Publications HAL

2023

Journal articles

titre
Potential stratospheric ozone depletion due to iodine injection from small satellites
auteur
Wuhu Feng, John M C Plane, Martyn P. Chipperfield, Alfonso Saiz-Lopez, Jean‐paul Booth
article
Geophysical Research Letters, 2023, 50 (7), pp.e2022GL102300. ⟨10.1029/2022GL102300⟩
identifiant
hal-03976025
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https://hal.science/hal-03976025/file/Geophysical%20Research%20Letters%20-%202023%20-%20Feng%20-%20Potential%20Stratospheric%20Ozone%20Depletion%20Due%20To%20Iodine%20Injection%20From%20Small.pdf BibTex
titre
Oxygen atom and ozone kinetics in the afterglow of a pulse-modulated DC discharge in pure O2 : an experimental and modelling study of surface mechanisms and ozone vibrational kinetics
auteur
Jean-Paul Booth, Olivier Guaitella, Shu Zhang, Dmitry Lopaev, S Zyryanov, T Rakhimova, D Voloshin, Alexander Chukalovsky, Andrey Vladimirovich Volynets, Yu Mankelevich
article
Plasma Sources Science and Technology, 2023, 32 (9), pp.095016. ⟨10.1088/1361-6595/acf956⟩
identifiant
hal-04217064
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https://hal.science/hal-04217064/file/Manuscript_O3_Revised%20September%202023.pdf BibTex

Conference papers

titre
Improving our understanding of plasma-surface interactions through in-situ measurements
auteur
Jean-Paul Booth
article
Dry Process Symposium, Nov 2023, Nagoya, Japan
identifiant
hal-04397985
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titre
Probing surface reactivity in plasmas- is it valid to use a constant reaction probability model?
auteur
Jean-Paul Booth
article
GEC Gaseous Electronics Conference, American Physical Society, Oct 2023, Ann Arbor, MI, USA, United States
identifiant
hal-04398014
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2022

Journal articles

titre
Foundations of plasma surface functionalization of polymers for industrial and biological applications
auteur
Jean-Paul Booth, Miran Mozetič, Anton Nikiforov, Christian Oehr
article
Plasma Sources Science and Technology, 2022, 31 (10), pp.103001. ⟨10.1088/1361-6595/ac70f9⟩
identifiant
hal-03822222
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https://hal.science/hal-03822222/file/Booth_2022_Plasma_Sources_Sci._Technol._31_103001.pdf BibTex
titre
Quenching of O2(b1Σg+) by O(3P) atoms. Effect of gas temperature
auteur
Jean-Paul Booth, A Chatterjee, O Guaitella, D Lopaev, S Zyryanov, A Volynets, T Rakhimova, D Voloshin, A Chukalovsky, Yu. Mankelevich, V Guerra
article
Plasma Sources Science and Technology, 2022, 31 (6), pp.065012. ⟨10.1088/1361-6595/ac7749⟩
identifiant
hal-03721576
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https://hal.science/hal-03721576/file/O2b_paper%20%281%29.pdf BibTex

Conference papers

titre
What We Still Don't Know About Plasmas in Simple Diatomic Gases- or Using a DC Plasma in Pure O2 as an Ideal Test-Bed for Experimental Validation of Simulations
auteur
Jean-Paul Booth
article
AVS Symposium, Nov 2022, Pittsburgh, PA, United States
identifiant
hal-04398035
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2021

Journal articles

titre
Chemical kinetics and density measurements of OH in an atmospheric pressure He + O2 + H2O radiofrequency plasma
auteur
Alexandra Brisset, Andrew Gibson, Sandra Schröter, Kari Niemi, Jean-Paul Booth, Timo Gans, Deborah O'Connell, Erik Wagenaars
article
Journal of Physics D: Applied Physics, 2021, 54 (28), pp.285201. ⟨10.1088/1361-6463/abefec⟩
identifiant
hal-03200547
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https://hal.science/hal-03200547/file/Brisset%2Bet%2Bal_2021_J._Phys._D%20_Appl._Phys._10.1088_1361-6463_abefec.pdf BibTex

Conference papers

titre
A new look at oxygen plasmas : Quantitative VUV and IR absorption spectroscopy of reactive intermediates
auteur
Jean-Paul Booth
article
JSM -Journees de Spectroscopie Moleculaire, Universite de Rennes/ Societe Francaise de Physique, Jun 2021, Rennes, France
identifiant
hal-04398064
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titre
Laser Cavity Ringdown Spectroscopy of Oxygen Plasmas: Direct Measurement of the Densities of Oxygen Atoms, Ozone and Negative Ions and Gas Temperature
auteur
Jean-Paul Booth
article
Online Low Temperature Plasma Seminar, May 2021, On line, United States
identifiant
hal-03317442
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titre
Filling the Gaps in Our Understanding of Plasmas in Simple Diatomic Gases- Combining a DC Plasma in Pure O2 with Multiple Advanced Diagnostics for Experimental Validation of Simulations
auteur
Jean-Paul Booth
article
IS Plasma, University of Nagoya, Mar 2021, Nagoya (on line), Japan
identifiant
hal-04398109
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titre
Filling the Gaps in Our Understanding of Plasmas in Simple Diatomic Gases-Combining a DC Plasma in Pure O2 with Multiple Advanced Diagnostics for Experimental Validation of Simulations
auteur
Jean-Paul Booth, A Chatterjee, O Guaitella, D Lopaev, S Zyryanov, T Rakhimova, D Voloshin, N De Oliveira, L Nahon
article
IS Plasma 2021, Mar 2021, Nagoya, Japan
identifiant
hal-03317344
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https://hal.science/hal-03317344/file/%5BKS_INV%5D%20ISPlasma2021_Invited_Abstract_Booth.pdf BibTex

2020

Journal articles

titre
Fast quenching of metastable O2 (a 1Δg ) and O2 (b 1Σg+ ) molecules by O( 3P) atoms at high temperature
auteur
Andrey Vladimirovich Volynets, Dmitry Lopaev, T Rakhimova, O Proshina, Alexander Chukalovsky, Jean-Paul Booth
article
Plasma Sources Science and Technology, 2020, ⟨10.1088/1361-6595/abbf92⟩
identifiant
hal-02966916
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https://hal.science/hal-02966916/file/Volynets%2Bet%2Bal_2020_Plasma_Sources_Sci._Technol._10.1088_1361-6595_abbf92.pdf BibTex
titre
Determination of absolute O(3P) and O2(a1Δg) densities and kinetics in fully modulated O2 dc glow discharges from the O2(X3Σg-) afterglow recovery dynamics
auteur
Jean-Paul Booth, Abhyuday Chatterjee, Olivier Guaitella, Joao Santos Sousa, Dmitry Lopaev, S Zyryanov, T Rakhimova, D Voloshin, Yu Mankelevich, Nelson de Oliveira, Laurent Nahon
article
Plasma Sources Science and Technology, 2020, 29, pp.115009. ⟨10.1088/1361-6595/abb5e7⟩
identifiant
hal-02933186
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https://hal.science/hal-02933186/file/O2_VUV_revised%20August%202020.pdf BibTex
titre
Rydberg spectra of singlet metastable states of O2
auteur
C. Western, Jean-Paul Booth, A. Chatterjee, N. de Oliveira
article
Molecular Physics, 2020, pp.e1741714. ⟨10.1080/00268976.2020.1741714⟩
identifiant
hal-02544881
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https://hal.science/hal-02544881/file/O2AcceptedManuscript.pdf BibTex

Conference papers

titre
Experimental and numerical investigation of an iodine plasma
auteur
Florian Marmuse, Benjamin Esteves, Cyril Drag, Jean-Paul Booth, Anne Bourdon, Pascal Chabert
article
73rd Annual Gaseous Electronics Virtual Conference, Oct 2020, Virtual, United States
identifiant
hal-03322751
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titre
Tailoring OH and O production in an atmospheric-pressure plasma in Helium with O2 and H2O admixtures
auteur
Erik Wagenaars, Alexandra Brisset, Sandra Schröter, Kari Niemi, Deborah O'Connell, Jean-Paul Booth, Andrew Gibson
article
GEC2020 Meeting of The American Physical Society, Oct 2020, San Diego, United States
identifiant
hal-03017258
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titre
A NEW LOOK AT OXYGEN PLASMAS -QUANTITATIVE SPECTROSCOPY FOR RIGOROUS TESTING OF MODELS
auteur
Jean-Paul Booth, Abhyuday Chatterjee, Olivier Guaitella, Dmitry Lopaev, Sergey Zyryanov, Tatyana Rakhimova, Dmitry Voloshin, Nelson de Oliveira, Laurent Nahon
article
International Symposium on the Physics of Ionized Gases, Aug 2020, Sabac, Serbia
identifiant
hal-03017283
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titre
A new look at Oxygen Plasmas – Quantitative Spectroscopy for rigorous testing of models
auteur
Jean-Paul Booth
article
SPIG - Symposium on Physics of Ionised Gases, Aug 2020, Sabac, Serbia. pp.1
identifiant
hal-04398151
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2019

Journal articles

titre
Oxygen atom kinetics in CO2 plasmas ignited in a DC glow discharge
auteur
A. S Morillo-Candas, Cyril Drag, Jean-Paul Booth, T. C Dias, V. Guerra, Olivier Guaitella
article
Plasma Sources Science and Technology, 2019, 28 (7), pp.075010. ⟨10.1088/1361-6595/ab2b84⟩
identifiant
hal-02272107
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https://hal.science/hal-02272107/file/paperOatom%20ASM.pdf BibTex
titre
Experimental demonstration of multifrequency impedance matching for tailored voltage waveform plasmas
auteur
Junkang Wang, Sébastien Diné, Jean-Paul Booth, Erik Johnson
article
Journal of Vacuum Science & Technology A, 2019, 37 (2), pp.021303. ⟨10.1116/1.5056205⟩
identifiant
hal-02081466
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https://hal.sorbonne-universite.fr/hal-02081466/file/1.5056205.pdf BibTex
titre
Oxygen (3P) atom recombination on a Pyrex surface in an O2 plasma
auteur
Jean-Paul Booth, Olivier Guaitella, Abhyuday Chatterjee, Cyril Drag, V. Guerra, Dmitry Lopaev, Sergey Zyryanov, Tatyana Rakhimova, Dmitry Voloshin, Y. Mankelevich
article
Plasma Sources Science and Technology, 2019, 28 (5), pp.055005. ⟨10.1088/1361-6595/ab13e8⟩
identifiant
hal-02272108
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https://hal.science/hal-02272108/file/O-ATOM-LOSS_Feb%20JPB%20final.pdf BibTex

Conference papers

titre
Optical and electrical diagnostics in an iodine plasma
auteur
Florian Marmuse, Romain Lucken, Cyril Drag, Jean-Paul Booth, Anne Bourdon, Pascal Chabert, Ane Aanesland
article
36th International Electric Propulsion Conference (IEPC 2019), Sep 2019, Vienne, Austria
identifiant
hal-02341690
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https://hal.science/hal-02341690/file/IEPC2019-Marmuse_lucken-JPB.pdf BibTex
titre
63rd Course of the International School of Quantum Electronics
auteur
Olivier Guaitella, Ana-Sofia Morillo-Candas, Cyril Drag, Jean-Paul Booth, Bart Klarenaar, Richard Engeln, Tiago Dias, P. Ogloblina, Marija Grofulovic, Tiago Silva, V. Guerra
article
Diagnostics to study vibrational excitation kinetics of CO2, Sep 2019, Erice, Italy
identifiant
hal-02371062
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titre
Experimental Demonstration of Multifrequency Matching for Tailored Voltage Waveform Plasma Excitation
auteur
Sebastien Dine, Jean-Paul Booth, E.V. Johnson, Junkang Wang
article
International Conference on Phenomena in Ionised Gases, Jul 2019, Hokkaido, Japan
identifiant
hal-02341689
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titre
XXXIV ICPIG & ICRP-10
auteur
Olivier Guaitella, Ana-Sofia Morillo-Candas, Tiago Dias, Edmond Baratte, P. Ogloblina, Tiago Silva, Jean-Paul Booth, Bart Klarenaar, Richard Engeln, V. Guerra
article
Influence of surfaces in the kinetic of CO2 plasma, Jul 2019, Sapporo, Hokkaido, Japan
identifiant
hal-02371063
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titre
A Comprehensive Diagnostic Study of a DC Positive Column in O2: a test-bed for models of plasmas in a diatomic gas
auteur
Jean-Paul Booth
article
CESPC-Central European Symposium on Plasma Chemistry, May 2019, Gozd Martuljek, Slovenia
identifiant
hal-04398185
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titre
A comprehensive diagnostic study of a DC positive column in O2: a test-bed for models of plasmas in a diatomic gas
auteur
Jean-Paul Booth, Abhyuday Chatterjee, Olivier Guaitella, N. de Oliveira, L. Nahon, Dmitry Lopaev, Sergey Zyryanov, Dmitry Voloshin, Tatyana Rakhimova
article
7th International Conference on Advanced Plasma Technologies, May 2019, Gozd Martuljek, Slovenia
identifiant
hal-02341781
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titre
A comprehensive diagnostic study of a DC positive column in O2: a test-bed for models of plasmas in a diatomic gas
auteur
Jean-Paul Booth, Abhyuday Chatterjee, Olivier Guaitella, Cyril Drag, N. de Oliveira, L. Nahon, Dmitry Lopaev, Sergey Zyryanov, Dmitry Voloshin, Tatyana Rakhimova
article
Frontiers in low Temperature plasma simulation, May 2019, Bad Honnef, Germany
identifiant
hal-02341779
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titre
A Comprehensive Diagnostic Study of a DC Positive Column in O2: a test-bed for models of plasmas in a diatomic gas
auteur
Jean-Paul Booth
article
Frontiers in low Temperature plasma simulation, May 2019, Bad Honnef (Germany), Germany
identifiant
hal-04398198
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titre
Vacuum ultraviolet absorption spectroscopy of oxygen discharges
auteur
Jean-Paul Booth
article
3rd European Conference on Plasma Diagnostics, European Physical Society, May 2019, Lisbon (Portugal), Portugal
identifiant
hal-04398219
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titre
Vacuum ultraviolet absorption spectroscopy of oxygen discharges
auteur
Jean-Paul Booth
article
3rd European Conference on Plasma Diagnostics, May 2019, Lisbon, Portugal
identifiant
hal-02341780
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titre
Novel diagnostics to unravel fundamental processes in oxygen plasmas
auteur
Jean-Paul Booth
article
ICAPT-7 : 7th International Conference on Advanced Plasma Technologies, Plasmadis, Feb 2019, Hue, Vietnam
identifiant
hal-04398232
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titre
Novel diagnostics to unravel fundamental processes in oxygen plasmas
auteur
Jean-Paul Booth, Abhyuday Chatterjee, Olivier Guaitella, Cyril Drag, Dmitry Lopaev, Sergey Zyryanov, Tatyana Rakhimova, N. de Oliveira, L. Nahon, Colin Western
article
7th International Conference on Advanced Plasma Technologies, Feb 2019, Hue, Vietnam
identifiant
hal-02341778
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Poster communications

titre
Experimental determination of cross-sections/reaction rates: Methods and difficulties
auteur
Jean-Paul Booth
article
Rencontres scientifiques plasmas froids et lasers, Nov 2019, Toulouse, France. 2019
identifiant
hal-02861165
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titre
Iodine as propellant for electric propulsion: updated global model and comparisons to experiments
auteur
Florian Marmuse, Romain Lucken, Cyril Drag, Jean-Paul Booth, Anne Bourdon, N. Sisourat, Ane Aanesland, Pascal Chabert
article
International Symposium on Plasma Chemistry, Jun 2019, Naples, Italy. 2019
identifiant
hal-02341688
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titre
Oxygen 3P atom and O- ion density and atomic temperature in O2 DC discharge obtained by Cavity Ringdown spectroscopy
auteur
Abhyuday Chatterjee, Jean-Paul Booth, Olivier Guaitella, Cyril Drag, Katherine Manfred, Grant Ricthie
article
International Symposium on Plasma Chemistry, Jun 2019, Naples, Italy. 2019
identifiant
hal-02861162
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titre
Kinetics of active species in a DC discharge by synchrotron VUV absorption
auteur
Jean-Paul Booth, Abhyuday Chatterjee, Olivier Guaitella, J. Santos-Sousa, N. de Oliveira, Laurent Nahon, Dmitry Lopaev, Sergey Zyryanov, Tatyana Rakhimova
article
International Symposium on Plasma Chemistry, Jun 2019, Naples, Italy. 2019
identifiant
hal-02865808
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BibTex
titre
Vacuum ultraviolet absorption spectroscopy of oxygen discharges
auteur
Jean-Paul Booth, Abhyuday Chatterjee, Olivier Guaitella, N. de Oliveira, L. Nahon, Dmitry Lopaev, S. Zyruyanov, Tatyana Rakhimova
article
Journées de la Spectroscopie Moléculaire, May 2019, Creteil, France. 2019
identifiant
hal-02861164
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BibTex
titre
Oxygen 3P atom density and temperature determined by Cavity Ringdown spectroscopy of the forbidden 1D2 <-3P2 transition
auteur
Jean-Paul Booth, Abhyuday Chatterjee, Olivier Guaitella, Cyril Drag, Katherine Manfred, Grant Ritchie
article
Frontiers in Low Temperature Plasma Diagnostics, May 2019, Bad Honnef, Germany. 2019
identifiant
hal-02861161
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2018

Journal articles

titre
Chemical kinetics in an atmospheric pressure helium plasma containing humidity
auteur
Sandra Schröter, Apiwat Wijaikhum, Andrew Gibson, Andrew West, Helen Davies, Nicolas Minesi, James Dedrick, Erik Wagenaars, Nelson de Oliveira, Laurent Nahon, Mark Kushner, Jean-Paul Booth, Kari Niemi, Timo Gans, Deborah O'Connell
article
Physical Chemistry Chemical Physics, 2018, 20 (37), pp.24263-24286. ⟨10.1039/c8cp02473a⟩
identifiant
hal-02266591
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https://hal.science/hal-02266591/file/c8cp02473a.pdf BibTex
titre
Effect of frequency on the uniformity of symmetrical RF CCP discharges
auteur
Yue Liu, Jean-Paul Booth, Pascal Chabert
article
Plasma Sources Science and Technology, 2018, 27 (5), pp.055012. ⟨10.1088/1361-6595/aabfb4⟩
identifiant
hal-01895562
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BibTex
titre
Kinetics of highly vibrationally excited O2 (X) molecules in inductively-coupled oxygen plasmas
auteur
Adriana Annusova, Daniil Marinov, Jean-Paul Booth, Nishant Sirse, Mrio Lino Da Silva, B. Lopez, V. Guerra
article
Plasma Sources Science and Technology, 2018, 27 (4), pp.045006. ⟨10.1088/1361-6595/aab47d⟩
identifiant
hal-01895558
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BibTex
titre
Experimental benchmark of kinetic simulations of capacitively coupled plasmas in molecular gases
auteur
Z. Donkó, A. Derzsi, Ihor Korolov, P. Hartmann, S. Brandt, J. Schulze, B. Berger, M. Koepke, Bastien Bruneau, Erik Johnson, Trevor Lafleur, Jean-Paul Booth, Andrew Gibson, D. O'Connell, T. Gans
article
Plasma Physics and Controlled Fusion, 2018, 60 (1), pp.014010. ⟨10.1088/1361-6587/aa8378⟩
identifiant
hal-01895567
Accès au bibtex
BibTex
titre
Multi frequency matching for voltage waveform tailoring
auteur
Frederik Schmidt, J. Schulze, Erik Johnson, Jean-Paul Booth, D. Keil, David M French, Jan Trieschmann, Thomas Mussenbrock
article
Plasma Sources Science and Technology, 2018, 27 (9), pp.095012. ⟨10.1088/1361-6595/aad2cd⟩
identifiant
hal-02271985
Accès au bibtex
BibTex
titre
Calculated electron impact dissociation cross sections for molecular chlorine (Cl 2 )
auteur
James R. Hamilton, Jonathan Tennyson, Jean-Paul Booth, Timo Gans, Andrew Gibson
article
Plasma Sources Science and Technology, 2018, 27 (9), pp.095008. ⟨10.1088/1361-6595/aada32⟩
identifiant
hal-01890202
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https://hal.sorbonne-universite.fr/hal-01890202/file/Hamilton_2018_Plasma_Sources_Sci._Technol._27_095008.pdf BibTex
titre
Plasma non-uniformity in a symmetric radiofrequency capacitively-coupled reactor with dielectric side-wall: a two dimensional particle-in-cell/Monte Carlo collision simulation
auteur
Yue Liu, Jean-Paul Booth, Pascal Chabert
article
Plasma Sources Science and Technology, 2018, 27 (2), pp.025006. ⟨10.1088/1361-6595/aaa86e⟩
identifiant
hal-01895556
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BibTex

Conference papers

titre
Oxygen metastable molecule densities in inductively-coupled plasmas in pure O2 measured by VUV absorption
auteur
Jean-Paul Booth, Abhyuday Chatterjee, Olivier Guaitella, N. de Oliveira, L. Nahon, Colin Western
article
71st Annual Gaseous Electronics Conference, Nov 2018, Portland, Oregon, United States
identifiant
hal-02342229
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BibTex
titre
Diagnostics of plasma neutral species in a very high frequency oxygen plasma with high sensitivity broadband absorption spectroscopy
auteur
J. Zhao, Peter L G Ventzek, Barton Lane, Toshihiko Iwao, Kiyotaka Ishibashi, Jean-Paul Booth
article
AVS Symposium, Oct 2018, Long Beach, California, United States
identifiant
hal-02342227
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BibTex
titre
Vacuum ultraviolet absorption spectroscopy of oxygen discharges
auteur
Jean-Paul Booth, Abhyuday Chatterjee, Olivier Guaitella, N. de Oliveira, L. Nahon, Dmitry Lopaev, Sergey Zyryanov, Colin Western
article
The 8th International Workshop on Plasma Spectroscopy, Sep 2018, Oxford, United Kingdom
identifiant
hal-02342224
Accès au bibtex
BibTex
titre
Comparison of gas temperature measurements with Raman, FTIR and HR-TALIF
auteur
Ana-Sofia Morillo-Candas, Bart Klarenaar, Marija Grofulovic, Cyril Drag, Jean-Paul Booth, V. Guerra, Olivier Guaitella
article
ESCAMPIG XXIV, Jul 2018, Glasgow, Scotland, United Kingdom
identifiant
hal-02342225
Accès au bibtex
BibTex
titre
Effect of high surface-area on CO2 plasma kinetics
auteur
Ana-Sofia Morillo-Candas, C. Goncalves, Bart Klarenaar, Jean-Paul Booth, Cyril Drag, V. Guerra, Olivier Guaitella
article
ESCAMPIG XXIV, Jul 2018, Glasgow, Scotland, United Kingdom
identifiant
hal-02342226
Accès au bibtex
BibTex
titre
High-resolution VUV absorption diagnostics of discharges in oxygen
auteur
Jean-Paul Booth
article
GEM XX : 10th Gaseous Electronic Meeting, Jun 2018, Magnetic Island, Townsville, Queensland, Australia
identifiant
hal-04398249
Accès au bibtex
BibTex
titre
High−resolution VUV absorption diagnostics of discharges in oxygen
auteur
Jean-Paul Booth, Abhyuday Chatterjee, Olivier Guaitella, N. de Oliveira, L. Nahon, Colin Western
article
20th Gaseous Electronics Meeting, Jun 2018, Magnetic Island, Townsville, Queensland, Australia
identifiant
hal-02341777
Accès au bibtex
BibTex
titre
Multi-species experimental validation of plasma chemistry models at atmospheric pressure
auteur
Sandra Schröter, A. Wijiakaum, Andrew Gibson, Jérôme Bredin, K. Niemi, A. West, Y. Gorbanev, H. Davies, Nicolas Minesi, N. de Oliveira, L. Nahon, J. Dedrick, Jean-Paul Booth, V. Chechik, M.J. Kushner, E. Wagenaars, T. Gans, D. O'Connell
article
Frontiers in Low temperature Plasma Simulation, May 2018, Dublin, Ireland
identifiant
hal-02342228
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Poster communications

titre
Spectroscopic study of an iodine plasma in a low pressure RF-ICP ion source
auteur
Florian Marmuse, Theo Courtois, Jean-Paul Booth, Cyril Drag, Ane Aanesland, Pascal Chabert
article
71st Annual Gaseous Electronics Conference, Nov 2018, Portland, Oregon, United States. 2018
identifiant
hal-02864740
Accès au bibtex
BibTex
titre
Density of metastable O2(b 1 Sigma g+) molecules in an O2 DC discharge measured by vacuum ultraviolet absorption and optical emission spectroscopy
auteur
Jean-Paul Booth, Olivier Guaitella, Abhyuday Chatterjee, Dmitry Lopaev, Sergey Zyryanov, Tatyana Rakhimova, Dmitry Voloshin, Y. Mankelevich, N. de Oliveira, L. Nahon, Colin Western
article
71st Annual Gaseous Electronics Conference, Nov 2018, Portland, Oregon, United States. 2018
identifiant
hal-02864739
Accès au bibtex
BibTex
titre
O2 X, a and b densities and kinetics in pure O2 DC discharges: VUV absorption, IR emission and Cavity Ring Down Spectroscopy measurements
auteur
Abhyuday Chatterjee, Jean-Paul Booth, Olivier Guaitella, N. de Oliveira, L. Nahon, Colin Western, Michele Gianella, Sioned Press, Dmitry Lopaev, Sergey Zyryanov
article
ESCAMPIG XXIV, Jul 2018, Glasgow, Scotland, United Kingdom. 2018
identifiant
hal-02864738
Accès au bibtex
BibTex
titre
Oxygen metastable molecule densities in inductively-coupled plasmas in pure O2 measured by VUV absorption
auteur
Jean-Paul Booth, Abhyuday Chatterjee, Olivier Guaitella, N. de Oliveira, L. Nahon, Colin Western
article
ESCAMPIG XXIV, Jul 2018, Glasgow, Scotland, United Kingdom. 2018
identifiant
hal-02864750
Accès au bibtex
BibTex
titre
Temperature and density measurements in an iodine RF-CCP plasma with emission and absorption spectroscopy
auteur
Florian Marmuse, Cyril Drag, Jean-Paul Booth, Ane Aanesland
article
ESCAMPIG XXIV, Jul 2018, Glasgow, Scotland, United Kingdom. 2018
identifiant
hal-02341678
Accès au bibtex
BibTex

2017

Journal articles

titre
The role of thermal energy accommodation and atomic recombination probabilities in low pressure oxygen plasmas
auteur
Andrew Gibson, Mickaël Foucher, Daniil Marinov, Pascal Chabert, T. Gans, M.J. Kushner, Jean-Paul Booth
article
Plasma Physics and Controlled Fusion, 2017, 59 (2), pp.024004. ⟨10.1088/1361-6587/59/2/024004⟩
identifiant
hal-01895577
Accès au bibtex
BibTex
titre
QDB: a new database of plasma chemistries and reactions
auteur
Jonathan Tennyson, Sara Rahimi, Christian Hill, Lisa Tse, Anuradha Vibhakar, Dolica Akello-Egwel, Daniel B Brown, Anna Dzarasova, James R Hamilton, Dagmar Jaksch, Sebastian Mohr, Keir Wren-Little, Johannes Bruckmeier, Ankur Agarwal, Klaus Bartschat, Annemie Annemie Bogaerts, Jean-Paul Booth, Matthew J Goeckner, Khaled Hassouni, Yukikazu Itikawa, Bastiaan J Braams, E. Krishnakumar, Annarita Laricchiuta, Nigel J Mason, Sumeet Pandey, Zoran Lj Petrovic, Yi-Kang Pu, Alok Ranjan, S. Rauf, J. Schulze, M.M. Turner, Peter Ventzek, J.C. Whitehead, Jung-Sik Yoon
article
Plasma Sources Science and Technology, 2017, 26 (5), pp.055014. ⟨10.1088/1361-6595/aa6669⟩
identifiant
hal-01895568
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https://arxiv.org/pdf/1704.04088 BibTex
titre
Capacitively coupled hydrogen plasmas sustained by tailored voltage waveforms: vibrational kinetics and negative ions control
auteur
P. Diomede, Bastien Bruneau, S. Longo, E.V. Johnson, Jean-Paul Booth
article
Plasma Sources Science and Technology, 2017, 26 (7), pp.075007. ⟨10.1088/1361-6595/aa752c⟩
identifiant
hal-01895582
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titre
Power coupling mode transitions induced by tailored voltage waveforms in capacitive oxygen discharges
auteur
A. Derzsi, Bastien Bruneau, Andrew Gibson, Erik Johnson, D. O'Connell, T. Gans, Jean-Paul Booth, Zoltan Donko
article
Plasma Sources Science and Technology, 2017, 26 (3), pp.034002. ⟨10.1088/1361-6595/aa56d6⟩
identifiant
hal-01895575
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titre
Measurement of the isotope shift of the 2p4 -> 2p33p 3P2 two-photon transition of O I and a revision of the triplet energy levels of atomic oxygen
auteur
Daniil Marinov, Jean-Paul Booth, Cyril Drag, Christophe Blondel
article
Journal of Physics B: Atomic, Molecular and Optical Physics, 2017, 50 (6), pp.065003. ⟨10.1088/1361-6455/aa5a88⟩
identifiant
hal-01895572
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titre
Controlled production of atomic oxygen and nitrogen in a pulsed radio-frequency atmospheric-pressure plasma
auteur
J. Dedrick, Sandra Schröter, K. Niemi, A. Wijaikhum, E. Wagenaars, N De Oliveira, L. Nahon, Jean-Paul Booth, D. O'Connell, T. Gans
article
Journal of Physics D: Applied Physics, 2017, 50 (45), pp.455204. ⟨10.1088/1361-6463/aa8da2⟩
identifiant
hal-01895585
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Conference papers

titre
Kinetics of atoms and metastable molecules in oxygen plasmas revisited: an experimental study
auteur
Jean-Paul Booth, Abhyuday Chatterjee, Olivier Guaitella, Ana-Sofia Morillo-Candas, Cyril Drag, Dmitry Lopaev, Sergey Zyryanov, N. de Oliveira, Laurent Nahon
article
10th EU-Japan Joint Symposium on Plasma Processing, Dec 2017, Okinawa, Japan
identifiant
hal-02573372
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titre
High resolution Two-photon Absorption Laser-Induced Fluorescence (TALIF) with a single-mode nanosecond Ti:Sapphire laser
auteur
Ana-Sofia Morillo-Candas, Pierre Lottigier, Cyril Drag, Christophe Blondel, Jean-Paul Booth, Olivier Guaitella
article
18th, Laser Aided Plasma Diagnostics, Sep 2017, Prague, Czech Republic, Unknown Region
identifiant
hal-02593711
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titre
The role of translational and vibrational energy in processing plasmas: novel optical diagnostics of low-pressure Cl2 and O2 inductively-coupled plasmas
auteur
Jean-Paul Booth
article
1st Asia-Pacific Conference on Plasma Physics, Sep 2017, Chengdu, China
identifiant
hal-02573371
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titre
Kinetics of metastable states and atoms in DC discharges in pure O2: An experimental study
auteur
Jean-Paul Booth, Abhyuday Chatterjee, Olivier Guaitella, N. de Oliveira, L. Nahon, Colin Western, Sergey Zyryanov, Dmitry Lopaev
article
23rd International Symposium on Plasma Chemistry, Jul 2017, Montréal, Canada
identifiant
hal-02593710
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titre
O atom kinetics in CO2 pulsed glow discharges
auteur
Ana-Sofia Morillo-Candas, Bart Klarenaar, Richard Engeln, Abhyuday Chatterjee, Jean-Paul Booth, Tiago Silva, V. Guerra, Olivier Guaitella
article
XXXIII ICPIG- International Conference on Phenomena in Ionised Gases, Jul 2017, Estoril/Lisbon, Portugal
identifiant
hal-02593709
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titre
Single-mode nanosecond Ti: Sapphire laser for high resolution Two-photon Absorption Laser Induced-Fluorescence (TALIF)
auteur
Daniil Marinov, Christophe Blondel, Jean-Paul Booth, Olivier Guaitella, Pierre Lottigier, Cyril Drag
article
2017 European Conference on Lasers and Electro-Optics and European Quantum Electronics Conference, Jun 2017, Munich, Germany. Paper# CH_3_3
identifiant
hal-02588053
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titre
New methods to determine density, temperature and thermal accommodation coefficient of oxygen atoms
auteur
Jean-Paul Booth, Abhyuday Chatterjee, Olivier Guaitella, Andrew Gibson, Cyril Drag, Nelson d'Oliveira, Laurent Nahon
article
International Workshop on Radio-frequency Plasmas, May 2017, Presqu ile de Giens, France
identifiant
hal-02593706
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titre
2 Dimensional PIC/MCC simulations of RF CCPs with dielectric side wall: non-uniformity in electron heating
auteur
Yue Liu, Jean-Paul Booth, Pascal Chabert
article
International Workshop on Radio-Frequency Plasmas, May 2017, Presqu’ile de Giens, France
identifiant
hal-02593707
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titre
Probing mechanisms in low-temperature reactive gas plasmas: towards improved models of industrial plasma etch processes
auteur
Jean-Paul Booth
article
2nd European Conference on Plasma Diagnostics, Apr 2017, Bordeaux, France
identifiant
hal-02573369
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titre
Vibrational excitation and temperature evolution in a pulsed CO2 discharge
auteur
Olivier Guaitella, Ana-Sofia Morillo-Candas, David Yap, Cyril Drag, Jean-Paul Booth, Bart Klarenaar, Richard Engeln, Marija Grofulovic, Tiago Silva, V. Guerra
article
70th Annuel Gaseous Electronics Conference (GEC 2017), 2017, Pittsburgh, Pennsylvania, United States
identifiant
hal-02592107
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Poster communications

titre
Kinetics of metastable states and atoms in DC discharges in pure O2: an experimental study
auteur
Jean-Paul Booth, Abhyuday Chatterjee, Olivier Guaitella, N. de Oliveira, Laurent Nahon, Colin Western, Sergey Zyryanov, Dmitry Lopaev
article
REACPLAS Workshop (reactivity, Plasmas, Astrophysics), Nov 2017, Orsay, France. 2017
identifiant
hal-02611361
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titre
Kinetics of Metastable Molecules and O atoms in O2 Plasmas
auteur
Abhyuday Chatterjee, Jean-Paul Booth, Olivier Guaitella, Ana-Sofia Morillo-Candas, Cyril Drag, L. Nahon, N. de Oliveira, Sergey Zyryanov, Dmitry Lopaev
article
Masterclass "New approaches for plasma/surface interaction studies", Oct 2017, Bad Honnef, Germany. 2017
identifiant
hal-02611360
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titre
Iodine atom detection in a plasma thruster by infrared diode laser absorption
auteur
Jean-Paul Booth, Theo Courtois
article
18th, Laser Aided Plasma Diagnostics, Sep 2017, Prague, Czech Republic, Unknown Region. 2017
identifiant
hal-02611358
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titre
Species-dependent thermal energy accommodation in low-pressure plasmas
auteur
Andrew Gibson, T. Gans, M.J. Kushner, Jean-Paul Booth
article
23rd International Symposium on Plasma Chemistry, Jul 2017, Montréal, Canada. 2017
identifiant
hal-02611357
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titre
Metastable Molecules in O2 Plasmas probed by High Resolution Fourier Transform Absorption Spectroscopy
auteur
Abhyuday Chatterjee, Jean-Paul Booth, Olivier Guaitella, L. Nahon, Nelson d'Oliveira, Colin Western
article
XXXIII ICPIG- International Conference on Phenomena in Ionised Gases, Jul 2017, Estoril/Lisbon, Portugal. 2017
identifiant
hal-02611353
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titre
O2 dissociation in plasmas and problems of the O2 cross section set
auteur
Jean-Paul Booth, Olivier Guaitella, Abhyuday Chatterjee, Sergey Zyryanov, Dmitry Lopaev, Dmitry Voloshin, Tatyana Rakhimova
article
XXXIII ICPIG- International Conference on Phenomena in Ionised Gases, Jul 2017, Estoril/Lisbon, Portugal. 2017
identifiant
hal-02611355
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titre
Control of charged species dynamics in atmospheric pressure plasmas using tailored voltage waveforms
auteur
Andrew Gibson, L. Alelyani, S. Doyle, Jérôme Bredin, Jean-Paul Booth, J. Dedrick, D. O'Connell, T. Gans
article
XXXIII ICPIG- International Conference on Phenomena in Ionised Gases, Jul 2017, Estoril/Lisbon, Portugal. 2017
identifiant
hal-02611352
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titre
Experimental Benchmarks and sensitivity analysis of PIC/MC simulations of oxygen CCP's
auteur
Z. Donko, Aranka Derszi, Bastien Bruneau, Andrew Gibson, E.V. Johnson, D. O'Connell, T. Gans, Jean-Paul Booth, J. Schulze
article
International Workshop on Radio-Frequency Plasmas, May 2017, Presqu'île de Giens, France. 2017
identifiant
hal-02611351
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2016

Journal articles

titre
High sensitivity ultra-broad-band absorption spectroscopy of inductively coupled chlorine plasma
auteur
Daniil Marinov, Mickaël Foucher, Ewen Campbell, Mark Brouard, Pascal Chabert, Jean-Paul Booth
article
Plasma Sources Science and Technology, 2016, 25 (3), pp.035019 ⟨10.1088/0963-0252/25/3/035019⟩
identifiant
hal-01346016
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https://hal.sorbonne-universite.fr/hal-01346016/file/Marinov_2016_High_sensitivity.pdf BibTex
titre
Tailored voltage waveform capacitively coupled plasmas in electronegative gases: frequency dependence of asymmetry effects
auteur
E. Schüngel, Ihor Korolov, Bastien Bruneau, A. Derzsi, E.V. Johnson, D. O'Connell, T. Gans, Jean-Paul Booth, Z. Donkó, J. Schulze
article
Journal of Physics D: Applied Physics, 2016, 49 (26), pp.265203. ⟨10.1088/0022-3727/49/26/265203⟩
identifiant
hal-01549338
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titre
Experimental and simulation study of a capacitively coupled oxygen discharge driven by tailored voltage waveforms
auteur
A. Derzsi, Trevor Lafleur, Jean-Paul Booth, Ihor Korolov, Zoltan Donko
article
Plasma Sources Science and Technology, 2016, 25 (1), pp.015004. ⟨10.1088/0963-0252/25/1/015004⟩
identifiant
hal-01549577
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titre
Electron power absorption dynamics in capacitive radio frequency discharges driven by tailored voltage waveforms in CF4
auteur
S. Brandt, B. Berger, E. Schüngel, Ihor Korolov, A. Derzsi, Bastien Bruneau, E.V. Johnson, Trevor Lafleur, D. O'Connell, M. Koepke, T. Gans, Jean-Paul Booth, Z. Donkó, J. Schulze
article
Plasma Sources Science and Technology, 2016, 25 (4), pp.045015. ⟨10.1088/0963-0252/25/4/045015⟩
identifiant
hal-01549325
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titre
Slope and amplitude asymmetry effects on low frequency capacitively coupled carbon tetrafluoride plasmas
auteur
Bastien Bruneau, Ihor Korolov, Trevor Lafleur, T. Gans, D. O'Connell, Arthur Greb, A. Derzsi, Z. Donkó, S. Brandt, E. Schüngel, J. Schulze, Erik Johnson, Jean-Paul Booth
article
Journal of Applied Physics, 2016, 119 (16), pp.163301. ⟨10.1063/1.4947453⟩
identifiant
hal-01549329
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titre
Pressure broadening of atomic oxygen two-photon absorption laser induced fluorescence
auteur
Daniil Marinov, Cyril Drag, Christophe Blondel, Olivier Guaitella, Judith Golda, Bart Klarenaar, Richard Engeln, Volker Schulz-von Der Gathen, Jean-Paul Booth
article
Plasma Sources Science and Technology, 2016, 25 (6), pp.06LT03. ⟨10.1088/0963-0252/25/6/06LT03⟩
identifiant
hal-01549339
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titre
Effect of gas properties on the dynamics of the electrical slope asymmetry effect in capacitive plasmas: comparison of Ar, H2 and CF4
auteur
Bastien Bruneau, Trevor Lafleur, T. Gans, D. O'Connell, Arthur Greb, Ihor Korolov, A. Derzsi, Z. Donkó, S. Brandt, E. Schüngel, J. Schulze, P. Diomede, D. J. Economou, S. Longo, E.V. Johnson, Jean-Paul Booth
article
Plasma Sources Science and Technology, 2016, 25 (1), pp.01LT02. ⟨10.1088/0963-0252/25/1/01LT02⟩
identifiant
hal-01549332
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titre
Controlling the shape of the ion energy distribution at constant ion flux and constant mean ion energy with tailored voltage waveforms
auteur
Bastien Bruneau, Trevor Lafleur, Jean-Paul Booth, Erik Johnson
article
Plasma Sources Science and Technology, 2016, 25 (2), pp.025006. ⟨10.1088/0963-0252/25/2/025006⟩
identifiant
hal-01549334
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titre
A computational analysis of the vibrational levels of molecular oxygen in low-pressure stationary and transient radio-frequency oxygen plasma
auteur
Efe Kemaneci, Jean-Paul Booth, Pascal Chabert, Jan van Dijk, Thomas Mussenbrock, Ralf Peter Brinkmann
article
Plasma Sources Science and Technology, 2016, 25 (2), pp.025025. ⟨10.1088/0963-0252/25/2/025025⟩
identifiant
hal-01549335
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Conference papers

titre
Multifrequency impedance matching solutions for plasma excitation by Tailored Voltage Waveforms
auteur
Erik Johnson, Sebastien Dine, Jean-Paul Booth
article
AVS Symposium, Nov 2016, Nashville, United States
identifiant
hal-02593689
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titre
Translational and Vibrational Energy in Cl2 and O2 Plasmas Probed by Innovative Optical Diagnostics
auteur
Jean-Paul Booth, Daniil Marinov, Mickaël Foucher, Olivier Guaitella, Cyril Drag, Ankur Agarwal, S. Rauf
article
AVS Symposium, Nov 2016, Nashville, United States
identifiant
hal-02573357
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titre
Charged Particle Dynamics in Technological Radio Frequency Plasmas Operated in CF4
auteur
J. Schulze, B. Berger, S. Brandt, Bastien Bruneau, Y. Liu, Ihor Korolov, A. Derzsi, E. Schuengel, M. Koepke, T. Mussenbrock, E.V. Johnson, Trevor Lafleur, Jean-Paul Booth, D. O'Connell, T. Gans, Yn Wang, Z. Donkó
article
AVS Symposium, Nov 2016, Nashville, United States
identifiant
hal-02573358
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titre
Two Dimensional Particle-in-cell/Monte Carlo (PIC/MC) Simulation of Radio Frequency Capacitively Coupled Plasmas with a Dielectric Side Wall Boundary
auteur
Yue Liu, Jean-Paul Booth, Pascal Chabert
article
GEC, Oct 2016, Bochum, Germany
identifiant
hal-02593691
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titre
Reactive species in humidity containing atmospheric pressure plasma jets − Numerical and experimental investigations
auteur
Sandra Schröter, Jérôme Bredin, A. West, J. Dedrick, K. Niemi, Andrew Gibson, Mickaël Foucher, Jean-Paul Booth, N. de Oliveira, D. Joyeux, Laurent Nahon, V. Chechik, E. Wagenaars, T. Gans, D. O'Connell
article
GEC, Oct 2016, Bochum, Germany
identifiant
hal-02593693
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titre
Vibrational excitation in O2 and Cl2 inductively-coupled plasmas and DC discharges
auteur
V. Guerra, Jean-Paul Booth, Daniil Marinov, Mickaël Foucher, Adriana Annusova
article
GEC, Oct 2016, Bochum, Germany
identifiant
hal-02593690
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titre
Gas temperature measuements by high-resolution TALIF
auteur
Jean-Paul Booth
article
Workshop on Oxygen Plasma Kinetics, Sep 2016, Reykjavik, Iceland
identifiant
hal-02593694
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titre
Dynamics of inductive plasmas in Cl2, O2 and Cl2/O2 mixtures: quantitative diagnostics and numerical modelling
auteur
Daniil Marinov, Mickaël Foucher, Andrew Gibson, Pascal Chabert, Jean-Paul Booth
article
IVC (International Vacuum Conference), Aug 2016, Busan, Korea, Unknown Region
identifiant
hal-02573356
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titre
Quantitative Diagnostics of Inductively-coupled Radiofrequency Plasmas in Cl2, O2 and mixtures
auteur
Jean-Paul Booth, Mickaël Foucher, Andrew Gibson, Daniil Marinov
article
International Symposium on Gas Kinetics and Related Phenomena, Jul 2016, York, United Kingdom
identifiant
hal-02593687
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BibTex
titre
The role of surface interaction probabilities in reactive plasma modelling
auteur
Andrew Gibson, Mickaël Foucher, Daniil Marinov, Pascal Chabert, T. Gans, V. Guerra, M.J. Kushner, Jean-Paul Booth
article
ESCAMPIG, Jul 2016, Bratislava, Slovakia
identifiant
hal-02593684
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BibTex
titre
Vibrational excitation in O2 and Cl2 inductively-coupled plasmas and DC discharges
auteur
Jean-Paul Booth, Mickaël Foucher, Daniil Marinov, Andrew Gibson, Pascal Chabert, Adriana Annusova, V. Guerra
article
ESCAMPIG Workshop on electron processes active in low temperature plasmas, Jul 2016, Bratislava, Slovakia
identifiant
hal-02573355
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titre
Plasma-surface interaction: Heterogeneous processes of atmospheric gases
auteur
Daniil Marinov, Olivier Guaitella, V. Guerra, Jean-Paul Booth, Antoine Rousseau
article
ESCAMPIG, Jul 2016, Bratislava, Slovakia
identifiant
hal-02573354
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BibTex
titre
Modelling of tailored ion energy distributions for plasma processing applications
auteur
P. Diomede, Trevor Lafleur, Jean-Paul Booth, S. Longo, D. J. Economou
article
ESCAMPIG, Jul 2016, Bratislava, Slovakia
identifiant
hal-02573353
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BibTex
titre
Charged and neutral particle dynamics in low pressure chlorine and oxygen plasmas: the role of collisional processes
auteur
Andrew Gibson, Mickaël Foucher, Daniil Marinov, Pascal Chabert, T. Gans, V. Guerra, M.J. Kushner, Jean-Paul Booth
article
EPS Plasma, Jul 2016, Leuven, Belgium
identifiant
hal-02573351
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BibTex
titre
Modelling and experimental validation of capacitively coupled plasmas in hydrogen
auteur
D. Diomede, Bastien Bruneau, Trevor Lafleur, D. J. Economou, S. Longo, T. Gans, D. O'Connell, Arthur Greb, E.V. Johnson, Jean-Paul Booth
article
EPS Plasma, Jul 2016, Leuven, Belgium
identifiant
hal-02573350
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BibTex
titre
Heating dynamics and control of energy distribution functions in capacitive discharges driven by tailored voltage waveforms
auteur
J. Schulze, B. Berger, S. Brandt, M. Koepke, T. Mussenbrock, Bastien Bruneau, Erik Johnson, Trevor Lafleur, Jean-Paul Booth, D. O'Connell, T. Gans, Ihor Korolov, A. Derzsi, Z. Donkó
article
International Conference on Plasma Physics ICPP, Jun 2016, Kaohsiung, Taiwan
identifiant
hal-02573352
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BibTex
titre
ELECTRON POWER ABSORPTION DYNAMICS AND ION ENERGY DISTRIBUTIONS IN CAPACITIVE DISCHARGES DRIVEN BY CUSTOMIZED VOLTAGE WAVEFORMS IN ARGON AND CF4
auteur
B. Berger, S. Brandt, J. Franek, E. Shuengel, M. Koepke, J. Schulze, T. Mussenbrock, Bastien Bruneau, E.V. Johnson, Trevor Lafleur, Jean-Paul Booth, D. O'Connell, T. Gans, Ihor Korolov, A. Derzsi, Z. Donkó
article
IEEE-ICOPS, Jun 2016, Banff, Canada
identifiant
hal-02593683
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titre
The importance of surface interaction probabilities in low pressure plasma simulations for process design
auteur
Andrew Gibson, Mickaël Foucher, Daniil Marinov, Pascal Chabert, T. Gans, V. Guerra, M.J. Kushner, Jean-Paul Booth
article
PESM (Plasma Etch and Strip for Microelectronics), May 2016, Grenoble, France
identifiant
hal-02593686
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Poster communications

titre
Frequency dependence of the Electrical Asymmetry Effect in electronegative capacitive RF discharges driven by Tailored Voltage Waveforms
auteur
J. Schulze, E. Schuengel, Bastien Bruneau, E.V. Johnson, Jean-Paul Booth, A. Derzsi, Z. Donko, D. O'Connell, T. Gas
article
GEC, Oct 2016, Bochum, Germany. 2016
identifiant
hal-02611341
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BibTex
titre
High-resolution TALIF measurements of atomic oxygen: determination of gas temperature and collisional broadening coefficients
auteur
Jean-Paul Booth, Daniil Marinov, Olivier Guaitella, Cyril Drag, Richard Engeln, J. Golda, V. Schultz-von Der Gathern
article
GEC (Gaseous Electronics Synposium), Oct 2016, Bochum, Germany. 2016
identifiant
hal-02611340
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BibTex
titre
Measuring atomic oxygen densities and electron properties in an Inductively Coupled Plasma for thin film deposition
auteur
D. Meehan, Andrew Gibson, Jean-Paul Booth, E. Wagenaars
article
GEC, Oct 2016, Bochum, Germany. 2016
identifiant
hal-02611342
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BibTex
titre
The role of gas kinetics and surface interaction probabilities in simulations of industrial plasma sources at low pressure
auteur
Andrew Gibson, Mickaël Foucher, Daniil Marinov, Pascal Chabert, T. Gans, V. Guerra, M.J. Kushner, Jean-Paul Booth
article
International Symposium on Gas Kinetics, Jul 2016, York, United Kingdom. 2016
identifiant
hal-02611343
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BibTex
titre
Atmospheric pressure plasmas as sources of reactive oxygen and hydrogen species for biomedical applications
auteur
Sandra Schröter, Andrew Gibson, Jérôme Bredin, A. West, A. Wijiaikum, K. Niemi, J. Dedrick, Mickaël Foucher, N. de Oliviera, D. Joyeux, L. Nahon, Jean-Paul Booth, E. Wagenaars, T. Gans, D. O'Connell
article
International Symposium on Gas Kinetics, Jul 2016, York, United Kingdom. 2016
identifiant
hal-02611339
Accès au bibtex
BibTex
titre
Highly vibrationally excited O2 molecules in low pressure oxygen plasmas: 1. Broad-band absorption spectroscopy
auteur
Daniil Marinov, Mickaël Foucher, Olivier Guaitella, Richard Engeln, Pascal Chabert, V. Guerra, Jean-Paul Booth
article
ESCAMPIG, Jul 2016, Bratislava, Slovakia. 2016
identifiant
hal-02611336
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BibTex
titre
Experimental and simulation study of capacitively coupled oxygen discharges driven by tailored voltage waveforms
auteur
A. Derzsi, Bastien Bruneau, Trevor Lafleur, Jean-Paul Booth, Ihor Korolov, Andrew Gibson, T. Gans, Z. Donko
article
ESCAMPIG, Jul 2016, Bratislava, Slovakia. 2016
identifiant
hal-02611337
Accès au bibtex
BibTex
titre
Highly vibrationally excited O2 molecules in low pressure oxygen plasmas: 2. Self-consistent model
auteur
Adriana Annusova, V. Guerra, M. Lino Da Silva, B. Lopez, Mickaël Foucher, Daniil Marinov, Jean-Paul Booth
article
ESCAMPIG, Jul 2016, Bratislava, Slovakia. 2016
identifiant
hal-02611338
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2015

Journal articles

titre
Strong Ionization Asymmetry in a Geometrically Symmetric Radio Frequency Capacitively Coupled Plasma Induced by Sawtooth Voltage Waveforms
auteur
Bastien Bruneau, T. Gans, D. O'Connell, Arthur Greb, E.V. Johnson, Jean-Paul Booth
article
Physical Review Letters, 2015, 114, pp.125002. ⟨10.1103/PhysRevLett.114.125002⟩
identifiant
hal-01549359
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BibTex
titre
Gas temperature measurements in oxygen plasmas by high-resolution Two-Photon Absorption Laser-induced Fluorescence
auteur
Jean-Paul Booth, Daniil Marinov, Mickaël Foucher, Olivier Guaitella, D. Bresteau, Louis Cabaret, Cyril Drag
article
Journal of Instrumentation, 2015, 10 (11), pp.C11003. ⟨10.1088/1748-0221/10/11/C11003⟩
identifiant
hal-01549365
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BibTex
titre
Control and optimization of the slope asymmetry effect in tailored voltage waveforms for capacitively coupled plasmas
auteur
Bastien Bruneau, T. Novikova, Trevor Lafleur, Jean-Paul Booth, E.V. Johnson
article
Plasma Sources Science and Technology, 2015, 24 (1), pp.015021. ⟨10.1088/0963-0252/24/1/015021⟩
identifiant
hal-01549355
Accès au bibtex
BibTex
titre
TALIF measurements of oxygen atom density in the afterglow of a capillary nanosecond discharge
auteur
A.V. Klochko, J. Lemainque, Jean-Paul Booth, Svetlana Starikovskaia
article
Plasma Sources Science and Technology, 2015, 24 (2), pp.025010. ⟨10.1088/0963-0252/24/2/025010⟩
identifiant
hal-01549360
Accès au bibtex
BibTex
titre
Highly vibrationally excited O2 molecules in low-pressure inductively-coupled plasmas detected by high sensitivity ultra-broad-band optical absorption spectroscopy
auteur
Mickaël Foucher, Daniil Marinov, Emile Carbone, Pascal Chabert, Jean-Paul Booth
article
Plasma Sources Science and Technology, 2015, 24 (4), pp.042001. ⟨10.1088/0963-0252/24/4/042001⟩
identifiant
hal-01549357
Accès au bibtex
BibTex

Conference papers

titre
Quantitative Diagnostics of Inductive Plasmas in Chlorine, Oxygen and Chlorine-Oxygen Mixtures
auteur
Jean-Paul Booth, Mickaël Foucher, Daniil Marinov, Pascal Chabert
article
MRS-Japan, Dec 2015, Yokohama, Japan
identifiant
hal-02573344
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titre
Detection of Biomedically Relevant Reactive Oxygen Species in Atmospheric Pressure Plasmas
auteur
Sandra Schröter, Jérôme Bredin, K. Niemi, J. Dedrick, Mickaël Foucher, N. de Oliviera, D. Joyeux, Laurent Nahon, Jean-Paul Booth, E. Wagenaars, T. Gans, D. O'Connell
article
AVS Symposium, Oct 2015, San Jose, California, United States
identifiant
hal-02593680
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titre
Validation of Inductively Coupled Plasmas Sustained in Halogen Chemistries
auteur
Ankur Agarwal, Mickaël Foucher, S. Rauf, Jean-Paul Booth, Pascal Chabert, Ken Collins
article
AVS Annual Symposium, Oct 2015, San Jose, California, United States
identifiant
hal-02593676
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titre
A Comprehensive Quantitative Study of Low Pressure Inductively-Coupled Plasmas in Cl2, O2 and Mixtures
auteur
Jean-Paul Booth, Mickaël Foucher, Daniil Marinov, Pascal Chabert, Ankur Agarwal, S. Rauf
article
AVS Symposium, Oct 2015, San Jose, California, United States
identifiant
hal-02593682
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titre
Vibrational kinetics in Cl2 and O2 low-pressure inductively-coupled plasmas
auteur
Jean-Paul Booth, Mickaël Foucher, Daniil Marinov, Pascal Chabert, Adriana Annusova, V. Guerra, Ankur Agarwal, S. Rauf
article
Gaseous Electronics Conference, Oct 2015, Honolulu, United States
identifiant
hal-02593669
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titre
Reactive species generated in atmospheric-pressure plasmas with water admixtures for biomedical applications: Absolute measurements and numerical simulations
auteur
Sandra Schröter, Jérôme Bredin, A. West, K. Niemi, J. Dedrick, N. de Oliviera, D. Joyeux, L. Nahon, Mickaël Foucher, Jean-Paul Booth, E. Wagenaars, T. Gans, D. O'Connell
article
Gaseaous Electronics Conference, Oct 2015, Honolulu, United States
identifiant
hal-02593672
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titre
Modelling the influence of neutral gas heating mechanisms on particle densities in inductively coupled chlorine discharges
auteur
Andrew Gibson, T. Gans, Mickaël Foucher, Daniil Marinov, Pascal Chabert, M.J. Kushner, Jean-Paul Booth
article
Gaseous Electronics Conference, Oct 2015, Honolulu, United States
identifiant
hal-02593670
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titre
Comparison of the effect of sawtooth-like voltage waveforms on discharge dynamics of Ar, H2, and CF4 plasmas
auteur
Bastien Bruneau, Erik Johnson, T. Gans, Arthur Greb, Ihor Korolov, Aranka Derszi, Z. Donkó, S. Brandt, E. Schuengel, J. Schulze, D. J. Economou, P. Diomede, S. Longo, Trevor Lafleur, Jean-Paul Booth, D. O'Connell
article
Gaseaous Electronics Conference, Oct 2015, Honolulu, United States
identifiant
hal-02593667
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titre
Gas Temperature Measurements in Plasmas by High-Resolution TALIF
auteur
Jean-Paul Booth, Olivier Guaitella, Daniil Marinov, Mickaël Foucher, Cyril Drag, Louis Cabaret
article
Laser AIded Plasma Diagnostics LAPD, Sep 2015, Sapporo, Japan
identifiant
hal-02593665
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titre
Inductively-coupled plasmas in Cl2 and O2: Comparing HPEM with advanced diagnostic measurements
auteur
Jean-Paul Booth, Mickaël Foucher, Andrew Gibson, Daniil Marinov, Nishant Sirse, Pascal Chabert, M.J. Kushner
article
Quantumol Workshop -Linking Simulation with Experiment, Sep 2015, London, United Kingdom
identifiant
hal-02573341
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titre
101 uses of Cold Plasmas: from smartphones to space travel
auteur
Jean-Paul Booth
article
Plas@par International Summer School : Discover Plasmas, Aug 2015, Roscoff, France
identifiant
hal-02573342
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titre
Density and temperature measurements in ICP's of Cl2/O2 using high sensitivity ultra broad-band absorption spectroscopy
auteur
Mickaël Foucher, Daniil Marinov, Emile Carbone, Pascal Chabert, Jean-Paul Booth
article
International Symposium on Plasma Chemistry, Jul 2015, Anvers, Belgium
identifiant
hal-02593678
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titre
Reactive adsorption of molecules and radicals on surfaces
auteur
Daniil Marinov, Olivier Guaitella, Jean-Paul Booth, Antoine Rousseau
article
22nd International Symposium on Plasma Chemistry, Jul 2015, Antwerp, Belgium
identifiant
hal-02573340
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titre
Quantitative Diagnostics of Inductive Plasmas in Chlorine, Oxygen and Chlorine-Oxygen Mixtures
auteur
Jean-Paul Booth
article
Radiofrequency Plasma Workshop, Jun 2015, Dublin, Ireland
identifiant
hal-02573339
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titre
Capacitively coupled CF4 discharges excited by tailored waveforms: experiments and kinetic simulations
auteur
Bastien Bruneau, Erik Johnson, Jean-Paul Booth, Trevor Lafleur, T. Gans, D. O'Connell, Arthur Greb, Ihor Korolov, Aranka Derszi, Z. Donkó, E. Schuengel, J. Schulze
article
Radiofrequency Plasma Workshop, Jun 2015, Dublin, Ireland
identifiant
hal-02573343
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titre
Ultra broad-band high sensitivity absorption spectroscopy of inductively-coupled plasmas in Cl2/O2 mixtures
auteur
Jean-Paul Booth, Mickaël Foucher, Daniil Marinov, Pascal Chabert
article
Frontiers in Low-temperature Plasma Diagnostics FLTPD, May 2015, Porquerolles, France
identifiant
hal-02593663
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titre
Cleaning and doping of CVD graphene using tailored voltage waveform capacitively coupled plasma
auteur
Daniil Marinov, Bastien Bruneau, Erik Johnson, Jean-Paul Booth
article
Plasma Etch and Strip in Microelectronics _PESM, Apr 2015, Louvain, Belgium
identifiant
hal-02593662
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titre
Ion flux asymmetry obtained by sawtooth-like waveforms: A new degree of freedom in capacitively coupled plasmas
auteur
Bastien Bruneau, T. Gans, D. O'Connell, Arthur Greb, Trevor Lafleur, Erik Johnson, Jean-Paul Booth
article
Plasma Etch and Strip in Microelectronics (PESM), Apr 2015, Louvain, Belgium
identifiant
hal-02593661
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titre
Quantitative Diagnostics of Inductive Plasmas in Cl2, O2 AND Cl2/O2 Mixtures
auteur
Jean-Paul Booth, Mickaël Foucher, Daniil Marinov, Pascal Chabert
article
Symposium on Application of Plasma Processes, Jan 2015, Vysoké Tatry, Slovakia
identifiant
hal-02573337
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titre
Low Pressure Plasma Cleaning and Doping of CVD Graphene
auteur
D. Marinov, G. Cunge, D. Ferrah, E.V. Johnson, J.P. Booth
article
AVS 62nd International Symposium & Exhibition, 2015, San José, United States
identifiant
hal-01878405
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Poster communications

titre
Vibrational kinetics in Cl2 and O2 low-pressure inductively-coupled plasmas
auteur
Jean-Paul Booth, Mickaël Foucher, Daniil Marinov, Pascal Chabert, Adriana Annusova, V. Guerra
article
POSMOL, Jul 2015, Lisbon, Portugal. 2015
identifiant
hal-02611335
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titre
Capacitively Coupled Radio-Frequency Plasmas Excited by Tailored Voltage Waveforms: Particle-In-Cell/Monte Carlo Simulations in 1 and 2 Dimensions
auteur
Yue Liu, Jean-Paul Booth, Pascal Chabert
article
Radiofrequency Plasma Workshop, Jun 2015, Dublin, Ireland. 2015
identifiant
hal-02611334
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titre
A model for inductively coupled plasmas in O2 including vibrational kinetics
auteur
Adriana Annusova, V. Guerra, Jean-Paul Booth, Mickaël Foucher, Daniil Marinov, Pascal Chabert
article
EPS Plasma, Jun 2015, Lisbon, Portugal. 2015
identifiant
hal-02611333
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titre
EXPERIMENTAL AND MODELING STUDIES OF LOW-PRESSURE CAPACITIVE OXYGEN PLASMAS EXCITED BY TAILORED VOLTAGE WAVEFORMS
auteur
Aranka Derszi, Trevor Lafleur, Ihor Korolov, Jean-Paul Booth, Zoltan Donko
article
Symposium on Application of Plasma Processes, Jan 2015, Tatranská Lomnica, Slovakia. 2015
identifiant
hal-02611332
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2014

Journal articles

titre
Electron transport parameters in NF3
auteur
V. A. Lisovskiy, V. D. Yegorenkov, P. Ogloblina, Jean-Paul Booth, S. Martins, K. Landry, D. Douai, V. Cassagne
article
Journal of Physics D: Applied Physics, 2014, 47 (11), pp.115203. ⟨10.1088/0022-3727/47/11/115203⟩
identifiant
hal-01549378
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titre
Radio-frequency capacitively coupled plasmas in hydrogen excited by tailored voltage waveforms: comparison of simulations with experiments
auteur
P. Diomede, D. J. Economou, Trevor Lafleur, Jean-Paul Booth, S. Longo
article
Plasma Sources Science and Technology, 2014, 23 (6), pp.065049. ⟨10.1088/0963-0252/23/6/065049⟩
identifiant
hal-01549381
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titre
Electron heating in capacitively coupled plasmas revisited
auteur
Trevor Lafleur, Pascal Chabert, Jean-Paul Booth
article
Plasma Sources Science and Technology, 2014, 23 (3), pp.035010. ⟨10.1088/0963-0252/23/3/035010⟩
identifiant
hal-01549379
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titre
Ground state bromine atom density measurements by two-photon absorption laser-induced fluorescence
auteur
Nishant Sirse, Mickaël Foucher, Pascal Chabert, Jean-Paul Booth
article
Plasma Sources Science and Technology, 2014, 23 (6), pp.062003. ⟨10.1088/0963-0252/23/6/062003⟩
identifiant
hal-01549574
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titre
Equivalence of the hard-wall and kinetic-fluid models of collisionless electron heating in capacitively coupled discharges
auteur
Trevor Lafleur, Pascal Chabert, Miles Turner, Jean-Paul Booth
article
Plasma Sources Science and Technology, 2014, 23 (1), pp.015016. ⟨10.1088/0963-0252/23/1/015016⟩
identifiant
hal-01549398
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titre
Global (volume-averaged) model of inductively coupled chlorine plasma: Influence of Cl wall recombination and external heating on continuous and pulse-modulated plasmas
auteur
Efe Kemaneci, Emile Carbone, Jean-Paul Booth, Wouter Graef, Jan van Dijk, G. Kroesen
article
Plasma Sources Science and Technology, 2014, 23 (4), pp.045002. ⟨10.1088/0963-0252/23/4/045002⟩
identifiant
hal-01549388
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titre
Ion flux asymmetry in radiofrequency capacitively-coupled plasmas excited by sawtooth-like waveforms
auteur
Bastien Bruneau, T. Novikova, Trevor Lafleur, Jean-Paul Booth, E.V. Johnson
article
Plasma Sources Science and Technology, 2014, 23 (6), pp.065010. ⟨10.1088/0963-0252/23/6/065010⟩
identifiant
hal-01549377
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Conference papers

titre
Control over the ion flux obtained by sawtooth-like waveforms in radiofrequency capacitively coupled plasmas
auteur
Bastien Bruneau, T. Novikova, Trevor Lafleur, Jean-Paul Booth, Erik Johnson
article
AVS Annual Symposium, Nov 2014, Baltimore, Maryland, United States
identifiant
hal-02593674
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titre
Diagnostics of Cl2/O2 Inductively-Coupled Plasmas by Ultra-High sensitivity Broad-Band Absorption Spectroscopy
auteur
Mickaël Foucher, Daniil Marinov, Emile Carbone, Jean-Paul Booth, Pascal Chabert
article
AVS, Nov 2014, Baltimore, Maryland, United States
identifiant
hal-02593659
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titre
Inductively-coupled plasmas of Cl2, O2 and mixtures : measurement of atoms, ClxOy and electron densities
auteur
Mickaël Foucher, Daniil Marinov, Emile Carbone, Jean-Paul Booth, Pascal Chabert
article
GEC, Nov 2014, Raleigh, North Carolina, United States
identifiant
hal-02593658
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titre
Dynamique des Plasmas à Couplage Inductive dans les gaz HBr, Cl2 et O2 et mixtures: Diagnostiques Laser et Absorption Ultraviolet Large-Bande
auteur
Jean-Paul Booth, Mickaël Foucher, Pascal Chabert
article
Colloque de Plasma-Québec, Jun 2014, Montreal, Canada
identifiant
hal-02573338
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titre
Inductively-coupled plasmas of Cl2, O2 and mixtures : measurement of atoms, ClxOy and electron densities
auteur
Mickaël Foucher, Emile Carbone, Jean-Paul Booth, Pascal Chabert
article
PESM, May 2014, Grenoble, France
identifiant
hal-02593657
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titre
A model for capacitive discharges with arbitrary RF waveform excitation including the electrical asymmetry effect and the associated self-bias
auteur
Pascal Chabert, Trevor Lafleur, Jean-Paul Booth, Miles Turner
article
8th International Conference on reactive Plasma, Feb 2014, Fukuoka, Japan
identifiant
hal-02573360
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titre
Experimental and numerical study of fast gas heating and O atom production in a capillary nanosecond discharge
auteur
A.V. Klochko, A. Salmon, J. Lemainque, N.A. Popov, Jean-Paul Booth, Z. Xiong, M.J. Kushner, Svetlana Starikovskaia
article
52st AIAA Aerospace Sciences Meeting, Jan 2014, National Harbor, Maine, United States. pp.2014-1030
identifiant
hal-02588024
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Poster communications

titre
Inductively-coupled plasmas (ICP) of Cl2, O2 and mixtures : measurements of atoms, ClxOy and electron densities
auteur
Mickaël Foucher, Daniil Marinov, Emile Carbone, Jean-Paul Booth, Pascal Chabert
article
GEC, Nov 2014, Raleigh, North Carolina, United States. 2014
identifiant
hal-02611329
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titre
High sensitivity ultra-broad-band absorption spectroscopy applied to etching plasmas
auteur
Mickaël Foucher, Daniil Marinov, Emile Carbone, Jean-Paul Booth, Pascal Chabert
article
GEC, Nov 2014, Raleigh, North Carolina, United States. 2014
identifiant
hal-02611330
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titre
Inductively-coupled plasmas in pure Cl2, O2 and mixtures: measurements of atom, ClxOy and electron densities
auteur
Mickaël Foucher, Pascal Chabert, Jean-Paul Booth
article
Plasma Kinetics Master Class, Oct 2014, Bad Honnef, Germany. 2014
identifiant
hal-02611331
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titre
Inductively-coupled plasmas (ICP) of Cl2, O2 and mixtures : measurements of atoms, ClxOy and electron densit
auteur
Mickaël Foucher, Emile Carbone, Jean-Paul Booth, Pascal Chabert
article
ESCAMPIG, Jul 2014, Greifswald, Germany. 2014
identifiant
hal-02611327
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titre
High sensitivity ultra-broad-band absorption spectroscopy applied to etching plasmas
auteur
Mickaël Foucher, Emile Carbone, Jean-Paul Booth, Pascal Chabert
article
ESCAMPIG, Jul 2014, Greifswald, Germany. 2014
identifiant
hal-02611328
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titre
Ground-state bromine atoms measurements by Two-Photon Absorption Laser-Induced Fluorescence
auteur
Mickaël Foucher, Emile Carbone, Jean-Paul Booth, Pascal Chabert
article
PESM, May 2014, Grenoble, France. 2014
identifiant
hal-02611326
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titre
Inductively-coupled plasmas (ICP) of Cl2,O2 and mixtures : measurements of atoms, ClxOy and electron densities
auteur
Mickaël Foucher, Emile Carbone, Jean-Paul Booth, Pascal Chabert
article
PESM, May 2014, Grenoble, France. 2014
identifiant
hal-02611325
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2013

Journal articles

titre
Chlorine atom densities in the (3p5)2 P01/2 excited spin-orbit state measured by two-photon absorption laser-induced fluorescence in a chlorine inductively coupled plasma
auteur
Nishant Sirse, Jean-Paul Booth, Pascal Chabert, A. Surzhykov, P. Indelicato
article
Journal of Physics D: Applied Physics, 2013, 46 (29), pp.295203. ⟨10.1088/0022-3727/46/29/295203⟩
identifiant
hal-01549418
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titre
Radio-frequency capacitively coupled plasmas excited by tailored voltage waveforms: comparison of experiment and particle-in-cell simulations
auteur
Pierre-Alexandre Delattre, Trevor Lafleur, Erik Johnson, Jean-Paul Booth
article
Journal of Physics D: Applied Physics, 2013, 46, pp.235201. ⟨10.1088/0022-3727/46/23/235201⟩
identifiant
hal-01549413
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titre
Direct observation of ozone formation on SiO2 surfaces in O2 discharges
auteur
Daniil Marinov, Olivier Guaitella, Jean-Paul Booth, Antoine Rousseau
article
Journal of Physics D: Applied Physics, 2013, 46, pp.032001. ⟨10.1088/0022-3727/46/3/032001⟩
identifiant
hal-01549402
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titre
Theory for the self-bias formation in capacitively coupled plasmas excited by arbitrary waveforms
auteur
Trevor Lafleur, Pascal Chabert, M.M. Turner, Jean-Paul Booth
article
Plasma Sources Science and Technology, 2013, 22 (6), pp.065013. ⟨10.1088/0963-0252/22/6/065013⟩
identifiant
hal-01549415
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titre
Anomalous collisionality in low-pressure plasmas
auteur
Trevor Lafleur, Pascal Chabert, M.M. Turner, Jean-Paul Booth
article
Physics of Plasmas, 2013, 20 (12), pp.124503. ⟨10.1063/1.4859155⟩
identifiant
hal-01549421
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titre
Capacitively coupled radio-frequency plasmas excited by tailored voltage waveforms
auteur
Trevor Lafleur, Pierre-Alexandre Delattre, E.V. Johnson, Jean-Paul Booth
article
Plasma Physics and Controlled Fusion, 2013, 55 (12), pp.124002. ⟨10.1088/0741-3335/55/12/124002⟩
identifiant
hal-01549416
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BibTex
titre
Fine-structure-resolved electron collisions from chlorine atoms in the (3p5)2P3/2o and (3p5)2P1/2o states
auteur
Yang Wang, Oleg Zatsarinny, Klaus Bartschat, Jean-Paul Booth
article
Physical Review A : Atomic, molecular, and optical physics [1990-2015], 2013, 87, pp.022703. ⟨10.1103/PhysRevA.87.022703⟩
identifiant
hal-01549405
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BibTex
titre
Normal regime of the weak-current mode of an rf capacitive discharge
auteur
V. A. Lisovskiy, V. D. Yegorenkov, E. Artushenko, Jean-Paul Booth, S. Martins, K. Landry, D. Douai, V. Cassagne
article
Plasma Sources Science and Technology, 2013, 22 (1), pp.015018. ⟨10.1088/0963-0252/22/1/015018⟩
identifiant
hal-01549408
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BibTex
titre
Secondary electron induced asymmetry in capacitively coupled plasmas
auteur
Trevor Lafleur, Pascal Chabert, Jean-Paul Booth
article
Journal of Physics D: Applied Physics, 2013, 46, pp.135201. ⟨10.1088/0022-3727/46/13/135201⟩
identifiant
hal-01549417
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BibTex
titre
Absolute atomic oxygen and nitrogen densities in radio-frequency driven atmospheric pressure cold plasmas: Synchrotron vacuum ultra-violet high-resolution Fourier-transform absorption measurements
auteur
K. Niemi, D. O'Connell, N. de Oliveira, D. Joyeux, L. Nahon, Jean-Paul Booth, T. Gans
article
Applied Physics Letters, 2013, 103 (3), pp.034102. ⟨10.1063/1.4813817⟩
identifiant
hal-01549425
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BibTex
titre
Ozone kinetics in low-pressure discharges: vibrationally excited ozone and molecule formation on surfaces
auteur
Daniil Marinov, V. Guerra, Olivier Guaitella, Jean-Paul Booth, Antoine Rousseau
article
Plasma Sources Science and Technology, 2013, 22, pp.055018. ⟨10.1088/0963-0252/22/5/055018⟩
identifiant
hal-01549572
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BibTex
titre
Radio frequency current-voltage probe for impedance and power measurements in multi-frequency unmatched loads
auteur
Trevor Lafleur, Pierre-Alexandre Delattre, E.V. Johnson, Jean-Paul Booth, Sébastien Diné
article
Review of Scientific Instruments, 2013, 84, pp.015001. ⟨10.1063/1.4773540⟩
identifiant
hal-01549400
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BibTex
titre
Frequency dependence of the electrical asymmetry effect in dual-frequency capacitively coupled discharges
auteur
Jean-Paul Booth, Trevor Lafleur
article
Applied Physics Letters, 2013, 102, pp.154104. ⟨10.1063/1.4802241⟩
identifiant
hal-01549406
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BibTex

Conference papers

titre
Diagnostics of inductively-coupled plasmas in hydrogen bromide : Bromine atom and electron densities
auteur
Jean-Paul Booth, Nishant Sirse, Pascal Chabert, Mickaël Foucher
article
UK Technological Plasmas Workshop, Dec 2013, York, United Kingdom
identifiant
hal-02594799
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BibTex
titre
Diagnostics of Inductively-Coupled Plasmas in Hydrogen Bromide : Bromine Atom and Electron Densities
auteur
Jean-Paul Booth, Nishant Sirse, Pascal Chabert, Mickaël Foucher
article
AVS Symposium, Oct 2013, Long Beach, California, United States
identifiant
hal-02594800
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BibTex
titre
Practical Aspects of using Tailored Voltage Waveforms for Thin Film Processing of Photovoltaic Devices
auteur
E.V. Johnson, Bastien Bruneau, Pierre-Alexandre Delattre, Trevor Lafleur, Jean-Paul Booth
article
AVS Symposium, Oct 2013, Long Beach, California, United States
identifiant
hal-02573331
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BibTex
titre
Ground state bromine atom density measurements by two-photon absorption laser-induced fluorescence
auteur
Mickaël Foucher, Nishant Sirse, Jean-Paul Booth, Pascal Chabert
article
Journées d’Echange du Réseau des Technologies des Plasmas Froids, Oct 2013, La Rochelle, France
identifiant
hal-02594807
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BibTex
titre
Diagnostics of inductively-coupled plasmas in HBr : Bromine atom and electron densities
auteur
Jean-Paul Booth, Nishant Sirse, Robert Soriano, Mickaël Foucher, Pascal Chabert
article
Gaseous Electronics Conference, Oct 2013, Princeton, New Jersey, United States
identifiant
hal-02594803
Accès au bibtex
BibTex
titre
Electron heating in capacitively coupled plasmas revisited: single and multi-frequency discharges
auteur
Trevor Lafleur, Pascal Chabert, Miles Turner, Jean-Paul Booth
article
Gaseous Electronics Conference, Oct 2013, Princeton, New Jersey, United States
identifiant
hal-02573333
Accès au bibtex
BibTex
titre
Vibrational kinetics in a Cl2 inductively-coupled plasma
auteur
B. Pruvost, Jean-Paul Booth, Mickaël Foucher, Pascal Chabert, V. Guerra, Ilya Fabrikant, M.J. Kushner
article
Gaseous Electronics Conference, Oct 2013, Princeton, New Jersey, United States
identifiant
hal-02594801
Accès au bibtex
BibTex
titre
Determining atom and radical surface recombination coefficients in low-pressure plasmas
auteur
Jean-Paul Booth
article
Gaseous Electronics Conference : workshop on plasma-surface interactions, Sep 2013, Princeton, New Jersey, United, Unknown Region
identifiant
hal-02573332
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BibTex
titre
IN-SITU OBSERVATION OF MICROCRYSTALLINE SILICON THIN FILM GROWTH USING TAILORED VOLTAGE WAVEFORMS
auteur
E.V. Johnson, Bastien Bruneau, Pierre-Alexandre Delattre, Trevor Lafleur, Jean-Paul Booth
article
International Vacuum Conference, Sep 2013, Paris, France
identifiant
hal-02594804
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BibTex
titre
Tailoring plasma properties using pulse-shaping technology,
auteur
Jean-Paul Booth, E.V. Johnson, Trevor Lafleur, Pierre-Alexandre Delattre, R.W. Boswell
article
21st ISPC, Aug 2013, Cairns, Australia
identifiant
hal-02573330
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BibTex
titre
Optical diagnostics of low-pressure plasmas in halogen gases
auteur
Jean-Paul Booth, Pascal Chabert, Nishant Sirse, P. Indelicato, A. Surzykov, M.J. Kushner
article
ICPIG, Jul 2013, Granada, Spain
identifiant
hal-02573296
Accès au bibtex
BibTex
titre
Capacitively coupled plasmas excited by tailored voltage waveforms
auteur
Trevor Lafleur, Pierre-Alexandre Delattre, E.V. Johnson, Jean-Paul Booth
article
EPS Plasma, Jul 2013, Espoo, Finland
identifiant
hal-02573294
Accès au bibtex
BibTex
titre
Inductively-coupled plasmas in pure chlorine: comparison of atom density, electron density and gas temperature measurements with the HPEM hybrid model.
auteur
Jean-Paul Booth, Nishant Sirse, Pascal Chabert, B. Pruvost, M.J. Kushner
article
RF Plasma workshop, May 2013, Presqu ile de Giens, France
identifiant
hal-02573293
Accès au bibtex
BibTex
titre
Thin Film Deposition with Tailored Voltage Waveforms: Material Questions and Practical Answers
auteur
E.V. Johnson, Bastien Bruneau, Pierre-Alexandre Delattre, Trevor Lafleur, Jean-Paul Booth
article
RF Plasma workshop, May 2013, Presqu île de Giens, France
identifiant
hal-02573291
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titre
Dynamics of Cl2 inductively-coupled plasmas: Role of electronic and vibrational excitation
auteur
Jean-Paul Booth, Nishant Sirse, Pascal Chabert, P. Indelicato, A. Surzhykov, M.J. Kushner
article
FLTPD, Apr 2013, Rolduc, Netherlands
identifiant
hal-02573290
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titre
Tailored Voltage Waveform Capacitively-Coupled Plasmas for IEDF and electron density control: Application to Microcrystalline Si Deposition
auteur
Jean-Paul Booth, Erik Johnson, Trevor Lafleur, Pierre-Alexandre Delattre
article
Semicon Korea, Jan 2013, Seoul, Korea, Unknown Region
identifiant
hal-02573289
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titre
OZONE KINETICS IN LOW-PRESSURE DISCHARGES
auteur
V. Guerra, Daniil Marinov, Jean-Paul Booth, Olivier Guaitella, Antoine Rousseau
article
SAPP, Jan 2013, Malá Fatra, Slovakia
identifiant
hal-02573288
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titre
Study of fast gas heating in a capillary nanosecond discharge in air. TALIF O atoms measurements and kinetic modeling (AIAA 2013-0574)
auteur
A.V. Klochko, J. Lemainque, N.A. Popov, Jean-Paul Booth, Svetlana Starikovskaia
article
51st AIAA Aerospace Sciences Meeting, Jan 2013, Grapevine, Texas, United States
identifiant
hal-02589147
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Poster communications

titre
Dynamique des plasmas radio-fréquences pulsés à couplage inductif en gaz halogénés simples
auteur
Mickaël Foucher, Jean-Paul Booth, B. Pruvost, Pascal Chabert
article
Journée de l'industrie Plas@par, Nov 2013, Paris, France. 2013
identifiant
hal-02611324
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titre
Atomic bromine density measurements in HBr inductively coupled plasma by two-photon absorption laser-induced fluorescence
auteur
Jean-Paul Booth, Nishant Sirse, Mickaël Foucher
article
Laser Aided Plasma Diagnostics, Sep 2013, Madison, Wisconsin, United States. 2013
identifiant
hal-02611316
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2012

Journal articles

titre
Tailored voltage waveform deposition of Microcrystalline Silicon thin films from hydrogen-diluted silane and silicon tetrafluoride: optoelectronic properties of films
auteur
E.V. Johnson, S. Pouliquen, Pierre-Alexandre Delattre, Jean-Paul Booth
article
Japanese Journal of Applied Physics, 2012, 51, pp.08HF01. ⟨10.1143/JJAP.51.08HF01⟩
identifiant
hal-01549433
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titre
Hydrogenated microcrystalline silicon thin films deposited by RF-PECVD under low ion bombardment energy using voltage waveform tailoring
auteur
E.V. Johnson, S. Pouliquen, Pierre-Alexandre Delattre, Jean-Paul Booth
article
Journal of Non-Crystalline Solids, 2012, 358 (17), pp.1974-1977. ⟨10.1016/j.jnoncrysol.2012.01.014⟩
identifiant
hal-01549432
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titre
Control of the ion flux and ion energy in CCP discharges using non-sinusoidal voltage waveforms
auteur
Trevor Lafleur, Jean-Paul Booth
article
Journal of Physics D: Applied Physics, 2012, 45, pp.395203. ⟨10.1088/0022-3727/45/39/395203⟩
identifiant
hal-01549449
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titre
Microcrystalline silicon solar cells deposited using a plasma process excited by tailored voltage waveforms
auteur
E.V. Johnson, Pierre-Alexandre Delattre, Jean-Paul Booth
article
Applied Physics Letters, 2012, 100, pp.133504. ⟨10.1063/1.3699222⟩
identifiant
hal-01549437
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titre
Absolute atomic chlorine densities in a Cl2 ICP determined by Two-Photon Laser Induced Fluorescence with a new calibration method
auteur
Jean-Paul Booth, Yasmina Azamoum, Nishant Sirse, Pascal Chabert
article
Journal of Physics D: Applied Physics, 2012, 45, pp.195201. ⟨10.1088/0022-3727/45/19/195201⟩
identifiant
hal-01549434
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titre
Separate control of the ion flux and ion energy in capacitively coupled rf discharges using voltage waveform tailoring
auteur
Trevor Lafleur, Pierre-Alexandre Delattre, E.V. Johnson, Jean-Paul Booth
article
Applied Physics Letters, 2012, 101, pp.124104. ⟨10.1063/1.4754692⟩
identifiant
hal-01549435
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titre
Enhanced sheath heating in capacitively coupled discharges due to non-sinusoidal voltage waveforms
auteur
Trevor Lafleur, R.W. Boswell, Jean-Paul Booth
article
Applied Physics Letters, 2012, 100, pp.194101. ⟨10.1063/1.4712128⟩
identifiant
hal-01549438
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titre
A dc-pulsed capacitively coupled planar Langmuir probe for plasma process diagnostics and monitoring
auteur
V. Samara, Jean-Paul Booth, J.-F. de Marneffe, A.P. Milenin, M. Brouri, W. Boullart
article
Plasma Sources Science and Technology, 2012, 21, pp.065004. ⟨10.1088/0963-0252/21/6/065004⟩
identifiant
hal-01549444
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Conference papers

titre
Cl atom spin-orbit excited densities in a Cl2 ICP determined by TALIF
auteur
Jean-Paul Booth, Nishant Sirse, P. Indelicato, Y. Wang, Oleg Zatsarinny, K. Bartschatt, M.J. Kushner
article
UK Technological Plasmas Workshop, Dec 2012, Milton Keynes, United Kingdom
identifiant
hal-02594805
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titre
Cl atom spin-orbit excited densities in a Cl2 ICP determined by TALIF
auteur
Jean-Paul Booth, Nishant Sirse, P. Indelicato, A. Surzhykov, Y. Wang, Oleg Zatsarinny, Klaus Bartschat, M.J. Kushner
article
UK TPW, Dec 2012, Milton Keynes, United Kingdom
identifiant
hal-02594737
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titre
Plasma deposition processes excited using Tailored Voltage Waveforms: from microcrystalline silicon thin films to devices
auteur
E.V. Johnson, S. Pouliquen, Pierre-Alexandre Delattre, Jean-Paul Booth
article
AVS Symposium, Oct 2012, Tampa, Floride, United States
identifiant
hal-02573299
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titre
Tailored Voltage Waveform Capacitively-Coupled Plasmas
auteur
Jean-Paul Booth, Trevor Lafleur, Pierre-Alexandre Delattre, E.V. Johnson
article
GEC, Oct 2012, Austin, Texas, United States
identifiant
hal-02594732
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titre
Plasma characteristics in non-sinusoidally excited CCP discharges
auteur
Trevor Lafleur, Jean-Paul Booth
article
GEC, Oct 2012, Austin, Texas, United States
identifiant
hal-02594733
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titre
Plasma Excitation using Tailored Voltage Waveforms for the Deposition of Thin Film Silicon for Photovoltaics: From Plasma Physics to Devices
auteur
E.V. Johnson, Pierre-Alexandre Delattre, Trevor Lafleur, Jean-Paul Booth
article
5th International Symposium on Atomically Controlled, Oct 2012, Osaka, Japan
identifiant
hal-02573298
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titre
Inductively-coupled plasmas in pure chlorine: comparison experiments/HPEM
auteur
Jean-Paul Booth, Nishant Sirse, Yasmina Azamoum, Pascal Chabert
article
GEC, Oct 2012, Austin, Texas, United States
identifiant
hal-02594735
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titre
Mesure de densité électronique dans les plasmas froids par techniques micro-ondes
auteur
Jean-Paul Booth
article
Les Journées du Plasma Froid, Oct 2012, Ecully, France
identifiant
hal-02573281
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titre
Gas temperature measurement in Ar and Ar-Cl2 based ICP discharge: Comparison between experiments and simulations
auteur
Nishant Sirse, Quentin Délivré, Jean-Paul Booth, Pascal Chabert
article
IEEE International Conference on Plasma Science (ICOPS), Jul 2012, Edinburgh, United Kingdom
identifiant
hal-02594795
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titre
Chlorine atom and molecule dynamics in an inductively coupled plasma in pure Cl2
auteur
Jean-Paul Booth, Pascal Chabert, Yasmina Azamoum, Nishant Sirse
article
International Workshop on Plasma Spectroscopy (IPS), May 2012, Presqu ile de Giens, France
identifiant
hal-02594731
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titre
Seeing Inside Plasma Etch Reactors: from diagnostics to sensors for control
auteur
Jean-Paul Booth
article
Fusion Frontiers and Interfaces Workshop, Mar 2012, York, United Kingdom
identifiant
hal-02573297
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titre
Chlorine atom and molecule dynamics in an inductively coupled plasma in pure Cl2
auteur
Jean-Paul Booth, Pascal Chabert, Yasmina Azamoum, Nishant Sirse
article
Plasma Etch and Strip in Microelectronics (PESM), Mar 2012, Grenoble, France
identifiant
hal-02594730
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titre
Plasma deposition of nanocrystalline silicon for solar cells : RF waveform tailoring to optimize deposition rate and film morphology
auteur
Jean-Paul Booth, E.V. Johnson, Pierre-Alexandre Delattre
article
Gaseous Electronics Meeting, Feb 2012, Murramarang, Australia
identifiant
hal-02573287
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titre
Absolute Cl and Cl2 densities in a Cl2 ICP determined by TALIF with a new calibration method
auteur
Jean-Paul Booth, Nishant Sirse, Yasmina Azamoum, Pascal Chabert
article
Technological Plasmas Workshop, Jan 2012, Manchester, United Kingdom
identifiant
hal-02594794
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Poster communications

titre
Hybrid Model of Parallel Plate RF Discharges in H2: Effect of DC and Tailored Voltage Waveforms
auteur
P. Diomede, Pierre-Alexandre Delattre, E.V. Johnson, Jean-Paul Booth, S. Longo, D. J. Economou, M. Capitelli
article
ESCAMPIG, Jul 2012, Viana do Costello, Portugal. 2012
identifiant
hal-02611272
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titre
Gas temperature and electron density measurements in Ar and Ar-Cl2 ICP discharges
auteur
Jean-Paul Booth, Nishant Sirse, Quentin Délivré, Pascal Chabert
article
ESCAMPIG, Jul 2012, Viana do Costello, Portugal. 2012
identifiant
hal-02611271
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titre
Investigation of Voltage Waveform Tailoring Effect in CapacitivelyCoupled H2 Discharge: Fluid Simulations and Experimental Validation
auteur
T. Novikova, E.V. Johnson, M. Mao, P. Bulkin, Jean-Paul Booth, P. Roca I Cabarrocas
article
EPS Plasma Physics, Jul 2012, Stockholm, Sweden. 2012
identifiant
hal-02611270
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titre
Ozone production in O2 plasma at low pressure: evaluation of surface and gas phase mechanisms
auteur
Daniil Marinov, Olivier Guaitella, V. Guerra, Nishant Sirse, Jean-Paul Booth, Antoine Rousseau
article
IPS, May 2012, Presqu'île de Giens, France. 2012
identifiant
hal-02611269
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2011

Journal articles

titre
Control of Nanocrystalline Silicon Growth Phase and Deposition Rate through Voltage Waveform Tailoring during PECVD
auteur
E.V. Johnson, S. Pouliquen, Pierre-Alexandre Delattre, Jean-Paul Booth
article
MRS Online Proceedings Library, 2011, 1339, pp.mrss11-1339-s04-5. ⟨10.1557/opl.2011.993⟩
identifiant
hal-01549456
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Conference papers

titre
Absolute Cl and Cl2 densities in a Cl2 ICP determined by TALIF with a new calibration method
auteur
Nishant Sirse, Yasmina Azamoum, Pascal Chabert, Jean-Paul Booth
article
UK TPW, Dec 2011, Manchester, United Kingdom
identifiant
hal-02594750
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titre
DEPOSITION OF THIN FILM OF SILICON MICROCRISTALLINE BY RADIO FREQUENCY VOLTAGE WAVEFORM TAILORING
auteur
S. Pouliquen, Pierre-Alexandre Delattre, E.V. Johnson, Jean-Paul Booth
article
AVS, Oct 2011, Nashville, Tennessee, United States
identifiant
hal-02594748
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titre
Atomic Chlorine absolute densities and surface recombination coefficients in inductively coupled plasmas in Cl2
auteur
Jean-Paul Booth, Nishant Sirse, Yasmina Azamoum, Pascal Chabert
article
AVS, Oct 2011, Nashville, Tennessee, United States
identifiant
hal-02594749
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titre
Detection of atomic chlorine in an inductively-coupled plasma by TALIF:Absolute densities and surface recombination coefficients
auteur
Jean-Paul Booth, Nishant Sirse, Yasmina Azamoum, Pascal Chabert
article
LAPD, Oct 2011, Jeju, Korea, Unknown Region
identifiant
hal-02573303
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titre
Absolute atomic chlorine densities in a Cl2 ICP determined by TALIF with a new calibration method
auteur
Jean-Paul Booth, Nishant Sirse, Yasmina Azamoum, Pascal Chabert
article
30th ICPIG, Aug 2011, Belfast, Northern Ireland, United Kingdom
identifiant
hal-02594798
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titre
Tailored Voltage Waveforms for the Deposition of Microcrystalline Silicon
auteur
E.V. Johnson, Pierre-Alexandre Delattre, Jean-Paul Booth
article
ICANS, Aug 2011, Nara, Japan
identifiant
hal-02594746
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titre
All you ever wanted to know about Fluorocarbon Plasmas but never dared to ask
auteur
Jean-Paul Booth
article
POSMOL (International Symposium on Electron Molecule Collisions and Swarms), Jul 2011, Maynooth, Ireland
identifiant
hal-02573302
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titre
VOLTAGE WAVEFORM TAILORING: A PROMISING NEW METHOD FOR SILICON DEPOSITION
auteur
Pierre-Alexandre Delattre, S. Pouliquen, E.V. Johnson, Nishant Sirse, Jean-Paul Booth
article
CIP (Congres International sur les Plasmas), Jun 2011, Nantes, France
identifiant
hal-02594747
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titre
MESURE DE TEMPERATURE DU GAZ DANS UN RÉACTEUR DE GRAVURE DOUBLE FRÉQUENCES CAPACITIF
auteur
Jean-Paul Booth, Wladimir Bjelogrlic, Jérôme Bredin
article
Journees du Reseau Plasmas Froids, May 2011, Toulouse, France
identifiant
hal-02573301
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titre
Cl atom recombination coefficients in a Cl2 ICP determined by TALIF
auteur
Jean-Paul Booth, Pascal Chabert, F. Boutaiba, Mujahid Zaka-Ul-Islam
article
Frontiers in Low Temperature Plasma Diagnostics (FLTPD), May 2011, Zinnowitz, Germany
identifiant
hal-02594745
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titre
Recombination coefficients of Cl atoms on Al2O3 walls determined by TALIF
auteur
Jean-Paul Booth, Nishant Sirse, Yasmina Azamoum, Mujahid Zaka-Ul-Islam, Pascal Chabert
article
Plasma Etch and Strip for Microelectronics (PESM), May 2011, Mechelen, Belgium
identifiant
hal-02594744
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titre
Planar Langmuir probe in pulsing regime
auteur
V. Samara, Jean-Paul Booth, J.-F. de Marneffe, W. Boullart
article
PESM (Plasma Etch and Strip for Microelectronics), May 2011, Mechelen, Belgium
identifiant
hal-02594742
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titre
Control of Nanocrystalline Growth Phase and Deposition Rate through Voltage Waveform Tailoring
auteur
E.V. Johnson, Pierre-Alexandre Delattre, Jean-Paul Booth
article
MRS spring meeting, Apr 2011, San Francisco, California, United States
identifiant
hal-02594741
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titre
RF waveform tailoring to control film morphology during nanocrystalline silicon PECVD
auteur
Jean-Paul Booth, E.V. Johnson, Pierre-Alexandre Delattre, T. Verbeke, J-C Vanel
article
International Conference on Plasmas and Nanotechnology (ICPLANTS), Feb 2011, Takayama, Japan
identifiant
hal-02594739
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titre
Seeing Inside Plasma Etch Reactors: from diagnostics to sensors for control
auteur
Jean-Paul Booth, Pascal Chabert, Rodolphe Sarot, Mujahid Zaka-Ul-Islam
article
IS-Plasma (International Symposium-Plasma), Feb 2011, Nagoya, Japan
identifiant
hal-02573300
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BibTex
titre
INCLINE - Inductively coupled plasma for CMOS-compatible etching of III-V integrated laser sources
auteur
S. Bouchoule, L. Gatilova, G. Patriarche, S. Guilet, L. Le Gratiet, L. Vallier, Pascal Chabert, Jean-Paul Booth, R. Chanson, A. Rhallabi, C. Cardinaud, P. Rojo-Romeo, J.-L. Leclercq, X. Letartre
article
Journées Nationales en Nanosciences et Nanotechnologies, 2011, Ecole Polytechnique, Palaiseau, France
identifiant
hal-02594797
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Poster communications

titre
Electron density comparison between experiments and simulations in Chlorine based ICP discharge
auteur
Jean-Paul Booth, Nishant Sirse, Yasmina Azamoum, Pascal Chabert
article
ICPIG, Aug 2011, Belfast, Northern Ireland, United Kingdom. 2011
identifiant
hal-02611275
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titre
Voltage Waveform Tailoring in a RF-CCP reactor: Exploration of self-bias, electron density and current waveform
auteur
Pierre-Alexandre Delattre, S. Pouliquen, E.V. Johnson, Jean-Paul Booth
article
ICPIG, Aug 2011, Belfast, Northern Ireland, United Kingdom. 2011
identifiant
hal-02611277
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titre
Recombination coefficient of Cl atoms on Al2O3 walls determined byTwo-Photon Laser-Induced Fluorescence
auteur
Jean-Paul Booth, Nishant Sirse, Pascal Chabert, Yasmina Azamoum, Mujahid Zaka-Ul-Islam
article
ICPIG, Aug 2011, Belfast, Northern Ireland, United Kingdom. 2011
identifiant
hal-02611274
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2010

Journal articles

titre
Surface loss rates of H and Cl atoms in an inductively coupled plasma etcher using time-resolved electron density and optical emission measurements
auteur
G. A. Curley, L. Gatilova, S. Guilet, S. Bouchoule, G. S. Gogna, Nishant Sirse, S. Karkari, Jean-Paul Booth
article
Journal of Vacuum Science & Technology A, 2010, 28 (2), pp.360-372. ⟨10.1116/1.3330766⟩
identifiant
hal-01549465
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BibTex
titre
Plasmas froids
auteur
Jean-Paul Booth, Pascal Chabert
article
FlashX, 2010, 12, pp.3-5
identifiant
hal-02570443
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titre
Electron drift velocity in SF6 in strong electric fields determined from rf breakdown curves
auteur
V. Lisovskiy, V. Yegorenkov, Jean-Paul Booth, K. Landry, D. Douai, V. Cassagne
article
Journal of Physics D: Applied Physics, 2010, 43, pp.385203. ⟨10.1088/0022-3727/43/38/385203⟩
identifiant
hal-01549464
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BibTex
titre
Dual-frequency capacitive radiofrequency discharges: effect of low-frequency power on electron density and ion flux
auteur
Jean-Paul Booth, G. Curley, D. Marić, Pascal Chabert
article
Plasma Sources Science and Technology, 2010, 19, pp.015005. ⟨10.1088/0963-0252/19/1/015005⟩
identifiant
hal-01549466
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BibTex
titre
Nanocrystalline silicon film growth morphology control through RF waveform tailoring
auteur
E.V. Johnson, T. Verbeke, J-C Vanel, Jean-Paul Booth
article
Journal of Physics D: Applied Physics, 2010, 43, pp.412001. ⟨10.1088/0022-3727/43/41/412001⟩
identifiant
hal-01549485
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Conference papers

titre
RF waveform tailoring to control film morphology during nanocrystalline silicon PECVD
auteur
Jean-Paul Booth, E.V. Johnson, T. Verbeke, J-C Vanel
article
UK-Technological Plasmas Workshop, Dec 2010, Bristol, United Kingdom
identifiant
hal-02595161
Accès au bibtex
BibTex
titre
Physique et physicochimie des Plasmas excites par radio-frequence
auteur
Jean-Paul Booth
article
Journees Plasma-Photovoltaique, Nov 2010, St Cyprien, France
identifiant
hal-02611098
Accès au bibtex
BibTex
titre
Nanocrystalline silicon film growth morphology control through RF waveform tailoring
auteur
Jean-Paul Booth, E.V. Johnson, T. Verbeke, J-C Vanel
article
AVS Symposium, Oct 2010, Albuquerque, New Mexico, United States
identifiant
hal-02595160
Accès au bibtex
BibTex
titre
GAS BREAKDOWN IN RF AND LONGITUDINAL COMBINED ELECTRIC FIELDS
auteur
V. A. Lisovskiy, Jean-Paul Booth, V. D. Yegorenkov, N. D. Kharchenko
article
RF Breakdown Workshop, Oct 2010, Paris, France
identifiant
hal-02573304
Accès au bibtex
BibTex
titre
Control of Microcrystalline Silicon Deposition by RF Waveform Tailoring
auteur
E.V. Johnson, Jean-Paul Booth, J-C Vanel, T. Verbeke
article
Gaseous Electronics Conference, Oct 2010, Paris, France
identifiant
hal-02595158
Accès au bibtex
BibTex
titre
Effect of low-frequency power on electron density and ion flux in dual-frequency capacitive radiofrequency discharges
auteur
Jean-Paul Booth, G. Curley, Pascal Chabert
article
PESM, Mar 2010, Grenoble, France
identifiant
hal-02595157
Accès au bibtex
BibTex
titre
Time-resolved electron density and OES measurements for studying the surface loss rates of H and Cl atoms in a Cl2-H2 ICP plasma
auteur
G. Curley, L. Gatilova, S. Guilet, S. Bouchoule, G. Gogna, N. Sirse, S. Karkari, J.P. Booth
article
63rd Annual Gaseous Electronics Conference and 7th International Conference on Reactive Plasmas, 2010, Paris, France. TF4-005, 763-764, Hori M. and Graha W.G. (Eds), Japan Society of Applied Physics
identifiant
hal-00800895
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Poster communications

titre
Inductive plasmas in Cl2/Ar :Comparison of hybrid model results with experimental measurements
auteur
Jean-Paul Booth, Emilie Despiau-Pujo, Pascal Chabert, Rodolphe Sarot
article
AVS Symposium, Oct 2010, Albuquerque, New Mexico, United States. 2010
identifiant
hal-02611282
Accès au bibtex
BibTex
titre
Electron densities and temperatures in a Cl2/Ar ICP
auteur
Jean-Paul Booth, Rodolphe Sarot, Emilie Despiau-Pujo, Pascal Chabert, L. Gatilova, S. Bouchoule
article
Gaseous Electronics Conference, Oct 2010, Paris, France. 2010
identifiant
hal-02611281
Accès au bibtex
BibTex
titre
Inductive plasmas in Cl2/Ar : Comparison of hybrid model results with experimental measurements
auteur
Jean-Paul Booth, Rodolphe Sarot, Emilie Despiau-Pujo, Pascal Chabert, L. Gatilova, S. Bouchoule
article
ESCAMPIG, Jul 2010, Novi Sad, Serbia. 2010
identifiant
hal-02611280
Accès au bibtex
BibTex
titre
Plasma inductif en Cl2/Ar : comparaison entre simulations hybrides et expériences
auteur
Rodolphe Sarot, Emilie Despiau-Pujo, Pascal Chabert, Jean-Paul Booth, L. Gatilova, S. Bouchoule
article
Congres de la Division Plasma du SFP, May 2010, Bordeaux, France. 2010
identifiant
hal-02611278
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2009

Journal articles

titre
Electron transport coefficients in mixtures of CF4 and CF2 radicals
auteur
Zd Nikitovic, Vd Stojanovic, Jean-Paul Booth, Zl Petrovic
article
Plasma Sources Science and Technology, 2009, 18, pp.035008. ⟨10.1088/0963-0252/18/3/035008⟩
identifiant
hal-01549497
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Conference papers

titre
Absorption spectroscopy diagnostics of a dual-frequency capacitive dielectric etch tool using Ultraviolet Light-Emitting Diodes
auteur
Jean-Paul Booth, Jérôme Bredin
article
AVS International Symposium, Nov 2009, San Jose, California, United States
identifiant
hal-02595165
Accès au bibtex
BibTex
titre
Absorption spectroscopy diagnostics of a dual-frequency capacitive dielectric etch tool using Ultraviolet Light-Emitting Diodes
auteur
Jérôme Bredin, Jean-Paul Booth
article
Gaseous Electronics Conference, Oct 2009, Saratoga Springs, New York, United States
identifiant
hal-02595162
Accès au bibtex
BibTex
titre
Dual-frequency capacitive radiofrequency discharges : Effect of low-frequency power on electron density and flux
auteur
Jean-Paul Booth, G. Curley, Pascal Chabert, D. Maric
article
Gaseous Electronics Conference, Oct 2009, Saratoga Springs, New York, United States
identifiant
hal-02595163
Accès au bibtex
BibTex
titre
Etch process control with a deposition-tolerant planar electrostatic probe
auteur
Jean-Paul Booth, D. Keil, C. Thorgrimsson, M. Nagai, L. Albarede
article
Irish Plasma and Beam Processing Group Meeting, May 2009, Belfast, Northern Ireland, United Kingdom
identifiant
hal-02573307
Accès au bibtex
BibTex
titre
Etch process control with a deposition-tolerant planar electrostatic probe
auteur
Jean-Paul Booth, D. Keil, C. Thorgrimsson, M. Nagai, L. Albarede
article
Radiofrequency Plasma Workshop, May 2009, Presqu ile de Giens, France
identifiant
hal-02573306
Accès au bibtex
BibTex
titre
Etch process control with a deposition-tolerant planar electrostatic probe
auteur
Jean-Paul Booth, D. Keil, C. Thorgrimsson, M. Nagai, L. Albarede
article
PESM, Feb 2009, Louvain, Belgium
identifiant
hal-02573305
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Poster communications

titre
Broadband absorption with UV Light-Emitting Diodes in a dual-frequency capacitively coupled reactor
auteur
Jérôme Bredin, Jean-Paul Booth
article
Radiofrequency Plasma Workshop, May 2009, Presqu ile de Giens, France. 2009
identifiant
hal-02611283
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2002

Journal articles

titre
Chlorine dissociation fraction in an inductively coupled plasma measured by ultraviolet absorption spectroscopy
auteur
F. Neuilly, J.P Booth, L. Vallier
article
Journal of Vacuum Science and Technology, 2002, pp.A20(1), 225, (2002)
identifiant
hal-00475898
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2001

Journal articles

titre
Absolute fluorine atoms concentration in fluorocarbon plasma determined from CF2 loss kinetics
auteur
Gilles Cunge, Pascal Chabert, Jean-Paul Booth
article
Journal of Applied Physics, 2001, 89 (12), pp.7750. ⟨10.1063/1.1371940⟩
identifiant
hal-00475790
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https://hal.science/hal-00475790/file/Cunge2001.pdf BibTex
titre
Reactive ion etching of SiC in SF6 gas: detection of CF, CF2 and SiF2 etch products
auteur
Pascal Chabert, G. Cunge, Jean-Paul Booth
article
Applied Physics Letters, 2001, pp.79, 916
identifiant
hal-00475792
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Conference papers

titre
CFX kinetics, gas temperature and instabilities in a CF4 inductively coupled discharge
auteur
J.P Booth, H. Abada, P. Chabert, G. Cunge
article
48th National AVS symposium & Topical conferences, 2001, San Francisco, United States
identifiant
hal-00494528
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titre
CFx kinetics, gas temperatures and instabilities in a CF4 inductively-coupled discharge
auteur
J.P Booth, H. Abada, P. Chabert, G. Cunge
article
48th AVS Annual Symposium, 2001, San Francisco, United States
identifiant
hal-00486179
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titre
Chlorine Inductively- coupled Plasma diagnostics using UV absorption spectroscopy and an ion flux probE
auteur
J.P Booth, F. Neuilly, J.M Francou, L. Vallier
article
International Colloquium on Plasma Processes, CIP, 2001, Antibes, France
identifiant
hal-00486185
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titre
High rate silicon carbide etching
auteur
P. Chabert, J. Perrin, J.P Booth, G. Cunge
article
ISPC, 15th International Symposium on Plasma Chemistry, 2001, Orleans, France
identifiant
hal-00481964
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