

HMAG'24, Jun 2024, Iglesias, Italy

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titre

Mechanobiological responses of cells induced by magneto-mechanical stimulation

auteur

Hélène Joisten, Cécile Naud, Andrea Visoná, Robert Morel, Alice Nicolas, Yanxia Hou, Marie Carrière, Stephane Belin, François Berger, Bernard Diény

article

14th International Conference on the Scientific and Clinical Applications of Magnetic Carriers, Jun 2024, Barcelona, Spain

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titre

Mechanobiological responses of cells induced by magneto-mechanical stimulation.

auteur

Hélène Joisten, Cécile Naud, Andrea Visoná, Robert Morel, Alice Nicolas, Yanxia Hou, Marie Carrière, Stéphane Belin, François Berger, Bernard Diény

article

14th International Conference on the Scientific and Clinical Applications of Magnetic Carriers, Jun 2024, Barcelone, Spain

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titre

3D structures sidewalls tuning using smart grayscale photolithography mask strategies

auteur

Gaby Bélot, Aurélien Fay, Élodie Sungauer, Merlin Moreau, Sébastien Bérard-Bergery, Cécile Gourgon

article

39th European Mask and Lithography Conference (EMLC 2024), Jun 2024, Grenoble, France. ⟨doi.org/10.1117/12.3028461⟩

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titre

Impact of the GaN plasma etching parameters on the gate morphology for lateral and vertical power devices

auteur

David Cascales, Patricia Pimenta Barros, Eugénie Martinez, Simon Ruel, Bassem Salem

article

PESM 2024, Jun 2024, Louvain, Belgium

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titre

Multiscale hybrid modelling of resist microlenses etching in DF-CCP CF4 plasmas

auteur

E Despiau-Pujo, P Ducluzaux, D Ristoiu, G Cunge

article

Plasma Etch Strip in Microelectronics (PESM), Jun 2024, Leuven, Belgium

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titre

How to produce high aspect ratio GaN and AlN nanopillar arrays with m-oriented facets by combining dry and wet processes for the fabrication of next generation deep ultraviolet light-emitting diodes ?

auteur

L Jaloustre, L Valera, S Sales de Mello, S Labau, C Petit-Etienne, G Jacopin, C Durand, E Pargon

article

Plasma Etch and Strip in Microelectronics (PESM), 14th International Workshop, Jun 2024, Leuven, Belgium

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titre

Elementary surface reactions during F- and CF- based plasma cryoetching of Si and SiO2: a molecular dynamics study

auteur

J. Romero Cedillo, G. Cunge, E. Despiau-Pujo

article

Plasma Etch Strip in Microelectronics (PESM), Jun 2024, Leuven, Belgium

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titre

On the plasma etching mechanisms of high aspect ratio aluminum nitride nanowires patterning

auteur

S Sales De Mello, L. Jaloustre, S Labau, C Petit-Etienne, G Jacopin, E. Pargon

article

bPlasma Etch and Strip in Microelectronics (PESM), 14th International Workshop, Jun 2024, Leuven, Belgium

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titre

Study of In0,53Ga0,47As/ InP/InAlAs/InP heterostructures by TOF-SIMS and HAXPES

auteur

Guy-Vano Tsamo Tagougue, Eugénie Martinez, Marc Veillerot, Vincent Thoreton, Thierry Baron, Franck Bassani, Mickael Martin

article

SIMS 24, Jun 2024, Rochelle, France

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titre

Development of plasma surface treatment on GaN analyzed by quasi in-situ pARXPS

auteur

L. Xu, S. Guillemin, J. Biscarrat, B. Pelissier

article

ECASIA, Jun 2024, Goteborg, Sweden

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titre

Trapping of biological objects on SOI optical photonic crystal micro-resonators

auteur

K. Arfaoui, N. Villa, E. Tartari, S. Glicenstein, D. David, E. Picard, G. Resch, E. Hadji, P. R. Marcoux, R. Houdré, M. Zelsmann

article

IEEE Sensors France chapter 2024, Jun 2024, Grenoble, France

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titre

Magnetism for mechanobiology and related biomedical applications

auteur

Bernard Dieny, Andrea Visonà, Robert Morel, Hélène Joisten, Patricia Obeïd, Alice Nicolas, Stéphane Belin, François Berger

article

Intermag 2024, May 2024, Rio de Janeiro (BR), Brazil

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titre

Self-assembly of high-resolution block copolymers in a microelectronics context

auteur

M. Zelsmann

article

Annual IS2M Colloquium – Self-Assembled Functional Materials, May 2024, Mulhouse, France

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titre

Anisotropic controlled wetting by plasma treatment for directed self-assembly of high-χ block copolymers

auteur

A. F. Putranto, C. Petit-Etienne, S. Cavalaglio, B. Cabannes-Boué, M. Panabiere, G. Forcina, G. Fleury, M. Kogelschatz, M. Zelsmann

article

European Materials Research Society conference- E-MRS 2024, Spring Meeting, May 2024, Strasbourg, France

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titre

Reconfigurable SiGe waveguide using Sb2S3 phase-change material in the mid-IR

auteur

Adam Bieganski, Marko Perestjuk, Remi Armand, Alberto Della Torre, Capucine Laprais, Guillaume Saint-Girons, Vincent Reboud, Jean-Michel Hartmann, Jean Herve Tortai, Antonin Moreau, Julien Lumeau, Arnan Mitchell, Thach Nguyen, Christelle Monat, Sébastien Cueff

article

CLEO 2024, May 2024, Charlotte, United States

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titre

Controlled anisotropic wetting by plasma treatment for directed self-assembly of high-x block copolymers

auteur

Achmad Fajar Putranto, Camille Petit-Etienne, Sébastien Cavalaglio, Benjamin Cabannes-Boué, Marie Panabiere, Gianluca Forcina, Guillaume Fleury, Martin Kogelschatz, Marc Zelsmann

article

European Material Research Society (EMRS) Spring Meeting, May 2024, Strasbourg, France

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titre

Rethinking mask strategies for high vertical resolution grayscale lithography

auteur

Gaby Bélot, Aurélien Fay, Elodie Sungauer, Ujwol Palanchoke, Sébastien Bérard-Bergery, Cécile Gourgon

article

Symposium on Photomask and Next-Generation Lithography Mask Technology, Apr 2024, Yokohama, Japan. pp.131770D, ⟨10.1117/12.3032088⟩

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titre

Trapping of biological objects on SOI optical photonic crystal micro-resonators

auteur

Khouloud Arfaoui, N Villa, E. Tartari, S. Glicenstein, E. Picard, G. Resch, E. Hadji, P.R. Marcoux, R. Houdré, Valerie Stambouli, M. Zelsmann

article

SPIE Photonics Europe 2024, Apr 2024, Strasbourg, France

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titre

Self-assembly of high-resolution block copolymers in a microelectronics context

auteur

M. Zelsmann

article

FBPol 2024 French Bazialian meeting on polymers, Apr 2024, Florianopolis, Brazil

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titre

Pre-amorphization implantation (PAI) process assessment for GaN contact technologies

auteur

L. Xu, S. Guillemin, M. Coig, R. Souil, P. Gergaud, N. Bernier, D. Mariolle, J. Biscarrat, Ph. Rodriguez, B. Pelissier

article

MAM, Mar 2024, Milan, Italy

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titre

Trapping of biological objects on SOI optical photonic crystal micro-resonators

auteur

K. Arfaoui, E. Picard, E. Hadji, P. R. Marcoux, V. Stambouli, M. Zelsmann

article

Réunion de printemps du Club Microcapteurs chimiques 2024 - Biocapteurs pour la santé, Mar 2024, Grenoble, France

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titre

Soft extracellular matrix drives an endoplasmic reticulum stress-dependent S quiescence underlying molecular traits of pulmonary basal cells

auteur

Cedric Chaveroux, Alice Nicolas

article

6th workshop of mechanobiology and physics of life, Jan 2024, GRENOBLE, France

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titre

Monolithic integration of GaAs based compounds on silicon platform for photonic and optoelectronic devices,

auteur

T. Baron, V. Letka, H. Hijazi, M. Chobe, L. Mallet-Dida, M. Martin, J. Moeyaert, N. Massara, J. Mignot, J. Ritchy, C. Licitra, R. Thibon, S. Barbet, D. Mouloua, F. Boeuf, C. Jany, K. Hassan

article

SPIE Photonics West, Jan 2024, San Francisco, United States

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titre

Trapping of biological objects on SOI optical microresonators

auteur

K. Arfaoui, N. Villa, E. Tartari, S. Glicenstein, E. Picard, G. Resch, E. Hadji, P. Marcoux, R. Houdré, Valerie Stambouli, M. Zelsmann

article

SPIE Photonics Europe, 2024, Strasbourg, France

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titre

Trapping of biological objects on SOI optical photonic crystal microresonators

auteur

K. Arfaoui, N. Villa, E. Tartari, S. Glicenstein, Dylan David, E. Picard, G. Resch, E. Hadji, P. Marcoux, R. Houdré, Valerie Stambouli, M. Zelsmann

article

IEEE Sensors, 2024, Grenoble, France

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titre

Optical trapping of bacteria for ultrafast bacteriophage lysis detection at the single-cell level

auteur

H. de Villiers de La Noue, N. Villa, E. Tartari, S. Glicenstein, E. Picard, E. Hadji, P. Marcoux, M. Zelsmann, R. Houdré, G. Resch

article

34th European Congress of Clinical Microbiology and Infectious Deseases, 2024, Barcelona, Spain

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titre

TLM-based numerical extraction for CMOS-compatible N+ InGaAs ohmic contacts on 200mm Si substrates

auteur

Antoine Lombrez, Alexis Divay, Hervé Boutry, Léo Colas, Nicolas Coudurier, Stephane Altazin, Thierry Baron

article

EuroSOI-ULIS 2024, 2024, Athènes, Greece

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titre

Impact of roughness and wettability on dew condensation for atmospheric water harvesting

auteur

J. Estephan, C. Gourgon, M. Panabière, J.H. Tortai

article

International Conference on Micro and NanoEngineering (MNE 2024), 2024, Montpellier, France

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titre

Impact of roughness and wettability on dew condensation for atmospheric water harvesting

auteur

J. Estephan, C. Gourgon, M. Panabière, J.H. Tortai

article

International Conference on Micro and NanoEngineering (MNE 2024), 2024, Montpellier, France

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titre

Photonic crystal cavities as real-time sensors for single bacteria-antimicrobial interaction

auteur

E. Tartari, N. Villa, H. de Villiers de La Noue, S. Glicenstein, E. Picard, P. Marcoux, M. Zelsmann, E. Hadji, G. Resch, R. Houdré

article

Nanoinnovation conference, 2024, Rome, Italy

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Patents

titre

FORMING NANOWIRES

auteur

Clément Lausecker, Xavier Baillin, Vincent Consonni, Bassem Salem

article

France, Patent n° : EP4069884A1; FR3103829A1; FR3103829B1; US2024026544A1; WO2021110705A1. 2024

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Poster communications

titre

Microfabrication of 3D electrodes array on flexible substrate for a top-approach multi-site stimulation of neurons in fluorescence microscopy on rodent brain-slices

auteur

Thibault Fresneau, Marc Zelsmann, Marco Canepari

article

LABEX ICST Last Meeting - NH Collection Genova Marina Hotel, Oct 2024, Genes, Italy

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titre

Nano-lithography with high-chi block copolymers: inter-relation between self-organization and dewetting kinetics

auteur

G. Forcina, E. Saad, S. Roland, F. Restagno, B. Cabannes-Boué, G. Fleury, M. Zelsmann

article

International Conference on Directed Self‐Assembly and Nanostructured Materials – DSA 2024, Oct 2024, Grenoble, France

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titre

Controlled anisotropic wetting by plasma treatment for DSA of high- block copolymers and SERS

auteur

A. F. Putranto, C. Petit-Etienne, S. Cavalaglio, B. Cabannes-Boué, M. Panabiere, G. Forcina, R. Ramos, G. Fleury, M. Kogelschatz, M. Zelsmann

article

International Conference on Directed Self‐Assembly and Nanostructured Materials – DSA 2024, Oct 2024, Grenoble, France

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titre

Photonic crystal cavities for ultrafast antimicrobial susceptibility testing at the single-bacterium level

auteur

E. Tartari, N. Villa, H. de Villiers de La Noue, S. Glicenstein, K. Arfaoui, E. Picard, M. Zelsmann, P. R. Marcoux, E. Hadji, G. Resch, R. Houdré

article

IEEE Biosensors 2024, Aug 2024, Cambridge (Angleterre), United Kingdom

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titre

Optical trapping fot the SUperfastof photonic detection of bacterioPhages Lysis (SUPPLY)

auteur

N. Villa, E. Tartari, H. de Villiers de La Noue, S. Glicenstein, E. Picard, M. Zelsmann, P. R. Marcoux, E. Hadji, R. Houdré, G. Resch

article

Viruses of Microbes 2024 conference, Jul 2024, Cairns (Australie), Australia

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titre

Low power CO2 detection for sensor integration on FDSOI-CMOS technology for real-time air quality monitoring

auteur

Aymen Ghouma, Bassem Salem, Sébastien Cavalaglio, Jean-Raoul Plaussu, Guillaume Crowin, Riadh Ben Abbes, Stéphane Monfray, Tomas Fiorido, Marc Bendahan, Abdelkader Souifi

article

EuroSOI-ULIS 2024, May 2024, Athènes, Greece

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titre

Optimization of implantable glucose biofuel cells (GBFCs) based on gold nanostructures

auteur

T. Lecourt, A. Zebda, M. Zelsmann, S. Tsulimura

article

Réunion de printemps du Club Microcapteurs chimiques 2024 - Biocapteurs pour la santé – CMC2 2024, Mar 2024, Grenoble, France

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titre

3D scaffolds with tunable physical properties for the study of cell behavior

auteur

Aída Gabriela Fernández Contreras, Jean-Hervé Tortai, Alice Nicolas

article

6th workshop of mechanobiology and physics of life, Jan 2024, GRENOBLE, France

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titre

Quantitative analysis of the mechanical properties of healthy and cancer lung tissue for the design of mechano-mimetic culture substrates

auteur

F. Delebosse, D. Fuard, S. Soulan, C. Perrin, L. Chalabreysse, C. Migdal, A. Nicolas

article

6th workshop of mechanobiology and physics of life, Jan 2024, GRENOBLE, France

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titre

Emerging Electronic Properties from Periodically Strained Graphene

auteur

L.-M. Benneka, M. Zelsmann, C. B. Winkelmann, V. T. Renard

article

Journées Surfaces et Interfaces – JSI 2024, Jan 2024, Grenoble, France

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titre

Nano-lithography with high- block copolymers: interplay between self-organization and dewetting kinetics

auteur

G. Forcina, M. Zelsmann, G. Fleury

article

Journées Surfaces et Interfaces – JSI 2024, Jan 2024, Grenoble, France

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titre

Ohmic contact deposition on InGaAs/InP for Si-CMOS compatible HBT fabrication

auteur

Antoine Lombrez, Nicolas Coudurier, Hervé Boutry, Alexis Divay, Léo Colas, Mael Robin, Stephane Altazin, Thierry Baron

article

MAM 2024, 2024, MILAN, Italy

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titre

Nanopillars imprinted on 200 mm GaN/SOI wafers for bottom-up µleds fabrication

auteur

C. Gourgon, N. Labchir, J. Rêche, C. Petit Etienne, S. Labau, M. Panabière, B. Alloing, P.M. Coulon, M. Charles

article

39th European Mask and Lithography Conference (EMLC 2024), 2024, Grenoble, France

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Proceedings

titre

Magneto-mechanical stimulation of living cells: towards innovative therapies based on mechanobiological effects

auteur

Bernard Dieny, Andrea Visonà, Cécile Naud, Hélène Joisten, Robert Morel, Alice Nicolas, Marie Carrière, François Berger

article

Conférence IWMPI, 10 (1), International Journal on Magnetic Particle Imaging IJMPI, 2024, ⟨10.18416/IJMPI.2024.2403027⟩

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titre

3D structures sidewalls tuning using smart grayscale photolithography mask strategies

auteur

Gaby Bélot, Aurélien Fay, Elodie Sungauer, Merlin Moreau, Sébastien Bérard-Bergery, Cécile Gourgon

article

39th European Mask and Lithography Conference (EMLC 2024), 13273, SPIE, pp.14, 2024, ⟨10.1117/12.3028461⟩

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Theses

titre

Plasma etching of quantum dots materials

auteur

Nicolas Le Brun

article

Micro et nanotechnologies/Microélectronique. Université Grenoble Alpes [2020-..], 2024. Français. ⟨NNT : 2024GRALT056⟩

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titre

Development of 3D Topographical Selective Deposition through the combination of PE(ALD) and ALE processes in microelectronics

auteur

Moustapha Jaffal

article

Micro et nanotechnologies/Microélectronique. Université Grenoble Alpes [2020-..], 2024. Français. ⟨NNT : 2024GRALT046⟩

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titre

3D simulation of etching processes by reactive plasma : application to the etching of resist microlenses in CF4 chemistry

auteur

Pierre Ducluzaux

article

Micro et nanotechnologies/Microélectronique. Université Grenoble Alpes [2020-..], 2024. Français. ⟨NNT : 2024GRALT039⟩

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2023

Journal articles

titre

Impact of Nitrogen Concentration and Post‐Deposition Annealing on Electrical Properties of AlON/Etched N‐GaN MOS Capacitors

auteur

Pedro Fernandes Paes Pinto Rocha, Mohammed Zeghouane, Sarah Boubenia, Franck Bassani, Laura Vauche, Eugénie Martinez, William Vandendaele, Marc Veillerot, Bassem Salem

article

Advanced Electronic Materials, 2023, 10 (3), ⟨10.1002/aelm.202300528⟩

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titre

Programmable frequency-bin quantum states in a nano-engineered silicon device

auteur

Marco Clementi, Federico Andrea Sabattoli, Massimo Borghi, Linda Gianini, Noemi Tagliavacche, Houssein El Dirani, Laurene Youssef, Nicola Bergamasco, Camille Petit-Etienne, Erwine Pargon, J. Sipe, Marco Liscidini, Corrado Sciancalepore, Matteo Galli, Daniele Bajoni

article

Nature Communications, 2023, 14 (1), pp.176. ⟨10.1038/s41467-022-35773-6⟩

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titre

Design and Characterization of 5 μm Pitch InGaAs Photodiodes Using In Situ Doping and Shallow Mesa Architecture for SWIR Sensing

auteur

Jules Tillement, Cyril Cervera, Jacques Baylet, Christophe Jany, François Nardelli, Thomas Di Rito, Sylvain Georges, Gabriel Mugny, Olivier Saxod, Olivier Gravrand, Thierry Baron, François Roy, Frédéric Boeuf

article

Sensors, 2023, 23 (22), pp.9219. ⟨10.3390/s23229219⟩

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titre

3D interconnects for III-V semiconductor heterostructures for miniaturized power devices

auteur

Mathieu de Lafontaine, Thomas Bidaud, Guillaume Gay, Erwine Pargon, Camille Petit-Etienne, Artur Turala, Romain Stricher, Serge Ecoffey, Maïté Volatier, Abdelatif Jaouad, Christopher Valdivia, Karin Hinzer, Simon Fafard, Vincent Aimez, Maxime Darnon

article

Cell Reports Physical Science, 2023, 4 (12), pp.101701. ⟨10.1016/j.xcrp.2023.101701⟩

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titre

Room-temperature continuous-wave topological Dirac-vortex microcavity lasers on silicon

auteur

Jingwen Ma, Taojie Zhou, Mingchu Tang, Haochuan Li, Zhan Zhang, Xiang Xi, Mickael Martin, Thierry Baron, Huiyun Liu, Zhaoyu Zhang, Siming Chen, Xiankai Sun

article

Light: Science and Applications, 2023, 12 (1), pp.255. ⟨10.1038/s41377-023-01290-4⟩

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titre

Preferential crystal orientation etching of GaN nanopillars in Cl2 plasma

auteur

Lucas Jaloustre, Valentin Ackermann, Saron Sales de Mello, Sébastien Labau, Camille Petit-Etienne, Erwine Pargon

article

Materials Science in Semiconductor Processing, 2023, 165, pp.107654. ⟨10.1016/j.mssp.2023.107654⟩

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titre

Impact of etching process on Al2O3/GaN interface for MOSc-HEMT devices combining ToF-SIMS, HAXPES and AFM

auteur

Tarek Spelta, Marc Veillerot, Eugénie Martinez, Denis Mariolle, Roselyne Templier, Nicolas Chevalier, Pedro Fernandes Paes Pinto Rocha, Bassem Salem, Laura Vauche, Bérangère Hyot

article

Solid-State Electronics, 2023, 208, pp.108743. ⟨10.1016/j.sse.2023.108743⟩

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titre

InGaAs/GaAsP Superlattice Resonant Cavity-Enhanced Photodetector Fabricated on a Nominal Si(001) Substrate for Near- and Short-Wavelength Infrared Applications

auteur

Veronica Letka, Mickaël Martin, Natalia Massara, Charles Leroux, Roselyne Templier, Christophe Licitra, Jérôme Richy, Thierry Baron

article

ACS photonics, 2023, 10 (9), pp.3266-3274. ⟨10.1021/acsphotonics.3c00692⟩

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titre

Kinetic Study of the Aging and Overaging of Alloy Pb0.058%Ca0.12%Sr1.09%Sn for Battery Grids

auteur

Youssef Ait Yassine, Marwan Lakhal, Nabil Labchir, Elhassan Zantalla, Elmadani Saad, Mohamed Sannad

article

Coatings, 2023, 13 (9), pp.1534. ⟨10.3390/coatings13091534⟩

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titre

Renewable Lignin-Derived Graphene-like/PVDF Nanocomposites with High Dielectric Constant and Low Loss Tangent

auteur

Keerati Meeporn, Gwenn Morvezen, Jon de Vecchy, Vincent Mareau, Wanwitoo Wanmolee, Teera Butburee, Bernard Pelissier, Alain Sylvestre

article

Journal of Physical Chemistry C, 2023, 127 (34), pp.16979-16988. ⟨10.1021/acs.jpcc.3c04246⟩

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titre

Synthesis of AlOxNy thin films using a two-step PE-ALD process

auteur

Mohammed Zeghouane, Pedro Fernandes Paes Pinto Rocha, Sarah Boubenia, Franck Bassani, Gauthier Lefevre, Sebastien Labau, Laura Vauche, Eugénie Martinez, Marc Veillerot, Bassem Salem

article

AIP Advances, 2023, 13 (8), ⟨10.1063/5.0154468⟩

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titre

Influence of the magnetic field on the extension of the ionization region in high power impulse magnetron sputtering discharges

auteur

V Antunes, M Rudolph, A Kapran, H Hajihoseini, M Raadu, N Brenning, J Gudmundsson, D Lundin, T Minea

article

Plasma Sources Science and Technology, 2023, 32 (7), pp.075016. ⟨10.1088/1361-6595/ace847⟩

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titre

Doped and undoped ferroelectric HfO2: Role of Gd-doping in stabilizing the ferroelectric phase

auteur

L. Alrifai, E. Skopin, N. Guillaume, P. Gonon, A. Bsiesy

article

Applied Physics Letters, 2023, 123 (3), ⟨10.1063/5.0151257⟩

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titre

High quality GaN microplatelets grown by metal-organic vapor phase epitaxy on patterned silicon-on-insulator substrates: Toward micro light-emitting diodes

auteur

Kilian Baril, Pierre-Marie Coulon, Mrad Mrad, Nabil Labchir, Guy Feuillet, Matthew Charles, Cécile Gourgon, Philippe Vennéguès, Jesus Zuniga-Perez, Blandine Alloing

article

Journal of Applied Physics, 2023, 133, pp.245702. ⟨10.1063/5.0149882⟩

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titre

Preferential crystal orientation etching of GaN nanopillars in Cl2 plasma

auteur

Lucas Jaloustre, Valentin Ackermann, Saron Sales de Mello, Sébastien Labau, Camille Petit-Etienne, Erwine Pargon

article

Materials Science in Semiconductor Processing, 2023, 165, pp.107654. ⟨10.1016/j.mssp.2023.107654⟩

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titre

Reconfigurable Silicon Photonic Chip for the Generation Of Frequency-Bin-Entangled Qudits

auteur

Massimo Borghi, Noemi Tagliavacche, Federico Andrea Sabattoli, Houssein El Dirani, Laurene Youssef, Camille Petit-Etienne, Erwine Pargon, J.E. Sipe, Marco Liscidini, Corrado Sciancalepore, Matteo Galli, Daniele Bajoni

article

Physical Review Applied, 2023, 19 (6), pp.064026. ⟨10.1103/PhysRevApplied.19.064026⟩

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titre

Impact of baculoviral transduction of fluorescent actin on cellular forces

auteur

Sara Bouizakarne, Jocelyn Etienne, Alice Nicolas

article

European Journal of Cell Biology, 2023, 102 (2), pp.151294. ⟨10.1016/j.ejcb.2023.151294⟩

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titre

Influence of the AZO Electrode on ZnO Nanowire Growth by PLI-MOCVD and Related Piezoelectric Performance: Implications for Mechanical Energy Transducers

auteur

Quang Chieu Bui, Vincent Consonni, Sarah Boubenia, Guillaume Gay, Corinne Perret, Mohammed Zeghouane, Sebastien Labau, Carmen Jiménez, Hervé Roussel, Xavier Mescot, Gustavo Ardila, Bassem Salem

article

ACS Applied Nano Materials, 2023, 6 (9), pp.7436-7445. ⟨10.1021/acsanm.3c00608⟩

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titre

Characterization of GaN structures for power electronics by secondary ion mass spectrometry and atomic force microscope approach

auteur

Tarek Spelta, Marc Veillerot, Eugénie Martinez, Nicolas Chevalier, Denis Mariolle, Roselyne Templier, Bassem Salem, Pedro Fernandes Paes Pinto Rocha, Laura Vauche, Sarah Boubenia, Bérangère Hyot

article

Journal of Vacuum Science & Technology B, Nanotechnology and Microelectronics, 2023, Secondary Ion Mass Spectrometry (SIMS), 41 (3), pp.034003. ⟨10.1116/6.0002573⟩

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titre

Sensitivity analysis of optical scatterometry technique for high-aspect ratio trench measurement

auteur

Justine Grasland, Delphine Le Cunff, Hoang Lam Pham, Maxime Besacier, Jean-Hervé Tortai

article

Proceeding SPIE, Metrology, Inspection, and Process Control , 2023, Proceedings of SPIE Volume 12496. Metrology, Inspection, and Process Control XXXVII, 12496, pp.124960C. ⟨10.1117/12.2657876⟩

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titre

Study of GaN coalescence by dark-field X-ray microscopy at the nanoscale

auteur

Maya Wehbe, Matthew Charles, Kilian Baril, Blandine Alloing, Daniel Pino Munoz, Nabil Labchir, Jesús Zuniga-Perez, Carsten Detlefs, Can Yildirim, Patrice Gergaud

article

Journal of Applied Crystallography, 2023, 56, pp.643 - 649. ⟨10.1107/s160057672300287x⟩

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titre

Effects of zinc nitrate and HMTA on the formation mechanisms of ZnO nanowires on Au seed layers

auteur

Clément Lausecker, Bassem Salem, Xavier Baillin, Vincent Consonni

article

Crystal Growth & Design, 2023, 23 (4), pp.2941-2950. ⟨10.1021/acs.cgd.3c00068⟩

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titre

Plasma Induced Damage on AlGaN/GaN Heterostructure During Gate Opening for Power Devices

auteur

Oleh Fesiienko, Camille Petit-Etienne, Maxime Darnon, Ali Soltani, Hassan Maher, Erwine Pargon

article

Journal of Vacuum Science & Technology A, 2023, 41 (3), ⟨10.1116/6.0002339⟩

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titre

III-V Heterostructure Grown on 300mm Ge/Si Wafer for Large-Scale Fabrication of Red μ -LEDs

auteur

P. Gaillard, A. Ndiaye, B. Ben Bakir, P. Le Maitre, J. da Fonseca, J. Hartmann, M. Martin, J. Moeyaert, H. Mehdi, T. Baron, C. Jany

article

IEEE Photonics Technology Letters, 2023, 35 (2), pp.101-104. ⟨10.1109/LPT.2022.3225219⟩

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titre

Impact of Post-Deposition Anneal on ALD Al2O3/etched GaN Interface for Gate-First MOSc-HEMT

auteur

Paes Fernandes Paes Pinto Rocha, L. Vauche, B. Mohamad, W. Vandendaele, E. Martinez, M. Veillerot, T. Spelta, N. Rochat, R. Gwoziecki, B. Salem, V. Sousa

article

Power Electronic Devices and Components, 2023, pp.100033. ⟨10.1016/j.pedc.2023.100033⟩

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titre

Force tuning through regulation of clathrin-dependent integrin endocytosis

auteur

Alexander Kyumurkov, Anne-Pascale Bouin, Mathieu Boissan, Sandra Manet, Francesco Baschieri, Mathilde Proponnet-Guerault, Martial Balland, Olivier Destaing, Myriam Régent-Kloeckner, Claire Calmel, Alice Nicolas, François Waharte, Philippe Chavrier, Guillaume Montagnac, Emmanuelle Planus, Corinne Albiges-Rizo

article

Journal of Cell Biology, 2023, 222 (1), pp.100033. ⟨10.1083/jcb.202004025⟩

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titre

Investigation of the magnetron balancing effect on the ionized flux fraction and deposition rate of sputtered titanium species for the high-power impulse magnetron sputtering pulses of different lengths

auteur

Anna Kapran, Vinicius Antunes, Zdeněk Hubička, Charles Ballage, Tiberiu Minea

article

Journal of Vacuum Science & Technology A, 2023, 41 (1), ⟨10.1116/6.0002309⟩

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titre

Programmable frequency-bin quantum states in a nano-engineered silicon device

auteur

Marco Clementi, Federico Andrea Sabattoli, Houssein El Dirani, Laurene Youssef, Massimo Borghi, Linda Gianini, Noemi Tagliavacche, Nicola Bergamasco, Camille Petit-Etienne, Erwine Pargon, J. Sipe, Marco Liscidini, Corrado Sciancalepore, Matteo Galli, Daniele Bajoni

article

Nature Communications, 2023, 14 (1), pp.176. ⟨10.1038/s41467-022-35773-6⟩

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titre

Post-deposition annealing challenges for ALD Al$_{0.5}$Si$_{0.5}$O$_x$/n-GaN MOS devices

auteur

Pedro Fernandes Paes Pinto Rocha, Laura Vauche, Messaoud Bedjaoui, Stephane Cadot, Blend Mohamad, William Vandendaele, Eugénie Martinez, Nicolas Gauthier, Francois Pierre, Helen Grampeix, Gauthier Lefevre, Bassem Salem, Véronique Sousa

article

Solid-State Electronics, 2023, 209, pp.108780. ⟨10.1016/j.sse.2023.108780⟩

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titre

Recent micro-LED technology for display applications based on GaN pendeo-epitaxy using SOI nanopillars

auteur

S. Hammami, N. Labchir, K. Baril, P.M. Coulon, B. Alloing, J. Zuniga Perez, C. Gourgon, M. Charles, L. Dupré

article

Proceedings Volume PC12421, 2023, ⟨10.1117/12.2649730⟩

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titre

Generation of frequency-bin-encoded ququarts in a programmable silicon photonic chip

auteur

Massimo Borghi, Noemi Tagliavacche, Federico Andrea Sabattoli, Houssein El Dirani, Laurene Youssef, Camille Petit-Etienne, Erwine Pargon, Corrado Sciancalepore, J.E. Sipe, Marco Liscidini, Matteo Galli, Daniele Bajoni

article

CLEO: Fundamental Science, 2023, pp.FM4E.2. ⟨10.1364/CLEO_FS.2023.FM4E.2⟩

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titre

Hierarchical Structure of Gold and Carbon Electrode for Bilirubin Oxidase-Biocathode

auteur

Yuto Nakagawa, Seiya Tsujimura, Marc Zelsmann, Abdelkader Zebda

article

Biosensors, 2023, 13 (4), pp.482. ⟨10.3390/bios13040482⟩

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titre

Reconfigurable Silicon Photonic Chip for the Generation Of Frequency-Bin-Entangled Qudits

auteur

Massimo Borghi, Noemi Tagliavacche, Federico Andrea Sabattoli, Houssein El Dirani, Laurene Youssef, Camille Petit-Etienne, Erwine Pargon, J.E. Sipe, Marco Liscidini, Corrado Sciancalepore, Matteo Galli, Daniele Bajoni

article

Physical Review Applied, 2023, 19 (6), pp.064026. ⟨10.1103/PhysRevApplied.19.064026⟩

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titre

Controlled nanopatterning and plasma etching of sub-100 nm nanopillars for low dislocation density of pendeo-epitaxy GaN: Towards MicroDisplays

auteur

S. Hammami, M. Wehbe, S. Labau, C. Petit-Etienne, B. Alloing, L. Dupré, M. Charles, J.Zuniga Perez, C. Gourgon

article

Proceedings Volume PC12421, 2023, Proceedings Volume PC12421, pp.Gallium Nitride Materials and Devices XVIII

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Correlation between the Dimensions and Piezoelectric Properties of ZnO Nanowires Grown by PLI-MOCVD with Different Flow Rates

auteur

Quang Chieu Bui, Vincent Consonni, Carmen Jiménez, Hervé Roussel, Xavier Mescot, Bassem Salem, Gustavo Ardila

article

Nanoenergy Advances, 2023, 3, pp.220 - 235. ⟨10.3390/nanoenergyadv3030011⟩

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Towards superradiant spontaneous four wave mixing in an array of silicon microresonators

auteur

Massimo Borghi, Federico Andrea Sabattoli, Houssein El Dirani, Laurene Youssef, Camille Petit-Etienne, Erwine Pargon, Corrado Sciancalepore, J.E. Sipe, Amideddin Mataji-Kojouri, Marco Liscidini, Matteo Galli, Daniele Bajoni

article

CLEO: Science and Innovations, 2023, pp.JTh2A.42. ⟨10.1364/CLEO_AT.2023.JTh2A.42⟩

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High figure-of-merit in Al-doped ZnO thin films grown by ALD through the Al content adjustment

auteur

Quang Chieu Bui, Vincent Consonni, Sarah Boubenia, Guillaume Gay, Corinne Perret, Mohammed Zeghouane, Sebastien Labau, Hervé Roussel, Xavier Mescot, Gustavo Ardila, Bassem Salem

article

Materialia, 2023, 31, pp.101863. ⟨10.1016/j.mtla.2023.101863⟩

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Self-organization and dewetting kinetics in sub-10 nm diblock copolymer line/space lithography

auteur

Xavier Chevalier, Gwenaelle Pound-Lana, Cindy Gomes Correia, Sébastien Cavalaglio, Benjamin Cabannes-Boué, Frédéric Restagno, Guillaume Miquelard-Garnier, Sébastien Roland, Christophe Navarro, Guillaume Fleury, Marc Zelsmann

article

Nanotechnology, 2023, 34 (17), pp.175602. ⟨10.1088/1361-6528/acb49f⟩

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Recent developments and prospects of fully recessed MIS gate structures for GaN on Si power transistors

auteur

Pedro Fernandes Paes Pinto Rocha, Laura Vauche, Patricia Pimenta-Barros, Simon Ruel, René Escoffier, Julien Buckley

article

Energies, 2023, 16 (7), ⟨10.3390/en16072978⟩

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Monolithically integrated photonic crystal surface emitters on silicon with a vortex beam by using bound states in the continuum

auteur

Haochuan Li, Mingchu Tang, Taojie Zhou, Wentao Xie, Renjie Li, Yuanhao Gong, Mickael Martin, Thierry Baron, Siming Chen, Huiyun Liu, Zhaoyu Zhang

article

Optics Letters, 2023, 48 (7), pp.1702. ⟨10.1364/OL.484472⟩

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titre

Hybridization of ellipsometry and Xps energy loss: robust band gap and broadband optical constants determination of SiGe, HfON and MoOx thin films

auteur

Théo Levert, Alter Zakhtser, Julien Duval, Chloé Raguenez, Stéphane Verdier, Delphine Le Cunff, Jean-Hervé Tortai, Bernard Pelissier

article

Microelectronic Engineering, 2023, 283, pp.112117. ⟨10.2139/ssrn.4554544⟩

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titre

CONTROLLING DOPING PROFILES OF SILICON NANOWIRES FOR QUANTUM COMPUTING AND PHOTOVOLTAICS USING MICRO-RAMAN SPECTROSCOPY

auteur

Serrano J., Hinojosa Chasiquiza V.G., Mediavilla Martínez I., Jiménez J., Bricio D., Pérez-Murano F., Llobet J., Antonja J., Bausells J., Bassani F., Salem B., Baron T.

article

Acta Microscopica, 2023, 32 (2), pp.8-9

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Conference papers

titre

NIL, Nanopatterning and etching of nanopillars for GaN-based microLEDs

auteur

N. Labchir, S. Hammami, K. Baril, M. Wehbe, S. Labau, C. Petit-Etienne, B. Alloing, M. Charles, J. Zuniga Perez, C. Gourgon

article

2023 MRS Fall Meeting & Exhibit, Nov 2023, Boston, Massachusetts, USA, United States

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titre

Comparative study between undoped and doped ferroelectric HfO2: Role of Gd-doping in stabilizing the ferroelectric phase and reducing the crystallization temperature

auteur

L. Alrifai, E. Skopin, N. Guillaume, P. Gonon, A. Bsiesy.

article

RAFALD, Nov 2023, LILLE, France

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titre

Improving Piezoelectric Properties of ZnO Thin Films Deposited via AP-SALD with Texture Enhancement

auteur

Hayri Okcu, Gustavo Ardila, Herve Roussel, Xavier Mescot, Carmen Jiménez, David Munoz-Rojas

article

Workshop RAFALD, Nov 2023, Lille, France

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titre

Plasma etching of high aspect ratio GaN and AlN nanopillars for the next generation of ultraviolet light-emitting diodes

auteur

L. Jaloustre, S. Sales De Mello, S. Labau, C. Petit-Etienne, E. Pargon

article

44rd International Symposium on dry process DPS 2023, Nov 2023, NAGOYA, Japan

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titre

Cellular Interaction with Low-Frequency-Vibrating Magnetic Nanoparticles in Bio-Mimetic Mechanical Environment.

auteur

A. Visona, B. Dieny, R. Morel, H. Joisten, A. Nicolas

article

21ème Colloque Louis Néel, Nov 2023, Sète, France

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titre

Strain and lattice tilt mapping of GaN at early stage of coalescence by synchrotron x-ray nano diffraction

auteur

M. Wehbe, M. Charles, D. Pino Munoz, K. Baril, B. Alloing, J. Zuniga Perez, N. Labchir, C. Gourgon, E. Zatterin, P. Gergaud

article

14th International Conference on Nitride Semiconductors (ICNS-14), Nov 2023, Fukuoka, Japan

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titre

Multiscale Integration in Biological Systems

auteur

Alice Nicolas

article

Using mechanics to understand cell adhesion in biology, Nov 2023, PARIS, France

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titre

Etude des interactions plasma-surface par dynamique moléculaire : quels apports pour la modélisation des plasmas froids ?

auteur

Emilie Despiau-Pujo

article

2èmes Journées du GDR EMILI, Oct 2023, NANCY, France

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III-V monolithic integration for optoelectronic devices and new developments on 2D materials

auteur

T Baron, V Letka, H Hijazi, H Mehdi, L Mallet Dida, P Hauchecorne, M Martin, N Massara, P Gaillard, Jeremy Da Fonseca, J Moeyaert, V Loup, J Mignot, F Bassani, B Salem, M Tang, S Chen, H Liu, C Jany

article

NMDC 2023 - IEEE Nanotechnology Materials and Devices Conference, Oct 2023, Paestum, Italy. pp.72-73, ⟨10.1109/NMDC57951.2023.10344099⟩

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titre

Carbon resist microlens etching in DF-CCP CF4 plasmas: Comparison between modeling and experiments

auteur

P Ducluzaux, D Ristoiu, G Cunge, E Despiau-Pujo

article

69th American Vacuum Society (AVS) International Symposium, Oct 2023, PORTLAND, United States

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titre

Optical trapping for nondestructive bacterial membrane characterization at the single-cell scale

auteur

N. Villa, E. Tartari, S. Glicenstein, E. Picard, P. Marcoux, M. Zelsmann, G. Resch, E. Hadji, R. Houdré

article

Annual congress of the French Society for Microbiology - SFM 2023, Oct 2023, Rennes, France

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titre

Comparative study between undoped and doped ferroelectric HfO2: Role of Gd-doping in stabilizing the ferroelectric phase and reducing the crystallization temperature

auteur

L. Alrifai, E. Skopin, N. Guillaume, P. Gonon, A. Bsiesy

article

E-MRS, Sep 2023, VARSOVIE, Poland

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titre

Mid-IR linear optical properties of hybrid Sb2S3 /SiGe waveguides

auteur

Adam Bieganski, Marko Perestjuk, Remi Armand, Alberto Della Torre, Vincent Reboud, Jean-Michel Hartmann, Jean-Herve Tortai, Thach Nguyen, Arnan Mitchell, Christelle Monat, Sébastien Cueff, Christian Grillet

article

11th EOS (European Optical Society) Annual Meeting (EOSAM 2023), Sep 2023, Dijon, France. pp.01013, ⟨10.1051/epjconf/202328701013⟩

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titre

On-chip optical nanotweezers for bacteria and bacteriophages viruses trapping and susceptibility testing

auteur

R. Houdré, N. Villa, E. Tartari, S. Glicenstein, E. Picard, P. Marcoux, M. Zelsmann, G. Resch, E. Hadji

article

SPIE Optics + Photonics conference - Optical Trapping and Optical Micromanipulation XX, Aug 2023, San Diego (CA), United States

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titre

Optical trapping of bacteria for ultrafast bacteriophage lysis detection at the single-cell level

auteur

N. Villa, H. de Villiers de La Noue, E. Tartari, S. Glicenstein, E. Picard, E. Hadji, P. Marcoux, M. Zelsmann, G. Resch, R. Houdré

article

Swiss Society for Microbiology annual congress - SSM 2023, Aug 2023, Lausanne (Suisse), Switzerland

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titre

Optical trapping of bacteria for ultrafast bacteriophage lysis detection at the single-cell level

auteur

N. Villa, H. de Villiers de La Noue, E. Tartari, S. Glicenstein, E. Picard, E. Hadji, P. Marcoux, M. Zelsmann, G. Resch, R. Houdré

article

Annual congress of the Swiss Society for Microbiology - SSM 2023, Aug 2023, Lausanne, Switzerland

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titre

Optical trapping of bacteria for ultrafast bacteriophage lysis detection at the single-cell level

auteur

H. de Villiers de La Noue, E. Tartari, N. Villa, S. Glicenstein, E. Picard, E. Hadji, P. Marcoux, M. Zelsmann, R. Houdré, G. Resch

article

25th Biennial Evergreen International Phage Meeting, Aug 2023, Olympia (USA), United States

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Comparison between Doped and Undoped Ferroelectric HfO2

auteur

L. Alrifai, E. Skopin, N. Guillaume, P. Gonon, A. Bsiesy

article

The AVS 23rd International Conference on Atomic Layer Deposition (ALD 2023), Jul 2023, SEATTLE, United States

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titre

Propriétés optiques linéaires des guides d'ondes hybrides Sb2S3/SiGe dans le moyen-infrarouge

auteur

Adam Bieganski, Marko Perestjuk, Rémi Armand, Alberto Della Torre, Vincent Reboud, Jean-Michel Hartmann, Jean-Hervé Tortai, Thach Nguyen, Arnan Mitchell, Christelle Monat, Sébastien Cueff, Christian Grillet

article

JOURNÉES NATIONALES d’OPTIQUE GUIDÉE JNOG 2023, Jul 2023, Lyon, France

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titre

Programmable silicon photonic sources of frequency bin entangled qubits and qudits

auteur

Massimo Borghi, Noemi Tagliavacche, Marco Clementi, Federico Andrea Sabattoli, Linda Gianini, Houssein El Dirani, Laurene Youssef, Nicola Bergamasco, Camille Petit-Etienne, Erwine Pargon, J.E. Sipe, Marco Liscidini, Corrado Sciancalepore, Matteo Galli, Daniele Bajoni

article

ICTON 2023 - 23rd International Conference on Transparent Optical Networks, Jul 2023, Bucarest, Romania. pp.1-4, ⟨10.1109/ICTON59386.2023.10207478⟩

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titre

Controllable generation of frequency-encoded qubits and qudits using silicon photonics nano-engineered devices

auteur

M. Borghi, N. Tagliavacche, F.A. Sabattoli, H. El Dirani, L. Youssef, C. Petit-Etienne, E. Pargon, C. Sciancalepore, J.E. Sipe, M. Liscidini, M. Galli, D. Bajoni

article

International Conference on Metamaterials, Photonic Crystals and Plasmonics, Jul 2023, Paris, France

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titre

Microcavités résonantes sur guide d’onde pour le piégeage de microorganismes

auteur

S. Glicenstein, E. Tartari, N. Villa, E. Picard, P. Marcoux, M. Zelsmann, G. Resch, R. Houdré, E. Hadji

article

Journées Nationales de l’Optique Guidée - JNOG 2023, Jul 2023, Lyon, France

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titre

Mid-IR All-Optical Poling in Silicon Nitride Waveguides

auteur

Ozan Yakar, Christian Laorgue, Arman Ayan, Jonathan Faugier-Tovar, Pierre Chausse, Camille Petit-Etienne, Erwine Pargon, Quentin Wilmart, Camille-Sophie Brès

article

Conference on Lasers and Electro-Optics/Europe – European Quantum Electronics Virtual Conferences (CLEO®/Europe-EQEC 2023), Jun 2023, Munich, Germany

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titre

Mid-IR All-optical poling in silicon nitride waveguides

auteur

Ozan Yakar, Christian Lafforgue, Arman Ayan, Jonathan Faugier-Tovar, Pierre Chausse, Camille Petit-Etienne, Erwine Pargon, Quentin Wilmart, Camille-Sophie Brés

article

CLEO/Europe-EQEC 2023 - Conference on Lasers and Electro-Optics Europe & European Quantum Electronics Conference, Jun 2023, Munich, Germany. pp.1-1, ⟨10.1109/CLEO/EUROPE-EQEC57999.2023.10232464⟩

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titre

Plasma etching of high aspect ratio GaN and AlN nanopillar arrays for next generation of ultraviolet light-emitting diodes fabrication

auteur

Lucas Jaloustre, Saron-Rosy Sales de Mello, Sébastien Labau, Camille Petit-Etienne, Erwine Pargon

article

Plasma Etch and Strip in Microelectronics (PESM), 13th International Workshop, Jun 2023, GRENOBLE, France

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titre

Carbon Resist Microlens Etching in DF-CCP CF4 plasmas: Numerical investigation versus experiments

auteur

P Ducluzaux, D Ristoiu, G Cunge, E Despiau-Pujo

article

Plasma Etch Strip in Microtechnology (PESM), Jun 2023, GRENOBLE, France

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titre

Helium and hydrogen plasmas interaction with Si3N4 and SiO2 materials for advanced etch applications : A molecular dynamics study

auteur

E. Despiau-Pujo, V. Martirosyan, F. Pinzana, C. Petit-Etienne, F. Leverd, O. Joubert

article

13th Plasma Etch and Strip in Microtechnologies workshop (PESM), Jun 2023, Grenoble, France

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titre

Study of the impact of the aspect ratio of etched silicon wafers on the ion angular distribution and ion energy distribution in pulsed plasma etching

auteur

Rochdi N., Cunge G., Kogelschatz M., Petit-Etienne C.

article

13th Plasma Etch and Strip in Microtechnologies workshop (PESM), Jun 2023, Grenoble, France

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titre

Plasma etching of nanopatterned GaN-based pillars for integrated μLEDs fabrication: application in μDisplays

auteur

N. Labchir, S. Hammami, K. Baril, S. Labau, C. Petit-Etienne, B. Alloing, M. Charles, J. Zuniga Perez, C. Gourgon

article

13th Plasma Etch and Strip in Microtechnologies workshop (PESM), Jun 2023, Grenoble, France

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titre

Improvement of SiN waveguide LER for photonic application

auteur

V. Antunes, C. Petit-Etienne, E. Pargon

article

13th Plasma Etch and Strip in Microtechnologies workshop (PESM), Jun 2023, Grenoble, France

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titre

Plasma etching processes of a sub-10 nm resolution high-x block copolymer self-assembled into spin-on-carbon trenches

auteur

A. F. Putranto, C. Petit-Etienne, B. Cabannes-Boué, G. Fleury, G. Cunge, M. Kogelschatz, M. Zelsmann

article

13th Plasma Etch and Strip in Microtechnologies workshop (PESM), Jun 2023, Grenoble, France

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titre

Plasma etching of high aspect ratio GaN and AlN nanopillar arrays for next generation of ultraviolet lightemitting diodes fabrication

auteur

L. Jaloustre, S. R. Sales De Mello, S. Labau, C. Petit-Etienne, E. Pargon

article

13th Plasma Etch and Strip in Microtechnologies workshop (PESM), Jun 2023, Grenoble, France

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titre

Helium and hydrogen plasmas interaction with Si3N4 and SiO2 materials for advanced etch applications: A molecular dynamics study

auteur

E Despiau-Pujo, V Martirosyan, C Petit-Etienne, F Pinzan, F Leverd, O Joubert

article

Plasma Etch Strip in Microtechnology (PESM), Jun 2023, GRENOBLE, France

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titre

Cathodoluminescence characterization of the plasma induced damage during the patterning of high aspect ratio GaN nanowires

auteur

S. R. Sales De Mello, L. Jaloustre, S. Labau, C. Petit-Etienne, G. Jacopin, E. Pargon

article

13th Plasma Etch and Strip in Microtechnologies workshop (PESM), Jun 2023, Grenoble, France

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titre

Plasma etching processes of a sub-10 nm resolution high-X block copolymer self-assembled into spin-on-carbon trenches

auteur

Achmad Fajar Putranto, Camille Petit-Etienne, Benjamin Cabannes-Boué, Guillaume Fleury, Gilles Cunge, Martin Kogelschatz, Marc Zelsmann

article

PESM 2023, Jun 2023, GRENOBLE, France

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titre

Diagnostics of industrial plasma reactors to assist process development

auteur

G. Cunge, M. Kogelschatz, E. Pargon, C. Petit-Etienne, O. Joubert, E. Despiau-Pujo

article

13th Plasma Etch and Strip in Microtechnologies workshop (PESM), Jun 2023, Grenoble, France

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titre

Controllable emission of frequency-encoded qudits in silicon photonics devices

auteur

Massimo Borghi, Noemi Tagliavacche, Federico Andrea Sabattoli, Houssein El Dirani, Laurene Youssef, Camille Petit-Etienne, Erwine Pargon, Corrado Sciancalepore, J.E. Sipe, Marco Liscidini, Matteo Galli, Daniele Bajoni

article

PHOTONICS NORTH 2023, Jun 2023, Montreal, Canada

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titre

Wire-based UV-µLED using GaN and AlN microwires as template

auteur

Lucie Valera, Vincent Grenier, Sylvain Finot, Lucas Jaloustre, Saron R.S. De Mello, Erwine Pargon, Camille Petit-Etienne, Joël Eymery, Gwénolé Jacopin, Christophe Durand

article

The 6th International Workshop on Ultraviolet Materials and Devices (IWMUND VI 2023), Jun 2023, METZ, France

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titre

On-chip optical nanotweezers for phage trapping and identification

auteur

S. Glicenstein, N. Villa, E. Tartari, E. Picard, P. Marcoux, M. Zelsmann, G. Resch, R. Houdré, E. Hadji

article

CLEO/Europe-EQEC Conference - Photonic Applications in Biology and Medicine, Jun 2023, Munich, Germany. pp.1-1, ⟨10.1109/CLEO/EUROPE-EQEC57999.2023.10232707⟩

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titre

Plasma etching processes of a sub-10 nm resolution high-χ block copolymer self-assembled into spin-on-carbon trenches

auteur

A. F. Putranto, C. Petit-Etienne, B. Cabannes-Boué, G. Fleury, G. Cunge, M. Kogelschatz, M. Zelsmann

article

Plasma Etch and Strip for Microtechnology workshop – PESM 2023, Jun 2023, Grenoble, France

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titre

On-chip nanotweezers for ultrafast antibacterial susceptibility testing at the single-cell scale: the case of bacteriophages

auteur

E. Tartari, S. Glicenstein, N. Villa, E. Picard, E. Hadji, P. Marcoux, M. Zelsmann, G. Resch, R. Houdré

article

CLEO/Europe-EQEC Conference - Photonic Applications in Biology and Medicine, Jun 2023, Munich, Germany. ⟨10.1109/CLEO/EUROPE-EQEC57999.2023.10231793⟩

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titre

Analyse angulaire parallèle en XPS pour l’étude de la courbure de bande de la surface du GaN selon le dopage et les traitements de surface

auteur

Laurent Xu, Sophie Guillemin, Jérôme Biscarrat, Bernard Pelissier

article

JNPSE 2023, May 2023, SOPHIA ANTIPOLIS, France

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titre

Optimization of La2NiO4+δ – based memristive devices for spiking neural networks

auteur

Aleksandra Koroleva, Thoai‐khanh Khuu, Céline Ternon, Mónica Burriel, Elena Ioana Vatajelu

article

International Conference on Memristive Phenomena in Chalcogenides and Beyond, May 2023, Berchtesgaden, Germany

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titre

Comparing Monocrystalline SiC N-P-N Epitaxial and Implanted Junctions for Isolation in Neural Interfaces

auteur

Scott Greenhorn, Gwenaelle Pound-Lana, Jumana Boussey, Edwige Bano, Valerie Stambouli, N Makris, Konstantinos Zekentes

article

47th Workshop on Compound Semiconductor Devices and Integrated Circuits held in Europe (WOCSDICE) & 18th Expert Evaluation and Control of Compound Semiconductor Materials and Technologies (-EXMATEC 2024), May 2023, Palermo, Italy

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Glioblastoma cancer cells destruction by mechanical stimulation using magnetic particles: in vitro versus in vivo assays and investigations in 3D gels

auteur

C. Naud, C. Thébault, A. Visonà, H. Joisten, F. Berger, M. Carrière, Y. Hou, A. Nicolas, B. Dieny, R. Morel

article

2023 IEEE International Magnetic Conference, May 2023, Sendai, Japan. pp.1-2, ⟨10.1109/INTERMAGShortPapers58606.2023.10228246⟩

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Large Diameter Epi-Ready InP on Si (InPOSi) Substrates

auteur

B. Ghyselen, Fx Darras, O. Mourey, C. Navone, L. Sanchez, C. Di Nardo, C. Crobu, L. Toselli, B. Rousset, J. Dechamp, F. Milesi, L. Gabette, F. Fournel, J. Decobert, C. Besancon, M. Martin, J. Moeyaert, T. Baron

article

International Conference on Compound Semiconductor Manufacturing Technology, May 2023, Orlando, United States

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titre

Trapping of biological objects on SOI guided optics’ micro-resonators

auteur

Khouloud Arfaoui, S Glicenstein, M. Zelsmann, Pierre R. Marcoux, E. Picard, Valerie Stambouli, Emmanuel Hadji

article

6ème édition des rencontres de jeunes physicien.ne.s (RJP), Apr 2023, Grenoble, France

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titre

On Chip Optical Nanotweezers for Ultrafast Antibiotic and Bacteriophage Susceptibility Testing

auteur

N. Villa, E. Tartari, S. Glicenstein, E. Picard, P. Marcoux, M. Zelsmann, G. Resch, E. Hadji, R. Houdré

article

Optica Biophotonics Congress: Optics in the Life Sciences – OLS 2023, Apr 2023, Vancouver (Canada), Canada

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titre

Crossbar Arrays based on “Wall” Phase-Change Memory (PCM) and Ovonic- Threshold Switching (OTS) Selector: a Device Integration Challenge Towards New Computing Paradigms in Embedded Applications

auteur

G. Bourgeois, V. Meli, R. Antonelli, C. Socquet-Clerc, T. Magis, F. Laulagnet, B. Hemard, M. Bernard, L. Fellouh, P. Dezest, J. Krawczyk, S. Dominguez, F. Baudin, J. Garrione, C. Pellissier, J.-A. Dallery, N. Castellani, M.-C. Cyrille, C. Charpin, F. Andrieu, G. Navarro

article

IEEE EDTM, Mar 2023, SEOUL, South Korea

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titre

Optical trapping and manipulation of biological objects with photonic crystal nanotweezers

auteur

N. Villa, S. Glicenstein, E. Tartari, M. Tardif, E. Picard, P. Marcoux, M. Zelsmann, G. Resch, R. Houdré, E. Hadji

article

Photonic and Electromagnetic Crystal Structures conference - PECS-XIII, mars 2023, Tokyo (Japon), Mar 2023, Tokyo (JP), Japan

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titre

Controlled nanopatterning and plasma etching of sub-100 nm nanopillars for low dislocation density of pendeo-epitaxy GaN: Towards MicroDisplays,

auteur

N. Labchir, S. Hammami, K. Baril, M. Wehbe, S. Labau, C. Petit-Etienne, B. Alloing, M. Charles, J. Zuniga Perez, C. Gourgon

article

SPIE Conference: Gallium Nitride Materials and Devices XVIII, Jan 2023, San Francisco, USA, United States

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titre

Recent micro-LED technology for display applications based on GaN pendeo-epitaxy using SOI nanopillars

auteur

S. Hammami, N. Labchir, K. Baril, P.M. Coulon, B. Alloing, J. Zuniga Perez, C. Gourgon, M. Charles, L. Dupré

article

SPIE OPTO, 2023, SAN FRANCISCO, United States

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titre

Controlled nanopatterning and plasma etching of sub-100 nm nanopillars for low dislocation density of pendeo-epitaxy GaN: Towards MicroDisplays

auteur

S. Hammami, M. Wehbe, S. Labau, C. Petit-Etienne, B. Alloing, L. Dupré, M. Charles, J.Zuniga Perez, C. Gourgon

article

SPIE OPTO, 2023, SAN FRANCISCO, United States

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titre

Glioblastoma Cancer Cells Destruction by Mechanical Stimulation Using Magnetic Particles: In vitro versus In vivo Assays and Investigations in 3D Gels

auteur

C. Naud, C. Thébault, A. Visonà, H. Joisten, F. Berger, M. Carrière, Y. Hou, A. Nicolas, B. Dieny, R. Morel

article

IEEE International Magnetics Conference InterMag 2023, 2023, Sendai, Japan

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titre

Towards innovative treatments of cancers and diabetes based on magneto-mechanical stimulation of cells

auteur

C. Naud, C. Thébault, S. Ponomareva, A. Visonà, H. Joisten, F. Berger, M. Carrière, Y. Hou, R. Morel, A. Nicolas, B. Dieny.

article

Trends in MAGnetism, 2023, Rome, Italy

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Habilitation à diriger des recherches

titre

Analyses Physico-Chimiques de surface par spectroscopie de photoélectrons pour l'étude et le développement des procédés en micro et nanoélectronique

auteur

Bernard Pelissier

article

Physique [physics]. Université grenoble alpes, 2023

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titre

Développement d'outils numériques en microélectronique, application à la lithographie optique et à la métrologie dimensionnelle

auteur

Besacier Maxime

article

Sciences de l'information et de la communication. Université grenoble Alpes, 2023

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Patents

titre

DEVICE COMPRISING NANOWIRES

auteur

Xavier Baillin, Vincent Consonni, Stéphane Fanget, Bassem Salem, Raluca Tiron

article

France, Patent n° : EP4069883A1; FR3103828A1; FR3103828B1; US2023340672A1; WO2021110701A1. 2023

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titre

Procédé de détection d'une sensibilité de phages ou d'antibiotiques vis-à-vis d'une souche bactérienne

auteur

P. Marcoux, M. Zelsmann, Y. Roupioz, L. O’connell, E. Picard

article

France, N° de brevet: FR3146694. 2023

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titre

Gravitational method for assembling particles

auteur

David Peyrade, Anthony Leonard, Julien Cordeiro, Olivier Lecarme

article

United States, Patent n° : 11559825. 2023

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Poster communications

titre

Trapping of biological objects on SOI guided optical micro-resonators

auteur

K. Arfaoui, M. Zelsmann, E. Picard, P.R. Marcoux, V. Stambouli

article

Journée anuelle du GdR BIOMIMM, Dec 2023, GRENOBLE, France

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Magneto-mechanical stimulation of living cells: possible novel route towards innovative treatments of cancer and diabet

auteur

Robert Morel, Andrea Visonà, Cécile Naud, Caroline Thébault, Svetlana Ponomareva, Hélène Joisten, François Berger, Marie Carrière, Yanxia Hou, Alice Nicolas, Bernard Dieny

article

21ème Colloque Louis-Néel, Nov 2023, Sète, France

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Soft matrix maintains the molecular traits of pulmonary basal cells

auteur

Pierre-Alexandre Laval, Marie Piecyk, Paul Le Guen, Mirela-Diana Ilie, Joelle Fauvre, Isabelle Coste, Toufic Renno, N Aznar, Celine Hadji, Camille Migdal, Cedric Duret, Philippe Bertolino, Carole Ferraro-Peyret, Alice Nicolas, Cedric Chaveroux

article

Journée collaborative Lyon Biopole, Oct 2023, GRENOBLE, France

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Controlled wettability of mixed surfaces for enhanced water harvesting

auteur

Joyce Estephan, Marie Panabiere, Camille Petit-Etienne, Leo Bon, Jean-Herve Tortai, Cécile Gourgon

article

MNE2023 - Micro and Nano Engineering Conference, Sep 2023, Berlin, Germany

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Comparing 4H-SiC NPN Buffer Layers by Epitaxy and Implantation for Neural Interface Isolation

auteur

Scott Greenhorn, Konstantinos Zekentes, Edwige Bano, Valerie Stambouli, Gwenaelle Pound-Lana, Jumana Boussey

article

20th International Conference on Silicon Carbide and Related Materials (ICSCRM), Sep 2023, Sorrento, Italy

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Programming Characteristics in Innovative 1S1R “DPSA” Wall PCM + OTS Devices

auteur

Renzo Antonelli, Guillaume Bourgeois, Simon Martin, Valentina Meli, Niccolò Castellani, Antoine Salvi, François Andrieu, Abdelkader Souifi, Gabriele Navarro

article

European Phase Change and Ovonic Symposium (E\PCOS), Sep 2023, ROME, Italy

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Optical trapping of bacteria for ultrafast bacteriophage lysis detection at the single-cell level

auteur

H. de Villiers de La Noue, E. Tartari, N. Villa, S. Glicenstein, E. Picard, E. Hadji, P.R. Marcoux, M. Zelsmann, R. Houdré, G. Resch

article

Viruses of Microbes 2023 conference, Jul 2023, Tbilisi, Georgia

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Aspect ratio impact of etched silicon wafers on ion energy distribution in plasma etching

auteur

Nouhaila Rochdi, Martin Kogelschatz, Camille Petit-Etienne, Gilles Cunge

article

PESM, Jun 2023, GRENOBLE, France

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Plasma etching of nanopatterned GaN-based pillars for integrated μLEDs fabrication: application in μDisplays

auteur

N. Labchir, S. Hammami, K. Baril, M. Wehbe, S. Labau, C. Petit-Etienne, B. Alloing, M. Charles, J. Zuniga Perez, C. Gourgon

article

PLASMA ETCH AND STRIP MICROTECHNOLOGY (PESM 2023), Jun 2023, Grenoble, France

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Cellular Interaction with Low-Frequency-Vibrating Magnetic Nanoparticles in Bio-Mimetic Mechanical Environment

auteur

A. Visonà, B. Dieny, R. Morel, H. Joisten, A. Nicolas

article

École Résidentielle Interdisciplinaire en Nanosciences et Nanotechnologies, 2023, Saint-Jacut de la Mer, France

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Theses

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Quantitative analysis of the mechanical properties of healthy and cancer lung tissue for thedesign of mechano-mimetic culture substrates

auteur

Fabien Delebosse

article

Physics [physics]. Université Grenoble Alpes [2020-..], 2023. English. ⟨NNT : 2023GRALY048⟩

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Procédés de gravure à faible endommagement des surfaces : application à la gravure SiN sur AlGaN/GaN pour les transistors à haute mobilité électronique

auteur

Oleh Fesiienko

article

Sciences de l'ingénieur [physics]. Université de Sherbrooke (Québec, Canada); Université Grenoble Alpes, 2023. Français. ⟨NNT : ⟩

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New analogue-type resistive switching memristive devices for artificial synapse applications

auteur

Thoai-Khanh Khuu

article

Micro and nanotechnologies/Microelectronics. Université Grenoble Alpes [2020-..], 2023. English. ⟨NNT : 2023GRALT044⟩

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Developpement and implementation of nanocomposites as high permittivity thin films

auteur

Cédric Lapeyronie

article

Micro et nanotechnologies/Microélectronique. Université Grenoble Alpes [2020-..], 2023. Français. ⟨NNT : 2023GRALT039⟩

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titre

Micro-nanotechnology processes for the realization of imaging spectrometers dedicated to atmospheric survey

auteur

Nadine Gerges

article

Micro et nanotechnologies/Microélectronique. Université Grenoble Alpes [2020-..], 2023. Français. ⟨NNT : 2023GRALT058⟩

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Preprints, Working Papers, ...

titre

2D cell culture on soft hydrogel drives an endoplasmic reticulum stress-dependent S quiescence underlying molecular traits of pulmonary basal cells

auteur

Pierre-Alexandre Laval, Marie Piecyk, Paul Le Guen, Mirela Ilie, Joelle Fauvre, Isabelle Coste, Toufic Renno, N Aznar, Stéphane Ansieau, Celine Hadji, Camille Migdal, Cedric Duret, Philippe Bertolino, Carole Ferraro-Peyret, Alice Nicolas, Cedric Chaveroux

article

2023

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