2024

Journal articles

titre

Incorporation and Compensatory Doping Processes of Cu into ZnO Nanowires Investigated at the Local Scale

auteur

Manuel Manrique, Bassem Salem, Eirini Sarigiannidou, Hervé Roussel, Fabrice Wilhelm, Fabrice Donatini, Véronique Jacob, Gwenaël Le Rhun, Vincent Consonni

article

Small Structures, 2024, pp.2400534. ⟨10.1002/sstr.202400534⟩

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titre

Magnetism for mechanobiology and related biomedical applications

auteur

Bernard Diény, Robert Morel, Hélène Joisten, Cécile Naud, Alice Nicolas, Andrea Visonà, Patricia Obeïd, Stéphane Belin, François Berger

article

Physical Review Applied, In press

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Precision defect integrated graphene as reliable support membrane for high-resolution cryo-transmission electron microscopy

auteur

Kshipra Sharma, Uriel López-Sánchez, Hugues Nury, Guy Schoehn, Claudine Darnault, Cécile Breyton, Camille Petit-Etienne, Céline Vergnaud, Wai Li Ling, Gilles Cunge, Hanako Okuno

article

Carbon, 2024, 230, pp.119625. ⟨10.1016/j.carbon.2024.119625⟩

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titre

Precision defect integrated graphene as reliable support membrane for high-resolution cryo-transmission electron microscopy

auteur

Kshipra Sharma, Uriel López-Sánchez, Hugues Nury, Guy Schoehn, Claudine Darnault, Cécile Breyton, Camille Petit-Etienne, Céline Vergnaud, Wai Li Ling, Gilles Cunge, Hanako Okuno

article

Carbon, 2024, 230, pp.119625. ⟨10.1016/j.carbon.2024.119625⟩

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titre

Spectroscopic investigation of oxidation in GaSe 2D layered materials

auteur

Badreddine Smiri, Rémy Bernardin, Mickael Martin, Hervé Roussel, Jean Luc Deschanvres, Emmanuel Nolot, Névine Rochat, Franck Bassani, Thierry Baron, Bernard Pelissier

article

Microelectronic Engineering, 2024, 294, pp.112256. ⟨10.1016/j.mee.2024.112256⟩

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titre

Passivating and low damaging plasma etching of GaN using Cl 2 and SiCl 4 for recessed gate MOSc-HEMT devices

auteur

David Cascales, Patricia Pimenta Barros, Eugenie Martinez, Riadh Ben Abbes, Bassem Salem

article

Semiconductor Science and Technology, 2024, 39 (11), pp.115026. ⟨10.1088/1361-6641/ad8303⟩

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titre

Fabrication of high aspect ratio AlN nanopillars by top-down approach combining plasma etching and wet etching

auteur

Lucas Jaloustre, Saron Sales de Mello, Sébastien Labau, Camille Petit-Etienne, Erwine Pargon

article

Materials Science in Semiconductor Processing, 2024, 181, pp.108615. ⟨10.1016/j.mssp.2024.108615⟩

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titre

Plasma-enhanced atomic layer deposition of silicon nitride thin films with different substrate biasing using Diiodosilane precursor

auteur

Mohammed Zeghouane, Gauthier Lefevre, Sébastien Labau, Mohammed-Bilal Hachemi, Franck Bassani, Bassem Salem

article

Materials Science in Semiconductor Processing, 2024, 184 (5), pp.108851. ⟨10.1016/j.mssp.2024.108851⟩

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Dimensionality effect on surface states and piezoelectric behavior in ZnO nanowires grown by pulsed-liquid injection metal–organic chemical vapor deposition

auteur

Lisa Legardinier, Gustavo Ardila, Quang Chieu Bui, Isabelle Gélard, Carmen Jiménez, Thomas Jalabert, Manuel Manrique, Bassem Salem, Sébastien Labau, Matthieu Weber, Fabrice Donatini, Vincent Consonni

article

ACS Applied Electronic Materials, 2024, 6 (9), pp.6344-6355. ⟨10.1021/acsaelm.4c00549⟩

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titre

Effective InAsP dislocation filtering layers for InP heteroepitaxy on CMOS-standard (001) silicon

auteur

Shangfeng Liu, Bogdan-Petrin Ratiu, Hui Jia, Zhao Yan, Ka Ming Wong, Mickael Martin, Mingchu Tang, Thierry Baron, Huiyun Liu, Qiang Li

article

Applied Physics Letters, 2024, 125, pp.082102. ⟨10.1063/5.0219507⟩

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titre

Mobility Extraction Using Improved Resistance Partitioning Methodology for Normally-OFF Fully Vertical GaN Trench MOSFETs

auteur

Valentin Ackermann, Blend Mohamad, Hala El Rammouz, Vishwajeet Maurya, Eric Frayssinet, Yvon Cordier, Matthew Charles, Gauthier Lefevre, Julien Buckley, Bassem Salem

article

Electronics, 2024, 13 (12), pp.2350. ⟨10.3390/electronics13122350⟩

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titre

Controlled wettability of biphilic patterned surfaces for enhanced atmospheric water harvesting

auteur

Joyce Estephan, Marie Panabière, Camille Petit-Etienne, Sebastien Labau, Léo Bon, Jean-Hervé Tortai, Cécile Gourgon

article

Micro and Nano Engineering, 2024, 23, pp.100255. ⟨10.1016/j.mne.2024.100255⟩

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titre

Development of Nanopillar Arrays Nanopatterning Without Lift‐Off for Transferable GaN‐Based µLEDs

auteur

Nabil Labchir, Saber Hammami, Kilian Baril, Maya Wehbe, Sebastien Labau, Jerome Reche, Camille Petit-Etienne, Marie Panabière, Pierre‐marie Coulon, Blandine Alloing, Daniel Pino Munoz, Jesus Zuniga-Perez, Patrice Gergaud, Matthew Charles, Cécile Gourgon

article

Advanced Materials Technologies, 2024, ⟨10.1002/admt.202400166⟩

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titre

Controlled Anisotropic Wetting by Plasma Treatment for Directed Self-Assembly of High-χ Block Copolymers

auteur

Achmad Fajar Putranto, Camille Petit-Etienne, Sébastien Cavalaglio, Benjamin Cabannes-Boué, Marie Panabiere, Gianluca Forcina, Guillaume Fleury, Martin Kogelschatz, Marc Zelsmann

article

ACS Applied Materials & Interfaces, 2024, 16 (21), pp.27841-27849. ⟨10.1021/acsami.4c01657⟩

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titre

PbS quantum dot thin film dry etching

auteur

Nicolas Le Brun, Gilles Cunge, Pascal Gouraud, Camille Petit-Etienne, Linda Parmigiani, Stéphane Allegret-Maret, Denis Guiheux, Jonathan Steckel

article

Journal of Vacuum Science & Technology A, 2024, 42 (3), ⟨10.1116/6.0003335⟩

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titre

Thermal catalytic etching of diamond by double-metal layers

auteur

D.D. Tran, C. Mannequin, M. Bonvalot, A. Traoré, H. Mariette, M. Sasaki, Etienne Gheeraert

article

Diamond and Related Materials, 2024, 145, pp.111075. ⟨10.1016/j.diamond.2024.111075⟩

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titre

Organized AlN Nanowire Arrays by Hybrid Approach of Top-Down Processing and MOVPE Overgrowth for Deep UV Emission Devices

auteur

Lucie Valera, Lucas Jaloustre, Valérie Reita, Saron R.S. de Mello, Edith Bellet-Amalric, Camille Petit-Étienne, Erwine Pargon, Gwenolé Jacopin, Christophe Durand

article

ACS Applied Nano Materials, 2024, 7 (9), pp.10338-10349. ⟨10.1021/acsanm.4c00814⟩

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Vapor chemical composition in Electron Beam Powder Bed Fusion using Ti-6Al-4V powder

auteur

Vinicius Antunes, Abderzak El Farsy, Angela Crespi, Charles Ballage, Ovidiu Vasilovici, Patrick Chapon, Camille Petit-Etienne, Erwine Pargon, Tiberiu Minea

article

International Journal of Advanced Manufacturing Technology, 2024, 132 (9-10), pp.5103-5110. ⟨10.1007/s00170-024-13553-4⟩

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titre

Synthesis and Optical Properties of CH₃NH₃PbI₃ Nanorods with Defects States

auteur

Hassan Najih, Nabil Labchir, Abdellah Tihane, Abdelfattah Narjis, Lahoucine Atourki, Abdessalam Elfanaoui, Ahmed Ihlal

article

Journal of Nano Research, 2024, 82, pp.47-53. ⟨10.4028/p-FSoIl4⟩

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titre

Sb2S3 as a low-loss phase-change material for mid-IR photonics

auteur

Adam Biegański, Marko Perestjuk, Rémi Armand, Alberto Della Torre, Capucine Laprais, Guillaume Saint-Girons, Vincent Reboud, Jean-Michel Hartmann, Jean-Hervé Tortai, Antonin Moreau, Julien Lumeau, Thach Nguyen, Arnan Mitchell, Christelle Monat, Sébastien Cueff, Christian Grillet

article

Optical Materials Express, 2024, 14 (4), pp.862. ⟨10.1364/OME.511923⟩

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titre

Effect of Al 2 O 3 thickness and oxidant precursors on the interface composition and contamination in Al 2 O 3 /GaN structures

auteur

Tarek Spelta, Eugénie Martinez, Marc Veillerot, Pedro Fernandes Paes Pinto Rocha, Laura Vauche, Bassem Salem, Bérangère Hyot

article

Surface and Interface Analysis, 2024, 57 (21), pp.215106. ⟨10.1002/sia.7299⟩

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titre

A nanoscale study of hafnium oxide resistive memory switching dynamics

auteur

S Blonkowski, M Benyoussef, M Kogelschatz

article

Journal of Physics D: Applied Physics, 2024, 57 (21), pp.215106. ⟨10.1088/1361-6463/ad2ab4⟩

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titre

Comparative Passivation of Si(100) by H 2 and D 2 Atmospheres under Simultaneous Xe + Bombardment: An X-ray Photoelectron Spectroscopy Analysis

auteur

V. Antunes, M. Jimenez, F. Cemin, C. Figueroa, F. Alvarez

article

Langmuir, 2024, 40 (9), pp.4824-4830. ⟨10.1021/acs.langmuir.3c03723⟩

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titre

Enhancing the Output Voltage of Piezoelectric Nanogenerators Based on ZnO Nanowires Grown by Chemical Bath Deposition Using Compensatory Cu Doping

auteur

Manuel Manrique, Vincent Consonni, Sarah Boubenia, Hervé Roussel, Mohammed Zeghouane, Sébastien Labau, Sébastien Cavalaglio, Catherine Pudda, Véronique Jacob, Gwenael Le Rhun, Bassem Salem

article

Energy Technology, 2024, 12 (5), pp.2301381. ⟨10.1002/ente.202301381⟩

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Steady-State Semi-Analytical Modeling of p-Doped Quantum Dot Lasers Thermal Characteristics and Extrapolation to Membrane Lasers

auteur

Mattéo Chobé, Karim Hassan

article

IEEE Journal of Quantum Electronics, 2024, 60 (1), pp.1-9. ⟨10.1109/JQE.2023.3342180⟩

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titre

Optical trapping and fast discrimination of label‐free bacteriophages at the single virion level

auteur

Nicolas Villa, Enrico Tartari, Simon Glicenstein, Hugues de Villiers de la Noue, Emmanuel Picard, Pierre Marcoux, Marc Zelsmann, Grégory Resch, Emmanuel Hadji, Romuald Houdré

article

Small, 2024, ⟨10.1002/smll.202308814⟩

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titre

Faceting mechanisms of GaN nanopillar under KOH wet etching

auteur

Lucas Jaloustre, Saron Sales De Mello, Sébastien Labau, Camille Petit-Etienne, Erwine Pargon

article

Materials Science in Semiconductor Processing, 2024, 173, pp.108095. ⟨10.1016/j.mssp.2023.108095⟩

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titre

Enhancing minority carrier lifetime in Ge: Insights from HF and HCl cleaning procedures

auteur

Alexandre Chapotot, Jérémie Chrétien, Oleh Fesiienko, Erwine Pargon, Jinyoun Cho, Kristof Dessein, Abderraouf Boucherif, Gwenaëlle Hamon, Maxime Darnon

article

Journal of Vacuum Science & Technology A, 2024, 42, pp.013203. ⟨10.1116/6.0003236⟩

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Impact of plasma operating conditions on the ion energy and angular distributions in dual-frequency capacitively coupled plasma reactors using CF4 chemistry

auteur

Pierre Ducluzaux, Delia Ristoiu, Gilles Cunge, Emilie Despiau-Pujo

article

Journal of Vacuum Science & Technology A, 2024, 42 (1), ⟨10.1116/6.0003291⟩

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titre

Hybridization of ellipsometry and XPS energy loss: Robust band gap and broadband optical constants determination of SiGe, HfON and MoOx thin films

auteur

Théo Levert, Alter Zakhtser, Julien Duval, Chloé Raguenez, Stéphane Verdier, Delphine Le Cunff, Jean-Hervé Tortai, Bernard Pelissier

article

Microelectronic Engineering, 2024, 283 (1), pp.112117. ⟨10.1016/j.mee.2023.112117⟩

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titre

Sclerosing Epithelioid Fibrosarcoma (SEF) versus Low Grade Fibromyxoid Sarcoma (LGFMS): Presentation and outcome in the nationwide NETSARC+ series of 330 patients over 13 years

auteur

JY Blay, C. Tlemsani, M. Toulmonde, A. Italiano, M. Rios, E. Bompas, T. Valentin, F. Duffaud, Lr Le Nail, S. Watson, N. Firmin, P. Dubray-Longeras, M. Ropars, C. Perrin, A. Hervieu, C. Lebbe, E. Saada-Bouzid, P. Soibinet, F. Fiorenza, F. Bertucci, P. Boudou, G. Vaz, S. Bonvalot, C. Honoré, P. Marec-Berard, V. Minard, M. Cleirec, D. Biau, P. Meeus, A. Babinet, V. Dumaine, S. Carriere, M. Fau, G. Decanter, F. Gouin, C. Ngo, F. Le Loarer, M. Karanian, A. Meurgey, A. Dufresne, M. Brahmi, C. Chemin-Airiau, F. Ducimetiere, N. Penel, A. Le Cesne

article

European Journal of Cancer, 2024, 196, pp.113454. ⟨10.1016/j.ejca.2023.113454⟩

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titre

Programming Operations Analysis and Statistics in One Selector and One Memory Ovonic Threshold Switching + Phase‐Change Memory Double‐Patterned Self‐Aligned Structure

auteur

Renzo Antonelli, Guillaume Bourgeois, Simon Martin, Valentina Meli, Niccoló Castellani, Antoine Salvi, Sylvain Gout, Mathieu Bernard, Pattamon Dezest, François Andrieu, Abdelkader Souifi, Gabriele Navarro

article

physica status solidi (RRL) - Rapid Research Letters (pss RRL), 2024, ⟨10.1002/pssr.202300429⟩

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titre

Substrate softness increases magnetic microdiscs-induced cytotoxicity

auteur

Andrea Visonà, Sébastien Cavalaglio, Sébastien Labau, Sébastien Soulan, Hélène Joisten, François Berger, Bernard Diény, Robert Morel, Alice Nicolas

article

Nanoscale Advances, 2024, ⟨10.1039/D4NA00704B⟩

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Conference papers

titre

Cellular interaction with low frequency-vibrating nanoparticles in bio-mimetic mechanical environment

auteur

A. Visonà, Sebastien Soulan, Hélène Joisten, Bernard Diény, R. Morel, Alice Nicolas

article

Journée SFP Physique du vivant, Nov 2024, Grenoble, France

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titre

Enhanced physisorption of CF radicals on Si surfaces cooled at cryogenic temperature and application to deep etching

auteur

J. Nos, S. Iseni, G. Cunge, M. Kogelschatz, P. Lefaucheux, E. Despiau-Pujo, T. Tillocher, R. Dussart

article

45th International Symposium on Dry Process (DPS), Nov 2024, Hokkaïdo, Japan

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titre

Low damaged GaN surface through passivating plasma etching and post-etch treatments for improved GaN-MOS capacitor performance

auteur

David Cascales, Patricia Pimenta Barros, Eugénie Martinez, Riadh Ben Abbes, Bassem Salem

article

AVS 70, Nov 2024, Tampa, United States

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titre

SF6- and CF-based plasmas interaction with Si and SiO2 at room and cryogenic temperature: Insights from molecular dynamics simulation”

auteur

J. Romero Cedillo, G. Cunge, E. Despiau-Pujo

article

70th American Vacuum Society (AVS) International Symposium, Nov 2024, Tampa, United States

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titre

Le rôle des parois des réacteurs

auteur

Gilles Cunge

article

Ecole Technologique des Plasmas Froids – 17ièmes journées du réseau, Oct 2024, Carry le Rouet, France

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titre

Controlled anisotropic wetting by plasma treatment for DSA of high-x block copolymers and SERS

auteur

Achmad Fajar Putranto, Camille Petit-Etienne, Sébastien Cavalaglio, Benjamin Cabannes-Boué, Marie Panabiere, Gianluca Forcina, Raphael Ramos, Guillaume Fleury, Martin Kogelschatz, Marc Zelsmann

article

Directed Self-Assembly (DSA) 2024, Oct 2024, Grenoble, France

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titre

Self-assembly and dry etching of high- block copolymers in a microelectronics context

auteur

M. Zelsmann

article

International Conference on Directed Self‐Assembly and Nanostructured Materials – DSA 2024, Oct 2024, Grenoble, France

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titre

Le rôle des parois des réacteurs.

auteur

Gilles Cunge

article

Ecole Technologique des Plasmas Froids – 17ièmes journées du réseau, Oct 2024, Carry-le rouet, France

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titre

Reading reliability in 1S1R OTS+PCM devices based on Double-Patterned Self-Aligned structure

auteur

Renzo Antonelli, Guillaume Bourgeois, Valentina Meli, Zineb Saghi, Théo Monniez, Simon Martin, Niccoló Castellani, Mathieu Bernard, Leila Fellouh, Antoine Salvi, Sylvain Gout, Francois Andrieu, Abdelkader Souifi, Gabriele Navarro

article

ESREF 2024 - 35th European Symposium on Reliability of Electron Devices, Failure Physics and Analysis, Sep 2024, Parme, Italy

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titre

Toward Large Scale Production of III-VI 2D Materials and heterostructures by Pulsed MOCVD

auteur

R. Bernardin, M. Martin, F. Bassani, H. Okuno, S. Cavalaglio, A. Marty, B. Smiri, J. Moeyaert, B. Hyot, T. Baron

article

E-MRS Fall Meeting 2024, Sep 2024, Varsovie, Poland

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titre

Study of In0.53Ga0.47As/ InP/InAlAs/InP heterostructures by ToF-SIMS and HAXPES

auteur

G. Tsamo Tagougue, E. Martinez, M. Veillerot, V. Thoréton, F. Bassani, M. Martin, T. Baron

article

SIMS-24, 8-13, Sep 2024, La Rochelle, France

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titre

Photonic Crystal Cavities for Ultrafast Antimicrobial Susceptibility Testing at the Single-Bacterium Level

auteur

Enrico Tartari, Nicolas Villa, Hugues de Villiers de la Noue, Simon Glicenstein, Khouloud Arfaoui, Emmanuel Picard, Marc Zelsmann, Pierre Marcoux, Emmanuel Hadji, Grégory Resch, Romuald Houdré

article

2024 IEEE BioSensors Conference (BioSensors), Jul 2024, Cambridge, France. pp.1-4, ⟨10.1109/biosensors61405.2024.10712681⟩

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titre

3D Interconnects and III-V Semiconductor Plasma Etching for Low-cost and High-efficiency Photonic Devices

auteur

Mathieu De Lafontaine, Bidaud Thomas, Gay Guillaume, Pargon Erwine, Petit-Etienne Camille, Turala Artur, Jaouad Abdelatif, Valdivia Christopher E., Hinzer Karin, Fafard Simon, Aimez Vincent, Darnon Maxime

article

optica advanced photonics congress, Jul 2024, Quebec, Canada

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Development and study of active-passive butt-joint regrowth of AlGaInAs and GaInAsP on InP via MOVPE

auteur

G. Afonso De Castro, N. Vaissiere, C. Calo, J.-F. Paret, D. Micha, M. Korti, G. Cerulo, F. Bassani, T. Baron, F. Pommereau, J. Decobert

article

JNOG 2024, Jul 2024, Rouen, France

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titre

Nano-lithography with high- block copolymers: interplay between self-organization and dewetting kinetics

auteur

G. Forcina, C. Petit-Etienne, S. Cavalaglio, B. Cabannes-Boué, M. Panabiere, G. Fleury, M. Zelsmann

article

IUPAC Macro 2024, Jul 2024, Warwick, United Kingdom

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titre

Integrated photonic crystal nanotweezers for bacteria and bacteriophages viruses trapping and susceptibility testing

auteur

N. Villa, E. Tartari, S. Glicenstein, E. Picard, P. Marcoux, M. Zelsmann, G. Resch, E. Hadji, R. Houdré

article

International Conference on Transparent Optical Networks – ICTON 2024, Jul 2024, BARI, Italy

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titre

Magnetic Nanoparticles for Cells Magneto-Mechanical Stimulation: A new tool for Mechanobiology and Innovative Therapies

auteur

R. Morel, Andrea Visonà, Cécile Naud, Caroline Thébault, Svetlana Ponomareva, Hélène Joisten, François Berger, Marie Carrière, Yanxia Hou, Alice Nicolas, Patricia Obeïd, Xavier Gidrol, Bernard Dieny

article

ICM 2024, Jun 2024, Bologne (ITA), Italy

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titre

Large magnetic particles for biomedical applications

auteur

R. Morel, Andrea Visoná, Cécile Naud, Caroline Thébault, Svetlana Ponomareva, Hélène Joisten, François Berger, Marie Carrière, Yanxia Hou, Alice Nicolas, Bernard Dieny

article

HMAG'24, Jun 2024, Iglesias, Italy

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titre

Large magnetic particles for biomedical applications

auteur

R. Morel, A. Visonà, C. Naud, C. Thébault, S. Ponomareva, H. Joisten, F. Berger, M. Carrière, Y. Hou, A. Nicolas, B. Dieny

article

HMAG'24, Jun 2024, Iglesias, Italy

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titre

Mechanobiological responses of cells induced by magneto-mechanical stimulation

auteur

Hélène Joisten, Cécile Naud, Andrea Visoná, Robert Morel, Alice Nicolas, Yanxia Hou, Marie Carrière, Stephane Belin, François Berger, Bernard Diény

article

14th International Conference on the Scientific and Clinical Applications of Magnetic Carriers, Jun 2024, Barcelona, Spain

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titre

Mechanobiological responses of cells induced by magneto-mechanical stimulation.

auteur

Hélène Joisten, Cécile Naud, Andrea Visoná, Robert Morel, Alice Nicolas, Yanxia Hou, Marie Carrière, Stéphane Belin, François Berger, Bernard Diény

article

14th International Conference on the Scientific and Clinical Applications of Magnetic Carriers, Jun 2024, Barcelone, Spain

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titre

3D structures sidewalls tuning using smart grayscale photolithography mask strategies

auteur

Gaby Bélot, Aurélien Fay, Élodie Sungauer, Merlin Moreau, Sébastien Bérard-Bergery, Cécile Gourgon

article

39th European Mask and Lithography Conference (EMLC 2024), Jun 2024, Grenoble, France. ⟨doi.org/10.1117/12.3028461⟩

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Impact of the GaN plasma etching parameters on the gate morphology for lateral and vertical power devices

auteur

David Cascales, Patricia Pimenta Barros, Eugénie Martinez, Simon Ruel, Bassem Salem

article

PESM 2024, Jun 2024, Louvain, Belgium

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titre

How to produce high aspect ratio GaN and AlN nanopillar arrays with m-oriented facets by combining dry and wet processes for the fabrication of next generation deep ultraviolet light-emitting diodes ?

auteur

L Jaloustre, L Valera, S Sales de Mello, S Labau, C Petit-Etienne, G Jacopin, C Durand, E Pargon

article

Plasma Etch and Strip in Microelectronics (PESM), 14th International Workshop, Jun 2024, Leuven, Belgium

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titre

Multiscale hybrid modelling of resist microlenses etching in DF-CCP CF4 plasmas

auteur

E Despiau-Pujo, P Ducluzaux, D Ristoiu, G Cunge

article

Plasma Etch Strip in Microelectronics (PESM), Jun 2024, Leuven, Belgium

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titre

Elementary surface reactions during F- and CF- based plasma cryoetching of Si and SiO2: a molecular dynamics study

auteur

J. Romero Cedillo, G. Cunge, E. Despiau-Pujo

article

Plasma Etch Strip in Microelectronics (PESM), Jun 2024, Leuven, Belgium

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titre

On the plasma etching mechanisms of high aspect ratio aluminum nitride nanowires patterning

auteur

S Sales De Mello, L. Jaloustre, S Labau, C Petit-Etienne, G Jacopin, E. Pargon

article

bPlasma Etch and Strip in Microelectronics (PESM), 14th International Workshop, Jun 2024, Leuven, Belgium

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titre

Development of plasma surface treatment on GaN analyzed by quasi in-situ pARXPS

auteur

L. Xu, S. Guillemin, J. Biscarrat, B. Pelissier

article

ECASIA, Jun 2024, Goteborg, Sweden

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titre

Study of In0,53Ga0,47As/ InP/InAlAs/InP heterostructures by TOF-SIMS and HAXPES

auteur

Guy-Vano Tsamo Tagougue, Eugénie Martinez, Marc Veillerot, Vincent Thoreton, Thierry Baron, Franck Bassani, Mickael Martin

article

SIMS 24, Jun 2024, Rochelle, France

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titre

Trapping of biological objects on SOI optical photonic crystal micro-resonators

auteur

K. Arfaoui, N. Villa, E. Tartari, S. Glicenstein, D. David, E. Picard, G. Resch, E. Hadji, P. R. Marcoux, R. Houdré, M. Zelsmann

article

IEEE Sensors France chapter 2024, Jun 2024, Grenoble, France

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titre

Magnetism for mechanobiology and related biomedical applications

auteur

Bernard Dieny, Andrea Visonà, Robert Morel, Hélène Joisten, Patricia Obeïd, Alice Nicolas, Stéphane Belin, François Berger

article

Intermag 2024, May 2024, Rio de Janeiro (BR), Brazil

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titre

Controlled anisotropic wetting by plasma treatment for directed self-assembly of high-x block copolymers

auteur

Achmad Fajar Putranto, Camille Petit-Etienne, Sébastien Cavalaglio, Benjamin Cabannes-Boué, Marie Panabiere, Gianluca Forcina, Guillaume Fleury, Martin Kogelschatz, Marc Zelsmann

article

European Material Research Society (EMRS) Spring Meeting, May 2024, Strasbourg, France

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titre

Self-assembly of high-resolution block copolymers in a microelectronics context

auteur

M. Zelsmann

article

Annual IS2M Colloquium – Self-Assembled Functional Materials, May 2024, Mulhouse, France

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titre

Anisotropic controlled wetting by plasma treatment for directed self-assembly of high-χ block copolymers

auteur

A. F. Putranto, C. Petit-Etienne, S. Cavalaglio, B. Cabannes-Boué, M. Panabiere, G. Forcina, G. Fleury, M. Kogelschatz, M. Zelsmann

article

European Materials Research Society conference- E-MRS 2024, Spring Meeting, May 2024, Strasbourg, France

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titre

Reconfigurable SiGe waveguide using Sb2S3 phase-change material in the mid-IR

auteur

Adam Bieganski, Marko Perestjuk, Remi Armand, Alberto Della Torre, Capucine Laprais, Guillaume Saint-Girons, Vincent Reboud, Jean-Michel Hartmann, Jean Herve Tortai, Antonin Moreau, Julien Lumeau, Arnan Mitchell, Thach Nguyen, Christelle Monat, Sébastien Cueff

article

CLEO 2024, May 2024, Charlotte, United States

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titre

Rethinking mask strategies for high vertical resolution grayscale lithography

auteur

Gaby Bélot, Aurélien Fay, Elodie Sungauer, Ujwol Palanchoke, Sébastien Bérard-Bergery, Cécile Gourgon

article

Symposium on Photomask and Next-Generation Lithography Mask Technology, Apr 2024, Yokohama, Japan. pp.131770D, ⟨10.1117/12.3032088⟩

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titre

Trapping of biological objects on SOI optical photonic crystal micro-resonators

auteur

Khouloud Arfaoui, N Villa, E. Tartari, S. Glicenstein, E. Picard, G. Resch, E. Hadji, P.R. Marcoux, R. Houdré, Valerie Stambouli, M. Zelsmann

article

SPIE Photonics Europe 2024, Apr 2024, Strasbourg, France

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Self-assembly of high-resolution block copolymers in a microelectronics context

auteur

M. Zelsmann

article

FBPol 2024 French Bazialian meeting on polymers, Apr 2024, Florianopolis, Brazil

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Pre-amorphization implantation (PAI) process assessment for GaN contact technologies

auteur

L. Xu, S. Guillemin, M. Coig, R. Souil, P. Gergaud, N. Bernier, D. Mariolle, J. Biscarrat, Ph. Rodriguez, B. Pelissier

article

MAM, Mar 2024, Milan, Italy

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Trapping of biological objects on SOI optical photonic crystal micro-resonators

auteur

K. Arfaoui, E. Picard, E. Hadji, P. R. Marcoux, V. Stambouli, M. Zelsmann

article

Réunion de printemps du Club Microcapteurs chimiques 2024 - Biocapteurs pour la santé, Mar 2024, Grenoble, France

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Soft extracellular matrix drives an endoplasmic reticulum stress-dependent S quiescence underlying molecular traits of pulmonary basal cells

auteur

Cedric Chaveroux, Alice Nicolas

article

6th workshop of mechanobiology and physics of life, Jan 2024, GRENOBLE, France

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Monolithic integration of GaAs based compounds on silicon platform for photonic and optoelectronic devices,

auteur

T. Baron, V. Letka, H. Hijazi, M. Chobe, L. Mallet-Dida, M. Martin, J. Moeyaert, N. Massara, J. Mignot, J. Ritchy, C. Licitra, R. Thibon, S. Barbet, D. Mouloua, F. Boeuf, C. Jany, K. Hassan

article

SPIE Photonics West, Jan 2024, San Francisco, United States

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Trapping of biological objects on SOI optical photonic crystal microresonators

auteur

K. Arfaoui, N. Villa, E. Tartari, S. Glicenstein, Dylan David, E. Picard, G. Resch, E. Hadji, P. Marcoux, R. Houdré, Valerie Stambouli, M. Zelsmann

article

IEEE Sensors, 2024, Grenoble, France

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titre

Optical trapping of bacteria for ultrafast bacteriophage lysis detection at the single-cell level

auteur

H. de Villiers de La Noue, N. Villa, E. Tartari, S. Glicenstein, E. Picard, E. Hadji, P. Marcoux, M. Zelsmann, R. Houdré, G. Resch

article

34th European Congress of Clinical Microbiology and Infectious Deseases, 2024, Barcelona, Spain

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titre

Trapping of biological objects on SOI optical microresonators

auteur

K. Arfaoui, N. Villa, E. Tartari, S. Glicenstein, E. Picard, G. Resch, E. Hadji, P. Marcoux, R. Houdré, Valerie Stambouli, M. Zelsmann

article

SPIE Photonics Europe, 2024, Strasbourg, France

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TLM-based numerical extraction for CMOS-compatible N+ InGaAs ohmic contacts on 200mm Si substrates

auteur

Antoine Lombrez, Alexis Divay, Hervé Boutry, Léo Colas, Nicolas Coudurier, Stephane Altazin, Thierry Baron

article

EuroSOI-ULIS 2024, 2024, Athènes, Greece

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Impact of roughness and wettability on dew condensation for atmospheric water harvesting

auteur

J. Estephan, C. Gourgon, M. Panabière, J.H. Tortai

article

International Conference on Micro and NanoEngineering (MNE 2024), 2024, Montpellier, France

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titre

Impact of roughness and wettability on dew condensation for atmospheric water harvesting

auteur

J. Estephan, C. Gourgon, M. Panabière, J.H. Tortai

article

International Conference on Micro and NanoEngineering (MNE 2024), 2024, Montpellier, France

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titre

Photonic crystal cavities as real-time sensors for single bacteria-antimicrobial interaction

auteur

E. Tartari, N. Villa, H. de Villiers de La Noue, S. Glicenstein, E. Picard, P. Marcoux, M. Zelsmann, E. Hadji, G. Resch, R. Houdré

article

Nanoinnovation conference, 2024, Rome, Italy

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Patents

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FORMING NANOWIRES

auteur

Clément Lausecker, Xavier Baillin, Vincent Consonni, Bassem Salem

article

France, Patent n° : EP4069884A1; FR3103829A1; FR3103829B1; US2024026544A1; WO2021110705A1. 2024

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Poster communications

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Microfabrication of 3D electrodes array on flexible substrate for a top-approach multi-site stimulation of neurons in fluorescence microscopy on rodent brain-slices

auteur

Thibault Fresneau, Marc Zelsmann, Marco Canepari

article

LABEX ICST Last Meeting - NH Collection Genova Marina Hotel, Oct 2024, Genes, Italy

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titre

Nano-lithography with high-chi block copolymers: inter-relation between self-organization and dewetting kinetics

auteur

G. Forcina, E. Saad, S. Roland, F. Restagno, B. Cabannes-Boué, G. Fleury, M. Zelsmann

article

International Conference on Directed Self‐Assembly and Nanostructured Materials – DSA 2024, Oct 2024, Grenoble, France

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titre

Controlled anisotropic wetting by plasma treatment for DSA of high- block copolymers and SERS

auteur

A. F. Putranto, C. Petit-Etienne, S. Cavalaglio, B. Cabannes-Boué, M. Panabiere, G. Forcina, R. Ramos, G. Fleury, M. Kogelschatz, M. Zelsmann

article

International Conference on Directed Self‐Assembly and Nanostructured Materials – DSA 2024, Oct 2024, Grenoble, France

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titre

Photonic crystal cavities for ultrafast antimicrobial susceptibility testing at the single-bacterium level

auteur

E. Tartari, N. Villa, H. de Villiers de La Noue, S. Glicenstein, K. Arfaoui, E. Picard, M. Zelsmann, P. R. Marcoux, E. Hadji, G. Resch, R. Houdré

article

IEEE Biosensors 2024, Aug 2024, Cambridge (Angleterre), United Kingdom

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titre

Optical trapping fot the SUperfastof photonic detection of bacterioPhages Lysis (SUPPLY)

auteur

N. Villa, E. Tartari, H. de Villiers de La Noue, S. Glicenstein, E. Picard, M. Zelsmann, P. R. Marcoux, E. Hadji, R. Houdré, G. Resch

article

Viruses of Microbes 2024 conference, Jul 2024, Cairns (Australie), Australia

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titre

Low power CO2 detection for sensor integration on FDSOI-CMOS technology for real-time air quality monitoring

auteur

Aymen Ghouma, Bassem Salem, Sébastien Cavalaglio, Jean-Raoul Plaussu, Guillaume Crowin, Riadh Ben Abbes, Stéphane Monfray, Tomas Fiorido, Marc Bendahan, Abdelkader Souifi

article

EuroSOI-ULIS 2024, May 2024, Athènes, Greece

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titre

Optimization of implantable glucose biofuel cells (GBFCs) based on gold nanostructures

auteur

T. Lecourt, A. Zebda, M. Zelsmann, S. Tsulimura

article

Réunion de printemps du Club Microcapteurs chimiques 2024 - Biocapteurs pour la santé – CMC2 2024, Mar 2024, Grenoble, France

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titre

3D scaffolds with tunable physical properties for the study of cell behavior

auteur

Aída Gabriela Fernández Contreras, Jean-Hervé Tortai, Alice Nicolas

article

6th workshop of mechanobiology and physics of life, Jan 2024, GRENOBLE, France

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titre

Quantitative analysis of the mechanical properties of healthy and cancer lung tissue for the design of mechano-mimetic culture substrates

auteur

F. Delebosse, D. Fuard, S. Soulan, C. Perrin, L. Chalabreysse, C. Migdal, A. Nicolas

article

6th workshop of mechanobiology and physics of life, Jan 2024, GRENOBLE, France

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titre

Emerging Electronic Properties from Periodically Strained Graphene

auteur

L.-M. Benneka, M. Zelsmann, C. B. Winkelmann, V. T. Renard

article

Journées Surfaces et Interfaces – JSI 2024, Jan 2024, Grenoble, France

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titre

Nano-lithography with high- block copolymers: interplay between self-organization and dewetting kinetics

auteur

G. Forcina, M. Zelsmann, G. Fleury

article

Journées Surfaces et Interfaces – JSI 2024, Jan 2024, Grenoble, France

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titre

Ohmic contact deposition on InGaAs/InP for Si-CMOS compatible HBT fabrication

auteur

Antoine Lombrez, Nicolas Coudurier, Hervé Boutry, Alexis Divay, Léo Colas, Mael Robin, Stephane Altazin, Thierry Baron

article

MAM 2024, 2024, MILAN, Italy

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titre

Nanopillars imprinted on 200 mm GaN/SOI wafers for bottom-up µleds fabrication

auteur

C. Gourgon, N. Labchir, J. Rêche, C. Petit Etienne, S. Labau, M. Panabière, B. Alloing, P.M. Coulon, M. Charles

article

39th European Mask and Lithography Conference (EMLC 2024), 2024, Grenoble, France

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Proceedings

titre

3D structures sidewalls tuning using smart grayscale photolithography mask strategies

auteur

Gaby Bélot, Aurélien Fay, Elodie Sungauer, Merlin Moreau, Sébastien Bérard-Bergery, Cécile Gourgon

article

39th European Mask and Lithography Conference (EMLC 2024), 13273, SPIE, pp.14, 2024, ⟨10.1117/12.3028461⟩

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titre

Magneto-mechanical stimulation of living cells: towards innovative therapies based on mechanobiological effects

auteur

Bernard Dieny, Andrea Visonà, Cécile Naud, Hélène Joisten, Robert Morel, Alice Nicolas, Marie Carrière, François Berger

article

Conférence IWMPI, 10 (1), International Journal on Magnetic Particle Imaging IJMPI, 2024, ⟨10.18416/IJMPI.2024.2403027⟩

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Theses

titre

Plasma etching of quantum dots materials

auteur

Nicolas Le Brun

article

Micro et nanotechnologies/Microélectronique. Université Grenoble Alpes [2020-..], 2024. Français. ⟨NNT : 2024GRALT056⟩

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titre

Development of 3D Topographical Selective Deposition through the combination of PE(ALD) and ALE processes in microelectronics

auteur

Moustapha Jaffal

article

Micro et nanotechnologies/Microélectronique. Université Grenoble Alpes [2020-..], 2024. Français. ⟨NNT : 2024GRALT046⟩

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titre

3D simulation of etching processes by reactive plasma : application to the etching of resist microlenses in CF4 chemistry

auteur

Pierre Ducluzaux

article

Micro et nanotechnologies/Microélectronique. Université Grenoble Alpes [2020-..], 2024. Français. ⟨NNT : 2024GRALT039⟩

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