Publications HAL de la collection IEMN

2023

Journal articles

titre
Effects of stochastic forces on the nonlinear behaviour of a silicon nitride membrane nanoelectromechanical resonator
auteur
Sri Saran Venkatachalam, Xin Zhou
article
Nanotechnology, 2023, 34 (21), pp.215202. ⟨10.1088/1361-6528/acbeb0⟩
identifiant
hal-04007442
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https://hal.science/hal-04007442/file/AAM_Nanotechnology_2023_Effects_of_stochastic_forces_on_the_nonlinear_behaviour_of_a_silicon_nitride_membrane_nanoelectromechanical_resonator.pdf BibTex
titre
Nanomechanical damping via electron-assisted relaxation of two-level systems
auteur
Olivier Maillet, Dylan Cattiaux, Xin Zhou, Rasul R. Gazizulin, Olivier Bourgeois, Andrew D. Fefferman, Eddy Collin
article
Physical Review B, 2023, 107 (6), pp.064104. ⟨10.1103/PhysRevB.107.064104⟩
identifiant
hal-03007076
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https://arxiv.org/pdf/2009.03804 BibTex
titre
A micro-electro-mechanical accelerometer based on gallium nitride on silicon
auteur
C. Morelle, D. Théron, I. Roch-Jeune, Pascal Tilmant, Etienne Okada, F. Vaurette, Bertrand Grimbert, Joff Derluyn, Stefan Degroote, Marianne Germain, M. Faucher
article
Applied Physics Letters, 2023, 122 (3), pp.033502. ⟨10.1063/5.0127987⟩
identifiant
hal-03945292
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https://hal.science/hal-03945292/file/APL22-AR-07980.pdf BibTex
titre
Microwave Optomechanically Induced Transparency and Absorption Between 250 and 450 mK
auteur
Sumit Kumar, Dylan Cattiaux, Eddy Collin, Andrew Fefferman, Xin Zhou
article
Journal of Low Temperature Physics, 2023, 210, pp.562-572. ⟨10.1007/s10909-022-02671-6⟩
identifiant
hal-03554556
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https://arxiv.org/pdf/2104.09208 BibTex
titre
Thermodynamics of a single mesoscopic phononic mode
auteur
Ilya Golokolenov, Arpit Ranadive, Luca Planat, Martina Esposito, Nicolas Roch, Xin Zhou, Andrew Fefferman, Eddy Collin
article
Physical Review Research, 2023, 5 (1), pp.013046. ⟨10.1103/PhysRevResearch.5.013046⟩
identifiant
hal-03765514
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https://hal.science/hal-03765514/file/Golokolenov_PhysRevResearch_2023.pdf BibTex
titre
Quantifying and correcting tilt-related positioning errors in microcantilever-based microelectromechanical systems probes
auteur
S. Arscott
article
Journal of Micromechanics and Microengineering, In press, ⟨10.1088/1361-6439/acd25e⟩
identifiant
hal-04092921
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https://hal.science/hal-04092921/file/Arscott_JMM_2023.pdf BibTex

2022

Journal articles

titre
Imaging of THz photonic modes by scattering scanning near-field optical microscopy
auteur
L. Thomas, Theo Hannotte, Cristiane N. Santos, Benjamin Walter, Melanie Lavancier, Sophie Eliet, Marc Faucher, Jean-Francois Lampin, Romain Peretti
article
ACS Applied Materials & Interfaces, 2022, 14 (28), pp.32608-32617. ⟨10.1021/acsami.2c01871⟩
identifiant
hal-03608482
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https://hal.science/hal-03608482/file/preprint_snom_paper_SI.pdf BibTex
titre
SOI-based micro-mechanical terahertz detector operating at room-temperature and atmospheric pressure
auteur
Kevin Froberger, Benjamin Walter, Melanie Lavancier, Romain Peretti, Guillaume Ducournau, Jean-Francois Lampin, Marc Faucher, Stefano Barbieri
article
Applied Physics Letters, 2022, 120 (26), pp.261103. ⟨10.1063/5.0095126⟩
identifiant
hal-03742065
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https://arxiv.org/pdf/2204.03970 BibTex
titre
On overtravel and skate in cantilever-based probes for on-wafer measurements
auteur
S. Arscott
article
Journal of Micromechanics and Microengineering, 2022, 32 (5), pp.057001. ⟨10.1088/1361-6439/ac521e⟩
identifiant
hal-03582730
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https://hal.science/hal-03582730/file/Arscott%202022%20J.%20Micromech.%20Microeng.%2032%20057001.pdf BibTex
titre
Efficient valley polarization of charged excitons and resident carriers in Molybdenum disulfide monolayers by optical pumping
auteur
Sangjun Park, S. Arscott, Takashi Taniguchi, Kenji Watanabe, Fausto G Sirotti, Fabian Cadiz
article
Communications Physics, 2022, 5, pp.73. ⟨10.1038/s42005-022-00850-1⟩
identifiant
hal-03627916
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https://hal.science/hal-03627916/file/Park%20et%20al%20Com%20Phys%202022.pdf BibTex
titre
Erratum: On-chip thermometry for microwave optomechanics implemented in a nuclear demagnetization cryostat [Phys. Rev. Applied 12 , 044066 (2019)]
auteur
Xin Zhou, D. Cattiaux, R.R. Gazizulin, A. Luck, O. Maillet, T. Crozes, J-F. Motte, Olivier Bourgeois, A. Fefferman, E. Collin
article
Physical Review Applied, 2022, 17 (4), pp.049901. ⟨10.1103/PhysRevApplied.17.049901⟩
identifiant
hal-03700570
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BibTex
titre
Short bends using curved mirrors in silicon waveguides for terahertz waves
auteur
Mattias Verstuyft, Elias Akiki, Mathias Vanwolleghem, Guillaume Ducournau, Jean-Francois Lampin, Benjamin Walter, Fuanki Bavedila, Édouard Lebouvier, Marc Faucher, Bart Kuyken
article
Optics Express, 2022, 30 (5), pp. 6656-6670. ⟨10.1364/OE.447268⟩
identifiant
hal-03695019
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https://hal.science/hal-03695019/file/Verstuyft_2022_oe-30-5-6656.pdf BibTex
titre
Over-wavelength pitch sized diffraction gratings for augmented reality applications
auteur
Valter Drazic, Oksana Shramkova, Bobin Varghese, Laurent Blondé, Vincent Brac de La Perrière, Jesse Schiffler, Patrice Twardowski, Sylvain Lecler, Benjamin Walter, Estelle Mairiaux, Fuanki Bavedila, Marc Faucher, Valérie Allié
article
Optics Express, 2022, 30 (2), pp.1293-1303. ⟨10.1364/OE.446077⟩
identifiant
hal-03561356
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https://hal.science/hal-03561356/file/Drazic_OpticsExpress_2022_30-2-1293.pdf BibTex
titre
A comparison of pad metallization in miniaturized microfabricated silicon microcantilever-based wafer probes for low contact force low skate on-wafer measurements
auteur
Khadim Daffe, Jaouad Marzouk, Christophe Boyaval, Gilles Dambrine, Kamel Haddadi, S. Arscott
article
Journal of Micromechanics and Microengineering, 2022, 32 (1), pp.015007. ⟨10.1088/1361-6439/ac3cd7⟩
identifiant
hal-03449369
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https://hal.science/hal-03449369/file/Arscott_JMM_2022%20%281%29.pdf BibTex
titre
Strong and weak polarization-dependent interactions in connected and disconnected plasmonic nanostructures
auteur
Damien Eschimèse, Francois Vaurette, Céline Ha, S. Arscott, Thierry Melin, Gaëtan Lévêque
article
Nanoscale Advances, 2022, 4 (4), pp.1173-1181. ⟨10.1039/d1na00620g⟩
identifiant
hal-03561511
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https://hal.science/hal-03561511/file/Eschimese_2022_NanoscaleAdvances_d1na00620g.pdf BibTex
titre
Skate, overtravel, and contact force of tilted triangular cantilevers for microcantilever-based MEMS probe technologies
auteur
S. Arscott
article
Scientific Reports, 2022, 12 (1), pp.19386. ⟨10.1038/s41598-022-23973-5⟩
identifiant
hal-03850667
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https://cnrs.hal.science/hal-03850667/file/Arscott_s41598-022-23973-5.pdf BibTex
titre
Coupling Capacitively Distinct Mechanical Resonators for Room-Temperature Phonon-Cavity Electromechanics
auteur
Alok Pokharel, Hao Xu, Srisaran Venkatachalam, Eddy Collin, Xin Zhou
article
Nano Letters, 2022, 22 (18), pp.7351-7357. ⟨10.1021/acs.nanolett.2c01848⟩
identifiant
hal-03651266
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https://hal.science/hal-03651266/file/coupling%20capacitively%20distinct%20mechanical%20resonator%20for%20room%20temperature%20phonon-cavity%20electromechanics.pdf BibTex

Conference papers

titre
Split-ring resonators imaged by THz s-SNOM
auteur
Cristiane Santos, Theo Hannotte, Louis Thomas, Benjamin Walter, Melanie Lavancier, Sophie Eliet, Marc Faucher, Jean-Francois Lampin, Romain Peretti
article
2022 47th International Conference on Infrared, Millimeter and Terahertz Waves (IRMMW-THz), Aug 2022, Delft, Netherlands. pp.1-2, ⟨10.1109/IRMMW-THz50927.2022.9895984⟩
identifiant
hal-03835305
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titre
Impedance measurements in La0.7Sr 0.3MnO3 thin films for uncooled THz bolometers
auteur
T. Quinten, Y. Lechaux, V. Pierron, Jean-Francois Lampin, C. Gunther, L. Mechin, Marc Faucher, B. Walter, B. Guillet
article
2022 47th International Conference on Infrared, Millimeter and Terahertz Waves (IRMMW-THz), Aug 2022, Delft, Netherlands. pp.1-2, ⟨10.1109/IRMMW-THz50927.2022.9896104⟩
identifiant
hal-03794713
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titre
Design and manufacture of a self-sufficient flexible and implantable neuroelectronic device
auteur
Chakrya-Anna Chhuon, Hélène Moulet, Alexis Vlandas, Philippe Mariage, Marc Faucher, Flavie Braud, A. Cappy, Christel Vanbesien, Virginie Hoel
article
2ème édition des rencontres C'Nano Nord-Ouest, RJNO 2022, C'Nano Nord-Ouest, May 2022, Lille, France
identifiant
hal-03663741
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titre
Development of a silicon substrate thinning process for a flexible and self-sufficient neuroelectronic implant
auteur
Chakrya-Anna Chhuon, Hélène Moulet, Alexis Vlandas, Philippe Mariage, Marc Faucher, Flavie Braud, Christel Vanbesien, Virginie Hoel
article
IEEE Lille Engineering dor Medicine and Biology Conference, IEEE Lille Student Branch, Apr 2022, Lille, France
identifiant
hal-03778069
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titre
Imagerie en champ proche aux fréquences térahertz
auteur
Jean-Francois Lampin, Cristiane Nascimento Santos, Théo Hannotte, Louis Thomas, Sophie Eliet, Romain Peretti, Benjamin Walter, Fuanki Bavedila, Marc Faucher
article
23eme forum des microscopies à sondes locales, Mar 2022, Saint-Valery-sur-Somme, France
identifiant
hal-03613264
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2021

Journal articles

titre
Passivation of miniature microwave coplanar waveguides using a thin film fluoropolymer electret
auteur
Jaouad Marzouk, Vanessa Avramovic, David Guérin, S. Arscott
article
Scientific Reports, 2021, ⟨10.1038/s41598-021-03540-0⟩
identifiant
hal-03483190
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https://hal.science/hal-03483190/file/Sci_Rep_Nature_2021.pdf BibTex
titre
A macroscopic object passively cooled into its quantum ground state of motion beyond single-mode cooling
auteur
D. Cattiaux, I. Golokolenov, S. Kumar, M. Sillanpää, L. Mercier de Lépinay, R. R Gazizulin, Xin Zhou, A. D Armour, Olivier Bourgeois, A. Fefferman, E. Collin
article
Nature Communications, 2021, 12, pp.6182. ⟨10.1038/s41467-021-26457-8⟩
identifiant
hal-03412629
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https://hal.science/hal-03412629/file/Ground_state_v8.pdf BibTex
titre
Surface micromachining of chip-edge silicon microcantilevers using xenon difluoride etching of silicon-on-insulator
auteur
Thomas Lerond, Dmitri Yarekha, Vanessa Avramovic, Thierry Melin, S. Arscott
article
Journal of Micromechanics and Microengineering, 2021, 31 (8), pp.085001. ⟨10.1088/1361-6439/ac0807⟩
identifiant
hal-03411474
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https://hal.science/hal-03411474/file/Lerond_et_al_R2.pdf BibTex
titre
Development of a millimeter-long Travelling wave THz photomixer
auteur
Fuanki Bavedila, Charbel Tannoury, Quyang Lin, Sylvie Lepilliet, Vanessa Avramovic, Etienne Okada, Dmitri Yarekha, Marc Faucher, David Troadec, Jean-Francois Lampin, Guillaume Ducournau, Goulc'Hen Loas, Vincent Magnin, Emilien Peytavit
article
Journal of Lightwave Technology, 2021, 39 (14), pp.4700-4709. ⟨10.1109/JLT.2021.3078226⟩
identifiant
hal-03264678
Accès au texte intégral et bibtex
https://hal.science/hal-03264678/file/ManuscriptJLT_HAL.pdf BibTex
titre
Electric circuit model of microwave optomechanics
auteur
Xin Zhou, Dylan Cattiaux, Didier Theron, Eddy Collin
article
Journal of Applied Physics, 2021, 129 (11), pp.114502. ⟨10.1063/5.0039624⟩
identifiant
hal-03066796
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https://hal.science/hal-03066796/file/2007.14438v2.pdf BibTex
titre
Intertrack surface losses in miniature coplanar waveguide on silicon-on-insulator
auteur
Jaouad Marzouk, Vanessa Avramovic, S. Arscott
article
Journal of Physics D: Applied Physics, 2021, 54 (4), pp.045102. ⟨10.1088/1361-6463/abbc36⟩
identifiant
hal-03094146
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https://hal.science/hal-03094146/file/Intertract_Losses_JPhysD_2020.pdf BibTex
titre
Piezoresistance in defect-engineered silicon
auteur
Heng Li, Abel Thayil, Chris Lew, Marcel Filoche, Brett Johnson, Jeff Mccallum, S. Arscott, Alistair C. H. Rowe
article
Physical Review Applied, 2021, 15 (1), 014046, 9 p. ⟨10.1103/PhysRevApplied.15.014046⟩
identifiant
hal-03003310
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https://hal.science/hal-03003310/file/Rowe_2021_PhysRevApplied.15.014046.pdf BibTex
titre
Low impedance and highly transparent microelectrode arrays (MEA) for in vitro neuron electrical activity probing
auteur
Anna Susloparova, Sophie Halliez, Séverine Begard, Morvane Colin, Luc Buée, Sébastien Pecqueur, F. Alibart, V. Thomy, S. Arscott, Emiliano Pallecchi, Yannick Coffinier
article
Sensors and Actuators B: Chemical, 2021, 327, pp.128895. ⟨10.1016/j.snb.2020.128895⟩
identifiant
hal-03094481
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https://hal.science/hal-03094481/file/SNB.pdf BibTex
titre
High-Q silicon nitride drum resonators strongly coupled to gates
auteur
Xin Zhou, Srisaran Venkatachalam, Ronghua Zhou, Hao Xu, Alok Pokharel, Andrew Fefferman, Mohammed Zaknoune, Eddy Collin
article
Nano Letters, 2021, 21 (13), pp.5738-5744. ⟨10.1021/acs.nanolett.1c01477⟩
identifiant
hal-03263144
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https://hal.science/hal-03263144/file/XinZhou.2104.07142-Nanoletters2021.pdf BibTex
titre
Near-field scanning millimeter-wave microscope operating inside a scanning electron microscope: towards quantitative electrical nanocharacterization
auteur
Petr Polovodov, Didier Theron, Clément Lenoir, D. Deresmes, Sophie Eliet, Christophe Boyaval, Gilles Dambrine, Kamel Haddadi
article
Applied Sciences, 2021, 11 (6), pp.2788. ⟨10.3390/app11062788⟩
identifiant
hal-03320954
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https://hal.science/hal-03320954/file/Polovodov_Haddadi_applsci-11-02788.pdf BibTex

Conference papers

titre
Design and manufacture of flexible implantable and energy autonomous neuroelectronic devices
auteur
Chakrya-Anna Chhuon, Hélène Moulet, Alexis Vlandas, Philippe Mariage, Marc Faucher, Flavie Braud, A. Cappy, Christel Vanbesien, Virginie Hoel
article
GDR BioComp PhD Forum 2021, GDR BioComp, Nov 2021, Grenoble (virtual), France
identifiant
hal-03450517
Accès au texte intégral et bibtex
https://hal.science/hal-03450517/file/GDR%20BioComp_Chhuon.pdf BibTex
titre
SOI-based opto-mechanical Terahertz bolometer operating at room temperature with microsecond response time
auteur
K. Froberger, Marc Faucher, B. Walter, M. Lavancier, Romain Peretti, Jean-Francois Lampin, Guillaume Ducournau, S Barbieri
article
2021 46th International Conference on Infrared, Millimeter and Terahertz Waves (IRMMW-THz), Aug 2021, Chengdu, China. pp.1-2, ⟨10.1109/IRMMW-THz50926.2021.9566981⟩
identifiant
hal-03448757
Accès au bibtex
BibTex
titre
Millimeter-long travelling wave photoconductors for THz generation by photomixing
auteur
Fuanki Bavedila, Charbel Tannoury, Quyang Lin, Sylvie Lepilliet, Vanessa Avramovic, Etienne Okada, Dmitri Yarekha, Marc Faucher, David Troadec, Jean-Francois Lampin, Guillaume Ducournau, Goulc'Hen Loas, Vincent Magnin, Emilien Peytavit
article
46th International Conference on Infrared, Millimeter and Terahertz Waves (IRMMW-THz 2021), Aug 2021, Chengdu, China. ⟨10.1109/IRMMW-THz50926.2021.9567211⟩
identifiant
hal-03584648
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BibTex
titre
Investigation of mechanical modes coupling in silicon nitride drum resonators at room temperature
auteur
A Pokharel, Srisaran Venkatachalam, H Xu, Xin Zhou
article
17èmes journées de la matière condensée, JMC17, Aug 2021, Rennes, France
identifiant
hal-03381547
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BibTex
titre
H2S photoacoustic detection with an integrated THz gas sensor for food quality control
auteur
Elias Akiki, Marie-Hélène Mammez, Guillaume Ducournau, Marc Faucher, Benjamin Walter, Gaël Mouret, Jean-Francois Lampin, Mathias Vanwolleghem
article
Journées du GDR Nano TeraMIR, Jun 2021, Virtuel, France
identifiant
hal-03621511
Accès au bibtex
BibTex
titre
Consequences of antenna effects on s-SNOM imaging of a photonic mode
auteur
T Hannotte, Louis Thomas, C Nascimento Santos, M Lavancier, Sophie Eliet, B Walter, Marc Faucher, Jean-Francois Lampin, Romain Peretti
article
Conference on Lasers and Electro-Optics, CLEO 2021, OSA, May 2021, San Jose (virtual), United States. pp.SW2K.5, ⟨10.1364/CLEO_SI.2021.SW2K.5⟩
identifiant
hal-03313305
Accès au texte intégral et bibtex
https://hal.science/hal-03313305/file/OSAmeetings.pdf BibTex
titre
Piezoresistance in nano-silicon
auteur
Alistair C. H. Rowe, S. Arscott, Jeffrey Mccallum, Brett Johnson, Christopher Lew, Heng Li, Abel Thayil, Marcel Filoche
article
APS March Meeting 2021, Mar 2021, Virtual, United States
identifiant
hal-03113093
Accès au bibtex
BibTex

Preprints, Working Papers, ...

titre
Microwave optomechanical measurement of non-metallized SiN strings at mK temperatures
auteur
Sumit Kumar, Yannick Klass, Baptiste Alperin, Srisaran Venkatachalam, Xin Zhou, Eva Weig, Eddy Collin, Andrew Fefferman
article
2021
identifiant
hal-03363453
Accès au bibtex
https://arxiv.org/pdf/2110.00228 BibTex

2020

Journal articles

titre
Exploring the capabilities of scanning microwave microscopy to characterize semiconducting polymers
auteur
Olivier Douhéret, Didier Theron, David Moerman
article
Applied Sciences, 2020, 10 (22), 8234, 11 p. ⟨10.3390/app10228234⟩
identifiant
hal-03022518
Accès au texte intégral et bibtex
https://hal.science/hal-03022518/file/applsci-10-08234.pdf BibTex
titre
Geometrical nonlinearity of circular plates and membranes: An alternative method
auteur
D. Cattiaux, S. Kumar, Xin Zhou, A. Fefferman, E. Collin
article
Journal of Applied Physics, 2020, 128 (10), pp.104501. ⟨10.1063/5.0012329⟩
identifiant
hal-02949626
Accès au texte intégral et bibtex
https://hal.science/hal-02949626/file/DuffingDrum_v4.pdf BibTex
titre
Beyond linear coupling in microwave optomechanics
auteur
D. Cattiaux, Xin Zhou, S. Kumar, I. Golokolenov, R. R Gazizulin, A. Luck, L Mercier de Lépinay, M. Sillanpää, A. D Armour, A. Fefferman, E. Collin
article
Physical Review Research, 2020, 2 (3), pp.033480. ⟨10.1103/PhysRevResearch.2.033480⟩
identifiant
hal-02949631
Accès au texte intégral et bibtex
https://hal.science/hal-02949631/file/nonlinear_v14.pdf BibTex
titre
Nanoscale Studies at the Early Stage of Water-Induced Degradation of CH 3 NH 3 PbI 3 Perovskite Films Used for Photovoltaic Applications
auteur
Jaume Llacer, David Moerman, Olivier Douheŕet, Xavier Noirfalise, Claudio Quarti, Roberto Lazzaroni, Didier Theron, Philippe Leclere
article
ACS Applied Nano Materials, 2020, 3 (8), pp.8268-8277. ⟨10.1021/acsanm.0c01687⟩
identifiant
hal-03022558
Accès au texte intégral et bibtex
https://hal.science/hal-03022558/file/Llacer_Leclere_ACS_Appl_Nano_Mater_2020_3_8268_HAL.pdf BibTex
titre
High Q THz photonic crystal cavity on a low loss suspended Silicon platform
auteur
Elias Akiki, Marc Faucher, Mathias Vanwolleghem, Mattias Verstuyft, Bart Kuyken, Benjamin Walter, Jean-Francois Lampin, Guillaume Ducournau
article
IEEE Transactions on Terahertz Science and Technology, 2020, pp.1-1. ⟨10.1109/TTHZ.2020.3019928⟩
identifiant
hal-03065163
Accès au texte intégral et bibtex
https://hal.science/hal-03065163/file/09179004.pdf BibTex
titre
Precise tailoring of evaporated gold nanocones using electron beam lithography and lift-off
auteur
Damien Eschimese, Francois Vaurette, Thierry Melin, S. Arscott
article
Nanotechnology, 2020, 31 (22), pp.225302. ⟨10.1088/1361-6528/ab746e⟩
identifiant
hal-02507742
Accès au texte intégral et bibtex
https://hal.science/hal-02507742/file/Eschimese_et_al_Nanotechnology.pdf BibTex
titre
Modeling Crack Patterns by Modified STIT Tessellations
auteur
Roberto Leon, Werner Nagel, Joachim Ohser, S. Arscott
article
Image Analysis & Stereology, 2020, 39 (1), ⟨10.5566/ias.2245⟩
identifiant
hal-02540864
Accès au texte intégral et bibtex
https://hal.science/hal-02540864/file/2245-6217-2-PB.pdf BibTex
titre
The effect of thermal treatment on the neuronal cell biocompatibility of SU-8
auteur
Tiffany Baëtens, Severine Begard, Emiliano Pallecchi, S. Arscott, V. Thomy, Sophie S. Halliez
article
Materials Today Communications, 2020, pp.101073. ⟨10.1016/j.mtcomm.2020.101073⟩
identifiant
hal-02514939
Accès au texte intégral et bibtex
https://hal.science/hal-02514939/file/Baetens_et_al_SU-8.pdf BibTex
titre
Optomechanical resonating probe for very high frequency sensing of atomic forces
auteur
Pierre Etienne Allain, Lucien Schwab, Colin Mismer, Marc Gely, Estelle Mairiaux, Maxime Hermouet, Benjamin Walter, Giuseppe Leo, Sébastien Hentz, Marc Faucher, Guillaume Jourdan, Bernard Legrand, Ivan Favero
article
Nanoscale, 2020, 12 (5), pp.2939-2945. ⟨10.1039/c9nr09690f⟩
identifiant
hal-02997481
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https://hal.science/hal-02997481/file/OptomechProbe.pdf BibTex
titre
Optomechanical Resonating Probe for Very High Speed Sensing of Atomic Forces
auteur
Pierre Etienne Allain, Lucien Schwab, Colin Mismer, Marc Gély, Estelle Mairiaux, Maxime Hermouet, Benjamin Walter, Giuseppe Leo, Sébastien Hentz, Marc Faucher, Guillaume Jourdan, Bernard Legrand, Ivan Favero
article
Nanoscale, 2020, 12 (5), pp.2939-2945. ⟨10.1039/C9NR09690F⟩
identifiant
hal-01908683
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https://hal.laas.fr/hal-01908683/file/1810.06209.pdf BibTex
titre
The limits of edge bead planarization and surface levelling in spin-coated liquid films
auteur
S. Arscott
article
Journal of Micromechanics and Microengineering, 2020, 30, pp.025003. ⟨10.1088/1361-6439/ab60be⟩
identifiant
hal-02417965
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https://hal.science/hal-02417965/file/Edge_bead_JMM_Arscott.pdf BibTex
titre
Proposal for an integrated silicon-photonics terahertz gas detector using photoacoustics
auteur
Mattias Verstuyft, Elias Akiki, Benjamin Walter, Marc Faucher, Jean-Francois Lampin, Mathias Vanwolleghem, Bart Kuyken
article
Optics Express, 2020, 28 (15), pp.22424. ⟨10.1364/OE.397272⟩
identifiant
hal-03065114
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https://hal.science/hal-03065114/file/oe-28-15-22424.pdf BibTex

Conference papers

titre
Silicon nitride drum based microwave optomechanical system for the thermal brownian motion sensing
auteur
Srisaran Venkatachalam, Ronghua Zhou, Andrew Fefferman, Mohammed Zaknoune, Eddy Collin, Xin Zhou
article
3rd IEEE Sensors France International Workshop 2020, Nov 2020, Lille, France
identifiant
hal-03463810
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BibTex
titre
s-SNOM imaging of a THz photonic mode
auteur
Theo Hannotte, L. Thomas, Benjamin Walter, Melanie Lavancier, Sophie Eliet, Marc Faucher, Jean-Francois Lampin, Romain Peretti
article
2020 45th International Conference on Infrared, Millimeter and Terahertz Waves (IRMMW-THz), Nov 2020, Buffalo, United States. pp.1-2, ⟨10.1109/IRMMW-THz46771.2020.9370928⟩
identifiant
hal-03174553
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https://hal.science/hal-03174553/file/IRMMW2020_TH.pdf BibTex
titre
Operation of near-field scanning millimeter-wave microscopy up to 67 GHz under scanning electron microscopy vision
auteur
P Polovodov, Didier Theron, S. Eliet, Vanessa Avramovic, Christophe Boyaval, D. Deresmes, Gilles Dambrine, Kamel Haddadi
article
IEEE MTT International Microwave Symposium, IMS 2020, Jun 2020, Los Angeles (On-line event), United States. pp.95-98, ⟨10.1109/IMS30576.2020.9224090⟩
identifiant
hal-03022574
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https://hal.science/hal-03022574/file/Tu02E_4_Haddadi_finalpaper_03_05_2020_13_48.pdf BibTex

Book sections

titre
Control and automation for miniaturized microwave GSG nanoprobing
auteur
Alaa Taleb, Denis Pomorski, Christophe Boyaval, S. Arscott, Gilles Dambrine, Kamel Haddadi
article
Machine Vision and Navigation, Springer International Publishing, pp.751-768, 2020, ⟨10.1007/978-3-030-22587-2_24⟩
identifiant
hal-02345340
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https://hal.science/hal-02345340/file/TALEB_2020_Control%20and%20automation%20for%20miniaturized%20microwave%20GSG%20nanoprobing.pdf BibTex

Theses

titre
Hybrid perovskite materials : characterization of their electrical properties and stability at the nanoscale
auteur
Jaume Llàcer Martínez
article
Micro and nanotechnologies/Microelectronics. Université de Lille; Université de Mons, 2020. English. ⟨NNT : 2020LILUI062⟩
identifiant
tel-03622471
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https://theses.hal.science/tel-03622471/file/These_LLACER_MARTINEZ_Jaume.pdf BibTex

2019

Journal articles

titre
Size and shape control of a variety of metallic nanostructures using tilted, rotating evaporation and lithographic lift-off techniques
auteur
Damien Eschimese, Francois Vaurette, David Troadec, Gaëtan Lévêque, Thierry Melin, S. Arscott
article
Scientific Reports, 2019, 9 (1), ⟨10.1038/s41598-019-44074-w⟩
identifiant
hal-02345317
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https://hal.science/hal-02345317/file/Sci_Rep_Nature_2019.pdf BibTex
titre
Planarization and edge bead reduction of spin-coated polydimethylsiloxane
auteur
Tiffany Baëtens, S. Arscott
article
Journal of Micromechanics and Microengineering, 2019, 29 (11), pp.115005. ⟨10.1088/1361-6439/ab3b18⟩
identifiant
hal-02345333
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https://hal.science/hal-02345333/file/JMM_Baetens_and_Arscott.pdf BibTex
titre
On-chip Thermometry for Microwave Optomechanics Implemented in a Nuclear Demagnetization Cryostat
auteur
Xin Zhou, D. Cattiaux, R. Gazizulin, A. Luck, O. Maillet, T. Crozes, J.-F. Motte, Olivier Bourgeois, A. Fefferman, E. Collin
article
Physical Review Applied, 2019, 12 (4), pp.044066. ⟨10.1103/PhysRevApplied.12.044066⟩
identifiant
hal-02337982
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https://hal.science/hal-02337982/file/OnChip_v8.pdf BibTex
titre
Metallized SU-8 thin film patterns on stretchable PDMS
auteur
Tiffany Baëtens,, Emiliano Pallecchi, V. Thomy, S. Arscott
article
Journal of Micromechanics and Microengineering, 2019, 29 (9), pp.095009. ⟨10.1088/1361-6439/ab307f⟩
identifiant
hal-02345306
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https://hal.science/hal-02345306/file/Baetens_et_al_JMM.pdf BibTex
titre
Mechanical stress dependence of the Fermi level pinning on an oxidized silicon surface
auteur
H. Li, L. Martinelli, Fabian Cadiz, A. Bendounan, S. Arscott, F. Sirotti, A.C.H. Rowe
article
Applied Surface Science, 2019, 478, pp.284-289. ⟨10.1016/j.apsusc.2019.01.207⟩
identifiant
hal-02319831
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https://hal.science/hal-02319831/file/Am.pdf BibTex
titre
On evaporation via an inclined rotating circular lift-off shadow or stencil mask
auteur
S. Arscott
article
Journal of Vacuum Science & Technology B Microelectronics and Nanometer Structures, 2019, 37 (1), pp.011602. ⟨10.1116/1.5057404⟩
identifiant
hal-02345344
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https://hal.science/hal-02345344/file/Inclined_Evaporation_JVST_Arscott.pdf BibTex
titre
Giant, Anomalous Piezoimpedance in Silicon-on-insulator
auteur
H. Li, C.T.K. Lew, B.C. Johnson, J.C. Mccallum, S. Arscott, A.C.H. Rowe
article
Physical Review Applied, 2019, 11 (4), pp.044010. ⟨10.1103/PhysRevApplied.11.044010⟩
identifiant
hal-02345325
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https://hal.science/hal-02345325/file/Li_2019_PhysRevApplied.11.044010.pdf BibTex
titre
A Comparative Investigation of Plasmonic Properties between Tunable Nanoobjects and Metallized Nanoprobes for Optical Spectroscopy
auteur
Damien Eschimese, Patrick Hsia, Francois Vaurette, D. Deresmes, De Philippe Bettignies, Joachim Schreiber, Marc Chaigneau, S. Arscott, Gaëtan Lévêque, Thierry Melin
article
Journal of Physical Chemistry C, 2019, 123 (46), pp.28392-28400. ⟨10.1021/acs.jpcc.9b09977⟩
identifiant
hal-02349635
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https://hal.science/hal-02349635/file/Eschimese_Journal%20of%20Physical%20Chemistry%20C_2019.pdf BibTex

Conference papers

titre
Characterization of electromechanically induced absorption and transparency in microwave optomechanical device
auteur
Sumit Kumar, Dylan Cattiaux, Andrew Fefferman, Eddy Collin, Xin Zhou
article
International Conference on Quantum Metrology and Sensing, Dec 2019, Paris, France
identifiant
hal-02424742
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titre
Optomechanics: a key towards next-generation experiments in atomic force microscopy?
auteur
Lucien Schwab, Pierre Allain, Didier Theron, Marc Faucher, Benjamin Walter, Sébastien Hentz, Guillaume Jourdan, Ivan Favero, Bernard Legrand
article
International Conference on Quantum Metrology and Sensing, Dec 2019, Paris, France
identifiant
hal-02407634
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titre
Lithographic metal nanostructures for tip-enhanced spectroscopic methods
auteur
Damien Eschimese, Thomas Lerond, S. Arscott, Gaëtan Lévêque, Thierry Melin
article
8th Huitième conférence plénière biennale du GDR ONDES -CentraleSupélec, Oct 2019, Gif-sur-Yvette, France
identifiant
hal-03094847
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https://hal.science/hal-03094847/file/waves_1.pdf BibTex
titre
Spectroscopic characterization of lithographic metal nanostructures for tip-enhanced spectroscopic methods
auteur
Damien Eschimese, Thomas Lerond, S. Arscott, Gaëtan Lévêque, Thierry Melin, Damien Eschimese
article
8th Waves Conference, Oct 2019, Gif-sur-Yvette, France
identifiant
hal-03094832
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https://hal.science/hal-03094832/file/waves_2.pdf BibTex
titre
A Suspended Silicon Terahertz platform with low loss waveguide and high Q Photonic Crystal cavities
auteur
Elias Akiki, Mattias Verstuyft, Guillaume Ducournau, Benjamin Walter, Estelle Mairiaux, Marc Faucher, Jean-Francois Lampin, Bart Kuyken, Mathias Vanwolleghem
article
2019 44th International Conference on Infrared, Millimeter, and Terahertz Waves (IRMMW-THz), Sep 2019, Paris, France. pp.1-2, ⟨10.1109/IRMMW-THz.2019.8873957⟩
identifiant
hal-03100266
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https://hal.science/hal-03100266/file/08873957.pdf BibTex
titre
Terahertz near-field imaging using batch-fabricated cantilevers with 70 μm long tips
auteur
B. Walter, E. Mairiaux, D. Vignaud, Sophie Eliet, Jean-Francois Lampin, Marc Faucher
article
2019 44th International Conference on Infrared, Millimeter, and Terahertz Waves (IRMMW-THz), Sep 2019, Paris, France. pp.1-2, ⟨10.1109/IRMMW-THz.2019.8874242⟩
identifiant
hal-02398422
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https://hal.science/hal-02398422/file/08874242.pdf BibTex
titre
An Integrated Photoacoustic Terahertz Gas Sensor
auteur
Mattias Verstuyft, Elias Akiki, Benjamin Walter, Marc Faucher, Mathias Vanwolleghem, Bart Kuyken
article
2019 44th International Conference on Infrared, Millimeter, and Terahertz Waves (IRMMW-THz), Sep 2019, Paris, France. pp.1-2, ⟨10.1109/IRMMW-THz.2019.8873764⟩
identifiant
hal-03100252
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https://hal.science/hal-03100252/file/08873764.pdf BibTex
titre
Building a near-field scanning millimeter-wave microscope integrated in a scanning electron microscope
auteur
Petr Polovodov, Olaf Haenssler, Didier Theron, Christophe Boyaval, Sophie Eliet, Gilles Dambrine, Kamel Haddadi
article
International Conference on Manipulation, Automation, and Robotics at Small Scales, MARSS 2019, Jul 2019, Helsinki, Finland. 3 p
identifiant
hal-02281097
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https://hal.science/hal-02281097/file/Polovodov_Haddadi_MARSS%202019.pdf BibTex
titre
Micro-Electro-Mechanical-Systems advances for measurements at small scales: the vertical silicon probes technology extended to nearfield optics
auteur
B. Walter, E. Mairiaux, Sophie Eliet, Jean-Francois Lampin, Marc Faucher
article
2019 International Conference on Manipulation, Automation and Robotics at Small Scales (MARSS 2019), Jul 2019, Helsinki, Finland. pp.1-5, ⟨10.1109/MARSS.2019.8860980⟩
identifiant
hal-03321928
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https://hal.science/hal-03321928/file/MARSS2019_paper_20_Faucher.pdf BibTex
titre
Low Loss Suspended Silicon Waveguide and Photonic Crystal for THz Regime
auteur
Elias Akiki, Mattias Verstuyft, Guillaume Ducournau, Benjamin Walter, Estelle Mairiaux, Marc Faucher, Jean-Francois Lampin, Mathias Vanwolleghem, Bart Kuyken
article
2019 Conference on Lasers and Electro-Optics Europe & European Quantum Electronics Conference (CLEO/Europe-EQEC), Jun 2019, Munich, Germany. pp.1-1, ⟨10.1109/CLEOE-EQEC.2019.8872554⟩
identifiant
hal-02407747
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titre
Terahertz photoacoustic gas sensor
auteur
Elias Akiki, Mattias Verstuyft, Guillaume Ducournau, Estelle Mairiaux, Benjamin Walter, Marc Faucher, Jean-Francois Lampin, Mathias Vanwolleghem, Bart Kuyken
article
GDR NanoTeraMIR annual days, Jun 2019, Saint Raphaël, France
identifiant
hal-02409703
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BibTex
titre
Multiport Vector Network Analyzer Configured in RF Interferometric Mode for Reference Impedance Renormalization
auteur
Kamel Haddadi, Etienne Okada, K. Daffe, F. Mubarak, Didier Theron, Gilles Dambrine
article
2019 IEEE/MTT-S International Microwave Symposium - IMS 2019, Jun 2019, Boston, France. pp.1276-1278, ⟨10.1109/MWSYM.2019.8700783⟩
identifiant
hal-02328441
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https://hal.science/hal-02328441/file/Multiport%20Vector%20Network_IMS_2019.pdf BibTex
titre
Integrated high Q optical cavity on a low loss Si suspended waveguide for THz application
auteur
Elias Akiki, Mattias Verstuyft, Guillaume Ducournau, Benjamin Walter, Estelle Mairiaux, Marc Faucher, Jean-Francois Lampin, Bart Kuyken, Mathias Vanwolleghem
article
French-German THz conference 2019 (FGTC 2019), Apr 2019, Kaiserslautern, Germany
identifiant
hal-02410460
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https://hal.science/hal-02410460/file/FGTC_2019_Akiki.pdf BibTex
titre
Integrated Photonic Crystal Cavity for Terahertz Waves on a Free-Standing Silicon Platform
auteur
Mattias Verstuyft, Elias Akiki, Guillaume Ducournau, Benjamin Walter, Marc Faucher, Estelle Mairiaux, Jean-Francois Lampin, Mathias Vanwolleghem, Bart Kuyken
article
Optical Terahertz Science and Technology (OTST'19), 10-15 March, Santa Fe, NM, USA, Mar 2019, Santa Fe, United States
identifiant
hal-02409541
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Book sections

titre
La végétronique : les MEMS se végétalisent
auteur
Lionel Buchaillot
article
Inventer l'avenir, l'ingénierie se met au vert, 2019
identifiant
hal-02390878
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Poster communications

titre
A near-field scanning microwave microscope in a scanning electron microscope: design and challenges
auteur
P. Polovodov, Sophie Eliet, O. Haenssler, Gilles Dambrine, Kamel Haddadi, Didier Theron
article
21st International Scanning Probe Microscopy, May 2019, Louvain la Neuve, France
identifiant
hal-02278736
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https://hal.science/hal-02278736/file/Poster%20ISPM%202019%20Polovodov_v6r.pdf BibTex

Theses

titre
Design, fabrication, and characterization of TIP-enhanced Raman spectroscopy probes based on metallic nano-antennas
auteur
Damien Eschimese
article
Micro and nanotechnologies/Microelectronics. Université de Lille, 2019. English. ⟨NNT : 2019LILUI020⟩
identifiant
tel-03622478
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https://theses.hal.science/tel-03622478/file/These_Eschimese_Damien.pdf BibTex

2018

Journal articles

titre
Cracking effects in squashable and stretchable thin metal films on PDMS for flexible microsystems and electronics
auteur
Tiffany Baëtens, Emiliano Pallecchi, V. Thomy, S. Arscott
article
Scientific Reports, 2018, 8 (1), ⟨10.1038/s41598-018-27798-z⟩
identifiant
hal-02345371
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https://hal.science/hal-02345371/file/Ba%C3%ABtens_2018_s41598-018-27798-z.pdf BibTex
titre
Zipping-Depinning: Dissolution of Droplets on Micropatterned Concentric Rings
auteur
José Encarnación Escobar, Erik Dietrich, S. Arscott, Harold J. W. Zandvliet, Xuehua Zhang, Detlef Lohse
article
Langmuir, 2018, 34 (19), pp.5396-5402. ⟨10.1021/acs.langmuir.8b00256⟩
identifiant
hal-02345376
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BibTex
titre
Early prognostic factors in septic shock cancer patients: a prospective study with a proteomic approach
auteur
D. Mokart, C. Saillard, C. Zemmour, M. Bisbal, A. Sannini, L. Chow-Chine, J. -P. Brun, Marc Faucher, J. -M. Boher, Y. Toiron, C. Chabannon, J. -P. Borg, A. Goncalves, L. Camoin
article
Acta Anaesthesiologica Scandinavica, 2018, 62 (4), pp.493-503. ⟨10.1111/aas.13060⟩
identifiant
hal-01780657
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BibTex
titre
Gallium nitride MEMS resonators: how residual stress impacts design and performances
auteur
Christophe Morelle, Didier Theron, Joff Derluyn, Stefan Degroote, Marianne Germain, Victor Zhang, Lionel Buchaillot, Bertrand Grimbert, Pascal Tilmant, Francois Vaurette, Isabelle Roch-Jeune, Virginie Brandli, Vanessa Avramovic, Etienne Okada, Marc Faucher
article
Microsystem Technologies, 2018, 24 (1), pp.371-377. ⟨10.1007/s00542-017-3293-0⟩
identifiant
hal-03183510
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https://hal.science/hal-03183510/file/Microsystem%20technologies%20sub_final%20v4.pdf BibTex
titre
When is a surface foam-phobic or foam-philic?
auteur
Miguel Teixeira, S. Arscott, Simon Cox, Paulo Teixeira
article
Soft Matter, 2018, 14 (26), pp.5369-5382. ⟨10.1039/c8sm00310f⟩
identifiant
hal-02345387
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https://hal.science/hal-02345387/file/1710.01102.pdf BibTex
titre
Multimodal imaging technology by integrated scanning electron, force, and microwave microscopy and its application to study microscaled capacitors
auteur
Olaf C Haenssler, Sergej Fatikow, Didier Theron
article
Journal of Vacuum Science & Technology B, Nanotechnology and Microelectronics, 2018, 36 (2), pp.022901. ⟨10.1116/1.5006161⟩
identifiant
hal-03022536
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https://hal.science/hal-03022536/file/Haenssler_Theron_Fatikow_JVST_B_2018.pdf BibTex
titre
Fabrication of new transparent MEAs made from pure PEDOT:PSS and their optical/electrical properties for neurons' activity assessment in the frame of Alzheimer disease case study
auteur
Anna Susloparova, Yannick Coffinier, F. Alibart, V. Thomy, S. Arscott, Emiliano Pallecchi, Séverine Bégard, Sophie Halliez, Morvane Colin, Luc Buee
article
Frontiers in Cellular Neuroscience, 2018, 12, ⟨10.3389/conf.fncel.2018.38.00035⟩
identifiant
hal-02350962
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BibTex

Conference papers

titre
MEMS-based atomic force microscopy probes: from electromechanical to optomechanical vibrating sensors
auteur
Bernard Legrand, Lucien Schwab, Pierre Allain, Ivan Favero, Marc Faucher, Didier Theron, Benjamin Walter, Jean-Paul Salvetat, Sébastien Hentz, Guillaume Jourdan
article
AVS 65th International Symposium & Exhibition, American Vacuum Society, Oct 2018, Long Beach, United States
identifiant
hal-01908666
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BibTex
titre
Femtosecond pulsed laser for advanced photonic packaging
auteur
Quentin Hivin, Jean-Marc Boucaud, Flavie Braud, Cédric Durand, Frédéric Gianesello, Davide Bucci, J.F. Robillard, Jean-Emmanuel Broquin, Christophe Gaquière, Emmanuel Dubois
article
7th Electronic System-Integration Technology Conference, ESTC 2018, Sep 2018, Dresden, Germany. ⟨10.1109/ESTC.2018.8546374⟩
identifiant
hal-01961743
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BibTex
titre
Electromagnetic Modeling in Near-Field Scanning Microwave Microscopy Highlighting Limitations in Spatial and Electrical Resolutions
auteur
Petr Polovodov, Charlene Brillard, Olaf C Haenssler, Christophe Boyaval, D. Deresmes, Sophie Eliet, Fei Wang, Nicolas Clement, Didier Theron, Gilles Dambrine, Kamel Haddadi
article
2018 IEEE MTT-S International Conference on Numerical Electromagnetic and Multiphysics Modeling and Optimization (NEMO), Aug 2018, Reykjavik, Iceland. pp.1-4, ⟨10.1109/NEMO.2018.8503487⟩
identifiant
hal-02155769
Accès au texte intégral et bibtex
https://hal.science/hal-02155769/file/neno_aug_2018.pdf BibTex
titre
Quantitative Error Analysis in Near-Field Scanning Microwave Microscopy
auteur
Kamel Haddadi, Petr Polovodov, Didier Theron, Gilles Dambrine
article
2018 International Conference on Manipulation, Automation and Robotics at Small Scales (MARSS), Jul 2018, Nagoya, Japan. ⟨10.1109/MARSS.2018.8481160⟩
identifiant
hal-01913677
Accès au texte intégral et bibtex
https://hal.science/hal-01913677/file/paper_MARSS_18_haddadi.pdf BibTex
titre
SMM characterization of Au nanodots and FcC11SH molecules
auteur
Didier Theron, Fei Wang, Thomas Dargent, Damien Ducatteau, Charlene Brillard, Bernard Legrand, Gilles Dambrine, Kamel Haddadi, Jorge Trasobares, Dominique Vuillaume, Nicolas Clément
article
XX Annual Linz Winter Workshop, Advances in Single-Molecule Research for Biology & Nanoscience, Feb 2018, Linz, Austria
identifiant
hal-01962187
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BibTex

2017

Journal articles

titre
Magnetic Resonance with Squeezed Microwaves
auteur
A. Bienfait, P. Campagne-Ibarcq, A. h. H Kiilerich, Xin Zhou, S. Probst, J.  J Pla, T. Schenkel, D. Vion, Daniel Estève, J.  J. l. Morton, K. Moelmer, P. Bertet
article
Physical Review X, 2017, 7 (4), ⟨10.1103/PhysRevX.7.041011⟩
identifiant
hal-01666540
Accès au texte intégral et bibtex
https://hal.science/hal-01666540/file/PhysRevX.7.041011.pdf BibTex
titre
Broadband non-contact characterization of epitaxial graphene by near-field microwave microscopy
auteur
Sijia Gu, Xin Zhou, Tianjun Lin, Henri Happy, Tuami Lasri
article
Nanotechnology, 2017, 28 (33), 335702, 11 p. ⟨10.1088/1361-6528/aa7a36⟩
identifiant
hal-03335175
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BibTex
titre
Atomic force microscope based on vertical silicon probes
auteur
Benjamin Walter, Estelle Mairiaux, Marc Faucher
article
Applied Physics Letters, 2017, 110 (24), pp.243101. ⟨10.1063/1.4985125⟩
identifiant
hal-03320143
Accès au texte intégral et bibtex
https://hal.science/hal-03320143/file/Vmicro-APL-12062017%202.pdf BibTex
titre
Multi-MHz micro-electro-mechanical sensors for atomic force microscopy
auteur
Bernard Legrand, Jean-Paul Salvetat, Benjamin Walter, Marc Faucher, Didier Theron, Jean-Pierre Aimé
article
Ultramicroscopy, 2017, 175, pp.46 - 57. ⟨10.1016/j.ultramic.2017.01.005⟩
identifiant
hal-01765180
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https://hal.laas.fr/hal-01765180/file/Ultramicroscopy2017_HAL.pdf BibTex
titre
Estimation of π–π electronic couplings from current measurements
auteur
Jorge Trasobares, Jérôme Rech, Thibaut Jonckheere, Thierry Martin, Olivier Alévêque, E. Levillain, Valentin Diez-Cabanes, Yoann Olivier, Jérôme Cornil, Jean-Philippe Nys, Ragavendran Sivakumarasamy, Kacem Smaali, Philippe Leclere, A Fujiwara, Didier Theron, Dominique Vuillaume, Nicolas Clément
article
Nano Letters, 2017, 17 (5), pp.3215. ⟨10.1021/acs.nanolett.7b00804⟩
identifiant
hal-01588172
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https://hal.science/hal-01588172/file/pi-pi_interactions.pdf BibTex
titre
Spin and recombination dynamics of excitons and free electrons in p-type GaAs: Effect of carrier density
auteur
Fabian Cadiz, David Lagarde, Pierre Renucci, D. Paget, Thierry Amand, Hélène Carrère, H. Rowe, S. Arscott
article
Applied Physics Letters, 2017, 110 (8), pp.082101. ⟨10.1063/1.4977003⟩
identifiant
hal-02053976
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https://hal.insa-toulouse.fr/hal-02053976/file/Cadiz_2017_1.4977003.pdf BibTex
titre
Acknowledgement to Reviewers of Nanomaterials in 2016
auteur
S. Arscott
article
Nanomaterials, 2017, 7 (1), pp.14. ⟨10.3390/nano7010014⟩
identifiant
hal-02345453
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titre
Ambipolar spin diffusion in p-type GaAs: A case where spin diffuses more than charge
auteur
Fabian Cadiz, V. Notot, J. Filipovic, D. Paget, C. Weber, L. Martinelli, A. Rowe, S. Arscott
article
Journal of Applied Physics, 2017, 122 (9), pp.095703. ⟨10.1063/1.4985831⟩
identifiant
hal-02345440
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https://hal.science/hal-02345440/file/Cadiz_2017_1.4985831.pdf BibTex
titre
A user-friendly guide to the optimum ultraviolet photolithographic exposure and greyscale dose of SU-8 photoresist on common MEMS, microsystems, and microelectronics coatings and materials
auteur
Matthieu Gaudet, S. Arscott
article
Analytical Methods, 2017, 9 (17), pp.2495-2504. ⟨10.1039/C7AY00564D⟩
identifiant
hal-02345405
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BibTex
titre
Luminescence imaging of photoelectron spin precession during drift in a p-type GaAs microfabricated Hall bar
auteur
V. Notot, D. Paget, A. Rowe, L. Martinelli, Fabian Cadiz, S. Arscott
article
Journal of Applied Physics, 2017, 121 (12), pp.125703. ⟨10.1063/1.4979097⟩
identifiant
hal-02345426
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https://hal.science/hal-02345426/file/Notot_2017_1.4979097.pdf BibTex
titre
Sputtered titanium carbide thick film for high areal energy on chip carbon-based micro-supercapacitors
auteur
Manon Létiche, Kevin Brousse, Arnaud Demortiere, Peihua Huang, Barbara Daffos, Sébastien Pinaud, Marc Respaud, Bruno Chaudret, Pascal Roussel, Lionel Buchaillot, Pierre-Louis Taberna, Patrice Simon, Christophe Lethien
article
Advanced Functional Materials, 2017, 27 (20), ⟨10.1002/adfm.201606813⟩
identifiant
hal-01582136
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https://hal.science/hal-01582136/file/Letiche_18012.pdf BibTex

Conference papers

titre
Nano-probing station incorporating MEMS probes for 1D device RF on-wafer characterization
auteur
K. Daffe, J. Marzouk, A. El El Fellahi, T. Xu, Christophe Boyaval, S. Eliet, B. Grandidier, S. Arscott, Gilles Dambrine, Kamel Haddadi
article
2017 47th European Microwave Conference (EuMC), Oct 2017, Nuremberg, Germany. ⟨10.23919/EuMC.2017.8230973⟩
identifiant
hal-01726555
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https://hal.science/hal-01726555/file/EUMW2017_IEMN.pdf BibTex
titre
Combined scanning microwave and electron microscopy: a novel toolbox for hybrid nanoscale material analysis
auteur
Kamel Haddadi, O. C. Haenssler, K. Daffe, S. Eliet, Christophe Boyaval, Didier Theron, Gilles Dambrine
article
IEEE MTT-S International Microwave Workshop Series on Advanced Materials and Processes, IMWS-AMP 2017, Sep 2017, Pavia, Italy. 3 p., ⟨10.1109/IMWS-AMP.2017.8247419⟩
identifiant
hal-03224651
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titre
Memristor Device Characterization by Scanning Microwave Microscopy
auteur
Gilbert Sassine, N. Najjari, Charlene Brillard, N. Defrance, Olaf C Haenssler, Didier Theron, F. Alibart, Kamel Haddadi
article
International Conference on Manipulation, Automation and Robotics at Small Scales (MARSS), Jul 2017, Montréal, Canada. ⟨10.1109/MARSS.2017.8016537⟩
identifiant
hal-02311382
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https://hal.science/hal-02311382/file/K_Haddadi_MARSS%202017_v2.pdf BibTex
titre
Near-Field Scanning Millimeter-wave Microscope Combined with a Scanning Electron Microscope
auteur
Gilles Dambrine, Kamel Haddadi, Olaf C. Haenssler, Christophe Boyaval, Didier Theron
article
IEEE-Microwave-Theory-and-Techniques-Society International Microwave Symposium, IMS 2017, Jun 2017, Honolulu, HI, United States. pp.1656-1659
identifiant
hal-03224653
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titre
Electrostatic bending actuators with a liquid filled nanometer scale gap
auteur
M. Gaudet, S. Uhlig, M. Stolz, S. Arscott, H. Conrad, S. Langa, B. Kaiser, H. Schenk
article
2017 IEEE 30th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), Jan 2017, Las Vegas, United States. pp.175-178, ⟨10.1109/MEMSYS.2017.7863369⟩
identifiant
hal-02345399
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2016

Journal articles

titre
Dynamic Chemically Driven Dewetting, Spreading, and Self-Running of Sessile Droplets on Crystalline Silicon
auteur
S. Arscott
article
Langmuir, 2016, 32 (48), pp.12611-12622. ⟨10.1021/acs.langmuir.6b03287⟩
identifiant
hal-02345473
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titre
A 17 GHz molecular rectifier
auteur
J. Trasobares, Dominique Vuillaume, Didier Theron, Nicolas Clement
article
Nature Communications, 2016, 7 (1), pp.12850. ⟨10.1038/ncomms12850⟩
identifiant
hal-03680763
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https://hal.archives-ouvertes.fr/hal-03680763/file/1609.04927.pdf BibTex
titre
Geometric and chemical components of the giant piezoresistance in silicon nanowires
auteur
M. Mcclarty, N. Jegenyes, M. Gaudet, C. Toccafondi, R. Ossikovski, Francois Vaurette, S. Arscott, A. Rowe
article
Applied Physics Letters, 2016, 109 (2), pp.023102. ⟨10.1063/1.4955403⟩
identifiant
hal-02345468
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https://hal.science/hal-02345468/file/Mcclarty_2016_1.4955403.pdf BibTex
titre
Stick–Jump (SJ) Evaporation of Strongly Pinned Nanoliter Volume Sessile Water Droplets on Quick Drying, Micropatterned Surfaces
auteur
Damien Debuisson, Alain Merlen, Vincent Senez, S. Arscott
article
Langmuir, 2016, 32 (11), pp.2679-2686. ⟨10.1021/acs.langmuir.6b00070⟩
identifiant
hal-02345462
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titre
Optimization of a microelectromechanical systems (MEMS) approach for miniaturized microcantilever-based RF microwave probes
auteur
Jaouad Marzouk, S. Arscott, Abdelhatif El Fellahi, Kamel Haddadi, Christophe Boyaval, Sylvie Lepilliet, Tuami Lasri, Gilles Dambrine
article
Sensors and Actuators A: Physical , 2016, 238, pp.51-59. ⟨10.1016/j.sna.2015.10.043⟩
identifiant
hal-02345465
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titre
Controlling spin relaxation with a cavity
auteur
A. Bienfait, J. J. Pla, Y. Kubo, Xin Zhou, M. Stern, C. C. Lo, D. Weis, T. Schenkel, Denis Vion, Daniel Esteve, J. J. L. Morton, Patrice Bertet
article
Nature, 2016, 531 (7592), pp.74 - 77. ⟨10.1038/nature16944⟩
identifiant
cea-01483751
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https://hal-cea.archives-ouvertes.fr/cea-01483751/file/1508.06148.pdf BibTex
titre
Piezoelectric MEMS resonators based on ultrathin epitaxial GaN heterostructures on Si
auteur
P Leclaire, E Frayssinet, C Morelle, Y Cordier, Didier Theron, Marc Faucher
article
Journal of Micromechanics and Microengineering, 2016, 26 (10), pp.105015. ⟨10.1088/0960-1317/26/10/105015⟩
identifiant
hal-03752321
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https://hal.science/hal-03752321/file/Paper_Leclaire_JMM-102218_r_vf.pdf BibTex

Conference papers

titre
Dissolution of Droplets on a Substrate with Engraved Concentric Rings
auteur
S. Arscott
article
69th Annual Meeting of the APS Division of Fluid Dynamics, Nov 2016, Portland, United States
identifiant
hal-02345512
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titre
Sensitivity and Accuracy Analysis in Scanning Microwave Microscopy
auteur
Kamel Haddadi, Charlene Brillard, Gilles Dambrine, Didier Theron
article
IEEE MTT-S International Microwave Symposium, IMS 2016, May 2016, San Francisco, CA, United States. 4 p., ⟨10.1109/MWSYM.2016.7540188⟩
identifiant
hal-03224661
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2015

Journal articles

titre
What is the Shape of an Air Bubble on a Liquid Surface?
auteur
Miguel Teixeira, S. Arscott, Simon Cox, Paulo Teixeira
article
Langmuir, 2015, 31 (51), pp.13708-13717. ⟨10.1021/acs.langmuir.5b03970⟩
identifiant
hal-02345540
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titre
Controlled mud-crack patterning and self-organized cracking of polydimethylsiloxane elastomer surfaces
auteur
Rian Seghir, S. Arscott
article
Scientific Reports, 2015, 5 (1), ⟨10.1038/srep14787⟩
identifiant
hal-02345522
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https://hal.science/hal-02345522/file/srep14787.pdf BibTex
titre
Absence of carrier separation in ambipolar charge and spin drift in p + -GaAs
auteur
Fabian Cadiz, D. Paget, A. Rowe, L. Martinelli, S. Arscott
article
Applied Physics Letters, 2015, 107 (16), pp.162101. ⟨10.1063/1.4933189⟩
identifiant
hal-02345561
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https://hal.science/hal-02345561/file/Cadiz_2015_1.4933189.pdf BibTex
titre
Integrated MEMS RF Probe for SEM Station—Pad Size and Parasitic Capacitance Reduction
auteur
A. El Fellahi, Kamel Haddadi, J. Marzouk, S. Arscott, Christophe Boyaval, T. Lasri, Gilles Dambrine
article
IEEE Microwave and Wireless Components Letters, 2015, 25 (10), pp.693-695. ⟨10.1109/LMWC.2015.2463213⟩
identifiant
hal-02345556
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titre
Ambipolar spin-spin coupling in p + -GaAs
auteur
Fabian Cadiz, D. Paget, A. Rowe, S. Arscott
article
Physical Review B: Condensed Matter and Materials Physics (1998-2015), 2015, 92 (12), ⟨10.1103/PhysRevB.92.121203⟩
identifiant
hal-02345549
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https://hal.science/hal-02345549/file/Cadiz_2015_PhysRevB.92.121203.pdf BibTex
titre
Photo-hardenable and patternable PDMS/SU-8 hybrid functional material: A smart substrate for flexible systems
auteur
Rian Seghir, S. Arscott
article
Journal of Polymer Science Part B: Polymer Physics, 2015, 53 (18), pp.1281-1291. ⟨10.1002/polb.23773⟩
identifiant
hal-02345569
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BibTex
titre
Graphene FETs With Aluminum Bottom-Gate Electrodes and Its Natural Oxide as Dielectrics
auteur
Wei Wei, Xin Zhou, Geetanjali Deokar, Haechon Kim, Mohamed Moez Belhaj, Elisabeth Galopin, Emiliano Pallecchi, Dominique Vignaud, Henri Happy
article
IEEE Transactions on Electron Devices, 2015, 62 (9), pp.2769-2773. ⟨10.1109/TED.2015.2459657⟩
identifiant
hal-02304371
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BibTex
titre
Mechanically robust, electrically stable metal arrays on plasma-oxidized polydimethylsiloxane for stretchable technologies
auteur
Rian Seghir, S. Arscott
article
Journal of Applied Physics, 2015, 118 (4), pp.045309. ⟨10.1063/1.4927616⟩
identifiant
hal-02345538
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https://hal.science/hal-02345538/file/Seghir_2015_1.4927616.pdf BibTex
titre
MEMS probes for on-wafer RF microwave characterization of future microelectronics: design, fabrication and characterization
auteur
Jaouad Marzouk, S. Arscott, Abdelhatif El Fellahi, Kamel Haddadi, Tuami Lasri, Christophe Boyaval, Gilles Dambrine
article
Journal of Micromechanics and Microengineering, 2015, 25 (7), pp.075024. ⟨10.1088/0960-1317/25/7/075024⟩
identifiant
hal-02345571
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BibTex
titre
Extended PDMS stiffness range for flexible systems
auteur
R. Seghir, S. Arscott
article
Sensors and Actuators A: Physical , 2015, 230, pp.33-39. ⟨10.1016/j.sna.2015.04.011⟩
identifiant
hal-02345519
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https://hal.science/hal-02345519/file/PDMS_Seghir_Arscott.pdf BibTex
titre
Effect of the Pauli principle on photoelectron spin transport in p + GaAs
auteur
Fabian Cadiz, D. Paget, A. Rowe, Thierry Amand, Philippe Barate, S. Arscott
article
Physical Review B: Condensed Matter and Materials Physics (1998-2015), 2015, 91 (16), ⟨10.1103/PhysRevB.91.165203⟩
identifiant
hal-02052156
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https://hal.insa-toulouse.fr/hal-02052156/file/Cadiz_2015_PhysRevB.91.165203.pdf BibTex
titre
Central role of electronic temperature for photoelectron charge and spin mobilities in p + -GaAs
auteur
Fabian Cadiz, D. Paget, A. Rowe, Emilien Peytavit, S. Arscott
article
Applied Physics Letters, 2015, 106 (9), pp.092108. ⟨10.1063/1.4914357⟩
identifiant
hal-02345533
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https://hal.science/hal-02345533/file/Cadiz_2015_1.4914357.pdf BibTex
titre
Modeling and de-embedding the interferometric scanning microwave microscopy by means of dopant profile calibration
auteur
L. Michalas, Fei Wang, Charlene Brillard, Nicolas Chevalier, Jean-Michel Hartmann, Romolo Marcelli, Didier Theron
article
Applied Physics Letters, 2015, 107 (22), pp.223102. ⟨10.1063/1.4936761⟩
identifiant
hal-03752395
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https://hal.science/hal-03752395/file/ISMM%20dopant%20profile%20-%20revised%20final.pdf BibTex
titre
Reaching the quantum limit of sensitivity in electron spin resonance
auteur
A Bienfait, Y Kubo, M Stern, Xin Zhou, T Schenkel, D Vion, D Esteve, B Julsgaard, K Mølmer, P. Bertet, J;j. Pla, C.C. Lo, J.J.L. Morton
article
Nature Nanotechnology, 2015, 11, pp.253-257. ⟨10.1038/NNANO.2015.282⟩
identifiant
cea-01366689
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https://hal-cea.archives-ouvertes.fr/cea-01366689/file/nnano.2015.282.pdf BibTex

Conference papers

titre
Nanorobotic RF probe station for calibrated on-wafer measurements
auteur
A. El Fellahi, Kamel Haddadi, J. Marzouk, S. Arscott, Christophe Boyaval, T. Lasri, Gilles Dambrine
article
2015 European Microwave Conference (EuMC 2015), Sep 2015, Paris, France. pp.163-166, ⟨10.1109/EuMC.2015.7345725⟩
identifiant
hal-02345580
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BibTex
titre
Sub-10 nm-scale capacitors and tunnel junctions measurements by SMM coupled to RF interferometry
auteur
F. Wang, Thomas Dargent, D. Ducatteau, Gilles Dambrine, Kamel Haddadi, N. Clement, Didier Theron, Bernard Legrand
article
45th European Microwave Conference EuMC 2015, Sep 2015, Paris, France. ⟨10.1109/EuMC.2015.7345849⟩
identifiant
hal-01962399
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BibTex
titre
Robotic on-wafer probe station for microwave characterization in a scanning electron microscope
auteur
Kamel Haddadi, A. El Fellahi, J. Marzouk, S. Arscott, Christophe Boyaval, T. Lasri, Gilles Dambrine
article
2015 IEEE MTT-S International Microwave Symposium (IMS2015), May 2015, Phoenix, Arizona, United States. pp.1-3, ⟨10.1109/MWSYM.2015.7166970⟩
identifiant
hal-02345575
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titre
On-wafer probe station for microwave metrology at the nanoscale
auteur
A. El Fellahi, Kamel Haddadi, J. Marzouk, S. Arscott, Christophe Boyaval, T. Lasri, Gilles Dambrine
article
2015 IEEE International Instrumentation and Measurement Technology Conference (I2MTC), May 2015, Pisa, Italy. pp.1960-1964, ⟨10.1109/I2MTC.2015.7151582⟩
identifiant
hal-02345596
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BibTex
titre
MEMS-based RF probes for on-wafer microwave characterization of micro/nanoelectronics
auteur
Jaouad Marzouk, S. Arscott, Abdelhatif El Fellahi, Kamel Haddadi, Tuami Lasri, Lionel Buchaillot, Gilles Dambrine
article
2015 28th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), Jan 2015, Estoril, Portugal. pp.1012-1015, ⟨10.1109/MEMSYS.2015.7051133⟩
identifiant
hal-02345582
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BibTex
titre
When capacitive transduction meets the thermomechanical limit: Towards femto-newton force sensors at very high frequency
auteur
S. Houmadi, Bernard Legrand, J.P. Salvetat, B. Walter, E. Mairiaux, J.P. Aime, D. Ducatteau, P. Merzeau, L. Buisson, J. Elezgaray, Didier Theron, Marc Faucher
article
28th IEEE Conference on Micro Electro Mechanical Systems, MEMS 2015, Jan 2015, Estoril, Portugal. ⟨10.1109/MEMSYS.2015.7050908⟩
identifiant
hal-01962374
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2014

Journal articles

titre
Continuous electrowetting at the low concentration electrolyte-insulator-semiconductor junction
auteur
S. Arscott
article
Applied Physics Letters, 2014, 105 (23), pp.231604. ⟨10.1063/1.4903513⟩
identifiant
hal-02345628
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https://hal.science/hal-02345628/file/Arscott_2014_1.4903513.pdf BibTex
titre
Quantitative impedance characterization of sub-10 nm scale capacitors and tunnel junctions with an interferometric scanning microwave microscope
auteur
Fei Wang, Nicolas Clément, Damien Ducatteau, David Troadec, Hassan Tanbakuchi, Bernard Legrand, Gilles Dambrine, Didier Theron
article
Nanotechnology, 2014, 25 (40), pp.405703. ⟨10.1088/0957-4484/25/40/405704⟩
identifiant
hal-01960609
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BibTex
titre
Optimization of the optical properties of nanostructured silicon surfaces for solar cell applications
auteur
Di Zhou, Yan Pennec, Bahram Djafari-Rouhani, Odile Cristini-Robbe, Tao Xu, Yannick Lambert, Yves Deblock, Marc Faucher, Didier Stiévenard
article
Journal of Applied Physics, 2014, 115, pp.134304. ⟨10.1063/1.4870236⟩
identifiant
hal-00974457
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https://hal.science/hal-00974457/file/Zhou2014.pdf BibTex
titre
Measurement techniques for RF nanoelectronic devices : new equipment to overcome the problems of impedance and scale mismatch
auteur
Henri Happy, Kamel Haddadi, Didier Theron, Tuami Lasri, Gilles Dambrine
article
IEEE Microwave Magazine, 2014, 15 (1), pp.30-39. ⟨10.1109/MMM.2013.2288710⟩
identifiant
hal-00936563
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BibTex
titre
Cross-talk artefacts in Kelvin probe force microscopy imaging : a comprehensive study
auteur
Sophie Barbet, Michka Popoff, Heinrich Diesinger, D. Deresmes, Didier Theron, Thierry Melin
article
Journal of Applied Physics, 2014, 115 (14), pp.144313. ⟨10.1063/1.4870710⟩
identifiant
hal-00981142
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https://hal.science/hal-00981142/file/Barbet_2014_1.4870710.pdf BibTex
titre
Young's modulus extraction of epitaxial heterostructure AlGaN/GaN for MEMS application
auteur
Achraf Ben Amar, Marc Faucher, Virginie Brandli, Yvon Cordier, Didier Theron
article
physica status solidi (a), 2014, 211, pp.1655-1659. ⟨10.1002/pssa.201330339⟩
identifiant
hal-01044844
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BibTex
titre
Miniaturized Microcantilever-based RF Microwave Probes Using MEMS Technologies
auteur
Jaouad Marzouk, S. Arscott, Kamel Haddadi, Tuami Lasri, Christophe Boyaval, Sylvie Lepilliet, Gilles Dambrine
article
Procedia Engineering, 2014, 87, pp.692-695. ⟨10.1016/j.proeng.2014.11.631⟩
identifiant
hal-02345626
Accès au texte intégral et bibtex
https://hal.science/hal-02345626/file/1-s2.0-S1877705814027465-main.pdf BibTex
titre
[Invited Review] SU-8 as a material for lab-on-a-chip-based mass spectrometry
auteur
S. Arscott
article
Lab on a Chip, 2014, 14 (19), pp.3668-3689, selected as " hot article ". ⟨10.1039/C4LC00617H⟩
identifiant
hal-01058486
Accès au bibtex
BibTex
titre
Electrowetting and semiconductors
auteur
S. Arscott
article
RSC Advances, 2014, 4 (55), pp.29223. ⟨10.1039/C4RA04187A⟩
identifiant
hal-02345621
Accès au bibtex
BibTex
titre
A Novel Dog-Bone Oscillating AFM Probe with Thermal Actuation and Piezoresistive Detection
auteur
Zhuang Xiong, Estelle Mairiaux, Benjamin Walter, Marc Faucher, Lionel Buchaillot, Bernard Legrand
article
Sensors, 2014, 14 (11), pp.20667-20686. ⟨10.3390/s141120667⟩
identifiant
hal-01960848
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https://hal.laas.fr/hal-01960848/file/sensors-14-20667.pdf BibTex
titre
Back cover
auteur
S. Arscott
article
Lab on a Chip, 2014, 14 (19), pp.3896. ⟨10.1039/C4LC90090A⟩
identifiant
hal-02345645
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titre
Interferometric Near-field Microwave Microscopy Platform for Electromagnetic Micro-analysis
auteur
Kamel Haddadi, Jaouad Marzouk, Sijia Gu, S. Arscott, Gilles Dambrine, Tuami Lasri
article
Procedia Engineering, 2014, EUROSENSORS 2014, the 28th European Conference on Solid-State Transducers, 87, pp.388-391. ⟨10.1016/j.proeng.2014.11.733⟩
identifiant
hal-02345634
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https://hal.science/hal-02345634/file/1-s2.0-S1877705814028550-main.pdf BibTex
titre
All optical method for investigation of spin and charge transport in semiconductors : combination of spatially and time-resolved luminescence
auteur
Fabian Cadiz, Philippe Barate, D. Paget, Denis S Grebenkov, J.P. Korb, A.C.H. Rowe, Thierry Amand, S. Arscott, Emilien Peytavit
article
Journal of Applied Physics, 2014, 116 (2), pp.023711. ⟨10.1063/1.4889799⟩
identifiant
hal-01024991
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https://hal.science/hal-01024991/file/Cadiz_2014_1.4889799.pdf BibTex
titre
Two types of MEMS-based oscillating AFM probes
auteur
Zhuang Xiong, Estelle Mairiaux, Benjamin Walter, Marc Faucher, Lionel Buchaillot, Bernard Legrand
article
Journal of Chinese Electron Microscopy Society , 2014, 2, pp.137-141
identifiant
hal-01960910
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Conference papers

titre
Miniaturized MEMS-based GSG probes for microwave characterization
auteur
Jaouad Marzouk, S. Arscott, Kamel Haddadi, Tuami Lasri, Gilles Dambrine
article
2014 44th European Microwave Conference (EuMC), Oct 2014, Rome, Italy. pp.1150-1153, ⟨10.1109/EuMC.2014.6986644⟩
identifiant
hal-02345623
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titre
A GaN Schottky diode-based analog phase shifter MMIC
auteur
Chong Jin, Etienne Okada, Marc Faucher, Damien Ducatteau, Mohammed Zaknoune, Dimitris Pavlidis
article
9th European Microwave Integrated Circuit Conference (EuMIC), Oct 2014, Rome, Italy. pp.96-99, ⟨10.1109/EuMIC.2014.6997800⟩
identifiant
hal-03286170
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titre
Characterization of sub-10nm-scale capacitors and tunnel junctions by SMM coupled to RF interferometry
auteur
Fei Wang, Damien Ducatteau, David Troadec, Hassan Tanbakuchi, Bernard Legrand, Gilles Dambrine, Clément Nicolas, Didier Theron
article
European Conference on Electrical Measurements at the Nanoscale Using AFM, Jun 2014, Cambridge, United Kingdom
identifiant
hal-01962209
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titre
A new optimal design method for electrostatically actuated silicon-based MEMS: Application to a micro-gripper with large stroke and high force resolution
auteur
A. Grira, C. Rotinat-Libersa, Bernard Legrand, L. Buchaillot
article
1st International Conference on Engineering and Applied Sciences Optimization, OPT-i 2014, Jun 2014, Kos Island, Greece. pp.2407-2417
identifiant
cea-01844451
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titre
Near-field microscopy: Is there an alternative to micro and nano resonating cantilevers?
auteur
Lionel Buchaillot, Estelle Mairiaux, Benjamin Walter, Zhuang Xiong, Marc Faucher, Bernard Legrand, Didier Theron, Emmanuelle Algre
article
IEEE International Frequency Control Symposium, May 2014, Taipei, Taiwan. ⟨10.1109/FCS.2014.6859928⟩
identifiant
hal-01962163
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titre
Redox-coated nanoelectrode array : a coupled electrochemical and molecular electronics study
auteur
Jorge Trasobares, Ragavendran Sivakumarasamy, Claire Whal, Alexis Vlandas, Thierry Martin, J.P. Nys, Dominique Vuillaume, Didier Theron, Nicolas Clément
article
European Materials Research Society Spring Meeting, E-MRS Spring 2014, Symposium M - Molecular materials - Towards quantum properties (MOLMAT-Q), 2014, Lille, France
identifiant
hal-00957799
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titre
Caractérisation quantitative des capacités sous échelle de 10 nm avec un interférométrique scanning-microwave-microscopy
auteur
Fei Wang, Nicolas Clément, Damien Ducatteau, David Troadec, Bernard Legrand, Gilles Dambrine, Didier Theron
article
17èmes Journées Nationales du Réseau Doctoral en Micro-Nanoélectronique, JNRDM 2014, 2014, Villeneuve d'Ascq, France. 3 p
identifiant
hal-01018379
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titre
Piezoresistance in silicon and silicon nanostructures
auteur
S. Arscott, Nikoletta Jegenyes, Alistair Rowe
article
3rd International Seminar on Nano Mechanical Systems, NEMS 2014, 2014, Paris, France
identifiant
hal-00979428
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titre
Redox-coated nanoelectrode array : when molecular electronics meets electrochemistry
auteur
Jorge Trasobares, R. Sivakumarasamy, C. Whal, Francois Vaurette, T. Martin, Jean-Philippe Nys, Dominique Vuillaume, Didier Theron, Nicolas Clément
article
7th International Conference on Molecular Electronics, ElecMol14, 2014, Strasbourg, France
identifiant
hal-01055038
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titre
Modeling of GaN Schottky diodes
auteur
Chong Jin, Etienne Okada, Marc Faucher, Damien Ducatteau, Mohamed Zaknoune, Dimitris Pavlidis
article
17èmes Journées Nationales du Réseau Doctoral en Micro-Nanoélectronique, JNRDM 2014, 2014, Villeneuve d'Ascq, France. 3 p
identifiant
hal-01020469
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titre
[Invited] MEMS research, applications and results
auteur
S. Arscott
article
Workshop on Nanoscale Processing for MEMS and NEMS, 2014, Villeneuve d'Ascq, France
identifiant
hal-00976620
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Poster communications

titre
Room temperature THz heterodyne detector based on GaN unipolar nanochannels
auteur
C. Daher, I. Iniguez de La Torre, J. Torres, P. Nouvel, L. Varani, P. Sangaré, B Grimbert, Marc Faucher, Guillaume Ducournau, Christophe Gaquière, J. Mateos, T. Gonzalez
article
Proceedings of 41st International Symposium on Compound Semiconductor, ISCS 2014, Compound Semiconductor Week, CSW 2014, 2014, Montpellier, France
identifiant
hal-02454503
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2013

Journal articles

titre
Surface recombination in doped semiconductors: Effect of light excitation power and of surface passivation
auteur
Fabian Cadiz, D. Paget, A. Rowe, V. Berkovits, V. Ulin, S. Arscott, Emilien Peytavit
article
Journal of Applied Physics, 2013, 114 (10), pp.103711. ⟨10.1063/1.4821139⟩
identifiant
hal-02345653
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https://hal.science/hal-02345653/file/Cadiz_2013_1.4821139.pdf BibTex
titre
Electrowetting at a liquid metal-semiconductor junction
auteur
S. Arscott, Matthieu Gaudet
article
Applied Physics Letters, 2013, 103 (7), pp.074104. ⟨10.1063/1.4818715⟩
identifiant
hal-02345658
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https://hal.science/hal-02345658/file/Arscott_2013_1.4818715.pdf BibTex
titre
Electrowetting of soap bubbles
auteur
S. Arscott
article
Applied Physics Letters, 2013, 103 (1), pp.014103. ⟨10.1063/1.4813308⟩
identifiant
hal-02345667
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https://hal.science/hal-02345667/file/Arscott_2013_1.4813308.pdf BibTex
titre
Wetting of soap bubbles on hydrophilic, hydrophobic, and superhydrophobic surfaces
auteur
S. Arscott
article
Applied Physics Letters, 2013, 102 (25), pp.254103. ⟨10.1063/1.4812710⟩
identifiant
hal-02345662
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https://hal.science/hal-02345662/file/Arscott_2013_1.4812710.pdf BibTex
titre
MEMS piezoresistive ring resonator for AFM imaging with pico-Newton force resolution
auteur
Z. Xiong, B. Walter, E. Mairiaux, M. Faucher, L. Buchaillot, Bernard Legrand
article
Journal of Micromechanics and Microengineering, 2013, 23, pp.035016-1-10. ⟨10.1088/0960-1317/23/3/035016⟩
identifiant
hal-00795965
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titre
Electrowetting at a liquid metal-oxide-semiconductor junction
auteur
S. Arscott
article
Applied Physics Letters, 2013, 103 (14), pp.144101-1-5. ⟨10.1063/1.4822308⟩
identifiant
hal-00871933
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https://hal.science/hal-00871933/file/Arscott_2013_1.4822308.pdf BibTex
titre
Detecting response of microelectromechanical resonators by microwave reflectometry
auteur
Bernard Legrand, D. Ducatteau, D. Theron, B. Walter, H. Tanbakuchi
article
Applied Physics Letters, 2013, 103, pp.053124-1-5. ⟨10.1063/1.4817411⟩
identifiant
hal-00871931
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https://hal.science/hal-00871931/file/Legrand_2013_1.4817411.pdf BibTex
titre
Non-linear nanochannels for room temperature terahertz heterodyne detection
auteur
J. Torres, P. Nouvel, A. Penot, L. Varani, P. Sangare, B. Grimbert, M. Faucher, Guillaume Ducournau, Christophe Gaquière, I. Iniguez-De-La-Torre, J. Mateos, T. Gonzalez
article
Semiconductor Science and Technology, 2013, 28, 125024, 6 p. ⟨10.1088/0268-1242/28/12/125024⟩
identifiant
hal-00907348
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titre
Piezoresistive ring-shaped AFM sensors with pico-newton force resolution
auteur
Z. Xiong, B. Walter, E. Mairiaux, M. Faucher, L. Buchaillot, Bernard Legrand
article
International Journal of Intelligent Mechatronics and Robotics, 2013, 3, pp.38-52. ⟨10.4018/ijimr.2013010104⟩
identifiant
hal-00871948
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titre
An interferometric scanning microwave microscope and calibration method for sub-fF microwave measurements
auteur
Thomas Dargent, Kamel Haddadi, T. Lasri, N. Clément, D. Ducatteau, Bernard Legrand, H. Tanbakuchi, Didier Theron
article
Review of Scientific Instruments, 2013, 84 (12), pp.123705. ⟨10.1063/1.4848995⟩
identifiant
hal-00922585
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https://hal.science/hal-00922585/file/Dargent_2013_1.4848995.pdf BibTex
titre
Experimental demonstration of direct terahertz detection at room-temperature in AlGaN/GaN asymmetric nanochannels
auteur
Paul Sangare, Guillaume Ducournau, Bertrand Grimbert, Virginie Brandli, Marc Faucher, Christophe Gaquière, Ana Iniguez-De-La-Torre, Ignacio Íñiguez-De-La-Torre, Jean-Francois Millithaler, Javier Mateos, Tomás González
article
Journal of Applied Physics, 2013, 113 (3), pp.034305. ⟨10.1063/1.4775406⟩
identifiant
hal-00796434
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https://hal.science/hal-00796434/file/Sangare_2013_1.4775406.pdf BibTex

Conference papers

titre
Selenium surface energy determination from size-dependent considerations
auteur
G. Guisbiers, S. Arscott, M. Gaudet, A. Belfiore, R. Snyders
article
2013 IEEE International Nanoelectronics Conference (INEC), Jan 2013, Singapore, Malaysia. pp.105-109, ⟨10.1109/INEC.2013.6465968⟩
identifiant
hal-02345672
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BibTex
titre
Giant piezoresistance in silicon nanowires
auteur
A.C.H. Rowe, J.S. Milne, S. Arscott
article
Materials Research Society Spring Meeting, MRS Spring 2013, Symposium Q : Surfaces of Nanoscale Semiconductors, 2013, San Francisco, CA, United States
identifiant
hal-00811788
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BibTex
titre
Towards a new generation of MEMS-based AFM probes
auteur
Z. Xiong, B. Walter, E. Mairiaux, M. Faucher, L. Buchaillot, Bernard Legrand
article
International Scanning Probe Microscopy Conference, ISPM 2013, 2013, Dijon, France
identifiant
hal-00878807
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titre
High frequency characterization at the nanoscale
auteur
Kamel Haddadi, Gilles Dambrine, Henri Happy, Didier Theron, Tuami Lasri
article
4th China-French Symposium on Functional Materials and Devices, 2013, Shanghai, China
identifiant
hal-00987965
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BibTex
titre
Interferometric scanning microwave microscope for nanotechnology application
auteur
N. Clement, Thomas Dargent, H. Tanbakuchi, K. Nishiguchi, R. Sivakumarasamy, F. Wang, A. Fujiwara, D. Ducatteau, Gilles Dambrine, D. Vuillaume, Bernard Legrand, D. Theron
article
American Physical Society March Meeting, APS March Meeting 2013, 2013, Baltimore, MD, United States
identifiant
hal-00811777
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titre
Extraordinary room temperature THz heterodyne detector: the self-switching nanodiode
auteur
J. Torres, P. Nouvel, A. Penot, L. Varani, P. Sangare, B. Grimbert, M. Faucher, Guillaume Ducournau, Christophe Gaquière, I. Iniguez-De-La-Torre, J. Mateos, T. Gonzalez
article
18th International Conference on Electron Dynamics in Semiconductors, Optoelectronics and Nanostructure, 2013, Matsue, Japan
identifiant
hal-01926264
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titre
Microwave reflectometry : a high-resolution technique for measuring vibration of capacitive microresonators
auteur
Bernard Legrand, D. Ducatteau, D. Theron, B. Walter, H. Tanbakuchi
article
17th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, TRANSDUCERS 2013, 2013, Barcelona, Spain. paper M3P.140, 566-569, Outstanding poster presentation award nomination, ⟨10.1109/Transducers.2013.6626829⟩
identifiant
hal-00877759
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titre
Nanoscale capacitors study with an interferometric scanning microwave microscope
auteur
Fei Wang, Nicolas Clément, David Troadec, Bernard Legrand, Gilles Dambrine, Didier Theron
article
Materials Research Society Fall Meeting, MRS Fall 2013, Symposium LL : Advances in Scanning Probe Microscopy, 2013, Boston, MA, United States
identifiant
hal-00944017
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BibTex
titre
A 1 GHz SAW oscillator on epitaxial GaN/Si substrate : toward co-integrated frequency sources
auteur
M. Faucher, G. Martin, J.M. Friedt, S. Ballandras
article
6th Joint IEEE International Frequency Control Symposium/European Frequency and Time Forum, IFCS-EFTF 2013, 2013, Prague, Czech Republic. paper IFCS-EFTF1-B2-5, 21-24, ⟨10.1109/EFTF-IFC.2013.6702231⟩
identifiant
hal-00944027
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BibTex
titre
Giant piezoresistance in silicon nanowires
auteur
A. Rowe, S. Arscott
article
4th International Conference from Nanoparticles and Nanomaterials to Nanodevices and Nanosystems, IC4N 2013, 2013, Corfu, Greece
identifiant
hal-00878806
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BibTex
titre
La piézorésistance géante dans les structures de silicium pour les microsystèmes
auteur
A.C.H. Rowe, S. Arscott
article
Journées Nationales Nanosciences et Nanotechnologies, J3N 2013, 2013, Marseille, France
identifiant
hal-00904714
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BibTex
titre
Piezoresistance and hole mobility in silicon under compressive mechanical stresses of 3 GPa
auteur
A.C.H. Rowe, J.S. Milne, S. Arscott
article
Materials Research Society Spring Meeting, MRS Spring 2013, Symposium A : Film Silicon Science and Technology, 2013, San Francisco, CA, United States
identifiant
hal-00811806
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BibTex
titre
AlGaN/GaN heterostructures with very-thin buffer on Si (111) for NEMS applications : electrical and mechanical study
auteur
P. Leclaire, Y. Cordier, Sébastien Chenot, D. Theron, M. Faucher
article
22nd European Workshop on Heterostructure Technology, HeTech 2013, 2013, Glasgow, Scotland, United Kingdom. 2 p
identifiant
hal-00877763
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BibTex
titre
5.4 MHz dog-bone oscillating AFM probe with thermal actuation and piezoresistive detection
auteur
Z. Xiong, E. Mairiaux, B. Walter, M. Faucher, L. Buchaillot, Bernard Legrand
article
26th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, MEMS 2013, 2013, Taipei, Taiwan. pp.592-595, ⟨10.1109/MEMSYS.2013.6474311⟩
identifiant
hal-00809858
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Patents

titre
Système pour détecter des réponses d'un dispositif résonateur micro-électromécanique (MEMS)
auteur
H. Tanbakuchi, Bernard Legrand, D. Theron, D. Ducatteau
article
N° de brevet: FR2985251 (A1). 2013
identifiant
hal-00846338
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2012

Journal articles

titre
An accurate determination of the surface energy of solid selenium
auteur
G. Guisbiers, S. Arscott, R. Snyders
article
Applied Physics Letters, 2012, 101 (23), pp.231606. ⟨10.1063/1.4769358⟩
identifiant
hal-02345720
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https://hal.science/hal-02345720/file/Guisbiers_2012_1.4769358.pdf BibTex
titre
Imaging ambipolar diffusion of photocarriers in GaAs thin films
auteur
D. Paget, Fabian Cadiz, A. Rowe, F. Moreau, S. Arscott, Emilien Peytavit
article
Journal of Applied Physics, 2012, 111 (12), pp.123720. ⟨10.1063/1.4730396⟩
identifiant
hal-02345681
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https://hal.science/hal-02345681/file/Paget_2012_1.4730396.pdf BibTex
titre
Piezoresistance in Silicon at Uniaxial Compressive Stresses up to 3 GPa
auteur
J. Milne, I. Favorskiy, A. Rowe, S. Arscott, Ch. Renner
article
Physical Review Letters, 2012, 108 (25), pp.256801-1-5. ⟨10.1103/PhysRevLett.108.256801⟩
identifiant
hal-02345687
Accès au texte intégral et bibtex
https://hal.science/hal-02345687/file/1011.3008.pdf BibTex
titre
A GaAs MEMS for AFM and spin injection
auteur
S. Arscott, Emilien Peytavit, D. Deresmes, Thomas Dargent, Duong Vu, Alistair C.H. Rowe, Daniel Paget
article
Sensors and Actuators A: Physical , 2012, 179, pp.10-16. ⟨10.1016/j.sna.2012.02.033⟩
identifiant
hal-02345727
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BibTex
titre
Optical actuation of microelectromechanical systems using photoelectrowetting
auteur
Matthieu Gaudet, S. Arscott
article
Applied Physics Letters, 2012, 100 (22), pp.224103. ⟨10.1063/1.4723569⟩
identifiant
hal-02345716
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https://hal.science/hal-02345716/file/Gaudet_2012_1.4723569.pdf BibTex
titre
Photoassisted Fowler-Nordheim-like tunneling from passivated GaAs microcantilevers
auteur
D. Paget, A. Rowe, S. Arscott, Emilien Peytavit
article
Physical Review B: Condensed Matter and Materials Physics (1998-2015), 2012, 85 (11), pp.113301-1-4. ⟨10.1103/PhysRevB.85.113301⟩
identifiant
hal-02345751
Accès au texte intégral et bibtex
https://hal.science/hal-02345751/file/Paget_2012_PhysRevB.85.113301.pdf BibTex
titre
A snapshot of electrified nanodroplets undergoing Coulomb fission
auteur
S. Arscott, Cédric Descatoire, Lionel Buchaillot, Alison Ashcroft
article
Applied Physics Letters, 2012, 100 (7), pp.074103. ⟨10.1063/1.3684979⟩
identifiant
hal-02345724
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https://hal.science/hal-02345724/file/Arscott_2012_1.3684979.pdf BibTex
titre
Bias dependence of gallium nitride micro-electro-mechanical systems actuation using a two-dimensional electron gas
auteur
A. Ben Amar, M. Faucher, B. Grimbert, Y. Cordier, M. François, P. Tilmant, M. Werquin, V. Zhang, D. Ducatteau, Christophe Gaquière, L. Buchaillot, D. Theron
article
Japanese Journal of Applied Physics, part 2 : Letters, 2012, 5, pp.067201-1-3. ⟨10.1143/APEX.5.067201⟩
identifiant
hal-00787414
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BibTex
titre
Searching for THz Gunn oscillations in GaN planar nanodiodes
auteur
Ana Iniguez-De-La-Torre, Ignacio Íñiguez-De-La-Torre, Javier Mateos, Tomás González, Paul Sangare, Marc Faucher, Bertrand Grimbert, Virginie Brandli, Guillaume Ducournau, Christophe Gaquière
article
Journal of Applied Physics, 2012, 111 (11), pp.113705. ⟨10.1063/1.4724350⟩
identifiant
hal-00788170
Accès au texte intégral et bibtex
https://hal.science/hal-00788170/file/Iniguez-De-La-Torre_2012_1.4724350.pdf BibTex
titre
MEMS ring resonators for laserless AFM with sub-nanoNewton force resolution
auteur
Emmanuelle Algre, Zhuang Xiong, Marc Faucher, Benjamin Walter, Lionel Buchaillot, Bernard Legrand
article
Journal of Microelectromechanical Systems, 2012, 21, pp.385-397. ⟨10.1109/JMEMS.2011.2179012⟩
identifiant
hal-00787407
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BibTex
titre
Electromechanical transconductance properties of a GaN MEMS resonator with fully integrated HEMT transducers
auteur
M. Faucher, Y. Cordier, M. Werquin, L. Buchaillot, Christophe Gaquière, D. Theron
article
Journal of Microelectromechanical Systems, 2012, 21, pp.370-378. ⟨10.1109/JMEMS.2011.2179010⟩
identifiant
hal-00787408
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BibTex

Conference papers

titre
Conception and fabrication of piezo-resistive ring shaped AFM probe
auteur
Z. Xiong, B. Walter, E. Mairiaux, M. Faucher, L. Buchaillot, Bernard Legrand
article
25th IEEE Conference on Micro Electro Mechanical Systems, MEMS 2012, 2012, Paris, France. pp.547-550, ⟨10.1109/MEMSYS.2012.6170180⟩
identifiant
hal-00801106
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BibTex
titre
[Invité] Apport des microsystèmes pour la microscopie à force atomique
auteur
B. Walter, M. Faucher, E. Mairiaux, Z. Xiong, L. Buchaillot, Bernard Legrand
article
Journée thématique trans-GDR '' Micromanipulation pour les Micro-Nano Systèmes '', 2012, Besançon, France
identifiant
hal-00797716
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titre
SOL-like calibrated RF measurements at the nanoscale on a modified scanning microwave microscope
auteur
Thomas Dargent, D. Ducatteau, Bernard Legrand, H. Tanbakuchi, D. Theron
article
2nd Nano Measure Scientific Symposium, Nano Measure 2012, 2012, Stanford, CA, United States
identifiant
hal-00797722
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titre
Micro-résonateurs haute fréquence pour la microscopie à force atomique
auteur
B. Walter, M. Faucher, E. Mairiaux, Z. Xiong, L. Buchaillot, Bernard Legrand
article
15ème Forum des Microscopies à Sonde Locale, 2012, Saint-Jacut-de-la-Mer, France
identifiant
hal-00797718
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BibTex
titre
GaN MEMS resonators : from demonstration to microsystem-compatible performances
auteur
Marc Faucher, Achraf Ben Amar, Victor Y. Zhang, Yvon Cordier, Matthieu Werquin, Virginie Brandli, Bertrand Grimbert, Francois Vaurette, Pascal Tilmant, Marc François, Christophe Boyaval, Sylvie Lepilliet, Damien Ducatteau, Christophe Gaquière, Lionel Buchaillot, Didier Theron
article
36th Workshop on Compound Semiconductor Devices and Integrated Circuits, WOCSDICE 2012, 2012, Porquerolles, France. pp.1-4
identifiant
hal-00801104
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titre
Piezo-resistive ring-shaped AFM sensors with pico-newton force resolution
auteur
Z. Xiong, B. Walter, E. Mairiaux, M. Faucher, L. Buchaillot, Bernard Legrand
article
2nd International Conference on Manipulation, Manufacturing and Measurement on the Nanoscale, 3M-NANO 2012, 2012, Xi'an, China. Paper ID 1200991, Best application paper award, 184-189
identifiant
hal-00801105
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titre
Résonateurs MEMS en nitrure de gallium
auteur
Marc Faucher, Didier Theron, Yvon Cordier, Fabrice Semond, Achraf Ben Amar, Virginie Brandli, Bertrand Grimbert, Matthieu Werquin, Lionel Buchaillot
article
Journées Nationales du GDR Micro Nano Systèmes-Micro Nano Fluidique, 2012, Bordeaux, France
identifiant
hal-00797721
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titre
Micro-résonateurs haute fréquence pour la microscopie à force atomique
auteur
B. Walter, M. Faucher, E. Mairiaux, Z. Xiong, L. Buchaillot, Bernard Legrand
article
Journées Nationales du GDR Micro Nano Systèmes-Micro Nano Fluidique, 2012, Bordeaux, France
identifiant
hal-00797720
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titre
Giant piezoresistance in silicon nanowires
auteur
A. Rowe, S. Arscott
article
5th Nanowire Workshop, NW 2012, 2012, Berlin, Germany
identifiant
hal-00797717
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titre
DNA origami imaging with 10.9 MHz AFM MEMS probes
auteur
B. Walter, E. Mairiaux, Z. Xiong, M. Faucher, L. Buchaillot, Bernard Legrand
article
25th IEEE Conference on Micro Electro Mechanical Systems, MEMS 2012, 2012, Paris, France. pp.555-558, ⟨10.1109/MEMSYS.2012.6170236⟩
identifiant
hal-00801107
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titre
THz applications at room temperature based on self switch diodes using wide bandgap material
auteur
Christophe Gaquière, Guillaume Ducournau, P. Sangare, B. Grimbert, M. Faucher, I. Iniguez-De-La-Torre, A. Iniguez-De-La-Torre, T. Gonzalez, J. Mateos
article
IEEE IMS Workshops & Short Courses : THz Devices and Systems Based on Nanotechnology, 2012, Montréal, Canada
identifiant
hal-00798262
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Habilitation à diriger des recherches

titre
CONTRIBUTION AU DOMAINE DES ACTIONNEURS ET RÉSONATEURS MICRO-‐ÉLECTROMÉCANIQUES. APPLICATIONS À LA NANO­‐CARACTÉRISATION.
auteur
Bernard Louis Amand Legrand
article
Micro et nanotechnologies/Microélectronique. Université des Sciences et Technologie de Lille - Lille I, 2012
identifiant
tel-00706851
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https://theses.hal.science/tel-00706851/file/HDR_Bernard_Legrand_2012.pdf BibTex

Other publications

titre
Les nanotechnologies : un nouveau paradigme
auteur
Julien Haccoun, Didier Theron
article
2012
identifiant
hal-03413001
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https://hal.science/hal-03413001/file/ANR-Cahier-5-nanotechnologies.pdf BibTex
titre
La microfluidique et les microsystèmes
auteur
S. Arscott
article
2012
identifiant
hal-00799256
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Patents

titre
Planar electronebulization sources modeled on a calligraphy pen and the production thereof
auteur
S. Arscott
article
United States, Patent n° : US8294119B2. 2012
identifiant
hal-02345709
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titre
Dispositif microélectromécanique avec structure d'actionnement piezoélectrique
auteur
M. Faucher
article
N° de brevet: FR2971243 (A1). 2012
identifiant
hal-00726444
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2011

Journal articles

titre
Wetting on smooth micropatterned defects
auteur
Damien Debuisson, Renaud Dufour, Vincent Senez, S. Arscott
article
Applied Physics Letters, 2011, 99 (18), pp.184101. ⟨10.1063/1.3657140⟩
identifiant
hal-02345772
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https://hal.science/hal-02345772/file/Debuisson_2011_1.3657140.pdf BibTex
titre
SU-8 micropatterning for microfluidic droplet and microparticle focusing
auteur
Damien Debuisson, Vincent Senez, S. Arscott
article
Journal of Micromechanics and Microengineering, 2011, 21 (6), pp.065011. ⟨10.1088/0960-1317/21/6/065011⟩
identifiant
hal-02345784
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titre
Microfabricated microfluidic fuel cells
auteur
Ai Kamitani, Satoshi Morishita, Hiroshi Kotaki, S. Arscott
article
Sensors and Actuators B: Chemical, 2011, 154 (2), pp.174-180. ⟨10.1016/j.snb.2009.11.014⟩
identifiant
hal-02345763
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titre
Tunable contact angle hysteresis by micropatterning surfaces
auteur
Damien Debuisson, Vincent Senez, S. Arscott
article
Applied Physics Letters, 2011, 98 (18), pp.184101. ⟨10.1063/1.3576921⟩
identifiant
hal-02345769
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https://hal.science/hal-02345769/file/Debuisson_2011_1.3576921.pdf BibTex
titre
Persistence of superconductivity in niobium ultrathin films grown on R-plane sapphire
auteur
Cécile Delacour, L. Ortega, M. Faucher, T. Crozes, T. Fournier, B. Pannetier, V. Bouchiat
article
Physical Review B: Condensed Matter and Materials Physics (1998-2015), 2011, 83 (14), pp.144504. ⟨10.1103/PhysRevB.83.144504⟩
identifiant
hal-00591335
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https://hal.science/hal-00591335/file/1102.0442.pdf BibTex
titre
Spin-dependent photoelectron tunneling from GaAs into magnetic cobalt
auteur
D. Vu, H. Jurca, F. Maroun, P. Allongue, N. Tournerie, A. Rowe, D. Paget, S. Arscott, Emilien Peytavit
article
Physical Review B: Condensed Matter and Materials Physics (1998-2015), 2011, 83 (12), pp.121304(R). ⟨10.1103/PhysRevB.83.121304⟩
identifiant
hal-02345792
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https://hal.science/hal-02345792/file/1008.1403.pdf BibTex
titre
Optimization of ohmic contact and adhesion on polysilicon in MEMS–NEMS wet etching process
auteur
Etienne Herth, Emmanuelle Algré, Bernard Legrand, Lionel Buchaillot
article
Microelectronic Engineering, 2011, 88 (5), pp.724-728. ⟨10.1016/j.mee.2010.06.032⟩
identifiant
hal-02300269
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titre
Mechanical characterization of aluminium nanofilms
auteur
Gregory Guisbiers, Etienne Herth, L. Buchaillot
article
Microelectronic Engineering, 2011, 88 (5), pp.844-847. ⟨10.1016/j.mee.2010.06.028⟩
identifiant
hal-00579052
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titre
Mechanical characterization of aluminium nanofilms
auteur
G Guisbiers, Etienne Herth, Lionel Buchaillot
article
Microelectronic Engineering, 2011, 88 (5), pp.844 - 847
identifiant
hal-02300337
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titre
Quantitative (artifact-free) surface potential measurements using Kelvin force microscopy
auteur
Thierry Melin, Sophie Barbet, Heinrich Diesinger, Didier Theron, D. Deresmes
article
Review of Scientific Instruments, 2011, 82, pp.036101-1-3. ⟨10.1063/1.3516046⟩
identifiant
hal-00579085
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titre
Moving liquids with light: Photoelectrowetting on semiconductors
auteur
S. Arscott
article
Scientific Reports, 2011, 1 (1), pp.184. ⟨10.1038/srep00184⟩
identifiant
hal-02345758
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https://hal.science/hal-02345758/file/srep00184.pdf BibTex
titre
Digital image correlation of metal nanofilms on SU-8 for flexible electronics and MEMS
auteur
Thierry Roland, S. Arscott, Laurent Sabatier, Lionel Buchaillot, Eric Charkaluk
article
Journal of Micromechanics and Microengineering, 2011, 21 (12), pp.125005. ⟨10.1088/0960-1317/21/12/125005⟩
identifiant
hal-00740993
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https://hal.science/hal-00740993/file/Roland2011.pdf BibTex

Conference papers

titre
4.8 MHz AFM nanoprobes with capacitive transducers and batch-fabricated nanotips
auteur
Benjamin Walter, Estelle Mairiaux, M. Faucher, Zhuang Xiong, L. Buchaillot, Bernard Legrand
article
XXIème Congrès Général de la Société Française de Physique, SFP 2011, Jul 2011, Bordeaux, France
identifiant
hal-00807202
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titre
Gallium nitride approach for MEMS resonators with highly tunable piezo-amplified transducers
auteur
Marc Faucher, Yvon Cordier, Fabrice Semond, Virginie Brandli, Bertrand Grimbert, Achraf Ben Amar, Matthieu Werquin, Christophe Boyaval, Christophe Gaquière, Didier Theron, Lionel Buchaillot
article
24th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, MEMS 2011, Jan 2011, Cancun, Mexico. pp.581-584, ⟨10.1109/MEMSYS.2011.5734491⟩
identifiant
hal-00579046
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titre
4.8 MHz AFM nanoprobes with capacitive transducers and batch-fabricated nanotips
auteur
Benjamin Walter, M. Faucher, Estelle Mairiaux, Zhuang Xiong, L. Buchaillot, Bernard Legrand
article
24th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, MEMS 2011, Jan 2011, Cancun, Mexico. pp.517-520, ⟨10.1109/MEMSYS.2011.5734475⟩
identifiant
hal-00579045
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titre
Absence of giant surface piezo resistance in silicon nanowires
auteur
J.S. Milne, S. Arscott, A.C.H. Rowe
article
18th Interdisciplinary Surface Science Conference, ISSC-18, 2011, Warwick, United Kingdom
identifiant
hal-00579033
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titre
Nanocomposants AlGaN/GaN : application à la détection THz
auteur
P. Sangare, B. Grimbert, M. Faucher, Sylvie Lepilliet, Guillaume Ducournau, Christophe Gaquière
article
17èmes Journées Nationales Micro-ondes, JNM 2011, 2011, France. papier 305, 2C4, 1-4
identifiant
hal-00603132
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titre
Characterization and modeling for the piezoelectric actuator of AlGaN/GaN-resonators
auteur
Achraf Ben Amar, Marc Faucher, Bertrand Grimbert, Virginie Brandli, Lionel Buchaillot, Christophe Gaquière, Didier Theron
article
20th European Workshop on Heterostructure Technology, HeTech 2011, 2011, Villeneuve d'Ascq, France. pp.1-2
identifiant
hal-00800035
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titre
Optimal design of non intuitive compliant microgripper with high resolution
auteur
A. Grira, Bernard Legrand, C. Rotinat-Libersa, E. Mairiaux, L. Buchaillot
article
IEEE/RSJ International Conference on Intelligent Robots and Systems, IROS 2011, 2011, San Francisco, CA, United States. pp.45-50, ⟨10.1109/IROS.2011.6048665⟩
identifiant
hal-00800034
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titre
Stable superconducting niobium ultrathin films
auteur
C. Delacour, L. Ortega, M. Faucher, T. Crozes, T. Fournier, B. Pannetier, V. Bouchiat
article
Materials Research Society Spring Meeting, MRS Spring 2011, Symposium Y : Functional two-dimensional layered materials, 2011, San Francisco, CA, United States
identifiant
hal-00807207
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titre
La piézorésistance géante dans le silicium
auteur
A.C.H. Rowe, S. Arscott, M. Gaudet, J. Milne, I. Favorskiy, D. Hourlier, C. Renner
article
Journées Nationales Nanosciences et Nanotechnologies, J3N 2011, 2011, Strasbourg, France
identifiant
hal-00807208
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titre
Novel AlGaN/GaN electronic nano-devices : application for sub-terahertz waves detection
auteur
P.A.D. Sangare, Guillaume Ducournau, B. Grimbert, M. Faucher, Christophe Gaquière
article
6èmes Journées Terahertz, 2011, La Grande-Motte, France
identifiant
hal-00807612
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titre
IMPROVE-LM - Imaging probe for vacuum environment and liquid medium
auteur
Bernard Legrand, J.P. Aime, L. Buchaillot
article
Journées Nationales Nanosciences et Nanotechnologies, J3N 2011, 2011, Strasbourg, France
identifiant
hal-00807209
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titre
[Invité] Apport des micro et nano-systèmes pour la microscopie à force atomique
auteur
Benjamin Walter, Zhuang Xiong, Emmanuelle Algre, Estelle Mairiaux, Marc Faucher, Lionel Buchaillot, Bernard Legrand
article
Journées Nationales Nanosciences et Nanotechnologies, J3N 2011, 2011, Strasbourg, France
identifiant
hal-00807204
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titre
AttoF MOS varactor RF measurement VNA coupled with interferometer
auteur
R. Debroucke, D. Gloria, D. Ducatteau, D. Theron, H. Tanbakuchi, Christophe Gaquière
article
77th ARFTG Microwave Measurement Conference, 2011, Baltimore, MD, United States. pp.1-2, ⟨10.1109/ARFTG77.2011.6034572⟩
identifiant
hal-00800124
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titre
[Invited] GaN MEMS
auteur
M. Faucher
article
20th European Workshop on Heterostructure Technology, HeTech 2011, 2011, Villeneuve d'Ascq, France
identifiant
hal-00807203
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titre
[Invité] Micro et nanorésonateurs électromécaniques radio-fréquences. Principes et applications
auteur
Marc Faucher, Bernard Legrand, Benjamin Walter, Emmanuelle Algre, A. Ben-Amar, Yvon Cordier, Christophe Gaquière, Didier Theron, Lionel Buchaillot
article
TELECOM'2011 & 7èmes Journées Franco-Maghrébines des Micro-ondes et leurs Applications, 2011, Tanger, Maroc. CDROM, papier 554, 1-6
identifiant
hal-00806730
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titre
Conception and fabrication of silicon ring resonator with piezo-resistive detection for force sensing applications
auteur
Z. Xiong, B. Walter, E. Mairiaux, M. Faucher, L. Buchaillot, Bernard Legrand
article
ASME 2011 International Mechanical Engineering Congress & Exposition, IMECE 2011, 2011, Denver, CO, United States. pp.IMECE2011-65083-1-5
identifiant
hal-00800036
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titre
Wide bandgap self switch nanodevices for THz applications at room temperature
auteur
Christophe Gaquière, Guillaume Ducournau, P. Sangare, B. Grimbert, M. Faucher, I. Iniguez-De-La-Torre, A. Iniguez-De-La-Torre, T. Gonzalez, J. Mateos
article
41st European Microwave Conference, EuMC 2011, 2011, Manchester, United Kingdom. pp.1150-1152
identifiant
hal-00800102
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Patents

titre
Mesure du potentiel de surface d'un matériau
auteur
Thierry Melin, Didier Theron, Sophie Barbet, D. Deresmes, Heinrich Diesinger
article
France, N° de brevet: FR2956484 (A1). 2011
identifiant
hal-00616299
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2010

Journal articles

titre
Giant Piezoresistance Effects in Silicon Nanowires and Microwires
auteur
J. Milne, A. Rowe, S. Arscott, Ch. Renner
article
Physical Review Letters, 2010, 105 (22), pp.226802-1-4. ⟨10.1103/PhysRevLett.105.226802⟩
identifiant
hal-02345799
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titre
Circularly polarized luminescence microscopy for the imaging of charge and spin diffusion in semiconductors
auteur
I. Favorskiy, D. Vu, Emilien Peytavit, S. Arscott, D. Paget, A. Rowe
article
Review of Scientific Instruments, 2010, 81 (10), pp.103902. ⟨10.1063/1.3493047⟩
identifiant
hal-02345802
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titre
Photoassisted tunneling from free-standing GaAs thin films into metallic surfaces
auteur
D. Vu, S. Arscott, Emilien Peytavit, R. Ramdani, E. Gil, Y. André, S. Bansropun, B. Gerard, A. Rowe, D. Paget
article
Physical Review B: Condensed Matter and Materials Physics (1998-2015), 2010, 82 (11), pp.115331-1-12. ⟨10.1103/PhysRevB.82.115331⟩
identifiant
hal-02345816
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titre
Mapping charge transfers between quantum levels using noncontact atomic force microscopy
auteur
Lukasz Borowik, Koku Kusiaku, D. Deresmes, Didier Theron, Heinrich Diesinger, Thierry Melin, Thuat Nguyen-Tran, Pere Roca I Cabarrocas
article
Physical Review B: Condensed Matter and Materials Physics (1998-2015), 2010, 82, pp.073302-1-4. ⟨10.1103/PhysRevB.82.073302⟩
identifiant
hal-00549434
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BibTex
titre
Field effect transistors for terahertz detection and emission
auteur
Wojciech Knap, Salman Nadar, Hadley Videlier, S. Boubanga-Tombet, Dominique Coquillat, Nina Diakonova, Frederic Teppe, K. Karpierz, J. Lusakowski, M. Sakowicz, I. Kasalynas, D. Seliuta, G. Valusis, T. Otsuji, Y. Meziani, El Fatimy A., S. Vandenbrouk, K. Madjour, D. Theron, Christophe Gaquière
article
Journal of Infrared, Millimeter and Terahertz Waves, 2010, 32, pp.618-628. ⟨10.1007/s10762-010-9647-7⟩
identifiant
hal-00597123
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BibTex
titre
Fluidic assembly of hybrid MEMS: a GaAs-based microcantilever spin injector
auteur
S. Arscott, Emilien Peytavit, Duong Vu, Alistair C. H. Rowe, Daniel Paget
article
Journal of Micromechanics and Microengineering, 2010, 20 (2), pp.025023. ⟨10.1088/0960-1317/20/2/025023⟩
identifiant
hal-02345810
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BibTex
titre
Fabrication of 24-MHz-disk resonators with silicon passive integration technology
auteur
M. Sworowski, F. Neuilly, Bernard Legrand, A. Summanwar, P. Philippe, L. Buchaillot
article
IEEE Electron Device Letters, 2010, 31, pp.23-25. ⟨10.1109/LED.2009.2034542⟩
identifiant
hal-00548984
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BibTex
titre
Guided acoustic wave resonators using an acoustic Bragg mirror
auteur
I. Kone, F. Domingue, H. Jacquinot, M. Borel, M. Gorisse, A. Reinhardt, G. Parat, F. Casset, D. Pelissier-Tanon, J.F. Carpentier, L. Buchaillot, Bertrand Dubus
article
Applied Physics Letters, 2010, 96 (22), pp.223504. ⟨10.1063/1.3440370⟩
identifiant
hal-00548560
Accès au texte intégral et bibtex
https://hal.science/hal-00548560/file/Kon%C3%A9_2010_1.3440370.pdf BibTex
titre
Materials selection procedure for RF-MEMS
auteur
G. Guisbiers, E. Herth, Bernard Legrand, N. Rolland, T. Lasri, L. Buchaillot
article
Microelectronic Engineering, 2010, 87, pp.1792-1795. ⟨10.1016/j.mee.2009.10.016⟩
identifiant
hal-00549627
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titre
Theoretical predictions of wurtzite III-nitride nano-materials properties
auteur
G. Guisbiers, D. Liu, Q. Jiang, L. Buchaillot
article
Physical Chemistry Chemical Physics, 2010, 12, pp.7203-7210. ⟨10.1039/c002496a⟩
identifiant
hal-00548994
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titre
Fracture toughness, hardness, and Young's modulus of tantalum nanocrystalline films
auteur
G. Guisbiers, E. Herth, L. Buchaillot, T. Pardoen
article
Applied Physics Letters, 2010, 97, pp.143115-1-3. ⟨10.1063/1.3496000⟩
identifiant
hal-00548997
Accès au texte intégral et bibtex
https://hal.science/hal-00548997/file/Guisbiers_2010_1.3496000.pdf BibTex
titre
Electron beam nanolithography in AZnLOF 2020
auteur
E. Herth, P. Tilmant, M. Faucher, M. François, Christophe Boyaval, Francois Vaurette, Y. Deblock, Bernard Legrand, L. Buchaillot
article
Microelectronic Engineering, 2010, 87, pp.2057-2060. ⟨10.1016/j.mee.2009.12.079⟩
identifiant
hal-00548989
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BibTex
titre
Development of a new generation of active AFM tools for applications in liquids
auteur
A.S. Rollier, D.F.L. Jenkins, El Hadj Dogheche, Bernard Legrand, M. Faucher, L. Buchaillot
article
Journal of Micromechanics and Microengineering, 2010, 20, pp.085010-1-11. ⟨10.1088/0960-1317/20/8/085010⟩
identifiant
hal-00548990
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BibTex
titre
Optimization of SiNX:H films deposited by PECVD for reliability of electronic, microsystems and optical applications
auteur
E. Herth, Bernard Legrand, L. Buchaillot, N. Rolland, T. Lasri
article
Microelectronics Reliability, 2010, 50, pp.1103-1106. ⟨10.1016/j.microrel.2010.04.011⟩
identifiant
hal-00549491
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BibTex
titre
Calculating Kelvin force microscopy signals from static force fields
auteur
Lukasz Borowik, Koku Kusiaku, Didier Theron, Thierry Melin
article
Applied Physics Letters, 2010, 96, pp.103119-1-3. ⟨10.1063/1.3323098⟩
identifiant
hal-00549047
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https://hal.science/hal-00549047/file/Borowik_2010_1.3323098.pdf BibTex
titre
AlGaN/GaN high electron mobility transistors as a voltage-tunable room temperature terahertz sources
auteur
A. El Fatimy, N. Dyakonova, Y. Meziani, T. Otsuji, W. Knap, S. Vandenbrouk, K. Madjour, Didier Theron, Christophe Gaquière, M.A. Poisson, S. Delage, P. Pristawko, C. Skierbiszewski
article
Journal of Applied Physics, 2010, 107 (2), pp.024504. ⟨10.1063/1.3291101⟩
identifiant
hal-00549452
Accès au texte intégral et bibtex
https://hal.science/hal-00549452/file/El%20Fatimy_2010_1.3291101.pdf BibTex

Conference papers

titre
GaAs spin injector microcantilever probe assembly via a releasable 'epitaxial patch technology
auteur
S. Arscott, Emilien Peytavit, Duong Vu, Alistair C.H. Rowe, Daniel Paget
article
Proc. Eurosensors XXIV 2010, Sep 2010, Linz, Austria. pp.1039-1042, ⟨10.1016/j.proeng.2010.09.287⟩
identifiant
hal-02345820
Accès au texte intégral et bibtex
https://hal.science/hal-02345820/file/1-s2.0-S1877705810008349-main.pdf BibTex
titre
Tunable room temperature THz emission from AlGaN/GaN high electron mobility transistors
auteur
Nina Diakonova, A. El Fatimy, Y. Meziani, T. Otsuji, Dominique Coquillat, Wojciech Knap, Frederic Teppe, S. Vandenbrouk, K. Madjour, Didier Theron, Christophe Gaquière, M. A. Poisson, S. Delage
article
35th International Conference on Infrared, Millimeter and Terahertz Waves, Sep 2010, Rome, Italy. pp.1
identifiant
hal-00636136
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titre
MEMS advances and GaN based approaches
auteur
Marc Faucher, Virginie Brandli, Bertrand Grimbert, Achraf Ben Amar, Matthieu Werquin, Christophe Gaquière, Didier Theron, Lionel Buchaillot
article
34th Workshop on Compound Semiconductor Devices and Integrated Circuits in Europe, WOCSDICE 2010, May 2010, Darmstadt, Germany
identifiant
hal-00808201
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titre
Résonateurs à ondes acoustiques guidées sur miroir de Bragg pour communications radio-fréquences
auteur
Issiaka Koné, Frédéric Domingue, Alexandre Reinhardt, Fabrice Casset, Marc Aïd, Jean-François Carpentier, Lionel Buchaillot, Bertrand Dubus
article
10ème Congrès Français d'Acoustique, Apr 2010, Lyon, France
identifiant
hal-00542598
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https://hal.science/hal-00542598/file/000315.pdf BibTex
titre
Surface microscopy with laserless MEMS based AFM probes
auteur
Emmanuelle Algre, Bernard Legrand, Marc Faucher, Benjamin Walter, Lionel Buchaillot
article
23rd IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, MEMS 2010, Jan 2010, Hong Kong, China. pp.292-295, ⟨10.1109/MEMSYS.2010.5442509⟩
identifiant
hal-00549972
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titre
Improve-LM imaging probe for vacuum environment and liquid medium
auteur
B. Walter, M. Faucher, Bernard Legrand, E. Mairiaux, R. Boisgard, J. Buchoux, S. Marsaudon, Z. Xiong, J.P. Aime, L. Buchaillot
article
Journées du Réseau National en Nanosciences et en Nanotechnologies, J3N 2010, 2010, Lille, France
identifiant
hal-00808210
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titre
Résonateurs à ondes acoustiques guidées sur miroir de Bragg pour les communications radio-fréquences
auteur
I. Kone, F. Domingue, A. Reinhardt, F. Casset, M. Aïd, J.F. Carpentier, L. Buchaillot, Bertrand Dubus
article
10ème Congrés Français d'Acoustique, CFA 10, 2010, France. pp.1-4
identifiant
hal-00572203
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titre
Conception and fabrication of silicon ring resonator with piezo-resistive detection for force sensing applications
auteur
Z. Xiong, B. Walter, E. Mairiaux, M. Faucher, L. Buchaillot, Bernard Legrand
article
5èmes Journées Nationales du GDR Micro et Nano Systèmes, 2010, Lyon, France
identifiant
hal-00808200
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titre
Tunable room temperature THz emission from AlGaN/GaN high electron mobility transistors
auteur
N. Dyakonova, A. El Fatimy, Y. Meziani, T. Otsuji, D. Coquillat, W. Knap, F. Teppe, S. Vandenbrouk, K. Madjour, D. Theron, Christophe Gaquière, M.A. Poisson, S. Delage
article
35th International Conference on Infrared, Millimeter and THz Waves, IRMMW-THz 2010, 2010, Italy. pp.1-2, ⟨10.1109/ICIMW.2010.5612620⟩
identifiant
hal-00550019
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titre
Micropatterned SU-8 surfaces for automatic droplet focusing and single-cell immobilization
auteur
D. Debuisson, S. Arscott, V. Senez
article
20th Anniversary World Congress on Biosensors, Biosensors 2010, 2010, Glasgow, Scotland, United Kingdom
identifiant
hal-00574485
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titre
SubfemtoFarad MOS varactor characterization tools
auteur
R. Debroucke, J. Larchanche, D. Theron, D. Ducatteau, H. Tanbakuchi, Christophe Gaquière
article
40th European Microwave Conference, EuMC 2010, 2010, France. pp.783-786
identifiant
hal-00550021
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titre
Giant piezoresistance in silicon/metal hybrid resistors
auteur
A. Rowe, S. Arscott, C. Renner
article
American Physical Society March Meeting, APS March Meeting 2010, 2010, Portland, OR, United States
identifiant
hal-00808203
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titre
Atomic force probe using silicon ring resonator conception
auteur
B. Walter, E. Mairiaux, M. Faucher, Z. Xiong, L. Buchaillot, Bernard Legrand
article
5èmes Journées Nationales du GDR Micro et Nano Systèmes, 2010, Lyon, France
identifiant
hal-00808199
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titre
Resonant HEMT transducers and integrated MEMS resonators based on AlGaN/GaN/Si heterostructures
auteur
Marc Faucher, Bertrand Grimbert, Virginie Brandli, Yvon Cordier, Matthieu Werquin, Lionel Buchaillot, Christophe Gaquière, Didier Theron
article
Workshop on Compound Semiconductor Materials and Devices, WOCSEMMAD 2010, 2010, Newport Beach, CA, United States
identifiant
hal-00808202
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Book sections

titre
Microtechnologies and micromanipulation
auteur
L. Buchaillot
article
Chaillet N., Régnier S. Microrobotics for micromanipulation, Wiley-ISTE, pp.335-368, 2010
identifiant
hal-00575862
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Patents

titre
Dispositif microélectromécanique piézoélectrique
auteur
M. Faucher, D. Theron, Christophe Gaquière
article
N° de brevet: FR2944274 (A1). 2010
identifiant
hal-00527063
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2009

Journal articles

titre
Investigation of the carbon nanotube AFM tip contacts: free sliding versus pinned contact
auteur
Julien Buchoux, Jean-Pierre Aimé, Rodolphe Boisgard, Cattien V Nguyen, Lionel Buchaillot, Sophie Marsaudon
article
Nanotechnology, 2009, 20 (47), pp.475701 (1-8). ⟨10.1088/0957-4484/20/47/475701⟩
identifiant
hal-00669678
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titre
Design and operation of a silicon ring resonator for force sensing applications above 1 MHz
auteur
Benjamin Walter, Marc Faucher, Emmanuelle Algre, Bernard Legrand, Rodolphe Boisgard, Jean-Pierre Aimé, Lionel Buchaillot
article
Journal of Micromechanics and Microengineering, 2009, 19 (11), pp.115009-1-7. ⟨10.1088/0960-1317/19/11/115009⟩
identifiant
hal-00472725
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titre
Fuel supply optimization in micro fuel cells
auteur
Ai Kamitani, Satoshi Morishita, Hiroshi Kotaki, S. Arscott
article
Procedia Chemistry, 2009, 1 (1), pp.457-460. ⟨10.1016/j.proche.2009.07.114⟩
identifiant
hal-02345854
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https://hal.science/hal-02345854/file/1-s2.0-S1876619609001156-main.pdf BibTex
titre
Improved fuel use efficiency in microchannel direct methanol fuel cells using a hydrophilic macroporous layer
auteur
Ai Kamitani, Satoshi Morishita, Hiroshi Kotaki, S. Arscott
article
Journal of Power Sources, 2009, 187 (1), pp.148-155. ⟨10.1016/j.jpowsour.2008.10.085⟩
identifiant
hal-02345838
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titre
Modeling the melting enthalpy of nanomaterials
auteur
G. Guisbiers, L. Buchaillot
article
Journal of Physical Chemistry C, 2009, 113, pp.3566-3568. ⟨10.1021/jp809338t⟩
identifiant
hal-00472740
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titre
Tunable room temperature terahertz sources based on two dimensional plasma instability in GaN HEMTs
auteur
A. El Fatimy, T. Suemitsu, T. Otsuji, N. Dyakonova, W. Knap, Y.M. Meziani, S. Vandenbrouk, K. Madjour, D. Theron, Christophe Gaquière, P. Prystawko, C. Skierbiszewski
article
Journal of Physics: Conference Series, 2009, 193, pp.012072-1-4. ⟨10.1088/1742-6596/193/1/012072⟩
identifiant
hal-00473645
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titre
Terahertz imaging using high electron mobility transistors as plasma wave detectors
auteur
S. Nadar, D. Coquillat, M. Sakowicz, H. Videlier, F. Teppe, N. Dyakonova, W. Knap, J.M. Peiris, J. Lyonnet, D. Seliuta, I. Kasalynas, G. Valusis, K. Madjour, D. Theron, Christophe Gaquière, M.A. Poisson
article
physica status solidi (c), 2009, 6, pp.2855-2857. ⟨10.1002/pssc.200982532⟩
identifiant
hal-00800810
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titre
12 GHz F-max GaN/AlN/AlGaN nanowire MISFET
auteur
S. Vandenbrouck, K. Madjour, D. Theron, Y.J. Dong, Y. Li, C.M. Lieber, Christophe Gaquière
article
IEEE Electron Device Letters, 2009, 30, pp.322-324. ⟨10.1109/LED.2009.2014791⟩
identifiant
hal-00473429
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titre
Comparison of intrinsic residual stress models in metallic thin films
auteur
G. Guisbiers, M. Wautelet, L. Buchaillot
article
Scripta Materialia, 2009, 60, pp.419-422. ⟨10.1016/j.scriptamat.2008.11.014⟩
identifiant
hal-00472721
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titre
Universal size/shape-dependent law for characteristic temperatures
auteur
G. Guisbiers, L. Buchaillot
article
Physics Letters A, 2009, 374, pp.305-308. ⟨10.1016/j.physleta.2009.10.054⟩
identifiant
hal-00472758
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titre
Design, fabrication, and operation of two-dimensional conveyance system with ciliary actuator arrays
auteur
M. Ataka, Bernard Legrand, L. Buchaillot, D. Collard, H. Fujita
article
IEEE/ASME Transactions on Mechatronics, 2009, 14, pp.119-125. ⟨10.1109/TMECH.2008.2004770⟩
identifiant
hal-00472723
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BibTex
titre
Ultra-sensitive capacitive detection based on SGMOSFET compatible with front-end CMOS process
auteur
E. Colinet, C. Durand, L. Duraffourg, P. Audebert, G. Dumas, F. Casset, E. Ollier, P. Ancey, J.F. Carpentier, L. Buchaillot, A.M. Ionescu
article
IEEE Journal of Solid-State Circuits, 2009, 44, pp.247-257. ⟨10.1109/JSSC.2008.2007448⟩
identifiant
hal-00472755
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titre
Amplified piezoelectric transduction of nanoscale motion in gallium nitride electromechanical resonators
auteur
M. Faucher, B. Grimbert, Y. Cordier, N. Baron, A. Wilk, H. Lahreche, P. Bove, M. Francois, P. Tilmant, T. Gehin, C. Legrand, M. Werquin, L. Buchaillot, Christophe Gaquière, D. Theron
article
Applied Physics Letters, 2009, 94, pp.233506-1-3. ⟨10.1063/1.3153504⟩
identifiant
hal-00472724
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titre
Phase diagrams and optical properties of phosphide, arsenide, and antimonide binary and ternary III-V nanoalloys
auteur
G. Guisbiers, M. Wautelet, L. Buchaillot
article
Physical Review B: Condensed Matter and Materials Physics (1998-2015), 2009, 79, pp.155426-1-8. ⟨10.1103/PhysRevB.79.155426⟩
identifiant
hal-00472756
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Conference papers

titre
Kelvin probe force microscopy of charge transfer mechanisms from doped silicon nanocrystals
auteur
Lukasz Borowik, Koku Kusiaku, D. Deresmes, Didier Theron, Heinrich Diesinger, Thierry Melin, Thuat Nguyen-Tran, Pere Roca I Cabarrocas
article
Materials Research Society Fall Meeting, MRS Fall 2009, Symposium OO : Dynamic Scanning Probes - Imaging, Characterization, and Manipulation, Nov 2009, Boston, MA, United States
identifiant
hal-00575344
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titre
Charge transfer from doped silicon nanocrystals
auteur
Lukasz Borowik, Koku Kusiaku, Didier Theron, Heinrich Diesinger, D. Deresmes, Thierry Melin, Thuat Nguyen-Tran, Pere Roca I Cabarrocas
article
10th Trends in Nanotechnology International Conference, TNT2009, Sep 2009, Barcelona, Spain
identifiant
hal-00575400
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titre
Tunable room temperature terahertz sources based on two dimensional plasma instability in GaN HEMTs
auteur
A. El Fatimy, T. Suemitsu, T. Otsuji, N. Dyakonova, W. Knap, Y. M. Meziani, S. Vandenbrouk, K. Madjour, Didier Theron, Christophe Gaquière, P. Prystawko, C. Skierbiszewski
article
16th International Conference on Electron Dynamics in Semiconductors, Optoelectronics and Nanostructures (EDISON 16), Aug 2009, France. pp.2072, ⟨10.1088/1742-6596/193/1/012072⟩
identifiant
hal-00546387
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titre
Charge transfer from doped silicon nanocrystals
auteur
Lukasz Borowik, Koku Kusiaku, Didier Theron, Heinrich Diesinger, D. Deresmes, Thierry Melin, Thuat Nguyen-Tran, Pere Roca I Cabarrocas
article
12th International Conference on Noncontact Atomic Force Microscopy, NC-AFM 2009, Aug 2009, New Haven, CT, United States
identifiant
hal-00575399
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titre
High-GF planar aluminium-silicon hybrid strain transducers
auteur
A.C.H. Rowe, C. Renner, S. Arscott
article
15th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems. Transducers 2009, Jun 2009, Denver, United States. pp.264-267, ⟨10.1109/SENSOR.2009.5285512⟩
identifiant
hal-02345857
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titre
Tip-matter interaction measurements using MEMS ring resonators
auteur
Emmanuelle Algre, Bernard Legrand, Marc Faucher, Benjamin Walter, Lionel Buchaillot
article
15th International Conference on Solid State Sensors, Actuators and Microsystems, Transducers 2009, Jun 2009, Denver, CO, United States. pp.1638-1641, ⟨10.1109/SENSOR.2009.5285774⟩
identifiant
hal-00474451
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BibTex
titre
Terahertz imaging using high electron mobility transistors as plasma wave detectors
auteur
S. Nadar, D. Coquillat, M. Sakowicz, H. Videlier, F. Teppe, N. Dyakonova, W. Knap, J.-M. Peiris, J. Lyonnet, D. Seliuta, I. Kasalynas, G. Valusis, K. Madjour, Didier Theron, Christophe Gaquière, M.-A. Poisson
article
15th International Semiconducting and Insulating Materials Conference (SIMC-XV) Vilnius Univ, Vilnius, LITHUANIA, Jun 2009, Lithuania. pp.2855-2857, ⟨10.1002/PSSC.200982532⟩
identifiant
hal-00545979
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titre
Corrélation entre l'état de surface et l'émissivité électronique du GaN par STM et KFM
auteur
E. Tranvouez, Sophie Barbet, Raphaël Aubry, Marie-Antoinette Di Forte-Poisson, Jean-Claude Jacquet, Thierry Melin, Didier Theron
article
Forum des Microscopies à Sonde Locale, Mar 2009, Hardelot, France
identifiant
hal-00575394
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titre
Electrostatic properties of doped silicon nanocrystals probed by Kelvin force microscopy
auteur
Lukasz Borowik, Koku Kusiaku, Didier Theron, Heinrich Diesinger, D. Deresmes, Thierry Melin, Thuat Nguyen-Tran, Pere Roca I Cabarrocas
article
Forum des Microscopies à Sonde Locale, Mar 2009, Neufchâtel, France
identifiant
hal-00575340
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titre
Thermoelastic FEM-BEM model for MEMS resonator simulation
auteur
D. Ekeom, L. Buchaillot
article
22nd IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, MEMS 2009, 2009, Italy. pp.923-926, ⟨10.1109/MEMSYS.2009.4805535⟩
identifiant
hal-00474450
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BibTex
titre
Electrode sizing for guided wave resonator above a Bragg mirror
auteur
I. Kone, A. Reinhardt, F. Domingue, Bertrand Dubus, L. Buchaillot, F. Casset, J.F. Carpentier, M. Aid
article
63rd IEEE International Frequency Control Symposium, joint with 23rd European Frequency and Time Forum, EFTF-IFCS 2009, 2009, France. pp.904-907, ⟨10.1109/FREQ.2009.5168318⟩
identifiant
hal-00474071
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titre
Time domain analyses of trapping effects of AlInN/GaN HEMT devices
auteur
Christophe Gaquière, D. Ducatteau, D. Theron, F Medjdoub, M.A. Poisson
article
International Microwave Symposium, IMS 2009, Workshop WWC : Advanced Measurement Techniques, Adapted for Different Memory Effects, 2009, Boston, MA, United States
identifiant
hal-00575423
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BibTex
titre
Tip-matter interaction measurements using MEMS ring resonators
auteur
Emmanuelle Algre, Bernard Legrand, Marc Faucher, Benjamin Walter, Lionel Buchaillot
article
Forum des Microscopies à Sonde Locale, 2009, Hardelot, France
identifiant
hal-00575264
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titre
Kelvin force microscopy for n- and p-type GaN surface characterization
auteur
Thierry Melin, Koku Kusiaku, Sophie Barbet, D. Deresmes, Didier Theron, Raphaël Aubry, Marie-Antoinette Di Forte-Poisson, Jean-Claude Jacquet
article
Worskhop on Compound Semiconductor Materials and Devices, WOCSEMMAD'09, 2009, Fort Myers, FL, United States
identifiant
hal-00575345
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BibTex
titre
Détection d'ondes térahertz dans les hétérojonctions AlGaN/GaN
auteur
Kamel Madjour, Simon Vandenbrouck, Guillaume Ducournau, Jean-Francois Lampin, Tahsin Akalin, Didier Theron, Marie-Antoinette Di Forte-Poisson, Sylvain Laurent Delage, Christophe Gaquière
article
GDR-E Workshop : Semiconductor sources and detectors of THz frequencies, 2009, Montpellier, France
identifiant
hal-00575415
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BibTex
titre
Low actuation voltage SPDT RF MEMS K band switch using a single gold membrane
auteur
R. Robin, O. Millet, K. Segueni, L. Buchaillot
article
22nd IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, MEMS 2009, 2009, Italy. pp.872-875, ⟨10.1109/MEMSYS.2009.4805522⟩
identifiant
hal-00474449
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BibTex
titre
Etude des ondes plasma dans les hétérojonctions AlGaN/GaN pour les applications THz
auteur
K. Madjour, S. Vandenbrouck, D. Coquillat, S. Nadar, Guillaume Ducournau, D. Theron, N. Diakonova, Ma. Poisson, W. Knap, Christophe Gaquière
article
16èmes Journées Nationales Microondes, JNM 2009, 2009, France. pp.5E-3, 1-4
identifiant
hal-00480439
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BibTex
titre
High-Q and low-RM 24-MHz radial-contour mode disk resonators fabricated with silicon passive integration technology
auteur
M. Sworowski, F. Neuilly, Bernard Legrand, A. Summanwar, F. Lallemand, P. Philippe, L. Buchaillot
article
15th International Conference on Solid State Sensors, Actuators and Microsystems, Transducers 2009, 2009, USA, United States. pp.2114-2117, ⟨10.1109/SENSOR.2009.5285623⟩
identifiant
hal-00474452
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BibTex
titre
Vers une nouvelle génération de sonde de microscopie à force atomique à base de micro et nano-systèmes électromécaniques
auteur
Bernard Legrand, Emmanuelle Algre, Lionel Buchaillot, Marc Faucher, Benjamin Walter
article
4èmes Journées Nationales en Nanosciences et Nanotechnologies, J3N 2009, 2009, Toulouse, France
identifiant
hal-00575271
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BibTex
titre
Amplification of nanoscale motion by piezoelectric transduction in GaN resonators
auteur
M. Faucher, B. Grimbert, Y. Cordier, N. Baron, A. Wilk, H. Lahreche, P. Bove, M. François, P. Tilmant, T. Gehin, C. Legrand, M. Werquin, L. Buchaillot, Christophe Gaquière, D. Theron
article
18th European Workshop on Heterostructure Technology, HeTech 2009, 2009, Günzburg-Ulm, Germany
identifiant
hal-00810577
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Book sections

titre
Micro et nanorésonateurs radio-fréquence
auteur
Bernard Legrand, C. Durand, M. Faucher, L. Buchaillot
article
Leray J.L., Boudenot J.C., Gautier J. La micro-nano électronique, enjeux et mutations, CNRS ÉDITIONS, pp.239-242, 2009
identifiant
hal-00575789
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Patents

titre
Microelectromechanical System Comprising a Deformable Portion and a Stress Sensor
auteur
S. Arscott
article
United States, Patent n° : US20090301176A1. 2009
identifiant
hal-02345851
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titre
Strain sensor with high gauge factor
auteur
A. Rowe, C. Renner, S. Arscott
article
Patent n° : EP2131169 (A1). 2009
identifiant
hal-00455322
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titre
Fuel cell
auteur
A. Kamiya, S. Morishita, S. Arscott
article
Patent n° : JP2009070570 (A. 2009
identifiant
hal-00451515
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titre
Fuel cell
auteur
A. Kamiya, S. Morishita, S. Arscott
article
Patent n° : JP2009070571 (A). 2009
identifiant
hal-00455287
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2008

Journal articles

titre
Miniaturized microDMFC using silicon microsystems techniques: performances at low fuel flow rates
auteur
Ai Kamitani, Satoshi Morishita, Hiroshi Kotaki, S. Arscott
article
Journal of Micromechanics and Microengineering, 2008, 18 (12), pp.125019. ⟨10.1088/0960-1317/18/12/125019⟩
identifiant
hal-02347363
Accès au texte intégral et bibtex
https://hal.science/hal-02347363/file/kamitani_et_al_2008.pdf BibTex
titre
Nonlinear Characterization and Modeling of Carbon Nanotube Field-Effect Transistors
auteur
Arnaud Curutchet, Didier Theron, Matthieu Werquin, Damien Ducatteau, Henri Happy, Gilles Dambrine, Jean-Marc Bethoux, Vincent Derycke, Christophe Gaquière
article
IEEE Transactions on Microwave Theory and Techniques, 2008, 56 (7), pp.1505-1510. ⟨10.1109/TMTT.2008.925209⟩
identifiant
hal-00315911
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BibTex
titre
Nanoscale devices for online dielectric spectroscopy of biological cells
auteur
Damien Debuisson, A. Treizebre, Timothée Houssin, Eric Leclerc, Dominique Bartès-Biesel, Dominique Legrand, Joël Mazurier, S. Arscott, Bertrand Bocquet, Vincent Senez
article
Physiological Measurement, 2008, 29 (6), pp.S213-S225. ⟨10.1088/0967-3334/29/6/S19⟩
identifiant
hal-02347380
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BibTex
titre
In-Plane Silicon-On-Nothing Nanometer-Scale Resonant Suspended Gate MOSFET for In-IC Integration Perspectives
auteur
Cédric Durand, Fabrice Casset, Philippe Renaux, Nicolas Abelé, Bernard Legrand, Denis Renaud, Eric Ollier, Pascal Ancey, Adrian M. Ionescu, Lionel Buchaillot
article
IEEE Electron Device Letters, 2008, 29 (5), pp.494-496. ⟨10.1109/LED.2008.919781⟩
identifiant
cea-00320837
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https://hal-cea.archives-ouvertes.fr/cea-00320837/file/2008_Durand_EDL_In-Plane_SON_RSG_MOSFET_for_In-IC_Integration_Persp.pdf BibTex
titre
Giant Room-Temperature Piezoresistance in a Metal-Silicon Hybrid Structure
auteur
A. Rowe, A. Donoso-Barrera, Ch. Renner, S. Arscott
article
Physical Review Letters, 2008, 100 (14), pp.145501-1-4. ⟨10.1103/PhysRevLett.100.145501⟩
identifiant
hal-02347369
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https://hal.science/hal-02347369/file/0803.0655.pdf BibTex
titre
Nitride based nanotransistors as new sources and detectors of THz radiations
auteur
A. El Fatimy, F. Teppe, S. Boubanga, N. Dyakonova, B. Gil, D. Coquillat, D. Seliuta, G. Valusis, M.A. Poisson, E. Morvan, Christophe Gaquière, D. Theron, A. Cappy, W. Knap
article
physica status solidi (c), 2008, 5, pp.1947-1949. ⟨10.1002/pssc.200778507⟩
identifiant
hal-00360008
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titre
Plasma oscillations in nanotransistors for room temperature detection and emission of terahertz radiation
auteur
A. El Fatimy, R. Tauk, S. Boubanga, F. Teppe, N. Dyakonova, W. Knap, J. Lyonnet, Y.M. Meziani, T. Otsuji, M.A. Poisson, E. Morvan, S. Bollaert, A. Shchepetov, Yannick Roelens, Didier Theron, A. Cappy, Christophe Gaquière
article
physica status solidi (c), 2008, 5, pp.244-248. ⟨10.1002/pssc.200776585⟩
identifiant
hal-00360007
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titre
Size and shape effects on creep and diffusion at the nanoscale
auteur
G. Guisbiers, L. Buchaillot
article
Nanotechnology, 2008, 19, pp.435701-1-5. ⟨10.1088/0957-4484/19/43/435701⟩
identifiant
hal-00357282
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titre
Size, shape, composition, and segregation tuning of InGaAs thermo-optical properties
auteur
G. Guisbiers, G. Abudukelimu, M. Wautelet, L. Buchaillot
article
Journal of Physical Chemistry C, 2008, 112, pp.17889-17892. ⟨10.1021/jp805760h⟩
identifiant
hal-00357284
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titre
Post-buckling dynamic behavior of self-assembled 3D microstructures
auteur
L. Buchaillot, O. Millet, E. Quévy, D. Collard
article
Microsystem Technologies, 2008, 14, pp.69-78. ⟨10.1007/s00542-007-0400-7⟩
identifiant
hal-00357276
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titre
Silicon on nothing MEMS electromechanical resonator
auteur
C. Durand, F. Casset, P. Ancey, F. Judong, A. Talbot, R. Quenouillere, D. Renaud, S. Borel, B. Florin, L. Buchaillot
article
Microsystem Technologies, 2008, 14, pp.1027-1033. ⟨10.1007/s00542-007-0485-z⟩
identifiant
hal-00357280
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titre
Surface potential of n- and p-type GaN measured by Kelvin force microscopy
auteur
Sophie Barbet, Raphaël Aubry, Marie-Antoinette Di Forte-Poisson, Jean-Claude Jacquet, D. Deresmes, Thierry Melin, Didier Theron
article
Applied Physics Letters, 2008, 93, pp.212107-1-3. ⟨10.1063/1.3028639⟩
identifiant
hal-00357781
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titre
Thermo-opto-mechanical properties of AlN nanostructures : a promising material for NEMS applications
auteur
G. Guisbiers, L. Buchaillot
article
Journal of Physics D: Applied Physics, 2008, 41, pp.172001-1-4. ⟨10.1088/0022-3727/41/17/172001⟩
identifiant
hal-00357283
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Conference papers

titre
Characterization of carbon nanotube field effect transistors using an active load pull LSNA setup
auteur
Christophe Gaquière, Arnaud Curutchet, Didier Theron, Matthieu Werquin, Damien Ducatteau, Jean-Marc Bethoux, Henri Happy, Gilles Dambrine, Vincent Derycke
article
71st ARFTG Microwave Measurement Conference, IEEE MTT-S International Microwave Symposium, Jun 2008, Atlanta, GA, United States. pp.97-99, ⟨10.1109/MWSYM.2008.4633311⟩
identifiant
hal-00800982
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titre
Characterization of carbon nanotube field-effect transistors using an active load pull LSNA setup
auteur
Christophe Gaquière, Arnaud Curutchet, Didier Theron, Matthieu Werquin, Damien Ducatteau, Jean-Marc Bethoux, Henri Happy, Gilles Dambrine, Vincent Derycke
article
71st ARFTG Microwave Measurement Conference, ARFTG 2008, Jun 2008, Atlanta, GA, United States. ⟨10.1109/ARFTG.2008.4633311⟩
identifiant
hal-00362030
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titre
A New Four States High Deflection Low Actuation Voltage Electrostatic Mems Switch for RF Applications
auteur
Renaud Robin, Salim Touati, Karim Segueni, Olivier Millet, Lionel Buchaillot
article
Symposium on Design, Test, Integration and Packaging of MEMS/MOEMS, DTIP 2008, Apr 2008, Nice, France. pp.56-59, ⟨10.1109/DTIP.2008.4752952⟩
identifiant
hal-00277678
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https://hal.science/hal-00277678/file/dtip08056.pdf BibTex
titre
Characterization of IN-IC integrable in-plane nanometer scale resonators fabricated by a silicon on nothing advanced CMOS technology
auteur
Cédric Durand, Fabrice Casset, Bernard Legrand, Marc Faucher, Philippe Renaux, Denis Mercier, Denis Renaud, Didier Dutartre, Eric Ollier, Pascal Ancey, Lionel Buchaillot
article
21st IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, MEMS 2008, Jan 2008, Tucson - AZ, United States. pp.1016-1019, ⟨10.1109/MEMSYS.2008.4443831⟩
identifiant
cea-00320830
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https://hal-cea.archives-ouvertes.fr/cea-00320830/file/2008_Durand_Buchaillot_Charac_of_IN_IC_integrable_in_plane_nanometer_scale_resonators_fabricated_by_a_SON_adv_CMOS_techno.pdf BibTex
titre
Investigation of the mechanism for TiN Schottky formation in AlGaN/GaN HEMTs
auteur
J.C. Gerbedoen, A. Soltani, H. Lahreche, M. Mattalah, Michel Rousseau, D. Theron, Jean-Claude de Jaeger
article
17th European Heterostructure Technology Workshop, HeTech'08, 2008, Venice, Italy
identifiant
hal-00811733
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titre
Resonator using guided waves in a piezoelectric layer above a Bragg mirror
auteur
I. Kone, Bertrand Dubus, L. Buchaillot, A. Reinhardt, F. Casset, M. Aid, J.F. Carpentier, P. Ancey
article
IEEE International Frequency Control Symposium, 2008, United States. pp.581-585, ⟨10.1109/FREQ.2008.4623066⟩
identifiant
hal-00360387
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Book sections

titre
Microfabricated Nanoelectrospray Emitter Tips based on a Microfluidic Capillary Slot [Chapter 5]
auteur
Séverine Le Gac, S. Arscott, Christian Rolando
article
Le Gac S., Van den Berg A. Miniaturization and Mass Spectrometry, Royal Society of Chemistry, pp.97-128, 2008, 978-0-85404-129-9, e-ISBN 978-1-84755-894-7. ⟨10.1039/9781847558947-00097⟩
identifiant
hal-02347420
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titre
Microtechnologies et micromanipulation
auteur
L. Buchaillot
article
Régnier S., Chaillet N. La microrobotique : applications à la micromanipulation, HERMES, pp.377-410, 2008
identifiant
hal-00362368
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Patents

titre
Sonde pour microscopie à force atomique
auteur
M. Faucher, L. Buchaillot, J.P. Aime, Bernard Legrand, G. Couturier
article
N° de brevet: FR2915803 (A1). 2008
identifiant
hal-00372090
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2007

Journal articles

titre
Sub-attolitre nanodroplet deposition using a silicon-based nanoelectrospray emitter tip
auteur
Cédric Descatoire, Lionel Buchaillot, S. Arscott
article
Materials Science and Engineering: C, 2007, 27 (5-8), pp.1491-1495. ⟨10.1016/j.msec.2006.09.009⟩
identifiant
hal-02347449
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titre
A silicon beam-based microcantilever nanoelectrosprayer
auteur
S. Arscott, Bernard Legrand, Lionel Buchaillot, Alison Ashcroft
article
Sensors and Actuators B: Chemical, 2007, 125 (1), pp.72-78. ⟨10.1016/j.snb.2007.01.040⟩
identifiant
hal-02347442
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titre
SOI-based nanoelectrospray emitter tips for mass spectrometry: a coupled MEMS and microfluidic design
auteur
Bernard Legrand, Alison Ashcroft, Lionel Buchaillot, S. Arscott
article
Journal of Micromechanics and Microengineering, 2007, 17 (3), pp.509-514. ⟨10.1088/0960-1317/17/3/013⟩
identifiant
hal-02347438
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titre
X-band power characterisation of AlInN/AlN/GaN HEMT grown on SiC substrate
auteur
Nicolas Sarazin, Olivier Jardel, Erwan Morvan, Raphaël Aubry, M. Laurent, M. Magis, Maurice Tordjman, M. Alloui, O. Drisse, J. Di Persio, Marie-Antoinette Di Forte-Poisson, Sylvain Laurent Delage, Nicolas Vellas, Christophe Gaquière, Didier Theron
article
Electronics Letters, 2007, 43 (23), pp.1317-1318. ⟨10.1049/el:20072598⟩
identifiant
hal-00283494
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titre
CVD growth of carbon nanotubes at very low pressure of acetylene
auteur
Yu.A. Kasumov, A. Shailos, I.I. Khodos, V.T. Volkov, V.I. Levashov, V.N. Matveev, Sophie Guéron, Mathias Kobylko, Mathieu Kociak, Helene Bouchiat, Vincent Agache, Anne-Sophie Rollier, Lionel Buchaillot, Anne-Marie Bonnot, A.Yu. Kasumov
article
Applied physics. A, Materials science & processing, 2007, 88, pp.687-691. ⟨10.1007/s00339-007-4028-3⟩
identifiant
hal-00351737
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titre
Complete system for wireless powering and remote control of electrostatic actuators by inductive coupling
auteur
Philippe Basset, A. Kaiser, Bernard Legrand, D. Collard, L. Buchaillot
article
IEEE/ASME Transactions on Mechatronics, 2007, 12, pp.23-31. ⟨10.1109/TMECH.2006.886245⟩
identifiant
hal-00255847
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Conference papers

titre
Kelvin force microscopy on GaN wide gap materials
auteur
Sophie Barbet, Raphaël Aubry, D. Deresmes, Marie-Antoinette Di Forte-Poisson, Heinrich Diesinger, Thierry Melin, Didier Theron
article
Materials Research Society Fall Meeting, Symposium B : Nanoscale Phenomena in Functional Materials by Scanning Probe Microscopy, Nov 2007, Boston, MA, United States
identifiant
hal-00285289
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titre
Compact multilayer piezoresistive gauge for in-plane strain measurement in liquids
auteur
Jean-Baptiste Bureau, Bernard Legrand, Dominique Collard, Lionel Buchaillot
article
14th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, Transducers'07, Jun 2007, Lyon, France. pp.2267-2270, ⟨10.1109/SENSOR.2007.4300621⟩
identifiant
hal-00284392
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titre
Silicon nano-ESI emitters for mass spectrometry: a mixed micromechanical and microfluidic design
auteur
B. Legrand, L. Buchaillot, A. Ashcroft, S. Arscott
article
TRANSDUCERS 2007 - 2007 International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference, Jun 2007, Lyon, France. pp.791-794, ⟨10.1109/SENSOR.2007.4300249⟩
identifiant
hal-02347474
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titre
Caractérisation et modélisation non linéaire de transistors hyperfréquences à effet de champ à base de nanotubes de carbone (CNFETs) à l'aide d'un analyseur de réseau large signal (LSNA)
auteur
Arnaud Curutchet, Jean-Marc Bethoux, Matthieu Werquin, Henri Happy, Didier Theron, Damien Ducatteau, Gilles Dambrine, Christophe Gaquière, Vincent Derycke
article
15èmes Journées Nationales Microondes, JNM 2007, May 2007, Toulouse, France. pp.3C4-1-4
identifiant
hal-00370334
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titre
Caractérisation et modélisation non linéaire de Transistors hyperfréquences à Effet de Champ à base de Nano tubes de Carbone (CNFETs) à l'aide d'un Analyseur de réseau Large Signal (LSNA)
auteur
Arnaud Curutchet, Jean-Marc Bethoux, Matthieu Werquin, Henri Happy, Didier Theron, Damien Ducatteau, Gilles Dambrine, Christophe Gaquière, Vincent Derycke
article
XVIèmes Journées Nationales Microondes, May 2007, Toulouse, France. pp.xx-xx
identifiant
hal-00197497
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titre
SILICON ON NOTHING MEMS ELECTROMECHANICAL RESONATOR
auteur
Cédric Durand, Fabrice Casset, Pascal Ancey, Fabienne Judong, Alexandre Talbot, Rémi Quenouillère, Denis Renaud, Stéphan Borel, Brigitte Florin, Lionel Buchaillot
article
Design Test Integration Packaging DTIP, Apr 2007, Stresa, Italy
identifiant
cea-00320845
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https://hal-cea.archives-ouvertes.fr/cea-00320845/file/070302_-_Paper_DTIP_2007.pdf BibTex
titre
SILICON ON NOTHING MEMS ELECTROMECHANICAL RESONATOR
auteur
C. Durand, F. Casset, P. Ancey, F. Judong, A. Talbot, R. Quenouillere, D. Renaud, S. Borel, B. Florin, L. Buchaillot
article
DTIP 2007, Apr 2007, Stresa, lago Maggiore, Italy. RF & optical
identifiant
hal-00257711
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https://hal.science/hal-00257711/file/dtip07_1048.pdf BibTex
titre
Analyse du potentiel de surface du GaN par microscopie à sonde de Kelvin (KFM)
auteur
Sophie Barbet, D. Deresmes, Thierry Melin, Didier Theron, Raphaël Aubry, Marie-Antoinette Di Forte-Poisson
article
10ème Forum des Microscopies à Sonde Locale, Mar 2007, Troyes, France
identifiant
hal-00285285
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titre
Non linear RF device characterization in time domain using an active loadpull large signal network analyzer
auteur
D. Ducatteau, M. Werquin, B. Grimbert, E. Morvan, Didier Theron, Christophe Gaquière
article
24th IEEE Instrumentation and Measurement Technology Conference, IMTC 2007, 2007, Poland. pp.1-5, ⟨10.1109/IMTC.2007.379387⟩
identifiant
hal-00284398
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titre
A design for 24GHz SPDT using a single RF MEMS switch based on a totally free flexible membrane
auteur
R. Robin, L. Le Garrec, K. Segueni, O. Millet, L. Buchaillot
article
8th International Symposium on RF MEMS and RF Microsystems, MEMSWAVE 2007, 2007, Spain. pp.133-136
identifiant
hal-00362686
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titre
Proposition of atomic force probes based on silicon ring-resonators
auteur
M. Faucher, B. Walter, A.S. Rollier, K. Segueni, Bernard Legrand, G. Couturier, J.P. Aimé, C. Bernard, R. Boisgard, L. Buchaillot
article
14th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, Transducers'07, 2007, France. pp.1529-1532, ⟨10.1109/SENSOR.2007.4300436⟩
identifiant
hal-00284391
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BibTex
titre
Etude par microscopie à champ proche de structures à base de matériau III-N pour émetteurs électroniques planaires
auteur
Sophie Barbet, Thierry Melin, Didier Theron, Raphaël Aubry, Marie-Antoinette Di Forte-Poisson
article
Actes des 10èmes Journées Nationales du Réseau Doctoral en Microélectronique, JNRDM 2007, 2007, Lille, France
identifiant
hal-00367413
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titre
Tuning beam electromechanical resonators
auteur
F. Casset, J.O. Durand, P. Ancey, M. Aid, L. Buchaillot
article
Proceedings of the 8th International Symposium on RF MEMS and RF Microsystems, MEMSWAVE 2007, 2007, Barcelona, Spain
identifiant
hal-00367379
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titre
Résonateurs électromécaniques MEMS fabriqués à partir d'une technologie Silicon On Nothing
auteur
C. Durand, F. Casset, L. Buchaillot
article
10èmes Journées Nationales du Réseau Doctoral en Microélectronique, JNRDM 2007, 2007, Lille, France
identifiant
hal-00285262
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titre
High yield grafting of carbon nanotube on ultra-sharp silicon nanotips: Mechanical characterization and AFM imaging
auteur
A. S. Rollier, C. Bernard, S. Marsaudon, A. M. Bonnot, M. Faucher, J. P. Aime, Bernard Legrand, D. Collard, L. Buchaillot
article
20th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS 2007), 2007, Unknown, Unknown Region. pp.878-+
identifiant
hal-01553035
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titre
Composants plasmoniques à base d'hétérojonction AlGaN/GaN pour les applications terahertz
auteur
S. Vandenbrouck, Didier Theron, Jean-Francois Lampin, L. Desplanque, Z. Bougrioua, Christophe Gaquière
article
15èmes Journées Nationales Microondes, JNM 2007, 2007, France. pp.8B3-1-4
identifiant
hal-00370333
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titre
Accuracy measurements of an original active loadpull based on large signal network analyzer
auteur
D. Ducatteau, M. Werquin, E. Delos, E. Morvan, D. Theron, Christophe Gaquière
article
Proceedings of the 2007 European Microwave Week, 2007, Munich, Germany
identifiant
hal-00367699
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BibTex
titre
Kelvin force microscopy on GaN material and devices
auteur
Sophie Barbet, Raphaël Aubry, D. Deresmes, Marie-Antoinette Di Forte-Poisson, F. Romero, Thierry Melin, E. Munoz, A. Jimenez, Didier Theron
article
16th European Workshop on Heterostructure Technology, HeTech'07, 2007, Fréjus, France
identifiant
hal-00285314
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BibTex
titre
High yield grafting of carbon nanotube on ultra-sharp silicon nanotips : mechanical characterization and AFM imaging
auteur
A.S. Rollier, C. Bernard, S. Marsaudon, A.M. Bonnot, M. Faucher, J.P. Aimé, Bernard Legrand, D. Collard, L. Buchaillot
article
20th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, MEMS 2007, 2007, Japan. pp.851-854, ⟨10.1109/MEMSYS.2007.4433179⟩
identifiant
hal-00284388
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BibTex
titre
A totally free flexible membrane : a design for low electrostatic actuation MEMS
auteur
K. Segueni, A.S. Rollier, L. Le Garrec, R. Robin, S. Touati, A. Kanciurzewski, L. Buchaillot, O. Millet
article
14th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, Transducers'07, 2007, France. pp.461-464, ⟨10.1109/SENSOR.2007.4300167⟩
identifiant
hal-00284389
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BibTex
titre
Non linear microwave characterization and modelization of carbon nanotube FETs
auteur
Arnaud Curutchet, Christophe Gaquière, Damien Ducatteau, Didier Theron, Jean-Marc Bethoux, Henri Happy, Gilles Dambrine, Matthieu Werquin, Vincent Derycke
article
Workshop on Compound Semiconductor Materials and Devices, WOCSEMMAD'07, 2007, Savannah, GA, United States
identifiant
hal-00285315
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BibTex
titre
Totally free-flexible membrane for low voltage MEMS metal contact switch
auteur
K. Segueni, L. Le Garrec, A.S. Rollier, R. Robin, S. Touati, A. Kanciurzewsk, L. Buchaillot, O. Millet
article
37th European Microwave Conference, EuMC 2007, 2007, Germany. pp.1153-1156, ⟨10.1109/EUMC.2007.4405403⟩
identifiant
hal-00362687
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Patents

titre
Système micro-électromécanique comprenant une partie déformable et un détecteur de contrainte
auteur
A. Rowe, C. Renner, S. Arscott
article
N° de brevet: FR2894953 (A1). 2007
identifiant
hal-00372348
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2006

Journal articles

titre
High pressure-resistant SU-8 microchannels for monolithic porous structure integration
auteur
Julien Carlier, Katarzyna Chuda, S. Arscott, V. Thomy, Bernard Verbeke, Xavier Coqueret, Jean Christophe Camart, Christian Druon, Pierre Tabourier
article
Journal of Micromechanics and Microengineering, 2006, 16 (10), pp.2211-2219. ⟨10.1088/0960-1317/16/10/039⟩
identifiant
hal-02347498
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titre
Top Down' Approaches for the Study of Single-Cells: Micro-Engineering and Electrical Phenotype
auteur
Vincent Senez, Tahsin Akalin, S. Arscott, Nour Eddine Bourzgui, Bertrand Bocquet, Teruo Fujii, Erwan Lennon, Takahisa Yamamoto
article
Advances in Science and Technology, 2006, 53, pp.97-106. ⟨10.4028/www.scientific.net/AST.53.97⟩
identifiant
hal-02347520
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BibTex
titre
Capillary filling of miniaturized sources for electrospray mass spectrometry
auteur
S. Arscott, Matthieu Gaudet, Martin Brinkmann, Alison Ashcroft, Ralf Blossey
article
Journal of Physics: Condensed Matter, 2006, 18 (18), pp.S677-S690. ⟨10.1088/0953-8984/18/18/S13⟩
identifiant
hal-02347514
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https://hal.science/hal-02347514/file/Arscott2006.pdf BibTex
titre
Variation of absorption coefficient and determination of critical dose of SU-8 at 365 nm
auteur
Matthieu Gaudet, Jean-Christophe Camart, Lionel Buchaillot, S. Arscott
article
Applied Physics Letters, 2006, 88 (2), pp.024107. ⟨10.1063/1.2164390⟩
identifiant
hal-02347482
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BibTex
titre
An open design microfabricated nib-like nanoelectrospray emitter tip on a conducting silicon substrate for the application of the ionization voltage
auteur
Séverine Gac, Christian Rolando, S. Arscott
article
Journal of The American Society for Mass Spectrometry, 2006, 17 (1), pp.75-80. ⟨10.1016/j.jasms.2005.09.003⟩
identifiant
hal-02347490
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BibTex
titre
Coupled-resonator micromechanical filters with voltage tuneable bandpass characteristic in thick-film polysilicon technology
auteur
Dimitri Galayko, Andreas Kaiser, Bernard Legrand, Lionel Buchaillot, Dominique Collard, Chantal Combi
article
Sensors and Actuators A: Physical , 2006, 126 (1), pp.227-240. ⟨10.1016/j.sna.2005.10.033⟩
identifiant
hal-01195973
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BibTex
titre
An open design microfabricated nib-like nanoelectrospray emitter tip on a conduction silicon substrate for the application of the ionization voltage
auteur
S. Le Gac, C. Rolando, S. Arscott
article
Journal of The American Society for Mass Spectrometry, 2006, 17, pp.75-80
identifiant
hal-00128664
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BibTex
titre
Nouvelles sources microfabriquées de nano-ESI optimisées pour l’analyse protéomique
auteur
S. Arscott, Christian Rolando, Séverine Le Gac
article
La Houille Blanche - Revue internationale de l'eau, 2006
identifiant
hal-02347588
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titre
Room-temperature Terahertz Emission from Nanometer Field Effect Transistors
auteur
N. Dyakonova, Michel Dyakonov, A. El Fatimy, J. Lusakowski, W. Knap, M.-A. Poisson, E. Morvan, S. Bollaert, A. Shchepetov, Yannick Roelens, Christophe Gaquière, D. Theron, A. Cappy
article
Applied Physics Letters, 2006, 88 (14), pp.141906. ⟨10.1063/1.2191421⟩
identifiant
hal-00264792
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titre
Terahertz detection by GaN/AlGaN transistors
auteur
Abdelouahad El Fatimy, Stephane Boubanga Tombet, Frederic Teppe, Wojciech Knap, D. B. Veksler, S. Rumyantsev, M. S. Shur, N. Pala, R. Gaska, Q. Fareed, X. Hu, D. Seliuta, G. Valusis, Christophe Gaquière, D. Theron, A. Cappy
article
Electronics Letters, 2006, 42, pp.1342-1344. ⟨10.1049/cl:20062452⟩
identifiant
hal-00540638
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titre
Stability and pull-in voltage of electrostatic parallel-plate actuators in liquid solutions
auteur
A.S. Rollier, Bernard Legrand, D. Collard, L. Buchaillot
article
Journal of Micromechanics and Microengineering, 2006, 16, pp.794-801
identifiant
hal-00128663
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titre
Microfluidique intégrée pour le couplage d'un microcanal à une interface nanoESI : application à la protéomique
auteur
Julien Carlier, S. Arscott, Francois Caron, Jean-Christophe Fourrier, V. Thomy, J.C. Camart, C. Druon, P. Tabourier, Kasia Chuda, Xavier Coqueret, Séverine Le Gac, Christian Rolando
article
La Houille Blanche - Revue internationale de l'eau, 2006, 3, pp.60-64. ⟨10.1051/lhb:200603009⟩
identifiant
hal-00127163
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titre
Alteration of superconductivity and radial breathing modes in suspended ropes of carbon nanotubes by organic polymer coatings
auteur
Meydi Ferrier, A.Yu. Kasumov, Vincent Agache, Lionel Buchaillot, Anne-Marie Bonnot, C. Naud, Vincent Bouchiat, Richard Deblock, Mathieu Kociak, Mathias Kobylko, Sophie Guéron, Helene Bouchiat
article
Physical Review B: Condensed Matter and Materials Physics (1998-2015), 2006, 74, pp.241402. ⟨10.1103/PhysRevB.74.241402⟩
identifiant
hal-00128661
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https://arxiv.org/pdf/cond-mat/0508518 BibTex
titre
Power measurement setup for large signal microwave characterization at 94 GHz
auteur
F Medjdoub, S. Vandenbrouck, Christophe Gaquière, E. Delos, M. Zaknoune, D. Theron
article
IEEE Electron Device Letters, 2006, 16, pp.218-220
identifiant
hal-00127945
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titre
Room-temperature terahertz emission from nanometer field-effect transistors
auteur
N. Dyakonova, A. El Fatimy, J. Łusakowski, W. Knap, M.I. Dyakonov, M.A. Poisson, E. Morvan, S. Bollaert, A. Shchepetov, Yannick Roelens, Christophe Gaquière, D. Theron, A. Cappy
article
Applied Physics Letters, 2006, 88, pp.141906-1-3
identifiant
hal-00127944
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titre
Terahertz detection by GaN/AlGaN transistors
auteur
A. El Fatimy, S.B. Tombet, F. Teppe, W. Knap, D.B. Veksler, S. Rumyantsev, M.S. Shur, N. Pala, R. Gaska, Q. Fareed, X. Hu, D. Seliuta, G. Valusis, Christophe Gaquière, A. Cappy, D. Theron
article
Electronics Letters, 2006, 42, pp.1342-1344
identifiant
hal-00147740
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titre
Room-temperature terahertz emission from nanometer field-effect transistors
auteur
N. Dyakonova, A.E. Fatimy, J. Lusakowski, W. Knap, M.I. Dyakonov, M.A. Poisson, E. Morvan, S. Bollaert, A. Shchepetov, Yannick Roelens, Christophe Gaquière, D. Theron, A. Cappy
article
Applied Physics Letters, 2006, 88, pp.141906-1-3
identifiant
hal-00126524
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titre
Coupled-resonator micromechanical filters with voltage tunable bandpass characteristic in thickfilm polysilicon technology
auteur
D. Galayko, A. Kaiser, Bernard Legrand, L. Buchaillot, C. Combi, D. Collard
article
Sensors and Actuators A: Physical , 2006, 126, pp.227-240
identifiant
hal-00138651
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titre
Suppression of the pull-in instability for parallel-plate electrostatic actuators operated in dielectric liquids
auteur
Bernard Legrand, A.S. Rollier, D. Collard, L. Buchaillot
article
Applied Physics Letters, 2006, 88, pp.034105-1-3
identifiant
hal-00128662
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titre
Top-down approaches for the study of single-cells : micro-engineering and electrical phenotype
auteur
Vincent Senez, Tahsin Akalin, S. Arscott, Nour Eddine Bourzgui, Bertrand Bocquet, Teruo Fujii, Erwan Lennon, Takahisa Yamamoto
article
Advances in Science and Technology, 2006, 53, pp.97-106. ⟨10.4028/www.scientific.net/AST.53.97⟩
identifiant
hal-00138742
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Conference papers

titre
KFM analysis of GaN surfaces
auteur
Sophie Barbet, Raphaël Aubry, Marie-Antoinette Di Forte-Poisson, Thierry Melin, Didier Theron
article
15th European Workshop on Heterostructure Technology, HeTech'06, Oct 2006, Manchester, United Kingdom
identifiant
hal-00127894
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titre
Etude par microscopie à champ proche de structures à base de matériaux III-N pour émetteurs électroniques planaires
auteur
Sophie Barbet, Raphaël Aubry, Marie-Antoinette Di Forte-Poisson, Thierry Melin, Didier Theron
article
10èmes Journées de la Matière Condensée, Aug 2006, Toulouse, France
identifiant
hal-00127893
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titre
Top-down approaches for the study of single-cells: micro-engineering and electrical phenotype
auteur
Vincent Senez, Tahsin Akalin, S. Arscott, Nour Eddine Bourzgui, Bertrand Bocquet, Teruo Fujii, Erwan Lennon, Takahisa Yamamoto
article
Advances in Science and Technology, Jun 2006, Sicily, Italy. pp.105-114
identifiant
hal-00147725
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titre
Microfluidic Devices for Ultra Wide Band Electromagnetic Spectroscopy of Single Cell
auteur
Tahsin Akalin, S. Arscott, Bertrand Bocquet, Nour Eddine Bourzgui, Vianney Mille, Vincent Senez, A. Treizebre, Teruo Fujii, Erwan Lennon, Yasuyuki Sakai, Takahisa Yamamoto
article
2006 International Conference on Microtechnologies in Medicine and Biology, May 2006, Okinawa, Japan. pp.252-255, ⟨10.1109/MMB.2006.251542⟩
identifiant
hal-02347528
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titre
Microfluidic devices for ultra wide band electromagnetic spectroscopy of single cell
auteur
Tahsin Akalin, S. Arscott, Bertrand Bocquet, Nour Eddine Bourzgui, Vincent Senez, A. Treizebre, Teruo Fujii, Erwan Lennon, Yasuyuki Sakai, Takahisa Yamamoto
article
International Conference on Microtechnologies in Medicine and Biology, May 2006, Okinawa, Japan. pp.252-255, ⟨10.1109/MMB.2006.251542⟩
identifiant
hal-00130878
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titre
ELECTROSTATIC ACTUATORS OPERATING IN LIQUID ENVIRONMENT : SUPPRESSION OF PULL-IN INSTABILITY AND DYNAMIC RESPONSE
auteur
A.-S. Rollier, Marc Faucher, Bernard Legrand, D. Collard, L. Buchaillot
article
DTIP 2006, Apr 2006, Stresa, Lago Maggiore, Italy. 6 p
identifiant
hal-00189294
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https://hal.science/hal-00189294/file/dtip06244.pdf BibTex
titre
Caractérisation et modélisation non linéaire de Transistors à Effet de Champs à Nano tubes de Carbone (CNFETs) à l'aide d'un Analyseur de réseau non linéaire (LSNA)
auteur
Arnaud Curutchet, Jean-Marc Bethoux, Matthieu Werquin, Henri Happy, Didier Theron, Damien Ducatteau, Christophe Gaquière
article
GDR G2054 Nanoélectronique, Feb 2006, Grenoble, France
identifiant
hal-00197505
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titre
Large signal microwave characterization of GaN HEMTs
auteur
D. Theron, M. Werquin, B. Grimbert, D. Ducatteau, S. Vandenbrouck, Christophe Gaquière
article
Workshop on Compound Semiconductor Materials and Devices, WOCSEMMAD'06, 2006, Phoenix, AZ, United States
identifiant
hal-00128163
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titre
Micro-machined actuators for the friction driven micro-motor
auteur
Bernard Legrand, L. Buchaillot, D. Collard
article
2006, pp.211-214
identifiant
hal-00128670
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titre
Micro et nanomécanique, MEMS et NEMS
auteur
Bernard Legrand, L. Buchaillot, D. Collard
article
Ecole CNRS : Nanosciences et Nanotechnologies, 2006, Autrans, France
identifiant
hal-00128667
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titre
Room-temperature terahertz emission from nanometer field-effect transistors
auteur
N. Dyakonova, A.E. Fatimy, J. Lusakowski, W. Knap, M.I. Dyakonov, M.A. Poisson, E. Morvan, S. Bollaert, A. Shchepetov, Yannick Roelens, Christophe Gaquière, D. Theron, A. Cappy
article
Joint 31st International Conference on Infrared and Millimeter Waves and 14th International Conference on Terahertz Electronics, IRMMW-THz2006, 2006, China. pp.145, ⟨10.1109/ICIMW.2006.368353⟩
identifiant
hal-00241317
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titre
Electrostatic actuators operating in liquid environment: suppression of pull-in instability and dynamic response
auteur
A.S. Rollier, M. Faucher, Bernard Legrand, D. Collard, L. Buchaillot
article
2006, pp.244-249
identifiant
hal-00128674
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titre
Ultra-low voltage MEMS resonator based on RSG-MOSFET
auteur
N. Abele, K. Segueni, K. Boucart, F. Casset, Bernard Legrand, L. Buchaillot, P. Ancey, A.M. Ionescu
article
2006, pp.882-885
identifiant
hal-00128669
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titre
Damaging process determination
auteur
L. Buchaillot, O. Millet
article
Symposium on Mechanical Reliability of Silicon MEMS – Recent progress and further requirements, 2006, Halle Saale, Germany
identifiant
hal-00128690
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titre
MEMS electromechanical resonators for RF applications
auteur
F. Casset, C. Durand, N. Abele, K. Segueni, L. Buchaillot, A.M. Ionescu, P. Ancey
article
16ème Forum de l'Interconnexion et du Packaging Microélectronique, INTERCONEX 2006, 2006, Besançon, France
identifiant
hal-00244017
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titre
Parallel-plate electrostatic actuators in liquids : displacement-voltage optimisation for microfluidic applications
auteur
Bernard Legrand, A.S. Rollier, L. Buchaillot, D. Collard
article
2006, pp.718-721
identifiant
hal-00128668
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titre
Silicon-based nanofluidic devices for the handling of liquids at attolitre volumes
auteur
C. Descatoire, L. Buchaillot, S. Arscott
article
European Materials Research Society 2006 Spring Meeting, E-MRS 2006, 2006, Nice, France
identifiant
hal-00130858
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titre
Sub-picolitre silicon-based integrated peristaltic micro-pump for applications in laboratory-on-a-chip
auteur
M. Gaudet, S. Arscott, J.C. Camart, L. Buchaillot
article
European Materials Research Society 2006 Spring Meeting, E-MRS 2006, 2006, Nice, France
identifiant
hal-00130859
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2005

Journal articles

titre
A nanofluidic emitter tip obtained by focused ion beam nanofabrication
auteur
S. Arscott, David Troadec
article
Nanotechnology, 2005, 16 (10), pp.2295-2302. ⟨10.1088/0957-4484/16/10/052⟩
identifiant
hal-02347669
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titre
Electrospraying from nanofluidic capillary slot
auteur
S. Arscott, David Troadec
article
Applied Physics Letters, 2005, 87 (13), pp.134101. ⟨10.1063/1.2058223⟩
identifiant
hal-02347675
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titre
Motor determinants of gait in 100 ambulatory patients with multiple sclerosis.
auteur
P. Thoumie, D. Lamotte, S. Cantalloube, M. Faucher, Gérard Amarenco
article
Multiple Sclerosis Journal, 2005, 11 (4), pp.485-91
identifiant
hal-00272310
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titre
A polysilicon nanoelectrospray–mass spectrometry source based on a microfluidic capillary slot
auteur
S. Arscott
article
Sensors and Actuators B: Chemical, 2005, 106 (2), pp.741-749. ⟨10.1016/j.snb.2004.09.026⟩
identifiant
hal-02347664
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BibTex
titre
Integrated microfabricated systems including a purification module and an on-chip nano electrospray ionization interface for biological analysis
auteur
Julien Carlier, S. Arscott, V. Thomy, Jean-Christophe Camart, Cécile Cren-Olivé, Séverine Le Gac
article
Journal of Chromatography A, 2005, 1071 (1-2), pp.213-222. ⟨10.1016/j.chroma.2004.12.037⟩
identifiant
hal-02347625
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BibTex
titre
Modeling and experimental validation of sharpening mechanism based on thermal oxidation for fabrication of ultra-sharp silicon nanotips
auteur
Vincent Agache, Roger Ringot, Patrice Bigotte, Vincent Senez, Bernard Legrand, Lionel Buchaillot, Dominique Collard
article
IEEE Transactions on Nanotechnology, 2005, 4, pp.548-556. ⟨10.1109/TNANO.2005.851386⟩
identifiant
hal-00125632
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BibTex
titre
A polysilicon nanoelectrospray-mass spectrometry source based on a microfluidic capillary slot
auteur
S. Arscott, S. Le Gac, C. Rolando
article
Sensors and Actuators B: Chemical, 2005, 106, pp.741-749
identifiant
hal-00128654
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titre
High performances of InP channel power HEMT at 94 GHz
auteur
F Medjdoub, M. Zaknoune, X. Wallart, Christophe Gaquière, D. Theron
article
Electronics Letters, 2005, 41, pp.1406-1408
identifiant
hal-00154912
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BibTex
titre
94 GHz high power performances of InAs0.4P0.6 channel HEMTs on InP
auteur
F Medjdoub, M. Zaknoune, X. Wallart, Christophe Gaquière, D. Theron
article
Electronics Letters, 2005, 41, pp.63-64
identifiant
hal-00126459
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BibTex
titre
Biaxial initial stress characterization of bilayer gold RF-switches
auteur
K. Yacine, F. Flourens, David Bourrier, Ludovic Salvagnac, P. Calmont, X. Lafontan, Q.H. Duong, L. Buchaillot, D. Peyrou, Patrick Pons, Robert Plana
article
Microelectronics Reliability, 2005, 45, pp.1776-1781. ⟨10.1016/j.microrel.2005.07.093⟩
identifiant
hal-00128652
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BibTex
titre
Tunable passband T-filter electrostatically driven polysilicon micromechanical resonators
auteur
D. Galayko, A. Kaiser, Bernard Legrand, L. Buchaillot, D. Collard, C. Combi
article
Sensors and Actuators A: Physical , 2005, 117, pp.115-120
identifiant
hal-00125630
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BibTex
titre
Fabrication and optimization of bimorph micro probes for the measurement of individual biocells
auteur
Y.H. Cho, D. Collard, L. Buchaillot, F. Conseil, B.J. Kim
article
Microsystem Technologies, 2005, 12, pp.30-37
identifiant
hal-00128653
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BibTex
titre
InP HEMT downscaling for power applications at W band
auteur
F Medjdoub, M. Zaknoune, X. Wallart, Christophe Gaquière, F. Dessenne, Jean-Luc Thobel, D. Theron
article
IEEE Transactions on Electron Devices, 2005, 52, pp.2136-2143
identifiant
hal-00126460
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BibTex
titre
High Power and Linearity performances of Gallium Nitride HEMT Devices on Sapphire Substrate
auteur
M. Werquin, Christophe Gaquière, Y. Guhel, N. Vellas, D. Theron, B. Boudart, Virginie Hoel, M. Germain, Jean-Claude de Jaeger, S. Delage
article
Electronics Letters, 2005, ⟨10.1049/el:20056735⟩
identifiant
hal-02936054
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BibTex
titre
Fabrication and characterization of 1.1 GHz blade nanoelectromechanical resonator
auteur
Vincent Agache, Bernard Legrand, Dominique Collard, Lionel Buchaillot, Hiroyuki Fujita
article
Applied Physics Letters, 2005, 86, pp.213104-1-3. ⟨10.1063/1.1929873⟩
identifiant
hal-00125633
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BibTex
titre
Nouvelles sources de nano-ESI microfabriquées dédiées à la proteomique
auteur
S. Le Gac, S. Arscott, C. Rolando
article
Spectra Analyse, 2005, 34, pp.20-25
identifiant
hal-00138425
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BibTex
titre
High power and linearity performances of gallium nitride HEMT devices on sapphire substrate
auteur
M. Werquin, Christophe Gaquière, Y. Guhel, N. Vellas, D. Theron, B. Boudart, Virginie Hoel, Marie Germain, Jean-Claude de Jaeger, S. Delage
article
Electronics Letters, 2005, 41 (1), ⟨10.1049/el:20056735⟩
identifiant
hal-01646906
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BibTex
titre
A high-power W-band pseudomorphic InGaAs channel PHEMT
auteur
Christophe Gaquière, J. Grunenputt, D. Jambon, E. Delos, D. Ducatteau, M. Werquin, D. Theron, P. Fellon
article
IEEE Electron Device Letters, 2005, 26, pp.533-534
identifiant
hal-00154915
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BibTex
titre
Thermal and electrostatic reliability characterization in RF MEMS switches
auteur
Q.H. Duong, L. Buchaillot, D. Collard, P. Schmitt, X. Lafontan, Patrick Pons, F. Flourens, F. Pressecq
article
Microelectronics Reliability, 2005, 45, pp.1790-1793
identifiant
hal-00154911
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Conference papers

titre
Characterization of vertical vibration of electrostatically actuated resonators using Atomic Force Microscope in noncontact mode
auteur
Vincent Agache, Bernard Legrand, K. Nakamura, H. Kawakatsu, Lionel Buchaillot, Hiroshi Toshiyoshi, Dominique Collard, Hiroyuki Fujita
article
The 13th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, 2005, Jun 2005, Seoul, South Korea. pp.2023-2026, ⟨10.1109/SENSOR.2005.1497499⟩
identifiant
hal-00125631
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BibTex
titre
3D self-assembling of SU-8 microstructures on silicon by plasma induced compressive stress
auteur
Jean-Baptiste Bureau, Bernard Legrand, Dominique Collard, Lionel Buchaillot
article
13th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, 2005. Digest of Technical Papers. TRANSDUCERS '05., Jun 2005, Seoul, South Korea. pp.19-22, ⟨10.1109/SENSOR.2005.1496348⟩
identifiant
hal-00128655
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BibTex
titre
1.1 GHz silicon blade nano-electromechanical resonator featuring 20 nm gap lateral transducers
auteur
Vincent Agache, Bernard Legrand, Dominique Collard, Hiroyuki Fujita, Lionel Buchaillot
article
18th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, 2005. MEMS 2005, Jan 2005, Miami Beach, United States. pp.121-124, ⟨10.1109/MEMSYS.2005.1453882⟩
identifiant
hal-00125628
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BibTex
titre
The 2D feedback conveyance with ciliary actuator arrays
auteur
M. Ataka, Bernard Legrand, L. Buchaillot, D. Collard, H. Fujita
article
2005, pp.31-34
identifiant
hal-00125659
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BibTex
titre
RF blade nano-electromechanical resonator with self-aligned process for definition of lateral electrostatic transducers
auteur
Vincent Agache, Bernard Legrand, Dominique Collard, Hiroyuki Fujita, Lionel Buchaillot
article
Symposium on Design, Test, Integration and Packaging of MEMS/MOEMS, DTIP 2005, 2005, Montreux, Switzerland. pp.26-31
identifiant
hal-00128656
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BibTex
titre
Power potentiality at 94 GHz of InP HEMTs with large band gap channels
auteur
F Medjdoub, M. Zaknoune, X. Wallart, D. Theron
article
2005, pp.137-140
identifiant
hal-00154913
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BibTex
titre
Very high sensitivity polysilicon cantilever electrospray ionisation tips compatible with standard analytical chromatography fittings
auteur
S. Arscott, S. Le Gac, C. Rolando
article
2005, pp.1504-1507
identifiant
hal-00130825
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BibTex
titre
MEMS reliability : metrology set-up for investigation of fatigue causes
auteur
O. Millet, O. Blanrue, Bernard Legrand, D. Collard, L. Buchaillot
article
2005, pp.483-486
identifiant
hal-00125627
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BibTex
titre
SU-8 based arch-like microfluidic microchannels using single mask/single step photolithography
auteur
M. Gaudet, S. Arscott, J.C. Camart, L. Buchaillot
article
2005, pp.1189-1192
identifiant
hal-00130826
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BibTex
titre
Actionneurs électrostatiques complètement isolés : fabrication, fonctionnement et caractérisation en milieu liquide
auteur
A.S. Rollier, Bernard Legrand, L. Buchaillot, D. Collard
article
Actes du XVIIème Congrès Français de Mécanique, CFM 2005, 2005, Troyes, France
identifiant
hal-00131359
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BibTex
titre
Micromoteur entraîné par friction à double sens de rotation
auteur
Bernard Legrand, L. Buchaillot, D. Collard
article
Actes du XVIIème Congrès Français de Mécanique, CFM 2005, 2005, Troyes, France
identifiant
hal-00131347
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BibTex
titre
HEMTs with InP and InAsP channel for 94 GHz applications
auteur
D. Theron, F Medjdoub, M. Zaknoune, Christophe Gaquière, X. Wallart
article
14th European Workshop on Heterostructure Technology, HeTech'05, 2005, Smolenice, Slovakia
identifiant
hal-00126469
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BibTex
titre
Microsystèmes : principales applications et contexte national
auteur
L. Buchaillot, D. Collard, Bernard Legrand
article
Ecoles Nanosciences, 2005, Anglet, France
identifiant
hal-00126216
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BibTex
titre
A nanofluidic electrospray source fabricated using focused ion beam etching
auteur
C. Descatoire, David Troadec, A. Ashcroft, L. Buchaillot, S. Arscott
article
2005, pp.241-244
identifiant
hal-00130827
Accès au bibtex
BibTex
titre
Close infrared thermography using an intensified CCD camera : application in nondestructive high resolution evaluation of electrothermally actuated MEMS
auteur
B. Serio, J.J. Hunsinger, F. Conseil, P. Derderian, D. Collard, L. Buchaillot, M.F. Ravat
article
2005, pp.819-829
identifiant
hal-00147502
Accès au bibtex
BibTex
titre
Reliability of non-released microstructures : failure analysis and innovative solution process
auteur
O. Millet, P. Muller, O. Blanrue, Bernard Legrand, D. Collard, L. Buchaillot
article
2005, pp.840-842
identifiant
hal-00125662
Accès au bibtex
BibTex
titre
InP and InAsP channel HEMT for millimeter wave applications
auteur
D. Theron, F Medjdoub, M. Zaknoune, X. Wallart, Christophe Gaquière
article
Workshop on Compound Semiconductor Materials and Devices, WOCSEMMAD 2005, 2005, Miami, FL, United States
identifiant
hal-00126470
Accès au bibtex
BibTex
titre
Evaluation of electric impedance spectra for single bio-cells in microfluidic devices using combined FEMLAB/ELDO modeling
auteur
V. Senez, S. Arscott
article
2005, pp.472-475
identifiant
hal-00130849
Accès au bibtex
BibTex
titre
Nanomachined electrospray ionisation tips
auteur
C. Descatoire, David Troadec, A. Ashcroft, L. Buchaillot, S. Arscott
article
2005, pp.122-123
identifiant
hal-00130658
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BibTex
titre
Microsystèmes, résonateurs électromécaniques : où cela nous mène-t-il ?
auteur
Vincent Agache, Emmanuel Quévy, Olivier Millet, Anne-Sophie Rollier, Roger Ringot, Dominique Collard, Bernard Legrand, Lionel Buchaillot
article
Ecole Nanosciences, 2005, Anglet, France
identifiant
hal-00126215
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titre
Tensile stress determination in silicon nitride membrane by AFM characterization
auteur
A.S. Rollier, Bernard Legrand, D. Deresmes, M. Lagouge, D. Collard, L. Buchaillot
article
2005, pp.828-831
identifiant
hal-00125660
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titre
Micromachined actuators for friction driven linear micro-motors
auteur
Bernard Legrand, L. Buchaillot, D. Collard
article
Proceedings of the Fifth International Symposium on Linear Drive for Industry Applications, LDIA 2005, 2005, Hyogo, Japan
identifiant
hal-00131348
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titre
Récents résultats et perspectives du laboratoire TIGER dans le domaine des composants HEMT AlGaN/GaN
auteur
Sylvain Laurent Delage, Marie-Antoinette Di Forte-Poisson, M. Magis, J. Di Persio, Didier Theron, Maurice Tordjman, Jean-Claude de Jaeger, Jean-Claude Jacquet, Michel Rousseau, Raphaël Aubry, Christian Brylinski, Thierry Dean, Erwan Morvan, M. Francois
article
14èmes Journées Nationales Microondes, 2005, Nantes, France
identifiant
hal-00126466
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titre
Compensation by design of thermal dilatation in RF MEMS switches
auteur
Q.H. Duong, X. Lafontan, D. Collard, L. Buchaillot, P. Schmitt, Patrick Pons, F. Flourens, F. Pressecq
article
2005, pp.190-194
identifiant
hal-00128657
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titre
Stiction drive operation of micromotors : direct and reverse rotation control
auteur
Bernard Legrand, D. Collard, L. Buchaillot
article
2005, pp.57-60
identifiant
hal-00125661
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titre
Bulk microswitch for power RF applications
auteur
P. Muller, N. Rolland, A. Ziaei, J.P. Polizzi, D. Collard, L. Buchaillot
article
2005, pp.171-174
identifiant
hal-00125629
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titre
Electrostatic actuators operating in liquid environment : position control without pull-in effect
auteur
A.S. Rollier, Bernard Legrand, D. Collard, L. Buchaillot
article
2005, pp.341-346
identifiant
hal-00128651
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titre
Compensation par conception de la dilatation thermique de micro-interrupteurs RF
auteur
Q.H. Duong, X. Lafontan, L. Buchaillot, D. Collard, P. Schmitt
article
Actes du XVIIème Congrès Français de Mécanique, CFM 2005, 2005, Troyes, France
identifiant
hal-00131360
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Patents

titre
Sources d'électronébulisation planaires sur le modèle d'une plume de calligraphie et leur fabrication
auteur
S. Arscott, S. Le Gac, C. Druon, C. Rolando
article
N° de brevet: FR2862006 (A1). 2005
identifiant
hal-00372435
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2004

Journal articles

titre
Microfluidic design rules for capillary slot-based electrospray sources
auteur
M. Brinkmann, R. Blossey, S. Arscott, C. Druon, P. Tabourier, S. Le Gac, C. Rolando
article
Applied Physics Letters, 2004, 85 (11), pp.2140-2142. ⟨10.1063/1.1792381⟩
identifiant
hal-02347731
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titre
Integrated microfluidics based on multi-layered SU-8 for mass spectrometry analysis
auteur
Julien Carlier, S. Arscott, V. Thomy, J. Fourrier, F. Caron, J Camart, C Druon, P. Tabourier
article
Journal of Micromechanics and Microengineering, 2004, 14 (4), pp.619-624. ⟨10.1088/0960-1317/14/4/024⟩
identifiant
hal-02347723
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titre
A novel nib-like design for microfabricated nanospray tips
auteur
Séverine Gac, Cécile Cren-Olivé, Christian Rolando, S. Arscott
article
Journal of The American Society for Mass Spectrometry, 2004, 15 (3), pp.409-412. ⟨10.1016/j.jasms.2003.11.001⟩
identifiant
hal-02347737
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titre
A planar on-chip micro-nib interface for NanoESI–MS microfluidic applications
auteur
S. Arscott, Séverine Le Gac, Christian Druon, Pierre Tabourier, Christian Rolando
article
Journal of Micromechanics and Microengineering, 2004, 14 (2), pp.310-316. ⟨10.1088/0960-1317/14/2/021⟩
identifiant
hal-02347816
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https://hal.science/hal-02347816/file/SU-8_Nanonib_2004%20Arscott.pdf BibTex
titre
Boundary conditions for realistic simulation of ultra short pseudomorphic high electron mobility transistor on indium phosphide substrates
auteur
F Medjdoub, F. Dessenne, Jean-Luc Thobel, M. Zaknoune, D. Theron
article
Solid-State Electronics, 2004, 48 (5), pp.683-688. ⟨10.1016/j.sse.2003.09.011⟩
identifiant
hal-00133956
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titre
A micro-nib nanoelectrospray source for mass spectrometry
auteur
S. Arscott, S. Le Gac, C. Druon, P. Tabourier, C. Rolando
article
Sensors and Actuators B: Chemical, 2004, 98 (2-3), pp.140-147
identifiant
hal-00140771
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titre
Electronic properties of deep defects in n-type GaN
auteur
P. Muret, C. Ulzhöfer, J. Pernot, Y. Cordier, F. Semond, Christophe Gaquière, D. Theron
article
Superlattices and Microstructures, 2004, 36, pp.435-443
identifiant
hal-00141959
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titre
A planar on-chip micro-nib interface for NanoESI-MS microfluidic applications
auteur
S. Arscott, S. Le Gac, C. Druon, P. Tabourier, C. Rolando
article
Journal of Micromechanics and Microengineering, 2004, 14, pp.310-316
identifiant
hal-00140772
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titre
AlGaN/GaN HEMTs on Si with power density performance of 1.9 W/mm at 10 GHz
auteur
A. Minko, Virginie Hoel, E. Morvan, B. Grimbert, A. Soltani, E. Delos, D. Ducatteau, Christophe Gaquière, D. Theron, Jean-Claude de Jaeger, H. Lahreche, L. Wedzikowski, R. Langer, P. Bove
article
IEEE Electron Device Letters, 2004, 25, pp.453-455
identifiant
hal-00141952
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titre
Electrostatic actuated microgripper using an amplification mechanism
auteur
O. Millet, P. Bernardoni, S. Regnier, P. Bidaud, E. Tsitsiris, D. Collard, L. Buchaillot
article
Sensors and Actuators A: Physical , 2004, 114, pp.371-378
identifiant
hal-00141006
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titre
Hot carrier aging degradation phenomena in GaN based MESFETs
auteur
F. Rampazzo, G. Pierobon, D. Pacetta, Christophe Gaquière, D. Theron, B. Boudart, G. Meneghesso, E. Zanoni
article
Microelectronics Reliability, 2004, 44, pp.1375-1380
identifiant
hal-00154890
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Conference papers

titre
Antenne à diversité de polarisation intégrant des micro-actionneurs
auteur
Loic Le Garrec, Mohamed Himdi, Ronan Sauleau, I. Roch-Jeune, O. Millet, Lionel Buchaillot
article
5èmes Journées Nationales Réseau de Recherche en Micro et Nano Technologies (RMNT), Oct 2004, Cassis, France
identifiant
hal-00906087
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titre
Characterization of individual bio-cells with thermally actuated probe arrays
auteur
Y.H. Cho, Dominique Collard, Lionel Buchaillot, Bernard Legrand, Beomjoon Kim
article
Nonimaging Optics and Efficient Illumination Systems, Aug 2004, Denver, CO, United States. pp.425-429
identifiant
hal-00141170
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titre
Microactuators and microstrip antenna for polarization diversity
auteur
Loïc Le Garrec, I. Roch-Jeune, Mohamed Himdi, Ronan Sauleau, O. Millet, L. Buchaillot
article
5th Workshop on MEMS for millimeter wave communications (MEMSWAVE 2004), Jun 2004, Upsala, Sweden. pp.D16-D19
identifiant
hal-00549314
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titre
Novel 2D micronib ionization sources for nano electrospray-mass spectrometry (ESI-MS)
auteur
S. Le Gac, C. Rolando, S. Arscott
article
Thermal and Mechanical Simulation and Experiments in Microelectronics and Microsystems - EuroSimE 2004, May 2004, Brussels, Belgium. pp.305-309, ⟨10.1109/ESIME.2004.1304055⟩
identifiant
hal-02347786
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titre
Reliability of polycrystalline MEMS : prediction of the debugging-time
auteur
O. Millet, Pierre Bertrand, Bernard Legrand, D. Collard, L. Buchaillot
article
International Symposium for Testing and Failure Analysis, ISTFA 2004, 2004, Worcester, MA, United States
identifiant
hal-00141030
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titre
Analysis of hot carrier aging degradation in GaN MESFETs
auteur
R. Pierobon, F. Rampazzo, D. Pacetta, Christophe Gaquière, D. Theron, B. Boudart, G. Meneghesso, E. Zanoni
article
2004, pp.143-146
identifiant
hal-00141969
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titre
Mesures pulsées haute température en mode DC et RF de HEMTs AlGaN/GaN sur substrat silicium haute résistivité
auteur
M. Werquin, D. Ducatteau, N. Vellas, D. Jambon, D. Theron, E. Delos, N. Caillas, Y. Cordier, Jean-Claude de Jaeger, S. Delage, Christophe Gaquière
article
GDR Grand Gap, 2004, Fréjus, France
identifiant
hal-00141965
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titre
Influence of passivation on high-power AlGaN/GaN HEMT devices at 10 GHz
auteur
D. Ducatteau, M. Werquin, Christophe Gaquière, D. Theron, T. Martin, E. Delos, B. Grimbert, E. Morvan, N. Caillas, Virginie Hoel, Jean-Claude de Jaeger, S. Delage
article
2004, pp.203-206
identifiant
hal-00142304
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titre
New H-shape RF microswitch design for microwave and millimeter-wave applications
auteur
M. Fryziel, A. Boé, C. Vanoverschelde, N. Rolland, P. Muller, L. Buchaillot, P. Rolland
article
2004, pp.B1-B6
identifiant
hal-00142281
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titre
Novel microfabricated nano-ESI interfaces to be integrated onto a microsystem
auteur
S. Arscott, S. Le Gac, C. Rolando
article
2004, pp.515-518
identifiant
hal-00141032
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BibTex
titre
Novel 2D Interfaces for Nanoelectrospray-Mass Spectrometry
auteur
S. Arscott
article
Nanotech2004, 2004, Boston, United States
identifiant
hal-02347767
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titre
La résine photolithographiable SU-8 aspects chimiques et technologiques de la fabrication de microsystèmes
auteur
K. Chuda, X. Coqueret, Julien Carlier, S. Arscott, V. Thomy, C. Druon, P. Tabourier, J.C. Camart
article
Polymérisations sous Rayonnement, PolyRay, 2004, Villeneuve d Ascq, France
identifiant
hal-00140980
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titre
Microfluidique intégrée pour le couplage d'un microcanal à une interface nanoESI : application à la protéomique
auteur
Julien Carlier, S. Arscott, F. Caron, J.C. Fourrier, V. Thomy, J.C. Camart, C. Druon, P. Tabourier
article
Actes du 2ème Congrès Français de Microfluidique, 2004, Toulouse, France
identifiant
hal-00142065
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titre
An original methodology to assess fatigue behavior in RF MEMS devices
auteur
O. Millet, Pierre Bertrand, Bernard Legrand, D. Collard, L. Buchaillot
article
European Microwave Week, 2004, Amsterdam, Netherlands
identifiant
hal-00141031
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titre
Recent developments and trends in GaN HFETs
auteur
D. Theron, Christophe Gaquière, Jean-Claude de Jaeger, S. Delage
article
2004, pp.547-550
identifiant
hal-00142306
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titre
1/f noise and ballistic mobility in GaN/AlGaN heterostructure field effect transistors in high magnetic fields
auteur
S.L. Rumyantsev, M. Shur, W. Knap, N. Dyakonova, F. Pascal, A. Hoffman, Y. Guhel, Christophe Gaquière, D. Theron
article
2004, pp.277-85
identifiant
hal-00141970
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titre
AlGaN/GaN HEMTs : technology and microwave performances
auteur
Jean-Claude de Jaeger, N. Caillas, E. Chartier, Gilles Dambrine, S. Delage, E. Delos, D. Ducatteau, D. Floriot, Christophe Gaquière, B. Grimbert, Virginie Hoel, E. Morvan, M.A. Poisson, Michel Rousseau, D. Theron
article
RF & Hyper Europe 2004, 2004, Paris, France
identifiant
hal-00141961
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BibTex
titre
Novel 2D interfaces for nanoelectrospray mass spectrometry
auteur
S. Arscott, S. Le Gac, C. Druon, P. Tabourier, C. Rolando
article
2004, pp.316-319
identifiant
hal-00140770
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titre
Amélioration des performances des HEMTs AlGaN/GaN sur substrat Si
auteur
A. Minko, Virginie Hoel, Christophe Gaquière, D. Theron, Jean-Claude de Jaeger, Y. Cordier, F. Semond, F. Natali, J. Massies, H. Lareche, L. Wedzikowski, R. Langer, P. Bove
article
GDR Grand Gap, 2004, Fréjus, France
identifiant
hal-00141966
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titre
From the mechanical analysis of a polyarticulated microgripper to the design of a compliant microgripper
auteur
P. Bernardoni, A. Riwan, H. Tsitsiris, O. Millet, L. Buchaillot, S. Regnier, P. Bidaud
article
2004, pp.469-477
identifiant
hal-00141169
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titre
Microactuators and microstrip antenna for polarization diversity
auteur
L. Le Garec, I. Roch, Mohamed Himdi, R. Sauleau, O. Millet, L. Buchaillot
article
2004, pp.D16-D19
identifiant
hal-00141027
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titre
Predictive modelling of the fatigue phenomenon for polycristalline structural layers
auteur
O. Millet, Pierre Bertrand, Bernard Legrand, D. Collard, L. Buchaillot
article
2004, pp.145-148
identifiant
hal-00141028
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titre
Polymer-based monolithic columns prepared in microchannels for proteomics applications
auteur
S. Le Gac, S. Arscott, C. Cren, C. Rolando
article
17th International Symposium on Microscale Separations and Capillary Electrophoresis, 2004, Salzburg, Austria
identifiant
hal-00141033
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Book sections

titre
Procédés d'usinage de surface sur silicium
auteur
Lionel Buchaillot, Dominique Collard, Vincent Agache, Olivier Millet
article
DE LABACHELERIE M. Techniques de fabrication des microsystèmes 1 : structures et microsystèmes électromécaniques en couches minces, Hermès Sciences, pp.221-253, 2004
identifiant
hal-00132044
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titre
Microtechnologie des alliages à mémoire de forme
auteur
L. Buchaillot, N. Chaillet
article
DE LABACHELERIE M. Techniques de fabrication des microsystèmes 2 : systèmes microélectromécaniques 3D et intégration de matériaux actionneurs, Hermès Sciences, pp.241-271, 2004
identifiant
hal-00132045
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titre
Remote powering of intelligent microsystems
auteur
Philippe Basset, L. Buchaillot, A. Kaiser
article
VALLE M. Smart adaptive systems on silicon, Kluwer Academic Publishers, pp.253-268, 2004
identifiant
hal-00137232
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Habilitation à diriger des recherches

titre
Contribution à l'introduction de concepts mécaniques dans les Micro et Nano Systèmes
auteur
Lionel Buchaillot
article
Micro et nanotechnologies/Microélectronique. Université des Sciences et Technologie de Lille - Lille I, 2004
identifiant
tel-00087273
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https://theses.hal.science/tel-00087273/file/HDR_Lionel_Buchaillot.pdf BibTex

Other publications

titre
Contribution à l'introduction de concepts mécaniques dans les micro et les nano systèmes
auteur
L. Buchaillot
article
2004
identifiant
hal-00141025
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2003

Journal articles

titre
Two-dimensional microfabricated sources for nanoelectrospray
auteur
Séverine Le Gac, S. Arscott, Cécile Cren-Olivé, Christian Rolando
article
Journal of Mass Spectrometry, 2003, 38 (12), pp.1259-1264. ⟨10.1002/jms.580⟩
identifiant
hal-02347837
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titre
A planar microfabricated nanoelectrospray emitter tip based on a capillary slot
auteur
Séverine Le Gac, S. Arscott, Christian Rolando
article
Electrophoresis, 2003, 24 (21), pp.3640-3647. ⟨10.1002/elps.200305664⟩
identifiant
hal-02347822
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BibTex
titre
Corrections to "Comparison of fully distributed and periodically loaded nonlinear transmission lines
auteur
J.-M. Duchamp, Philippe Ferrari, M. Fernandez, A. Jrad, X. Melique, J. Tao, S. Arscott, D. Lippens, R.G. Harrison
article
IEEE Transactions on Microwave Theory and Techniques, 2003, 51 (10), pp.2147-2148. ⟨10.1109/TMTT.2003.817430⟩
identifiant
hal-02347910
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BibTex
titre
Comparison of fully distributed and periodically loaded nonlinear transmission lines
auteur
J.-M. Duchamp, Philippe Ferrari, M. Fernandez, A. Jrad, X. Melique, S. Arscott, D. Lippens, R.G. Harrison
article
IEEE Transactions on Microwave Theory and Techniques, 2003, 51 (4), pp.1105-1116. ⟨10.1109/TMTT.2003.809621⟩
identifiant
hal-02347830
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BibTex
titre
Influence on the step covering on fatigue phenomenon for polycrystalline silicon MEMS
auteur
O. Millet, Bernard Legrand, D. Collard, L. Buchaillot
article
Japanese Journal of Applied Physics, 2003, 41, pp.L1339-L1341
identifiant
hal-00146435
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BibTex
titre
Feedback of MEMS reliability study on the design stage : a step toward reliability aided design (RAD)
auteur
L. Buchaillot
article
Microelectronics Reliability, 2003, 43, pp.1919-1928
identifiant
hal-00146437
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BibTex
titre
Fabrication and characterization of a SU-8 gripper actuated by SMA thin film
auteur
I. Roch, P. Bidaud, D. Collard, L. Buchaillot
article
Journal of Micromechanics and Microengineering, 2003, 13, pp.330-336
identifiant
hal-00146418
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BibTex
titre
T-ray generation by photomixing : performance and prospects
auteur
G. Mouret, S. Matton, Pascal Masselin, Robin Bocquet, Emilien Peytavit, S. Arscott, Jean-Francois Lampin, F. Mollot, D. Lippens
article
La Revue de l'électricité et de l'électronique, 2003, 1, pp.32-36
identifiant
hal-00162723
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BibTex
titre
60-GHz high power performance In0.32 Al0.68 As-In0.33 Ga 0.67 As metamorphic HEMTs on GaAs
auteur
M. Zaknoune, M. Ardouin, Y. Cordier, S. Bollaert, B. Bonte, Didier Theron
article
IEEE Electron Device Letters, 2003, 24, pp.724-726
identifiant
hal-00146648
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BibTex
titre
A novel micromachined 2D nanoelectrospray emitter
auteur
S. Arscott, S. Le Gac, C. Druon, P. Tabourier, C. Rolando
article
Electronics Letters, 2003, 39, pp.1702-1703
identifiant
hal-00146381
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BibTex
titre
Micromachined 2D nanoelectrospray emitter
auteur
S. Arscott, S. Le Gac, C. Druon, P. Tabourier, C. Rolando
article
Electronics Letters, 2003, 39 (24), pp.1702. ⟨10.1049/el:20031099⟩
identifiant
hal-02347842
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https://hal.science/hal-02347842/file/Electronics%20Letters%20nib%202004.pdf BibTex
titre
Design, realization and testing of micro-mechanical resonators in thick-film silicon technology with postprocess electrode to resonator gap reduction
auteur
D. Galayko, A. Kaiser, L. Buchaillot, Bernard Legrand, D. Collard, C. Combi
article
Journal of Micromechanics and Microengineering, 2003, 13, pp.134-140
identifiant
hal-00146391
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BibTex
titre
Comparison of fully distributed and periodically loaded non linear transmission lines
auteur
J.M. Duchamp, Philippe Ferrari, M. Fernandez, X. Melique, J.W. Tao, S. Arscott, D. Lippens, A. Jrad, R.G. Harrison
article
IEEE Transactions on Microwave Theory and Techniques, 2003, 51, pp.1105-1115
identifiant
hal-00146069
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Conference papers

titre
SU-8 technology and monolithic columns for integration in a biological lab-on-chip
auteur
S. Arscott
article
MicroTas2003 - 7th International Conference on Miniaturized Systems for Chemistry and Life Sciences, Oct 2003, Squaw Valley, United States
identifiant
hal-02347904
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titre
Thermally actuated probe arrays for manipulation and characterization of individual bio-cell
auteur
Beomjoon Kim, Dominique Collard, Matthieu Lagouge, F. Conseil, Bernard Legrand, Lionel Buchaillot
article
TRANSDUCERS '03. 12th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, Jun 2003, Boston, MA, United States. pp.1255-1258, ⟨10.1109/SENSOR.2003.1217000⟩
identifiant
hal-00146460
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titre
Modeling of failure mechanisms for optimized MEMS CAD : design, fabrication and characterization of in situ test benches
auteur
Olivier Millet, Vincent Agache, Bernard Legrand, Dominique Collard, Lionel Buchaillot
article
12th International Conference on Solid-State Sensors, Jun 2003, Boston, United States. pp.1578-1581, ⟨10.1109/SENSOR.2003.1217081⟩
identifiant
hal-00146440
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titre
Modeling and experimental validation of silicon nanotip oxidation : towards a nanoelectromechanical filter application
auteur
Vincent Agache, Patrice Bigotte, Bernard Legrand, Vincent Senez, Lionel Buchaillot, Dominique Collard
article
12th International Conference on Solid-State Sensors, Jun 2003, Boston, United States. pp.1287-1290, ⟨10.1109/SENSOR.2003.1217008⟩
identifiant
hal-00146438
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BibTex
titre
Microelectromechanical variable-bandwidth if frequency filters with tunable electrostatical coupling spring
auteur
Dimitri Galayko, Andreas Kaiser, Lionel Buchaillot, Dominique Collard, Chantal Combi
article
Micro Electro Mechanical Systems, 2003. MEMS-03 Kyoto. IEEE The Sixteenth Annual International Conference on, Jan 2003, Kyoto, Japan. ⟨10.1109/MEMSYS.2003.1189709⟩
identifiant
hal-01522205
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BibTex
titre
Microfluidics for proteomics : discrete liquids
auteur
Julien Carlier, F. Caron, J.C. Fourrier, V. Thomy, C. Druon, P. Tabourier, J.C. Camart, S. Le Gac, C. Rolando, S. Arscott
article
Japan-European Workshop on Chem Micro Mechatronics Systems and Biochips, 2003, Cachan, France
identifiant
hal-00146400
Accès au bibtex
BibTex
titre
Microelectromechanical coupled resonsator IF filters with variable bandwidth in thick-film epitaxial polysilicon technology
auteur
D. Galayko, A. Kaiser, Bernard Legrand, L. Buchaillot, D. Collard, C. Combi
article
2003, pp.F23-F26
identifiant
hal-00146406
Accès au bibtex
BibTex
titre
SU-8 technology and monolithic columns for integration in a biological lab-on-chip
auteur
Julien Carlier, S. Le Gac, S. Arscott, V. Thomy, J.C. Fourrier, F. Caron, C. Cren-Olive, C. Rolando, J.C. Camart, P. Tabourier
article
2003, pp.315-318
identifiant
hal-00146385
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titre
HEMT technology for power applications at 94 GHz and above
auteur
F Medjdoub, M. Zaknoune, X. Wallart, F. Dessenne, Jean-Claude de Jaeger, D. Theron
article
12th European Workshop on Heterostructure Technology, heTech 2003, 2003, San Rafael, Spain
identifiant
hal-00146695
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titre
2½ D microfabricated nib-like sources for nanoelectrospray applications
auteur
S. Le Gac, S. Arscott, C. Rolando
article
2003, pp.1211-1214
identifiant
hal-00146442
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titre
A 2D microfabricated nanoelectrospray source
auteur
S. Arscott, S. Le Gac, C. Druon, P. Tabourier, C. Rolando
article
Journées Nationales du Réseau Micro et Nano Technologies, 2003, Lille, France
identifiant
hal-00146380
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titre
Fiabilité des microstructures en polysilicium : création de bancs de test in situ
auteur
O. Millet, D. Collard, L. Buchaillot
article
16ème Congrès Francais de Mécanique, 2003, Nice, France
identifiant
hal-00146455
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titre
Micro gripper driven by SDAs coupled to an amplification mechanism
auteur
O. Millet, P. Bernardoni, S. Regnier, P. Bidaud, D. Collard, L. Buchaillot
article
2003, pp.280-283
identifiant
hal-00146439
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titre
Micro-electromechanical variable-bandwidth IF frequency filters with tunable electrostatical coupling spring
auteur
D. Galayko, A. Kaiser, L. Buchaillot, D. Collard, C. Combi
article
2003, pp.153-156
identifiant
hal-00146404
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titre
Study and realisation of a micromechanical relay for use in harsh environment
auteur
F. Conseil, P. Derderian, M.F. Ravat, D. Collard, L. Buchaillot
article
2003, pp.108-112
identifiant
hal-00146461
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titre
HEMT métamorphique pour applications de puissance en bande V : influence de la couche de barrière
auteur
B. Bonte, M. Ardouin, M. Zaknoune, D. Theron, Y. Cordier, S. Bollaert, Jean-Claude de Jaeger
article
2003, pp.4A2-2
identifiant
hal-00146696
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titre
Microfluidics for proteomics : continuous liquids
auteur
S. Le Gac, C. Rolando, S. Arscott, Julien Carlier, F. Caron, J.C. Fourrier, V. Thomy, C. Druon, P. Tabourier, J.C. Camart
article
Japan-European Workshop on Chem Micro Mechatronics Systems and Biochips, 2003, Cachan, France
identifiant
hal-00146399
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titre
Optimisation des performances du transistor HEMT AlGaN/GaN sur substrat Si
auteur
A. Minko, Virginie Hoel, D. Theron, Jean-Claude de Jaeger, Y. Cordier, F. Semond, F. Natali, J. Massies
article
GDR Grand Gap, 2003, Nice, France
identifiant
hal-00146717
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titre
Feedback of MEMS reliability study on the design stage : a step toward reliability aided design (RAD)
auteur
L. Buchaillot
article
14th European Symposium on Reliability of Electron Devices, Failure Physics and Analysis, ESREF 2003, 2003, Arcachon, France
identifiant
hal-00146457
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titre
Reliable micromechanical relay for use in rough environment
auteur
F. Conseil, P. Derdeiran, M.F. Ravat, D. Collard, L. Buchaillot
article
2003, pp.243-247
identifiant
hal-00146459
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titre
Protéomique intégrée
auteur
S. Arscott, S. Le Gac, C. Druon, P. Tabourier, C. Rolando
article
Journées Nationales du Réseau Micro et Nano Technologies, 2003, Lille, France
identifiant
hal-00146396
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titre
Improvement of conductivity and breakdown characteristics of AlGaN/GaN HEMT structures in passivation experiments
auteur
S. Shapoval, V. Gurtovoi, A. Kovalchuk, L. Eastman, A. Vertjachih, Christophe Gaquière, D. Theron
article
2003, pp.90-93
identifiant
hal-00149939
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titre
Micro-pompe à actuation thermique appliquée à la microfluidique
auteur
Julien Carlier, F. Caron, S. Arscott, J.C. Fourrier, V. Thomy, C. Druon, P. Tabourier, J.C. Camart
article
2003, pp.943-948
identifiant
hal-00146382
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titre
Les microtechnologies et les microsystèmes : donnez du mouvement à la microélectronique
auteur
L. Buchaillot
article
Journée des électroniciens, 2003, Obernai, France
identifiant
hal-00146458
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titre
Propagation dans les métamatériaux main gauche : applications aux guides d'ondes et coupleurs
auteur
X. Melique, T. Akalin, R. Lalinde, J. Ciberta, S. Arscott, F. Martin, O. Vanbésien, D. Lippens
article
2003, pp.4B1-1
identifiant
hal-00146088
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titre
Nib-like microfabricated two dimensional nano-ESI tips
auteur
S. Le Gac, S. Arscott, C. Cren-Olive, C. Rolando
article
Proceedings of the 51st ASMS Conference on Mass Spectroscopy, 2003, Montreal, Canada
identifiant
hal-00146412
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titre
Microfluidic systems for high-throughput proteomics
auteur
S. Le Gac, S. Arscott, C. Druon, P. Tabourier, C. Rolando
article
2003, pp.70-73
identifiant
hal-00146443
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titre
Electrostatical coupling-spring for micro-mechanical filtering applications
auteur
D. Galayko, A. Kaiser, L. Buchaillot, D. Collard, C. Combi
article
2003, pp.530-533
identifiant
hal-00146403
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titre
Ultimate technology for micromachining of nanometric gap HF micromechanical resonators
auteur
E. Quevy, Bernard Legrand, D. Collard, L. Buchaillot
article
2003, pp.157-160
identifiant
hal-00146462
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titre
Sub 0.1 µm – InP based HEMTs for high power and high frequency
auteur
D. Theron, F Medjdoub, M. Zaknoune, X. Wallart, F. Dessenne, R. Fauquembergue, Jean-Claude de Jaeger
article
Workshop on Compound Semiconductor Materials and Devices, WOCSEMMAD 2003, 2003, Atlanta, GA, United States
identifiant
hal-00146719
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titre
Tapping-mode HF nanometric lateral gap resonators : experimental and theory
auteur
E. Quevy, Bernard Legrand, D. Collard, L. Buchaillot
article
2003, pp.879-882
identifiant
hal-00146456
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titre
A 100V-IC for the remote powering and control of a microrobot using an electrostatic ciliary motion system
auteur
Philippe Basset, A. Kaiser, B. Stefanelli, M. Walenne, D. Collard, L. Buchaillot
article
2003, pp.1711-1713
identifiant
hal-00146436
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titre
Déplacement de microvolumes de liquides dans des microsystèmes à vocation biologique
auteur
F. Caron, Julien Carlier, S. Arscott, V. Thomy, J.C. Camart, P. Tabourier, C. Druon
article
16ème Congrès Français de Mécanique, 2003, Nice, France
identifiant
hal-00146395
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Patents

titre
Procédé de réalisation de structure de microsystème à entrefers latéraux et structure de microsystème correspondante
auteur
D. Collard, A. Kaiser, E. Quevy, L. Buchaillot
article
N° de brevet: FR2839964 (A1). 2003
identifiant
hal-00372459
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2002

Journal articles

titre
Terahertz frequency difference from vertically integrated low-temperature-grown GaAs photodetector
auteur
Emilien Peytavit, S. Arscott, D. Lippens, G. Mouret, S. Matton, P. Masselin, R. Bocquet, Jean-Francois Lampin, L. Desplanque, F. Mollot
article
Applied Physics Letters, 2002, 81 (7), pp.1174-1176. ⟨10.1063/1.1499517⟩
identifiant
hal-02347924
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titre
Terahertz frequency difference from vertically integrated low temperature grown GaAs photodetector
auteur
Emilien Peytavit, S. Arscott, D. Lippens, Gaël Mouret, S. Matton, Robin Bocquet, Jean-Francois Lampin, L. Desplanque, F. Mollot, Pascal Masselin
article
Applied Physics Letters, 2002, 81 (7), pp.1174-1176
identifiant
hal-00148642
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titre
Monolithic integrated circuits incorporating InP-based heterostructure barrier varactors
auteur
T. David, S. Arscott, J.-M. Munier, Tahsin Akalin, Patrick Mounaix, Gérard Beaudin, Didier Lippens
article
IEEE Microwave and Wireless Components Letters, 2002, 12 (8), pp.281-283. ⟨10.1109/LMWC.2002.801935⟩
identifiant
hal-02347928
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titre
Terahertz electromagnetic generation via optical frequency difference
auteur
S. Arscott, G. Mouret, O. Vanbésien, D. Lippens, L. Desplanque, Jean-Francois Lampin, F. Mollot, R. Bocquet, Emilien Peytavit, P. Masselin
article
IEE Proceedings Optoelectronics, 2002, 149 (3), pp.82-87. ⟨10.1049/ip-opt:20020321⟩
identifiant
hal-02347937
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titre
Terahertz electromagnetic generation via optical frequency difference
auteur
Emilien Peytavit, Gaël Mouret, Jean-Francois Lampin, S. Arscott, L. Desplanque, O. Vanbésien, Robin Bocquet, F. Mollot, D. Lippens, Pascal Masselin
article
IEE Proceedings. Optolectronics, 2002, 149 (3), pp.82-87
identifiant
hal-00148641
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titre
Electrostatic micro actuators
auteur
D. Collard, H. Fujita, H. Toshiyoshi, Bernard Legrand, L. Buchaillot
article
Nano et micro technologies, 2002, 2, pp.83-124
identifiant
hal-00148761
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BibTex
titre
Terahertz Frequency difference from vertically-integrated low-temperature-grown GaAs photodetector
auteur
Emilien Peytavit, S. Arscott, D. Lippens, G. Mouret, S. Matton, P. Masselin, R. Bocquet, J. F. Lampin, L. Desplanque, F. Mollot
article
Applied Physics Letters, 2002, 181, pp.1174-1176
identifiant
hal-00019468
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BibTex
titre
Large stroke actuation of continuous membrane for adaptive optics by 3D self-assembled microplates
auteur
E. Quevy, P. Bigotte, D. Collard, L. Buchaillot
article
Sensors and Actuators A: Physical , 2002, A95, pp.183-195
identifiant
hal-00148769
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BibTex
titre
Influence of the step covering on fatigue phenomenon for polycrystalline silicon micro-electro-mechanical-systems (MEMS)
auteur
O. Millet, Bernard Legrand, D. Collard, L. Buchaillot
article
Japanese Journal of Applied Physics, part 2 : Letters, 2002, 41, pp.L1339-L1341
identifiant
hal-00250391
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BibTex
titre
Process and realization of a three dimensional gold electroplated antenna on a flexible epoxy film for wireless micromotion system
auteur
Philippe Basset, A. Kaiser, D. Collard, L. Buchaillot
article
Journal of Vacuum Science and Technology, 2002, 20, pp.1465-1470. ⟨10.1116/1.1494066⟩
identifiant
hal-00148764
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BibTex
titre
Terahertz electromagnetic generation via optical frequency difference
auteur
Emilien Peytavit, J. F. Lampin, S. Arscott, P. Masselin, G. Mouret, L. Desplanque, O. Vanbésien, R. Bocquet, F. Mollot, D. Lippens
article
IEE special issue on ultrafast optoelectronics, 2002, 149 n° 3, pp.82-87
identifiant
hal-00019548
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BibTex
titre
Vacuum and cryogenic station for Micro-Electro-Mechanical Systems probing and testing
auteur
Bernard Legrand, E. Quévy, B. Stefanelli, D. Collard, L. Buchaillot
article
Review of Scientific Instruments, 2002, 73, pp.4393-4395
identifiant
hal-00148782
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BibTex
titre
Microsystem for telecommunication
auteur
D. Collard, L. Buchaillot
article
Seisan Kenkyu, 2002, 54, pp.135-139
identifiant
hal-00148767
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BibTex
titre
Reliability of polysilicon microstructures : in situ test benches
auteur
O. Millet, D. Collard, L. Buchaillot
article
Microelectronics Reliability, 2002, 42, pp.1795-1800
identifiant
hal-00148766
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BibTex
titre
Adhesive forces investigation on a silicon tip by contact mode atomic force microscope
auteur
Vincent Agache, Bernard Legrand, Dominique Collard, Lionel Buchaillot
article
Applied Physics Letters, 2002, 81, pp.2623-2625. ⟨10.1063/1.1508806⟩
identifiant
hal-00148768
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BibTex
titre
A modified bosch-type process for precise surface micromachining of polysilicon
auteur
E. Quevy, B. Parvais, J.P. Raskin, L. Buchaillot, D. Flandre, D. Collard
article
Journal of Micromechanics and Microengineering, 2002, 12, pp.328-333
identifiant
hal-00148763
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BibTex
titre
Surface micro-machining : an overview
auteur
D. Collard, H. Fujita, H. Toshiyoshi, Bernard Legrand, L. Buchaillot
article
Nano et micro technologies, 2002, 2, pp.35-50
identifiant
hal-00148781
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BibTex
titre
Characterisation of micromachining processes during KrF excimer laser ablation of TiNi shape memory alloy thin sheets and films
auteur
S.T. Davies, E.C. Havey, H. Jin, J.P. Hayes, M.K. Ghantasala, I. Roch, L. Buchaillot
article
Smart Materials and Structures, 2002, 11, pp.708-714
identifiant
hal-00148762
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Conference papers

titre
An ultra-wide bandwidth photomixer with down conversion at terahertz frequency
auteur
Emilien Peytavit, S. Arscott, D. Lippens, G. Mouret, P. Masselin, S. Matton, R. Bocquet, Jean-Francois Lampin, L. Desplanque, F. Mollot
article
THz 2002. 2002 IEEE Tenth International Conference on Terahertz Electronics, Sep 2002, Cambridge, United Kingdom. pp.23-26, ⟨10.1109/THZ.2002.1037578⟩
identifiant
hal-02347966
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BibTex
titre
High performance HBV multipliers monolithically integrated onto a host quartz substrate
auteur
T. David, S. Arscott, J.-M. Munier, Thibaut Decoopman, Tahsin Akalin, Patrick Mounaix, Xavier Mélique, Olivier Vanbésien, Gérard Beaudin, Didier Lippens
article
THz 2002. 2002 IEEE Tenth International Conference on Terahertz Electronics, Sep 2002, Cambridge, United Kingdom. pp.113-116, ⟨10.1109/THZ.2002.1037604⟩
identifiant
hal-02347952
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BibTex
titre
High performance HBV multipliers monolithically integrated into a host quartz substrate
auteur
T. David, S. Arscott, J.M. Munier, Thibaut Decoopman, Tahsin Akalin, Patrick Mounaix, Xavier Mélique, Olivier Vanbésien, Gérard Beaudin, Didier Lippens
article
IEEE Tenth International Conference on Terahertz Electronics, Sep 2002, Cambridge, United Kingdom. pp.113-116, ⟨10.1109/THZ.2002.1037604⟩
identifiant
hal-00148639
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BibTex
titre
Study of adhesive forces on a silicon nanotip force microscope in contact mode
auteur
Vincent Agache, Bernard Legrand, Dominique Collard, Lionel Buchaillot
article
Design, Test, Integration, and Packaging of MEMS/MOEMS 2002, May 2002, Cannes, France. pp.601-612, ⟨10.1117/12.462861⟩
identifiant
hal-00148788
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BibTex
titre
Conception d'un dispositif de commande à distance pour des actionneurs électrostatiques microsystèmes
auteur
Philippe Basset, B. Stefanelli, L. Buchaillot, D. Collard, A. Kaiser
article
Colloque CAO des Circuits Intégrés et Systèmes, 2002, Paris, France
identifiant
hal-00148740
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BibTex
titre
A large stepwise motion electrostatic actuator for a wireless mircrorobot
auteur
Philippe Basset, A. Kaiser, P. Bigotte, D. Collard, L. Buchaillot
article
2002, pp.606-609
identifiant
hal-00148787
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BibTex
titre
Application des concepts de gap de photons aux structures micro-ondes accordables
auteur
Olivier Vanbésien, Tahsin Akalin, M. Fernandez Diego, S. Arscott, Didier Lippens, Ludovic Burgnies, Gabriel Vélu, Jean-Claude Carru, Eric Cattan, El Hadj Dogheche, Denis Remiens
article
Actes des 7èmes Journées de Caractérisation Microondes et Matériaux, JCMM 2002, 2002, Toulouse, France
identifiant
hal-00148623
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BibTex
titre
Influence of recess extension on double heterostructure metamorphic HEMT for power application at 60 GHz
auteur
M. Ardouin, B. Bonte, M. Zaknoune, D. Theron, Y. Cordier, S. Bollaert, Jean-Claude de Jaeger
article
2002, pp.165-168
identifiant
hal-00149697
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BibTex
titre
Design of clamped-clamped beam resonator in thick-film epitaxial polysilicon technology
auteur
D. Galayko, A. Kaiser, Bernard Legrand, L. Buchaillot, C. Combi, D. Collard
article
2002, pp.447-450
identifiant
hal-00148736
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BibTex
titre
Conception de résonateurs micromécaniques pour les filtres IF dans la technologie de couches épaisses épitaxiées
auteur
D. Galayko, A. Kaiser, Bernard Legrand, L. Buchaillot, D. Collard, C. Combi
article
Colloque CAO des Circuits Intégrés et Systèmes, 2002, Paris, France
identifiant
hal-00148748
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titre
Dispositifs à hétérostructures de semiconducteurs pour la conversion de fréquences en infrarouge lointain
auteur
T. Decoopman, T. David, S. Arscott, X. Melique, O. Vanbésien, D. Lippens
article
9èmes Journées Nationales Microélectronique et Optoélectronique, JNMO 2002, 2002, St Aygulf, France
identifiant
hal-00148654
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BibTex
titre
Reliability of polysilicon microstructures : in situ test benches
auteur
O. Millet, L. Buchaillot, D. Collard
article
2002, pp.1795-1800
identifiant
hal-00148790
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BibTex
titre
AlInAs/GaInAs HEMTs for power amplification at 60 GHz
auteur
M. Zaknoune, X. Wallart, F Medjdoub, M. Ardouin, B. Bonte, D. Theron, Jean-Claude de Jaeger
article
Workshop on Compound Semiconductor Materials and Devices, WOCSEMMAD 2002, 2002, Austin, TX, United States
identifiant
hal-00149711
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BibTex
titre
Beam forming through the use of electromagnetic band gap materials
auteur
Tahsin Akalin, G. Wolf, S. Arscott, Xavier Mélique, Olivier Vanbésien, Eric Estebe, Didier Lippens
article
25th ESA Antenna Workshop, 2002, Noordwijk, Netherlands
identifiant
hal-00148652
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BibTex
titre
Reliability of packaging MEMS in shock environment : crack and stiction modeling
auteur
O. Millet, D. Collard, L. Buchaillot
article
2002, pp.696-703
identifiant
hal-00148789
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BibTex
titre
Improvement of performance at 60 GHz of metamorphic HEMT on GaAs using double recess technology
auteur
M. Ardouin, B. Bonte, M. Zaknoune, Y. Cordier, S. Bollaert, D. Theron, Jean-Claude de Jaeger
article
25th Workshop on Compound Semiconductor Devices and Integrated Circuits held in Europe, WOCSDICE 2002, 2002, Chernogolovka, Russia
identifiant
hal-00149713
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BibTex
titre
Monte Carlo study of the breakdown of an AlInAs/GaInAs HEMT on InP with an InP etch stop layer
auteur
F Medjdoub, D. Theron, F. Dessenne, R. Fauquembergue, Jean-Claude de Jaeger
article
2002, pp.57-62
identifiant
hal-00149710
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BibTex
titre
High-frequency high-Q micro-mechanical resonators in thick epipoly technology with post-process gap adjustment
auteur
D. Galayko, A. Kaiser, Bernard Legrand, C. Combi, D. Collard, L. Buchaillot
article
2002, pp.665-668
identifiant
hal-00148737
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BibTex
titre
Performance à 60 GHz de HEMTs métamorphiques sur GaAs utilisant une technologie à double recess
auteur
M. Zaknoune, M. Ardouin, B. Bonte, Y. Cordier, S. Bollaert, D. Theron, Jean-Claude de Jaeger
article
9èmes Journées Nationales Microélectronique et Optoélectronique, JNMO 2002, 2002, Saint Aigulf, France
identifiant
hal-00149738
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BibTex
titre
Caractérisation de films minces d'alliages à mémoire de forme par acoustique picoseconde
auteur
R. Cote, Arnaud Devos, I. Roch, L. Buchaillot
article
2002, pp.304-307
identifiant
hal-00147776
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Book sections

titre
Micro-actionneurs en alliages à mémoire de forme
auteur
N. Chaillet, L. Buchaillot, J. Abadie, I. Roch, C. Lexcellent
article
CUGAT O. Micro-actionneurs électroactifs, Hermès Sciences, pp.179-223, 2002
identifiant
hal-00132049
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titre
Chapitre 5 : Micro-actionneurs en alliage à mémoire de forme
auteur
Nicolas Chaillet, L. Buchaillot, Joël Abadie, I. Roch, Christian Lexcellent
article
Microactionneurs électromagnétiques, électrostatiques et électroactifs, HERMES Science Publications, pp. 179-219, 2002, Collection EGEM (Electronique, Génie Electrique, Micro-technologies)
identifiant
hal-00092477
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Patents

titre
Filtre nano-électromécanique
auteur
L. Buchaillot, D. Collard
article
N° de brevet: FR2811163 (A1). 2002
identifiant
hal-00372670
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2001

Journal articles

titre
Monolithic coplanar transmission lines loaded by heterostructure barrier varactors for a 60 GHz tripler
auteur
M. Fernandez, E. Delos, X. Melique, S. Arscott, D. Lippens
article
IEEE Microwave and Wireless Components Letters, 2001, 11 (12), pp.498-500. ⟨10.1109/7260.974558⟩
identifiant
hal-02347982
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BibTex
titre
Enhancement-mode Al0.66InO.34As/Ga0.67In0.33As metamorphic HEMT : modeling and measurement
auteur
Mustafa Boudrissa, Elisabet Delos, Christophe Gaquière, Michel Rousseau, Yvon Cordier, Didier Theron, Jean-Claude de Jaeger
article
IEEE Transactions on Electron Devices, 2001, 48 (6), pp.1037-1044. ⟨10.1109/16.925223⟩
identifiant
hal-00152595
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BibTex
titre
A 0.15µm 60GHz high-power composite channel GaInAs/InP HEMT with low gate current
auteur
Mustafa Boudrissa, Elisabet Delos, X. Wallart, Didier Theron
article
IEEE Electron Device Letters, 2001, 22 (6), pp.257-259. ⟨10.1109/55.924834⟩
identifiant
hal-00152592
Accès au bibtex
BibTex
titre
3D self-assembling microstructures for optical MEMS devices : concept and applications
auteur
Emmanuel Quévy, Vincent Agache, Olivier Millet, Matthieu Lagouge, Patrice Bigotte, Dominique Collard, Lionel Buchaillot
article
Belgian Journal of Electronics & Communications HF, 2001, 2, pp.9-25
identifiant
hal-00152462
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titre
3D self-assembling and actuation of electrostatic microstructures
auteur
E. Quevy, L. Buchaillot, D. Collard
article
IEEE Transactions on Electron Devices, 2001, 48, pp.1833-1839
identifiant
hal-00152460
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titre
Stiction-controlled locking system for three-dimensional self-assembled microstructures : theory and experimental validation
auteur
Vincent Agache, Emmanuel Quévy, Dominique Collard, Lionel Buchaillot
article
Applied Physics Letters, 2001, 79, pp.3869-3871. ⟨10.1063/1.1418031⟩
identifiant
hal-00152459
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titre
Silicon nitride as an effective protection against oxidation of a TiNi thin film in high temperature oxidizing air environment at atmospheric pressure
auteur
I. Roch, L. Buchaillot, X. Wallart, D. Collard
article
Journal of Vacuum Science and Technology, 2001, B19, pp.305-307
identifiant
hal-00152461
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titre
Current instabilities in GaN-based devices
auteur
I. Daumiller, Didier Theron, Christophe Gaquière, A. Vescan, R. Dietriech, A. Wieszt, H. Leier, R. Vetury, U.K. Mishra, I.P. Schmorkova, S. Keller, N.X. Nguyen, Cong Tu Nguyen, E. Kohn
article
IEEE Electron Device Letters, 2001, 22, pp.62-64
identifiant
hal-00152597
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titre
Monolithic coplanar transmission lines loaded by heterostructures barrier varactors for a 60 GHz tripler
auteur
M. Fernandez, E. Delos, X. Melique, S. Arscott, D. Lippens
article
IEEE Microwave and Wireless Components Letters, 2001, 11, pp.498-500
identifiant
hal-00152061
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Conference papers

titre
Comparison of fully distributed and periodically loaded nonlinear transmission lines
auteur
J.M. Duchamp, Philippe Ferrari, M. Fernandez, X. Melique, J.W. Tao, S. Arscott, D. Lippens, A. Jrad, R.G. Harrison
article
2001 31st European Microwave Conference, IEEE, Sep 2001, London, United Kingdom. pp.205-208
identifiant
hal-00152074
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titre
60 GHz 420 mW/mm low gate current GaInAs/InP composite channel HEMT on InP substrate
auteur
Mustafa Boudrissa, Elisabet Delos, X. Wallart, Didier Theron, Jean-Claude de Jaeger
article
XXV Workshop on Compound Semiconductor Devices and Integrated Circuits held in Europe, WOCSDICE 2001, May 2001, Cagliari, Sardinia, Italy
identifiant
hal-00152631
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titre
A 5 mW-290 GHz heterostructure barrier tripler in a waveguide configuration
auteur
T. David, M. Guillon, S. Arscott, Alain Maestrini, Tahsin Akalin, Benoît Lecomte, Jorge Carbonell, Michel Chaubet, Patrick Mounaix, Gérard Beaudin, Didier Lippens
article
2001 IEEE MTT-S International Microwave Symposium Digest, May 2001, Phoenix, AZ, United States. pp.1661-1664, ⟨10.1109/MWSYM.2001.967224⟩
identifiant
hal-02347990
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titre
Influence du dopage dans les transistors HEMT à canal composite pour amplification de puissance en ondes millimétriques
auteur
Didier Theron, Mustafa Boudrissa, Elisabet Delos, X. Wallart, Jean-Claude de Jaeger
article
Actes des 12èmes Journées Nationales Microondes, JNM 2001, May 2001, Poitiers, France
identifiant
hal-00152653
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titre
A 60 GHz high power composite channel GaInAs/InP HEMT on InP substrate with Lg=0.15 µm
auteur
Mustafa Boudrissa, Elisabet Delos, X. Wallart, Didier Theron, Jean-Claude de Jaeger
article
Conference Proceedings. 2001 International Conference on Indium Phosphide and Related Materials. 13th IPRM, May 2001, Nara, Japan. pp.196-199, ⟨10.1109/ICIPRM.2001.929091⟩
identifiant
hal-00152622
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titre
Stiction-controlled locking system for three-dimensional self-assembling microstructures : theory and experimental validation
auteur
Vincent Agache, Lionel Buchaillot, Dominique Collard, Emmanuel Quévy
article
Design, Test, Integration and Packaging of MEMS/MOEMS 2001, Apr 2001, Cannes, France. pp.344-359
identifiant
hal-00152470
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titre
Performances en puissance à 60 GHz du HEMT à canal composite GaInAs/InP sur substrat InP avec LG = 0.15 µm
auteur
Mustafa Boudrissa, Elisabet Delos, X. Wallart, Didier Theron, Jean-Claude de Jaeger
article
8èmes Journées Nationales Microélectronique et Optoélectronique, JNMO 2001, Jan 2001, Aussois, France
identifiant
hal-00152915
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titre
Reliability of self-assembling 3D microstructures : snap-through modeling and experimental validation
auteur
O. Millet, L. Buchaillot, E. Quevy, D. Collard
article
2001, pp.391-401
identifiant
hal-00152471
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titre
IF MEMS filters for mobile communication
auteur
E. Quevy, D. Galayko, Bernard Legrand, C. Renaux, C. Combi, D. Flandre, L. Buchaillot, D. Collard, B. Vigna, A. Kaiser
article
2001, pp.733-736
identifiant
hal-00152458
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titre
3D self-assembled micro-actuators for optical applications
auteur
E. Quevy, L. Buchaillot, D. Collard
article
2001, pp.764-767
identifiant
hal-00152465
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titre
Reliability of self-assembled 3D microstrutures : dynamic snap-through modeling and experimental validation
auteur
O. Millet, L. Buchaillot, E. Quevy, D. Collard
article
2001, pp.97-107
identifiant
hal-00152469
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titre
MEMS for mobile communication
auteur
E. Quevy, C. Renaux, L. Buchaillot, D. Flandre, D. Collard
article
Proceedings of the 13th European Microelectronics and Packaging Conference, EMPC 2001, 2001, Strasbourg, France
identifiant
hal-00152220
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titre
Microsystem technology : trends and possible application for textile
auteur
D. Collard, L. Buchaillot, Bernard Legrand
article
Conference on Modern Textile Factory, HIGHTEX 2001, 2001, Lille, France
identifiant
hal-00152473
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titre
Electrostatic impact-drive microactuator
auteur
Y.Y. Mita, M. Arai, S. Tenseka, D. Kobayashi, Philippe Basset, A. Kaiser, P. Masquelier, L. Buchaillot, D. Collard, H. Fujita
article
2001, pp.590-593
identifiant
hal-00152203
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titre
Micro-commutateurs à faible perte en gamme millimétrique (Mems)
auteur
N. Rolland-Haese, L. Buchaillot, L. Caille, P. Legry-Lefebvre, P.A. Rolland
article
Actes des 12èmes Journées Nationales Microondes, JNM 2001, 2001, Poitiers, France
identifiant
hal-00152048
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titre
Characterisation of GaN FETs under pulsed conditions : DC and RF measurements from room temperature up to 250°C
auteur
D. Theron, Christophe Gaquière, N. Vellas, B. Boudart, Y. Guhel, Jean-Claude de Jaeger
article
Workshop on Compound Semiconductor Materials and Devices, WOCSEMMAD 2001, 2001, New Orleans, LA, United States
identifiant
hal-00152673
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titre
Evaluation de composants de la filière phosphure pour applications à 60 GHz
auteur
B. Bonte, M. Zaknoune, F. Mollot, X. Wallart, D. Theron
article
8èmes Journées Nationales Microélectronique et Optoélectronique, JNMO 2001, 2001, Aussois, France
identifiant
hal-00152676
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titre
Finite element modeling of smart materials : application to an adaptive structure using SMA
auteur
Anne-Christine Hladky, S. Rafanomezantsoa, L. Buchaillot, P. Bouchilloux
article
2001, pp.143-150
identifiant
hal-00151692
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titre
HEMT structures and technology on GaAs and InP for power amplification in millimeter wave range
auteur
D. Theron, Y. Cordier, X. Wallart, S. Bollaert, M. Zaknoune, B. Bonte, Christophe Gaquière, Michel Rousseau, F. Mollot, A. Cappy, R. Fauquembergue, Jean-Claude de Jaeger
article
2001, pp.53-56
identifiant
hal-00152625
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titre
Realization and actuation of continuous-membrane by an array of 3D self-assembling micro-mirrors for adaptive optics
auteur
E. Quevy, L. Buchaillot, D. Collard
article
2001, pp.329-332
identifiant
hal-00152466
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titre
Design of an autonomous micro robot
auteur
Philippe Basset, L. Buchaillot, A. Kaiser, D. Collard
article
2001, pp.795-798
identifiant
hal-00152457
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titre
Ka band power pHEMT technology for space power flip-chip assembly
auteur
E. Rogeaux, J.P. Fraysse, C. Schaffauser, S. George, D. Pons, P. Fellon, D. Geiger, D. Theron, N. Haese, Serge Verdeyme, R. Quere, Dominique Baillargeat, E. Ngoya, S. Long, Laurent Escotte
article
2001, pp.1895-1898
identifiant
hal-00152621
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titre
Un état de l'art des microsystèmes
auteur
L. Buchaillot
article
Journées d'Electronique Régionale, JER 2001, 2001, Marcq en Baroeul, France
identifiant
hal-00152472
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titre
Shape memory alloys for microsystems
auteur
I. Roch, P. Delobelle, X. Wallart, D. Collard, L. Buchaillot
article
2001, pp.417-422
identifiant
hal-00152468
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titre
Optical and electronics routes for electromagnetic generation in the terahertz gap
auteur
T. David, Emilien Peytavit, Tahsin Akalin, Florence Podevin, S. Arscott, Patrick Mounaix, Olivier Vanbésien, Didier Lippens
article
26th International Conference on Infrared and Millimeter Waves, 2001, Toulouse, France
identifiant
hal-00152085
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titre
Reliability approach in the design of RF microswitches
auteur
L. Buchaillot, N. Rolland-Haese, P.A. Rolland
article
Proceedings of the 13th European Microelectronics and Packging Conference, EMPC 2001, 2001, Strasbourg, France
identifiant
hal-00152219
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titre
Micro-robotic systems for MIS and micromanipulation
auteur
S. Regnier, Y. Rollot, J.C. Guinot, S. Haliyo, G. Dumont, L. Buchaillot, D. Salle, M. Dahan
article
IARP International Workshop on Advanced Robotics Research and Applications, 2001, Shangai, China
identifiant
hal-00152467
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titre
New actuation structure for the deformation of continuous mirrors for adaptive optics
auteur
E. Quevy, L. Buchaillot, D. Collard
article
2001, pp.211-229
identifiant
hal-00152456
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Book sections

titre
High Performance Heterostructure Barrier Varactors
auteur
Didier Lippens, Xavier Mélique, S. Arscott, Thibaut David, V. Duez, Jorge Carbonell, Patrick Mounaix, Olivier Vanbésien, Francis Mollot
article
MILES R.E., HARRISON P., LIPPENS D. Terahertz Sources and Systems, Springer Netherlands, pp.53-67, 2001, 978-94-010-0824-2. ⟨10.1007/978-94-010-0824-2_4⟩
identifiant
hal-02348008
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Patents

titre
Dispositif formant micromoteur ou microactionneur
auteur
L. Buchaillot
article
N° de brevet: FR2809549 (A1). 2001
identifiant
hal-00372673
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2000

Journal articles

titre
Enhancement mode metamorphic In0.33Al0.67As/In0.34Ga0.66As HEMT on GaAs substrate with high breakdown voltage
auteur
Mustafa Boudrissa, Elisabet Delos, Yvon Cordier, Didier Theron, Jean-Claude de Jaeger
article
IEEE Electron Device Letters, 2000, 21 (11), pp.512-514. ⟨10.1109/55.877193⟩
identifiant
hal-00158983
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titre
Transferred-substrate InP-based heterostructure barrier varactor diodes on quartz
auteur
D. Lippens, O. Vanbésien, P. Mounaix, X. Melique, T. David, S. Arscott
article
IEEE Microwave and Guided Wave Letters, 2000, 10 (11), pp.472-474. ⟨10.1109/75.888836⟩
identifiant
hal-02348025
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titre
High power GaN MESFET's on sapphire substrate
auteur
Christophe Gaquière, S. Trassaert, B. Boudart, D. Theron, Y. Crosnier
article
IEEE Microwave and Guided Wave Letters, 2000, 10, pp.19-20
identifiant
hal-00158979
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titre
Substrate transfer process for InP-based heterostructure barrier varactor devices
auteur
S. Arscott, P. Mounaix, D. Lippens
article
Journal of Vacuum Science & Technology B Microelectronics and Nanometer Structures, 2000, 18 (1), pp.150. ⟨10.1116/1.591167⟩
identifiant
hal-02348017
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titre
Comparison between TiAl and TiAlNiAu ohmic contacts to n-type GaN
auteur
B. Boudart, S. Trassaert, X. Wallart, J.C. Pesant, O. Yaradou, D. Theron, Y. Crosnier, H. Lahreche, F. Omnes
article
Journal of Electronic Materials, 2000, 29, pp.603-606
identifiant
hal-00158984
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titre
The indium content in metamorphic InAlAs/InGaAs HEMTs on GaAs substrate : a new structure parameter
auteur
S. Bollaert, Y. Cordier, M. Zaknoune, H. Happy, Virginie Hoel, Sylvie Lepilliet, D. Theron, A. Cappy
article
Solid-State Electronics, 2000, 44, pp.1021-1027
identifiant
hal-00157879
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BibTex
titre
Transferred substrate InP-based heterostructure barrier varactor diodes on quartz
auteur
S. Arscott, T. David, X. Melique, P. Mounaix, O. Vanbesien, D. Lippens
article
IEEE Microwave and Guided Wave Letters, 2000, 10, pp.472-474
identifiant
hal-00158201
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titre
0,1-µm high performance double heterojunction In0.32Al0.68As/In0.33Ga0.67As metamorphic HEMTs on GaAs
auteur
M. Zaknoune, Y. Cordier, S. Bollaert, D. Ferre, D. Theron, Y. Crosnier
article
Solid-State Electronics, 2000, 44, pp.1685-1688
identifiant
hal-00158982
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Conference papers

titre
Microtechnologies for the monolithic fabrication of mm and submm non linear devices
auteur
P. Mounaix, S. Arscott, T. David, Florence Podevin, X. Melique, D. Lippens
article
30th European Microwave Conference, 2000, Oct 2000, Paris, France. pp.1-4, ⟨10.1109/EUMA.2000.338617⟩
identifiant
hal-02348043
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BibTex
titre
Enhancement-mode metamorphic Al0.67In0.33As/Ga0.66In0.34 HEMT on GaAs substrate
auteur
Mustafa Boudrissa, Elisabet Delos, Yvon Cordier, Didier Theron, Jean-Claude de Jaeger
article
The Fourth International Conference of the Learning Sciences, Jun 2000, Ann Arbor, MI, United States. pp.IV-7, IV-8
identifiant
hal-00159007
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BibTex
titre
HEMT structures on GaAs or InP substrates for millimeter wave power amplification
auteur
Didier Theron, Yvon Cordier, X. Wallart, S. Bollaert, Mohammed Zaknoune, Mustafa Boudrissa, Bertrand Bonte, Christophe Gaquière, Francis Mollot, A. Cappy, R. Fauquembergue, Jean-Claude de Jaeger
article
24th Workshop on Compound Semiconductor Devices and Integrated Circuits held in Europe, WOCSDICE'2000, May 2000, Aegean Sea, Greece
identifiant
hal-00159030
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BibTex
titre
Towards terahertz circuits via InP micromachining techniques
auteur
S. Arscott, T. David, X. Melique, P. Mounaix, D. Lippens
article
Conference Proceedings. 2000 International Conference on Indium Phosphide and Related Materials, May 2000, Williamsburg, United States. pp.561-564, ⟨10.1109/ICIPRM.2000.850359⟩
identifiant
hal-02348037
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BibTex
titre
Finite element modeling of smart materials : application to an adaptative structure using SMA
auteur
Anne-Christine Hladky, S. Rafanomezantsoa, L. Buchaillot
article
2000, pp.133-142
identifiant
hal-00157816
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BibTex
titre
3D self-assembling and actuation of electrostatic micro-mirrors
auteur
E. Quevy, L. Buchaillot, P. Bigotte, D. Collard
article
2000, pp.412-415
identifiant
hal-00158536
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BibTex
titre
Microrobot autonome
auteur
Philippe Basset, A. Kaiser, L. Buchaillot, P. Masquelier
article
Actes des 3èmes Journées Nationales du Réseau Doctoral de Microélectronique, 2000, Montpellier, France
identifiant
hal-00158520
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BibTex
titre
Electroluminescence of metamorphic Inx Al1-xAs/InxGa1-xAs HEMTs on GaAs substrate
auteur
N. Cavassilas, F. Aniel, A. Nojeh, R. Adde, M. Zaknoune, S. Bollaert, Y. Cordier, D. Theron, A. Cappy
article
2000, 10 pp
identifiant
hal-00159003
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BibTex
titre
Numerical modelling of shape memory alloy nonlinear behavior laws : application to an adaptative structure
auteur
Anne-Christine Hladky, S. Rafanomezantsoa, L. Buchaillot
article
ONR Workshop on Acoustic Transduction Materials and Devices, 2000, University Park, United States
identifiant
hal-00157842
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BibTex
titre
Experiments on micromanipulation using adhesion forces in unconstrainted environment
auteur
Yves Rollot, Sinan Haliyo, Stéphane Regnier, Lionel Buchaillot, Jean-Claude Guinot, Philippe Bidaud
article
Actes de IROS'00 : IEEE International Conference on Intelligent Robots and Systems, 2000, -, Unknown Region. pp.653-658
identifiant
hal-03191033
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BibTex
titre
Gate ionization current of an enhancement-mode metamorphic Al0.67In0.33As/Ga0.66In0.34As HEMT on GaAs substrate
auteur
Mustafa Boudrissa, Elisabet Delos, Yvon Cordier, Didier Theron, Jean-Claude de Jaeger
article
30th European Microwave Conferences, 2000, Paris, France. pp.90-93
identifiant
hal-00159006
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BibTex
titre
Experiments on micromanipulation using adhesion forces in unconstained environment
auteur
Y. Rollot, S. Regnier, S. Haliyo, L. Buchaillot, J.C. Guinot, P. Bidaud
article
2000, pp.653-658
identifiant
hal-00158533
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BibTex
titre
Optique adaptative : réalisation et actionnement d'une membrane continue par un réseau de micro-actionneurs 3D auto-assemblés
auteur
E. Quevy, L. Buchaillot, D. Collard
article
Actes des 20èmes Journées Nationales d'Optique Guidée, 2000, Toulouse, France
identifiant
hal-00158521
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BibTex
titre
Microsystème : enjeux et perspectives
auteur
D. Collard, L. Buchaillot, Bernard Legrand
article
Journée IMAPS : International Microelectronics and Packaging Society, 2000, Lille, France
identifiant
hal-00158539
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BibTex
titre
Microsysteme : un état des lieux, enjeux et perspectives
auteur
D. Collard, L. Buchaillot, Bernard Legrand
article
48èmes Journées Nationales de l'Union des Physiciens, 2000, Lille, France
identifiant
hal-00158538
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BibTex
titre
AlGaInP barrier layer grown by gas source molecular beam epitaxy for V-band AlGaInP/InGaAs/GaAs power pseudomorphic HEMT
auteur
M. Zaknoune, O. Schuler, X. Wallart, S. Piotrowicz, F. Mollot, D. Theron, Y. Crosnier
article
2000, pp.353-356
identifiant
hal-00159004
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BibTex
titre
Microsystèmes tridimensionnels auto-assemblés : modélisation et caractérisation mécanique
auteur
L. Buchaillot, E. Quevy, O. Millet, D. Collard
article
Journée 'Couplage entre Mécanique et Electricité', 2000, Cachan, France
identifiant
hal-00158534
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BibTex
titre
Numerical modeling of shape memory alloy nonlinear behaviour laws : application to an adaptative structure
auteur
Anne-Christine Hladky, S. Rafanomezantsoa, L. Buchaillot
article
ATILA Workshop, 2000, University Park, United States
identifiant
hal-00157841
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BibTex
titre
Fabrication process of shape memory alloy thin films for microactuation
auteur
I. Roch, L. Buchaillot, X. Wallart
article
Proceedings of the 2000 International Conference on Shape Memory and Superelastic Technologies, SMST-2000, 2000, Pacific Grove, CA, United States
identifiant
hal-00158518
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BibTex
titre
Self-assembling of electrostatic micro-mirrors by means of integrated micro-actuators and mechanical latches
auteur
E. Quevy, L. Buchaillot, P. Bigotte, D. Collard
article
Proceedings of the 2nd International Workshop on Microfactories, IWMF 2000, 2000, Quebec, Canada
identifiant
hal-00158522
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BibTex
titre
RF power MISFET's using thin LT GaAs as a passivator
auteur
D. Theron, B. Boudart, Christophe Gaquière, Jean-Claude de Jaeger
article
Workshop on Compound Semiconductor Materials and Devices, WOCSEMMAD 2000, 2000, San Diego, CA, United States
identifiant
hal-00159031
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BibTex
titre
Les alliages à mémoire de forme dans les microsystèmes
auteur
I. Roch, L. Buchaillot, O. Millet, H. Bennayyad
article
Actes des Troisièmes Journées du Pôle Micro-Robotique, 2000, Cachan, France
identifiant
hal-00158523
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BibTex
titre
Towards terahertz circuits via InP micromachining techniques
auteur
S. Arscott, T. David, X. Melique, P. Mounaix, D. Lippens
article
2000, pp.561-564
identifiant
hal-00158203
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BibTex
titre
Microtechnologies for the monolithic fabrication of mm and submm nonlinear devices
auteur
P. Mounaix, S. Arscott, T. David, Florence Podevin, X. Melique, D. Lippens
article
2000, pp.28-31
identifiant
hal-00158204
Accès au bibtex
BibTex
titre
Numerical modelling of shape memory alloy nonlinear behavior laws : application to an adaptative structure
auteur
L. Buchaillot, S. Rafanomezantsoa, Anne-Christine Hladky, I. Roch
article
Proceedings of the 2000 International Conference on Shape Memory and Superelastic Technologies, SMST-2000, 2000, Pacific Grove, CA, United States
identifiant
hal-00158519
Accès au bibtex
BibTex
titre
GaN MESFETs for power and high temperature applications
auteur
B. Boudart, S. Trassaert, Christophe Gaquière, D. Theron, Y. Crosnier, François Huet, M.A. Poisson, I. Daumiller, E. Kohn
article
NearEst Miniworkshop on Advances in the Wide Bandgap Electronics and Opto-Electronics, 2000, Padova, Italy
identifiant
hal-00159032
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BibTex

1999

Journal articles

titre
Rapid thermal processing of PZT thin films using a new triol based sol-gel route
auteur
S. Arscott, R. Miles, S. Milne
article
Ferroelectrics, 1999, 228 (1), pp.61-78. ⟨10.1080/00150199908226126⟩
identifiant
hal-02348071
Accès au bibtex
BibTex
titre
Rapid thermal processing of lead zirconate titanate thin films on Pt–GaAs substrates based on a novel 1,1,1-tris(hydroxymethyl)ethane sol-gel route
auteur
S. Arscott, R. Miles, J. Kennedy, S. Milne
article
Journal of Materials Research, 1999, 14 (2), pp.494-499. ⟨10.1557/JMR.1999.0070⟩
identifiant
hal-02348064
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titre
Terahertz time-domain spectroscopy of films fabricated from SU-8
auteur
S. Arscott, F. Garet, P. Mounaix, L. Duvillaret, J.-L. Coutaz, D. Lippens
article
Electronics Letters, 1999, 35 (3), pp.243. ⟨10.1049/el:19990146⟩
identifiant
hal-02348056
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titre
Transferred InP-based HBVs on glass substrate
auteur
S. Arscott, P. Mounaix, D. Lippens
article
Electronics Letters, 1999, 35 (17), pp.1493. ⟨10.1049/el:19990984⟩
identifiant
hal-02348069
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titre
Trap effects studies in GaN MESFETs by pulsed measurements
auteur
S. Trassaert, B. Boudart, Christophe Gaquière, Didier Theron, Y. Crosnier, F. Huet, M.A. Poisson
article
Electronics Letters, 1999, 35 (16), ⟨10.1049/el:19990887⟩
identifiant
hal-01647642
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Conference papers

titre
Micromachining techniques at terahertz frequencies
auteur
S. Arscott, Lionel Duvillaret, Patrick Mounaix, Frédéric Garet, Jean-Louis Coutaz, D. Lippens
article
Industrial Lasers and Inspection (EUROPTO Series), Jun 1999, Munich, Germany. pp.335, ⟨10.1117/12.361055⟩
identifiant
hal-02348077
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titre
Etude du contact ohmique Ti/Al/Ni/Au sur n-GaN pour applications hyperfréquences et haute température de TECs de puissance
auteur
B. Boudart, S. Trassaert, Xavier Wallart, J.C. Pesant, L Fugère, Didier Theron, Y. Crosnier
article
7es Journées Nationales Microélectronique et Optoélectronique (JNMO), 1999, Egat, France
identifiant
hal-01654466
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titre
Pulsed measurements of GaN MESFET
auteur
B. Boudart, S. Trassaert, Christophe Gaquière, Didier Theron, Y. Crosnier, Fabrice Huet, M.A. Poisson
article
GAAS 99, 1999, Munich, Germany
identifiant
hal-01649413
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titre
Large signal and pulse instabilities in GaN HFETs
auteur
Erhard Kohn, E Strobel, I. Daumiller, Christophe Gaquière, B. Boudart, Didier Theron, N.X. Nguyen, C.N. Nguyen
article
1st Gallium Nitride Electronic Device Workshop, 1999, Cornell, United States
identifiant
hal-01654323
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1998

Journal articles

titre
Sol-gel derived thin films on GaAs
auteur
S. Arscott, N Smith, R Kurchania, S Milne, R Miles
article
Semiconductor Science and Technology, 1998, 13 (2), pp.244-248. ⟨10.1088/0268-1242/13/2/016⟩
identifiant
hal-02348109
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titre
Triol sol-gel route for preparing PZT thin films
auteur
S. Arscott
article
Ceramic Transactions, 1998
identifiant
hal-02348121
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titre
Micromachining techniques at terahertz frequencies
auteur
S. Arscott, R.E. Miles, S.J. Milne
article
IEE Proceedings - Circuits, Devices and Systems, 1998, 145 (5), pp.335. ⟨10.1117/12.361055⟩
identifiant
hal-02348103
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Conference papers

titre
Lead zirconate titanate thin films on GaAs for microwave device applications
auteur
S. Arscott, R.E. Miles, S.J. Milne
article
Fifth International Conference on Solid-State and Integrated Circuit Technology-ICSICT'98, Oct 1998, Beijing, China. pp.587, ⟨10.1109/ICSICT.1998.785955⟩
identifiant
hal-02348132
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titre
Etude du contact Ti/Al/Ni/Au sur GaN
auteur
S. Trassaert, B. Boudart, Xavier Wallart, J.C. Pesant, L Fugère, Didier Theron, Y. Crosnier
article
GDR Matériaux Grand Gap, 1998, Villeneuve d'Ascq, France
identifiant
hal-01654461
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titre
Study of the Ti/Al/Ni/Au ohmic contact on n-GaN for high temperature applications
auteur
S. Trassaert, B. Boudart, Xavier Wallart, Didier Theron, Y. Crosnier
article
8th European Workshop on Heterostructure Technology (HETECH), 1998, Cardiff, United Kingdom
identifiant
hal-01654296
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1997

Journal articles

titre
Lead zirconate titanate thin films on GaAs substrates
auteur
S. Arscott, R Kurchania, R. Miles, S. Milne
article
Journal of Materials Science, 1997, 32 (23), pp.6129-6133. ⟨10.1023/A:1018604220159⟩
identifiant
hal-02348141
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titre
Gate current analysis of LT-GaAs passivated MESFETs
auteur
B. Boudart, Christophe Gaquière, Didier Theron
article
Electronics Letters, 1997, 33 (17), ⟨10.1049/el:19971002⟩
identifiant
hal-01647646
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Conference papers

titre
Sol-gel synthesis of PZT thin films
auteur
S. Arscott
article
IEE Colloquium on Electro-Technical Ceramics - Processing, Properties and Applications, Nov 1997, London, United Kingdom. pp.5-5, ⟨10.1049/ic:19971051⟩
identifiant
hal-02348151
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titre
Analysis of the frequency dispersion of the transconductance in recessed and unrecessed low temperature GaAs FETs
auteur
Didier Theron, B. Boudart, Christophe Gaquière, Georges Salmer, M. Lipka, B. Splingart, Erhard Kohn
article
IEEE Workshop on High Performance Electron Devices for Microwave and Optoelectronic Applications, 1997, londres, United Kingdom
identifiant
hal-01649377
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titre
Projets et premiers résultats de modélisation et de technologie dans la filière HEMT GaN
auteur
Didier Theron, F. Dessenne, R. Fauquembergue, X. Hue, B. Boudart, Xavier Wallart, J. Laurens, Monique Constant
article
GDR Matériaux Grand Gap, 1997, Nice Sophia Antipolis, France
identifiant
hal-01654458
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titre
Characterisation of LT GaAs FET’s as a function of the temperature
auteur
Didier Theron, B. Boudart, Christophe Gaquière, Georges Salmer, M. Lipka, B. Splingart, Erhard Kohn
article
IEEE Workshop Experimentally based FET device modelling & Related nonlinear circuit design, 1997, Kassel, Germany
identifiant
hal-01648141
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titre
Utilisation du GaAs épitaxié à basse température pour augmenter la densité de puissance des TECs
auteur
Didier Theron, B. Boudart, Y. Druelle, Georges Salmer, M. Lipka, Erhard Kohn
article
6es Journées Nationales Microélectronique et Optoélectronique (JNMO), 1997, Chantilly, France
identifiant
hal-01654456
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titre
Analysis of the frequency dispersion of the transconductance in recessed and unrecessed low temperature GaAs FET’s
auteur
Didier Theron, B. Boudart, Christophe Gaquière, Georges Salmer, M. Lipka, B. Splingart, Erhard Kohn
article
Workshop on High Performance Electron Devices for Microwave and Optoelectronic Applications (EDMO), 1997, Londres, United Kingdom
identifiant
hal-01654293
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1996

Journal articles

titre
PZT bulk acoustic wave resonators for MMIC technology
auteur
S. Arscott, Z. Awang, Y. Tu, S. Milne, R. Miles
article
Ferroelectrics, 1996, 187 (1), pp.49-56. ⟨10.1080/00150199608244843⟩
identifiant
hal-02348161
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titre
Small- and large-signal measurements of low-temperature GaAs FETs
auteur
B. Boudart, Christophe Gaquière, S. Trassaert, Didier Theron, B. Splingart, M. Lipka, E. Kohn
article
Microwave and Optical Technology Letters, 1996, 12 (2), pp.57 - 59. ⟨10.1002/(SICI)1098-2760(19960605)12:2<57::AID-MOP2>3.0.CO;2-M⟩
identifiant
hal-01647683
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Conference papers

titre
LT GaAs HFET: a novel concept to overcome the breakdown limitation
auteur
Didier Theron, Mohamed Zaknoune, B. Boudart, Jean-Claude de Jaeger, Georges Salmer, M. Lipka, M. Birk, H. Heinecke, B. Splingart, Erhard Kohn, Hugues Thomas, D. V. Morgan, J. Schneider
article
23rd Symposium on compound semiconductors, 1996, St Petersburg, Russia
identifiant
hal-01648139
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titre
-low temperature GaAs/GaInP FET: device technology and characterization
auteur
Didier Theron, B. Boudart, Mohamed Zaknoune, Francis Mollot, Y. Druelle, Henri Gérard, Georges Salmer, M. Lipka, R. Westphalen, Erhard Kohn
article
Workshop on non-stoichiometric GaAs and related materials, 1996, Santa Barbara, United States
identifiant
hal-01654286
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1995

Conference papers

titre
Low temperature grown GaAs lossy dielectric heterostructure FET
auteur
M. Lipka, B. Splingart, R. Westphalen, Erhard Kohn, Didier Theron, B. Boudart, Georges Salmer, L.L. Pond, C.E. Weitzel
article
Cornell Conference on Advanced Concepts in High Speed Semiconductor Devices and Circuits, 1995, Ithaca, United States
identifiant
hal-01648127
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titre
Transconductance dispersion in LT GaAs MISFET’s
auteur
B. Boudart, E. Delos, F. Ducroquet, Henri Gérard, Didier Theron, M. Lipka, B. Splingart, Erhard Kohn
article
19th Workshop On Compound Semiconductor Devices and Integrated Circuits (WOCSDICE) , 1995, Stockholm, Sweden
identifiant
hal-01654284
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titre
Mesures pulsées de TEC à grille isolée par du GaAs basse température
auteur
B. Boudart, Christophe Gaquière, S. Trassaert, Didier Theron, B. Splingart, M. Lipka, Erhard Kohn
article
9es Journées Nationales Microondes, 1995, Paris, France
identifiant
hal-01654242
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1994

Journal articles

titre
Electrical Characterization of Delta Doped Gallium Arsenide
auteur
S. Arscott, M. Missous, L. Dobaczewski, P. Harness, Duncan Kennedy Maude, J. Portal
article
MRS Proceedings, 1994, 281, ⟨10.1557/PROC-281-19⟩
identifiant
hal-02348216
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Conference papers

titre
GaAs basse température : de la croissance à la réalisation de composants MISFETs
auteur
Didier Theron, B. Boudart, Christophe Robert, Xavier Wallart, Y. Druelle
article
5es Journées Nationales Microélectronique et Optoélectronique (JNMO), 1994, Ecully, France
identifiant
hal-01654453
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titre
Photolithography for recessed lift-off technology application to low temperature GaAs MISFET’s ohmic contacts
auteur
B. Boudart, Christophe Robert, Didier Theron, R. Westphalen
article
4th European Workshop on Heterostructure Technology (HETECH), 1994, Ulm, Germany
identifiant
hal-01654282
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titre
Réalisation et caractérisation de TEC GaAs à grille isolée par GaAs épitaxié à basse température
auteur
E Bourcier, Christophe Robert, Christophe Gaquière, B. Boudart, Didier Theron, Georges Salmer
article
5es Journées Nationales Microélectronique et Optoélectronique (JNMO), 1994, Ecully, France
identifiant
hal-01654454
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1993

Journal articles

titre
Temperature measurements of LT GaAs diodes
auteur
R. Westphalen, B. Boudart, Didier Theron, X. Wallart, Y. Druelle, Y. Crosnier
article
Materials Science and Engineering: B, 1993, 22 (1), pp.78 - 81. ⟨10.1016/0921-5107(93)90227-E⟩
identifiant
hal-01647734
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Conference papers

titre
Temperature measurements of LT-GaAs diodes
auteur
R. Westphalen, B. Boudart, Didier Theron, Xavier Wallart, Y. Druelle, Y. Crosnier
article
European Materials Research Society, 1993, Strasbourg, France
identifiant
hal-01648117
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titre
Growth of low temperature GaAs on GaAs under different conditions
auteur
Didier Theron, B. Boudart, R. Westphalen, Xavier Wallart, Y. Druelle
article
3rd European Workshop on Heterostructure Technology (HETECH), 1993, Villeneuve d'Ascq, France
identifiant
hal-01654281
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1992

Journal articles

titre
Observation of persistent photoconductivity in delta -doped GaAs
auteur
S. Arscott, M Missous, L. Dobaczewski
article
Semiconductor Science and Technology, 1992, 7 (4), pp.620-623. ⟨10.1088/0268-1242/7/4/033⟩
identifiant
hal-02348222
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