2023
Journal articles
- titre
- Potential stratospheric ozone depletion due to iodine injection from small satellites
- auteur
- Wuhu Feng, John M C Plane, Martyn P. Chipperfield, Alfonso Saiz-Lopez, Jean‐paul Booth
- article
- Geophysical Research Letters, 2023, 50 (7), pp.e2022GL102300. ⟨10.1029/2022GL102300⟩
- identifiant
- hal-03976025
- Accès au texte intégral et bibtex
-
- titre
- Oxygen atom and ozone kinetics in the afterglow of a pulse-modulated DC discharge in pure O2 : an experimental and modelling study of surface mechanisms and ozone vibrational kinetics
- auteur
- Jean-Paul Booth, Olivier Guaitella, Shu Zhang, Dmitry Lopaev, S Zyryanov, T Rakhimova, D Voloshin, Alexander Chukalovsky, Andrey Vladimirovich Volynets, Yu Mankelevich
- article
- Plasma Sources Science and Technology, 2023, 32 (9), pp.095016. ⟨10.1088/1361-6595/acf956⟩
- identifiant
- hal-04217064
- Accès au texte intégral et bibtex
-
Conference papers
- titre
- Improving our understanding of plasma-surface interactions through in-situ measurements
- auteur
- Jean-Paul Booth
- article
- Dry Process Symposium, Nov 2023, Nagoya, Japan
- identifiant
- hal-04397985
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-
- titre
- Probing surface reactivity in plasmas- is it valid to use a constant reaction probability model?
- auteur
- Jean-Paul Booth
- article
- GEC Gaseous Electronics Conference, American Physical Society, Oct 2023, Ann Arbor, MI, USA, United States
- identifiant
- hal-04398014
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-
2022
Journal articles
- titre
- Foundations of plasma surface functionalization of polymers for industrial and biological applications
- auteur
- Jean-Paul Booth, Miran Mozetič, Anton Nikiforov, Christian Oehr
- article
- Plasma Sources Science and Technology, 2022, 31 (10), pp.103001. ⟨10.1088/1361-6595/ac70f9⟩
- identifiant
- hal-03822222
- Accès au texte intégral et bibtex
-
- titre
- Quenching of O2(b1Σg+) by O(3P) atoms. Effect of gas temperature
- auteur
- Jean-Paul Booth, A Chatterjee, O Guaitella, D Lopaev, S Zyryanov, A Volynets, T Rakhimova, D Voloshin, A Chukalovsky, Yu. Mankelevich, V Guerra
- article
- Plasma Sources Science and Technology, 2022, 31 (6), pp.065012. ⟨10.1088/1361-6595/ac7749⟩
- identifiant
- hal-03721576
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-
Conference papers
- titre
- What We Still Don't Know About Plasmas in Simple Diatomic Gases- or Using a DC Plasma in Pure O2 as an Ideal Test-Bed for Experimental Validation of Simulations
- auteur
- Jean-Paul Booth
- article
- AVS Symposium, Nov 2022, Pittsburgh, PA, United States
- identifiant
- hal-04398035
- Accès au bibtex
-
2021
Journal articles
- titre
- Chemical kinetics and density measurements of OH in an atmospheric pressure He + O2 + H2O radiofrequency plasma
- auteur
- Alexandra Brisset, Andrew Gibson, Sandra Schröter, Kari Niemi, Jean-Paul Booth, Timo Gans, Deborah O'Connell, Erik Wagenaars
- article
- Journal of Physics D: Applied Physics, 2021, 54 (28), pp.285201. ⟨10.1088/1361-6463/abefec⟩
- identifiant
- hal-03200547
- Accès au texte intégral et bibtex
-
Conference papers
- titre
- A new look at oxygen plasmas : Quantitative VUV and IR absorption spectroscopy of reactive intermediates
- auteur
- Jean-Paul Booth
- article
- JSM -Journees de Spectroscopie Moleculaire, Universite de Rennes/ Societe Francaise de Physique, Jun 2021, Rennes, France
- identifiant
- hal-04398064
- Accès au bibtex
-
- titre
- Laser Cavity Ringdown Spectroscopy of Oxygen Plasmas: Direct Measurement of the Densities of Oxygen Atoms, Ozone and Negative Ions and Gas Temperature
- auteur
- Jean-Paul Booth
- article
- Online Low Temperature Plasma Seminar, May 2021, On line, United States
- identifiant
- hal-03317442
- Accès au bibtex
-
- titre
- Filling the Gaps in Our Understanding of Plasmas in Simple Diatomic Gases- Combining a DC Plasma in Pure O2 with Multiple Advanced Diagnostics for Experimental Validation of Simulations
- auteur
- Jean-Paul Booth
- article
- IS Plasma, University of Nagoya, Mar 2021, Nagoya (on line), Japan
- identifiant
- hal-04398109
- Accès au bibtex
-
- titre
- Filling the Gaps in Our Understanding of Plasmas in Simple Diatomic Gases-Combining a DC Plasma in Pure O2 with Multiple Advanced Diagnostics for Experimental Validation of Simulations
- auteur
- Jean-Paul Booth, A Chatterjee, O Guaitella, D Lopaev, S Zyryanov, T Rakhimova, D Voloshin, N De Oliveira, L Nahon
- article
- IS Plasma 2021, Mar 2021, Nagoya, Japan
- identifiant
- hal-03317344
- Accès au texte intégral et bibtex
-
2020
Journal articles
- titre
- Fast quenching of metastable O2 (a 1Δg ) and O2 (b 1Σg+ ) molecules by O( 3P) atoms at high temperature
- auteur
- Andrey Vladimirovich Volynets, Dmitry Lopaev, T Rakhimova, O Proshina, Alexander Chukalovsky, Jean-Paul Booth
- article
- Plasma Sources Science and Technology, 2020, ⟨10.1088/1361-6595/abbf92⟩
- identifiant
- hal-02966916
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-
- titre
- Determination of absolute O(3P) and O2(a1Δg) densities and kinetics in fully modulated O2 dc glow discharges from the O2(X3Σg-) afterglow recovery dynamics
- auteur
- Jean-Paul Booth, Abhyuday Chatterjee, Olivier Guaitella, Joao Santos Sousa, Dmitry Lopaev, S Zyryanov, T Rakhimova, D Voloshin, Yu Mankelevich, Nelson de Oliveira, Laurent Nahon
- article
- Plasma Sources Science and Technology, 2020, 29, pp.115009. ⟨10.1088/1361-6595/abb5e7⟩
- identifiant
- hal-02933186
- Accès au texte intégral et bibtex
-
- titre
- Rydberg spectra of singlet metastable states of O2
- auteur
- C. Western, Jean-Paul Booth, A. Chatterjee, N. de Oliveira
- article
- Molecular Physics, 2020, pp.e1741714. ⟨10.1080/00268976.2020.1741714⟩
- identifiant
- hal-02544881
- Accès au texte intégral et bibtex
-
Conference papers
- titre
- Tailoring OH and O production in an atmospheric-pressure plasma in Helium with O2 and H2O admixtures
- auteur
- Erik Wagenaars, Alexandra Brisset, Sandra Schröter, Kari Niemi, Deborah O'Connell, Jean-Paul Booth, Andrew Gibson
- article
- GEC2020 Meeting of The American Physical Society, Oct 2020, San Diego, United States
- identifiant
- hal-03017258
- Accès au bibtex
-
- titre
- Experimental and numerical investigation of an iodine plasma
- auteur
- Florian Marmuse, Benjamin Esteves, Cyril Drag, Jean-Paul Booth, Anne Bourdon, Pascal Chabert
- article
- 73rd Annual Gaseous Electronics Virtual Conference, Oct 2020, Virtual, United States
- identifiant
- hal-03322751
- Accès au bibtex
-
- titre
- A new look at Oxygen Plasmas – Quantitative Spectroscopy for rigorous testing of models
- auteur
- Jean-Paul Booth
- article
- SPIG - Symposium on Physics of Ionised Gases, Aug 2020, Sabac, Serbia. pp.1
- identifiant
- hal-04398151
- Accès au bibtex
-
- titre
- A NEW LOOK AT OXYGEN PLASMAS -QUANTITATIVE SPECTROSCOPY FOR RIGOROUS TESTING OF MODELS
- auteur
- Jean-Paul Booth, Abhyuday Chatterjee, Olivier Guaitella, Dmitry Lopaev, Sergey Zyryanov, Tatyana Rakhimova, Dmitry Voloshin, Nelson de Oliveira, Laurent Nahon
- article
- International Symposium on the Physics of Ionized Gases, Aug 2020, Sabac, Serbia
- identifiant
- hal-03017283
- Accès au bibtex
-
2019
Journal articles
- titre
- Oxygen atom kinetics in CO2 plasmas ignited in a DC glow discharge
- auteur
- A. S Morillo-Candas, Cyril Drag, Jean-Paul Booth, T. C Dias, V. Guerra, Olivier Guaitella
- article
- Plasma Sources Science and Technology, 2019, 28 (7), pp.075010. ⟨10.1088/1361-6595/ab2b84⟩
- identifiant
- hal-02272107
- Accès au texte intégral et bibtex
-
- titre
- Experimental demonstration of multifrequency impedance matching for tailored voltage waveform plasmas
- auteur
- Junkang Wang, Sébastien Diné, Jean-Paul Booth, Erik Johnson
- article
- Journal of Vacuum Science & Technology A, 2019, 37 (2), pp.021303. ⟨10.1116/1.5056205⟩
- identifiant
- hal-02081466
- Accès au texte intégral et bibtex
-
- titre
- Oxygen (3P) atom recombination on a Pyrex surface in an O2 plasma
- auteur
- Jean-Paul Booth, Olivier Guaitella, Abhyuday Chatterjee, Cyril Drag, V. Guerra, Dmitry Lopaev, Sergey Zyryanov, Tatyana Rakhimova, Dmitry Voloshin, Y. Mankelevich
- article
- Plasma Sources Science and Technology, 2019, 28 (5), pp.055005. ⟨10.1088/1361-6595/ab13e8⟩
- identifiant
- hal-02272108
- Accès au texte intégral et bibtex
-
Conference papers
- titre
- Optical and electrical diagnostics in an iodine plasma
- auteur
- Florian Marmuse, Romain Lucken, Cyril Drag, Jean-Paul Booth, Anne Bourdon, Pascal Chabert, Ane Aanesland
- article
- 36th International Electric Propulsion Conference (IEPC 2019), Sep 2019, Vienne, Austria
- identifiant
- hal-02341690
- Accès au texte intégral et bibtex
-
- titre
- 63rd Course of the International School of Quantum Electronics
- auteur
- Olivier Guaitella, Ana-Sofia Morillo-Candas, Cyril Drag, Jean-Paul Booth, Bart Klarenaar, Richard Engeln, Tiago Dias, P. Ogloblina, Marija Grofulovic, Tiago Silva, V. Guerra
- article
- Diagnostics to study vibrational excitation kinetics of CO2, Sep 2019, Erice, Italy
- identifiant
- hal-02371062
- Accès au bibtex
-
- titre
- XXXIV ICPIG & ICRP-10
- auteur
- Olivier Guaitella, Ana-Sofia Morillo-Candas, Tiago Dias, Edmond Baratte, P. Ogloblina, Tiago Silva, Jean-Paul Booth, Bart Klarenaar, Richard Engeln, V. Guerra
- article
- Influence of surfaces in the kinetic of CO2 plasma, Jul 2019, Sapporo, Hokkaido, Japan
- identifiant
- hal-02371063
- Accès au bibtex
-
- titre
- Experimental Demonstration of Multifrequency Matching for Tailored Voltage Waveform Plasma Excitation
- auteur
- Sebastien Dine, Jean-Paul Booth, E.V. Johnson, Junkang Wang
- article
- International Conference on Phenomena in Ionised Gases, Jul 2019, Hokkaido, Japan
- identifiant
- hal-02341689
- Accès au bibtex
-
- titre
- A Comprehensive Diagnostic Study of a DC Positive Column in O2: a test-bed for models of plasmas in a diatomic gas
- auteur
- Jean-Paul Booth
- article
- CESPC-Central European Symposium on Plasma Chemistry, May 2019, Gozd Martuljek, Slovenia
- identifiant
- hal-04398185
- Accès au bibtex
-
- titre
- A comprehensive diagnostic study of a DC positive column in O2: a test-bed for models of plasmas in a diatomic gas
- auteur
- Jean-Paul Booth, Abhyuday Chatterjee, Olivier Guaitella, N. de Oliveira, L. Nahon, Dmitry Lopaev, Sergey Zyryanov, Dmitry Voloshin, Tatyana Rakhimova
- article
- 7th International Conference on Advanced Plasma Technologies, May 2019, Gozd Martuljek, Slovenia
- identifiant
- hal-02341781
- Accès au bibtex
-
- titre
- A comprehensive diagnostic study of a DC positive column in O2: a test-bed for models of plasmas in a diatomic gas
- auteur
- Jean-Paul Booth, Abhyuday Chatterjee, Olivier Guaitella, Cyril Drag, N. de Oliveira, L. Nahon, Dmitry Lopaev, Sergey Zyryanov, Dmitry Voloshin, Tatyana Rakhimova
- article
- Frontiers in low Temperature plasma simulation, May 2019, Bad Honnef, Germany
- identifiant
- hal-02341779
- Accès au bibtex
-
- titre
- A Comprehensive Diagnostic Study of a DC Positive Column in O2: a test-bed for models of plasmas in a diatomic gas
- auteur
- Jean-Paul Booth
- article
- Frontiers in low Temperature plasma simulation, May 2019, Bad Honnef (Germany), Germany
- identifiant
- hal-04398198
- Accès au bibtex
-
- titre
- Vacuum ultraviolet absorption spectroscopy of oxygen discharges
- auteur
- Jean-Paul Booth
- article
- 3rd European Conference on Plasma Diagnostics, May 2019, Lisbon, Portugal
- identifiant
- hal-02341780
- Accès au bibtex
-
- titre
- Novel diagnostics to unravel fundamental processes in oxygen plasmas
- auteur
- Jean-Paul Booth
- article
- ICAPT-7 : 7th International Conference on Advanced Plasma Technologies, Plasmadis, Feb 2019, Hue, Vietnam
- identifiant
- hal-04398232
- Accès au bibtex
-
- titre
- Novel diagnostics to unravel fundamental processes in oxygen plasmas
- auteur
- Jean-Paul Booth, Abhyuday Chatterjee, Olivier Guaitella, Cyril Drag, Dmitry Lopaev, Sergey Zyryanov, Tatyana Rakhimova, N. de Oliveira, L. Nahon, Colin Western
- article
- 7th International Conference on Advanced Plasma Technologies, Feb 2019, Hue, Vietnam
- identifiant
- hal-02341778
- Accès au bibtex
-
Poster communications
- titre
- Experimental determination of cross-sections/reaction rates: Methods and difficulties
- auteur
- Jean-Paul Booth
- article
- Rencontres scientifiques plasmas froids et lasers, Nov 2019, Toulouse, France. 2019
- identifiant
- hal-02861165
- Accès au bibtex
-
- titre
- Oxygen 3P atom and O- ion density and atomic temperature in O2 DC discharge obtained by Cavity Ringdown spectroscopy
- auteur
- Abhyuday Chatterjee, Jean-Paul Booth, Olivier Guaitella, Cyril Drag, Katherine Manfred, Grant Ricthie
- article
- International Symposium on Plasma Chemistry, Jun 2019, Naples, Italy. 2019
- identifiant
- hal-02861162
- Accès au bibtex
-
- titre
- Kinetics of active species in a DC discharge by synchrotron VUV absorption
- auteur
- Jean-Paul Booth, Abhyuday Chatterjee, Olivier Guaitella, J. Santos-Sousa, N. de Oliveira, Laurent Nahon, Dmitry Lopaev, Sergey Zyryanov, Tatyana Rakhimova
- article
- International Symposium on Plasma Chemistry, Jun 2019, Naples, Italy. 2019
- identifiant
- hal-02865808
- Accès au bibtex
-
- titre
- Iodine as propellant for electric propulsion: updated global model and comparisons to experiments
- auteur
- Florian Marmuse, Romain Lucken, Cyril Drag, Jean-Paul Booth, Anne Bourdon, N. Sisourat, Ane Aanesland, Pascal Chabert
- article
- International Symposium on Plasma Chemistry, Jun 2019, Naples, Italy. 2019
- identifiant
- hal-02341688
- Accès au bibtex
-
- titre
- Vacuum ultraviolet absorption spectroscopy of oxygen discharges
- auteur
- Jean-Paul Booth, Abhyuday Chatterjee, Olivier Guaitella, N. de Oliveira, L. Nahon, Dmitry Lopaev, S. Zyruyanov, Tatyana Rakhimova
- article
- Journées de la Spectroscopie Moléculaire, May 2019, Creteil, France. 2019
- identifiant
- hal-02861164
- Accès au bibtex
-
- titre
- Oxygen 3P atom density and temperature determined by Cavity Ringdown spectroscopy of the forbidden 1D2 <-3P2 transition
- auteur
- Jean-Paul Booth, Abhyuday Chatterjee, Olivier Guaitella, Cyril Drag, Katherine Manfred, Grant Ritchie
- article
- Frontiers in Low Temperature Plasma Diagnostics, May 2019, Bad Honnef, Germany. 2019
- identifiant
- hal-02861161
- Accès au bibtex
-
2018
Journal articles
- titre
- Kinetics of highly vibrationally excited O2 (X) molecules in inductively-coupled oxygen plasmas
- auteur
- Adriana Annusova, Daniil Marinov, Jean-Paul Booth, Nishant Sirse, Mrio Lino Da Silva, B. Lopez, V. Guerra
- article
- Plasma Sources Science and Technology, 2018, 27 (4), pp.045006. ⟨10.1088/1361-6595/aab47d⟩
- identifiant
- hal-01895558
- Accès au bibtex
-
- titre
- Chemical kinetics in an atmospheric pressure helium plasma containing humidity
- auteur
- Sandra Schröter, Apiwat Wijaikhum, Andrew Gibson, Andrew West, Helen Davies, Nicolas Minesi, James Dedrick, Erik Wagenaars, Nelson de Oliveira, Laurent Nahon, Mark Kushner, Jean-Paul Booth, Kari Niemi, Timo Gans, Deborah O'Connell
- article
- Physical Chemistry Chemical Physics, 2018, 20 (37), pp.24263-24286. ⟨10.1039/c8cp02473a⟩
- identifiant
- hal-02266591
- Accès au texte intégral et bibtex
-
- titre
- Effect of frequency on the uniformity of symmetrical RF CCP discharges
- auteur
- Yue Liu, Jean-Paul Booth, Pascal Chabert
- article
- Plasma Sources Science and Technology, 2018, 27 (5), pp.055012. ⟨10.1088/1361-6595/aabfb4⟩
- identifiant
- hal-01895562
- Accès au bibtex
-
- titre
- Experimental benchmark of kinetic simulations of capacitively coupled plasmas in molecular gases
- auteur
- Z. Donkó, A. Derzsi, Ihor Korolov, P. Hartmann, S. Brandt, J. Schulze, B. Berger, M. Koepke, Bastien Bruneau, Erik Johnson, Trevor Lafleur, Jean-Paul Booth, Andrew Gibson, D. O'Connell, T. Gans
- article
- Plasma Physics and Controlled Fusion, 2018, 60 (1), pp.014010. ⟨10.1088/1361-6587/aa8378⟩
- identifiant
- hal-01895567
- Accès au bibtex
-
- titre
- Multi frequency matching for voltage waveform tailoring
- auteur
- Frederik Schmidt, J. Schulze, Erik Johnson, Jean-Paul Booth, D. Keil, David M French, Jan Trieschmann, Thomas Mussenbrock
- article
- Plasma Sources Science and Technology, 2018, 27 (9), pp.095012. ⟨10.1088/1361-6595/aad2cd⟩
- identifiant
- hal-02271985
- Accès au bibtex
-
- titre
- Calculated electron impact dissociation cross sections for molecular chlorine (Cl 2 )
- auteur
- James R. Hamilton, Jonathan Tennyson, Jean-Paul Booth, Timo Gans, Andrew Gibson
- article
- Plasma Sources Science and Technology, 2018, 27 (9), pp.095008. ⟨10.1088/1361-6595/aada32⟩
- identifiant
- hal-01890202
- Accès au texte intégral et bibtex
-
- titre
- Plasma non-uniformity in a symmetric radiofrequency capacitively-coupled reactor with dielectric side-wall: a two dimensional particle-in-cell/Monte Carlo collision simulation
- auteur
- Yue Liu, Jean-Paul Booth, Pascal Chabert
- article
- Plasma Sources Science and Technology, 2018, 27 (2), pp.025006. ⟨10.1088/1361-6595/aaa86e⟩
- identifiant
- hal-01895556
- Accès au bibtex
-
Conference papers
- titre
- Oxygen metastable molecule densities in inductively-coupled plasmas in pure O2 measured by VUV absorption
- auteur
- Jean-Paul Booth, Abhyuday Chatterjee, Olivier Guaitella, N. de Oliveira, L. Nahon, Colin Western
- article
- 71st Annual Gaseous Electronics Conference, Nov 2018, Portland, Oregon, United States
- identifiant
- hal-02342229
- Accès au bibtex
-
- titre
- Diagnostics of plasma neutral species in a very high frequency oxygen plasma with high sensitivity broadband absorption spectroscopy
- auteur
- J. Zhao, Peter L G Ventzek, Barton Lane, Toshihiko Iwao, Kiyotaka Ishibashi, Jean-Paul Booth
- article
- AVS Symposium, Oct 2018, Long Beach, California, United States
- identifiant
- hal-02342227
- Accès au bibtex
-
- titre
- Vacuum ultraviolet absorption spectroscopy of oxygen discharges
- auteur
- Jean-Paul Booth, Abhyuday Chatterjee, Olivier Guaitella, N. de Oliveira, L. Nahon, Dmitry Lopaev, Sergey Zyryanov, Colin Western
- article
- The 8th International Workshop on Plasma Spectroscopy, Sep 2018, Oxford, United Kingdom
- identifiant
- hal-02342224
- Accès au bibtex
-
- titre
- Effect of high surface-area on CO2 plasma kinetics
- auteur
- Ana-Sofia Morillo-Candas, C. Goncalves, Bart Klarenaar, Jean-Paul Booth, Cyril Drag, V. Guerra, Olivier Guaitella
- article
- ESCAMPIG XXIV, Jul 2018, Glasgow, Scotland, United Kingdom
- identifiant
- hal-02342226
- Accès au bibtex
-
- titre
- Comparison of gas temperature measurements with Raman, FTIR and HR-TALIF
- auteur
- Ana-Sofia Morillo-Candas, Bart Klarenaar, Marija Grofulovic, Cyril Drag, Jean-Paul Booth, V. Guerra, Olivier Guaitella
- article
- ESCAMPIG XXIV, Jul 2018, Glasgow, Scotland, United Kingdom
- identifiant
- hal-02342225
- Accès au bibtex
-
- titre
- High-resolution VUV absorption diagnostics of discharges in oxygen
- auteur
- Jean-Paul Booth
- article
- GEM XX : 10th Gaseous Electronic Meeting, Jun 2018, Magnetic Island, Townsville, Queensland, Australia
- identifiant
- hal-04398249
- Accès au bibtex
-
- titre
- High−resolution VUV absorption diagnostics of discharges in oxygen
- auteur
- Jean-Paul Booth, Abhyuday Chatterjee, Olivier Guaitella, N. de Oliveira, L. Nahon, Colin Western
- article
- 20th Gaseous Electronics Meeting, Jun 2018, Magnetic Island, Townsville, Queensland, Australia
- identifiant
- hal-02341777
- Accès au bibtex
-
- titre
- Multi-species experimental validation of plasma chemistry models at atmospheric pressure
- auteur
- Sandra Schröter, A. Wijiakaum, Andrew Gibson, Jérôme Bredin, K. Niemi, A. West, Y. Gorbanev, H. Davies, Nicolas Minesi, N. de Oliveira, L. Nahon, J. Dedrick, Jean-Paul Booth, V. Chechik, M.J. Kushner, E. Wagenaars, T. Gans, D. O'Connell
- article
- Frontiers in Low temperature Plasma Simulation, May 2018, Dublin, Ireland
- identifiant
- hal-02342228
- Accès au bibtex
-
Poster communications
- titre
- Density of metastable O2(b 1 Sigma g+) molecules in an O2 DC discharge measured by vacuum ultraviolet absorption and optical emission spectroscopy
- auteur
- Jean-Paul Booth, Olivier Guaitella, Abhyuday Chatterjee, Dmitry Lopaev, Sergey Zyryanov, Tatyana Rakhimova, Dmitry Voloshin, Y. Mankelevich, N. de Oliveira, L. Nahon, Colin Western
- article
- 71st Annual Gaseous Electronics Conference, Nov 2018, Portland, Oregon, United States. 2018
- identifiant
- hal-02864739
- Accès au bibtex
-
- titre
- Spectroscopic study of an iodine plasma in a low pressure RF-ICP ion source
- auteur
- Florian Marmuse, Theo Courtois, Jean-Paul Booth, Cyril Drag, Ane Aanesland, Pascal Chabert
- article
- 71st Annual Gaseous Electronics Conference, Nov 2018, Portland, Oregon, United States. 2018
- identifiant
- hal-02864740
- Accès au bibtex
-
- titre
- O2 X, a and b densities and kinetics in pure O2 DC discharges: VUV absorption, IR emission and Cavity Ring Down Spectroscopy measurements
- auteur
- Abhyuday Chatterjee, Jean-Paul Booth, Olivier Guaitella, N. de Oliveira, L. Nahon, Colin Western, Michele Gianella, Sioned Press, Dmitry Lopaev, Sergey Zyryanov
- article
- ESCAMPIG XXIV, Jul 2018, Glasgow, Scotland, United Kingdom. 2018
- identifiant
- hal-02864738
- Accès au bibtex
-
- titre
- Oxygen metastable molecule densities in inductively-coupled plasmas in pure O2 measured by VUV absorption
- auteur
- Jean-Paul Booth, Abhyuday Chatterjee, Olivier Guaitella, N. de Oliveira, L. Nahon, Colin Western
- article
- ESCAMPIG XXIV, Jul 2018, Glasgow, Scotland, United Kingdom. 2018
- identifiant
- hal-02864750
- Accès au bibtex
-
- titre
- Temperature and density measurements in an iodine RF-CCP plasma with emission and absorption spectroscopy
- auteur
- Florian Marmuse, Cyril Drag, Jean-Paul Booth, Ane Aanesland
- article
- ESCAMPIG XXIV, Jul 2018, Glasgow, Scotland, United Kingdom. 2018
- identifiant
- hal-02341678
- Accès au bibtex
-
2017
Journal articles
- titre
- QDB: a new database of plasma chemistries and reactions
- auteur
- Jonathan Tennyson, Sara Rahimi, Christian Hill, Lisa Tse, Anuradha Vibhakar, Dolica Akello-Egwel, Daniel B Brown, Anna Dzarasova, James R Hamilton, Dagmar Jaksch, Sebastian Mohr, Keir Wren-Little, Johannes Bruckmeier, Ankur Agarwal, Klaus Bartschat, Annemie Annemie Bogaerts, Jean-Paul Booth, Matthew J Goeckner, Khaled Hassouni, Yukikazu Itikawa, Bastiaan J Braams, E. Krishnakumar, Annarita Laricchiuta, Nigel J Mason, Sumeet Pandey, Zoran Lj Petrovic, Yi-Kang Pu, Alok Ranjan, S. Rauf, J. Schulze, M.M. Turner, Peter Ventzek, J.C. Whitehead, Jung-Sik Yoon
- article
- Plasma Sources Science and Technology, 2017, 26 (5), pp.055014. ⟨10.1088/1361-6595/aa6669⟩
- identifiant
- hal-01895568
- Accès au bibtex
-
- titre
- Capacitively coupled hydrogen plasmas sustained by tailored voltage waveforms: vibrational kinetics and negative ions control
- auteur
- P. Diomede, Bastien Bruneau, S. Longo, E.V. Johnson, Jean-Paul Booth
- article
- Plasma Sources Science and Technology, 2017, 26 (7), pp.075007. ⟨10.1088/1361-6595/aa752c⟩
- identifiant
- hal-01895582
- Accès au bibtex
-
- titre
- The role of thermal energy accommodation and atomic recombination probabilities in low pressure oxygen plasmas
- auteur
- Andrew Gibson, Mickaël Foucher, Daniil Marinov, Pascal Chabert, T. Gans, M.J. Kushner, Jean-Paul Booth
- article
- Plasma Physics and Controlled Fusion, 2017, 59 (2), pp.024004. ⟨10.1088/1361-6587/59/2/024004⟩
- identifiant
- hal-01895577
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-
- titre
- Power coupling mode transitions induced by tailored voltage waveforms in capacitive oxygen discharges
- auteur
- A. Derzsi, Bastien Bruneau, Andrew Gibson, Erik Johnson, D. O'Connell, T. Gans, Jean-Paul Booth, Zoltan Donko
- article
- Plasma Sources Science and Technology, 2017, 26 (3), pp.034002. ⟨10.1088/1361-6595/aa56d6⟩
- identifiant
- hal-01895575
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-
- titre
- Measurement of the isotope shift of the 2p4 -> 2p33p 3P2 two-photon transition of O I and a revision of the triplet energy levels of atomic oxygen
- auteur
- Daniil Marinov, Jean-Paul Booth, Cyril Drag, Christophe Blondel
- article
- Journal of Physics B: Atomic, Molecular and Optical Physics, 2017, 50 (6), pp.065003. ⟨10.1088/1361-6455/aa5a88⟩
- identifiant
- hal-01895572
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-
- titre
- Controlled production of atomic oxygen and nitrogen in a pulsed radio-frequency atmospheric-pressure plasma
- auteur
- J. Dedrick, Sandra Schröter, K. Niemi, A. Wijaikhum, E. Wagenaars, N De Oliveira, L. Nahon, Jean-Paul Booth, D. O'Connell, T. Gans
- article
- Journal of Physics D: Applied Physics, 2017, 50 (45), pp.455204. ⟨10.1088/1361-6463/aa8da2⟩
- identifiant
- hal-01895585
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-
Conference papers
- titre
- Kinetics of atoms and metastable molecules in oxygen plasmas revisited: an experimental study
- auteur
- Jean-Paul Booth, Abhyuday Chatterjee, Olivier Guaitella, Ana-Sofia Morillo-Candas, Cyril Drag, Dmitry Lopaev, Sergey Zyryanov, N. de Oliveira, Laurent Nahon
- article
- 10th EU-Japan Joint Symposium on Plasma Processing, Dec 2017, Okinawa, Japan
- identifiant
- hal-02573372
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-
- titre
- High resolution Two-photon Absorption Laser-Induced Fluorescence (TALIF) with a single-mode nanosecond Ti:Sapphire laser
- auteur
- Ana-Sofia Morillo-Candas, Pierre Lottigier, Cyril Drag, Christophe Blondel, Jean-Paul Booth, Olivier Guaitella
- article
- 18th, Laser Aided Plasma Diagnostics, Sep 2017, Prague, Czech Republic, Unknown Region
- identifiant
- hal-02593711
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-
- titre
- The role of translational and vibrational energy in processing plasmas: novel optical diagnostics of low-pressure Cl2 and O2 inductively-coupled plasmas
- auteur
- Jean-Paul Booth
- article
- 1st Asia-Pacific Conference on Plasma Physics, Sep 2017, Chengdu, China
- identifiant
- hal-02573371
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-
- titre
- Kinetics of metastable states and atoms in DC discharges in pure O2: An experimental study
- auteur
- Jean-Paul Booth, Abhyuday Chatterjee, Olivier Guaitella, N. de Oliveira, L. Nahon, Colin Western, Sergey Zyryanov, Dmitry Lopaev
- article
- 23rd International Symposium on Plasma Chemistry, Jul 2017, Montréal, Canada
- identifiant
- hal-02593710
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-
- titre
- O atom kinetics in CO2 pulsed glow discharges
- auteur
- Ana-Sofia Morillo-Candas, Bart Klarenaar, Richard Engeln, Abhyuday Chatterjee, Jean-Paul Booth, Tiago Silva, V. Guerra, Olivier Guaitella
- article
- XXXIII ICPIG- International Conference on Phenomena in Ionised Gases, Jul 2017, Estoril/Lisbon, Portugal
- identifiant
- hal-02593709
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-
- titre
- Single-mode nanosecond Ti: Sapphire laser for high resolution Two-photon Absorption Laser Induced-Fluorescence (TALIF)
- auteur
- Daniil Marinov, Christophe Blondel, Jean-Paul Booth, Olivier Guaitella, Pierre Lottigier, Cyril Drag
- article
- 2017 European Conference on Lasers and Electro-Optics and European Quantum Electronics Conference, Jun 2017, Munich, Germany. Paper# CH_3_3
- identifiant
- hal-02588053
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-
- titre
- New methods to determine density, temperature and thermal accommodation coefficient of oxygen atoms
- auteur
- Jean-Paul Booth, Abhyuday Chatterjee, Olivier Guaitella, Andrew Gibson, Cyril Drag, Nelson d'Oliveira, Laurent Nahon
- article
- International Workshop on Radio-frequency Plasmas, May 2017, Presqu ile de Giens, France
- identifiant
- hal-02593706
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-
- titre
- 2 Dimensional PIC/MCC simulations of RF CCPs with dielectric side wall: non-uniformity in electron heating
- auteur
- Yue Liu, Jean-Paul Booth, Pascal Chabert
- article
- International Workshop on Radio-Frequency Plasmas, May 2017, Presquile de Giens, France
- identifiant
- hal-02593707
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-
- titre
- Probing mechanisms in low-temperature reactive gas plasmas: towards improved models of industrial plasma etch processes
- auteur
- Jean-Paul Booth
- article
- 2nd European Conference on Plasma Diagnostics, Apr 2017, Bordeaux, France
- identifiant
- hal-02573369
- Accès au bibtex
-
- titre
- Vibrational excitation and temperature evolution in a pulsed CO2 discharge
- auteur
- Olivier Guaitella, Ana-Sofia Morillo-Candas, David Yap, Cyril Drag, Jean-Paul Booth, Bart Klarenaar, Richard Engeln, Marija Grofulovic, Tiago Silva, V. Guerra
- article
- 70th Annuel Gaseous Electronics Conference (GEC 2017), 2017, Pittsburgh, Pennsylvania, United States
- identifiant
- hal-02592107
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-
Poster communications
- titre
- Kinetics of metastable states and atoms in DC discharges in pure O2: an experimental study
- auteur
- Jean-Paul Booth, Abhyuday Chatterjee, Olivier Guaitella, N. de Oliveira, Laurent Nahon, Colin Western, Sergey Zyryanov, Dmitry Lopaev
- article
- REACPLAS Workshop (reactivity, Plasmas, Astrophysics), Nov 2017, Orsay, France. 2017
- identifiant
- hal-02611361
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-
- titre
- Kinetics of Metastable Molecules and O atoms in O2 Plasmas
- auteur
- Abhyuday Chatterjee, Jean-Paul Booth, Olivier Guaitella, Ana-Sofia Morillo-Candas, Cyril Drag, L. Nahon, N. de Oliveira, Sergey Zyryanov, Dmitry Lopaev
- article
- Masterclass "New approaches for plasma/surface interaction studies", Oct 2017, Bad Honnef, Germany. 2017
- identifiant
- hal-02611360
- Accès au bibtex
-
- titre
- Iodine atom detection in a plasma thruster by infrared diode laser absorption
- auteur
- Jean-Paul Booth, Theo Courtois
- article
- 18th, Laser Aided Plasma Diagnostics, Sep 2017, Prague, Czech Republic, Unknown Region. 2017
- identifiant
- hal-02611358
- Accès au bibtex
-
- titre
- Species-dependent thermal energy accommodation in low-pressure plasmas
- auteur
- Andrew Gibson, T. Gans, M.J. Kushner, Jean-Paul Booth
- article
- 23rd International Symposium on Plasma Chemistry, Jul 2017, Montréal, Canada. 2017
- identifiant
- hal-02611357
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-
- titre
- O2 dissociation in plasmas and problems of the O2 cross section set
- auteur
- Jean-Paul Booth, Olivier Guaitella, Abhyuday Chatterjee, Sergey Zyryanov, Dmitry Lopaev, Dmitry Voloshin, Tatyana Rakhimova
- article
- XXXIII ICPIG- International Conference on Phenomena in Ionised Gases, Jul 2017, Estoril/Lisbon, Portugal. 2017
- identifiant
- hal-02611355
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-
- titre
- Metastable Molecules in O2 Plasmas probed by High Resolution Fourier Transform Absorption Spectroscopy
- auteur
- Abhyuday Chatterjee, Jean-Paul Booth, Olivier Guaitella, L. Nahon, Nelson d'Oliveira, Colin Western
- article
- XXXIII ICPIG- International Conference on Phenomena in Ionised Gases, Jul 2017, Estoril/Lisbon, Portugal. 2017
- identifiant
- hal-02611353
- Accès au bibtex
-
- titre
- Control of charged species dynamics in atmospheric pressure plasmas using tailored voltage waveforms
- auteur
- Andrew Gibson, L. Alelyani, S. Doyle, Jérôme Bredin, Jean-Paul Booth, J. Dedrick, D. O'Connell, T. Gans
- article
- XXXIII ICPIG- International Conference on Phenomena in Ionised Gases, Jul 2017, Estoril/Lisbon, Portugal. 2017
- identifiant
- hal-02611352
- Accès au bibtex
-
- titre
- Experimental Benchmarks and sensitivity analysis of PIC/MC simulations of oxygen CCP's
- auteur
- Z. Donko, Aranka Derszi, Bastien Bruneau, Andrew Gibson, E.V. Johnson, D. O'Connell, T. Gans, Jean-Paul Booth, J. Schulze
- article
- International Workshop on Radio-Frequency Plasmas, May 2017, Presqu'île de Giens, France. 2017
- identifiant
- hal-02611351
- Accès au bibtex
-
2016
Journal articles
- titre
- High sensitivity ultra-broad-band absorption spectroscopy of inductively coupled chlorine plasma
- auteur
- Daniil Marinov, Mickaël Foucher, Ewen Campbell, Mark Brouard, Pascal Chabert, Jean-Paul Booth
- article
- Plasma Sources Science and Technology, 2016, 25 (3), pp.035019 ⟨10.1088/0963-0252/25/3/035019⟩
- identifiant
- hal-01346016
- Accès au texte intégral et bibtex
-
- titre
- Experimental and simulation study of a capacitively coupled oxygen discharge driven by tailored voltage waveforms
- auteur
- A. Derzsi, Trevor Lafleur, Jean-Paul Booth, Ihor Korolov, Zoltan Donko
- article
- Plasma Sources Science and Technology, 2016, 25 (1), pp.015004. ⟨10.1088/0963-0252/25/1/015004⟩
- identifiant
- hal-01549577
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-
- titre
- Electron power absorption dynamics in capacitive radio frequency discharges driven by tailored voltage waveforms in CF4
- auteur
- S. Brandt, B. Berger, E. Schüngel, Ihor Korolov, A. Derzsi, Bastien Bruneau, E.V. Johnson, Trevor Lafleur, D. O'Connell, M. Koepke, T. Gans, Jean-Paul Booth, Z. Donkó, J. Schulze
- article
- Plasma Sources Science and Technology, 2016, 25 (4), pp.045015. ⟨10.1088/0963-0252/25/4/045015⟩
- identifiant
- hal-01549325
- Accès au bibtex
-
- titre
- Tailored voltage waveform capacitively coupled plasmas in electronegative gases: frequency dependence of asymmetry effects
- auteur
- E. Schüngel, Ihor Korolov, Bastien Bruneau, A. Derzsi, E.V. Johnson, D. O'Connell, T. Gans, Jean-Paul Booth, Z. Donkó, J. Schulze
- article
- Journal of Physics D: Applied Physics, 2016, 49 (26), pp.265203. ⟨10.1088/0022-3727/49/26/265203⟩
- identifiant
- hal-01549338
- Accès au bibtex
-
- titre
- Slope and amplitude asymmetry effects on low frequency capacitively coupled carbon tetrafluoride plasmas
- auteur
- Bastien Bruneau, Ihor Korolov, Trevor Lafleur, T. Gans, D. O'Connell, Arthur Greb, A. Derzsi, Z. Donkó, S. Brandt, E. Schüngel, J. Schulze, Erik Johnson, Jean-Paul Booth
- article
- Journal of Applied Physics, 2016, 119 (16), pp.163301. ⟨10.1063/1.4947453⟩
- identifiant
- hal-01549329
- Accès au bibtex
-
- titre
- Effect of gas properties on the dynamics of the electrical slope asymmetry effect in capacitive plasmas: comparison of Ar, H2 and CF4
- auteur
- Bastien Bruneau, Trevor Lafleur, T. Gans, D. O'Connell, Arthur Greb, Ihor Korolov, A. Derzsi, Z. Donkó, S. Brandt, E. Schüngel, J. Schulze, P. Diomede, D. J. Economou, S. Longo, E.V. Johnson, Jean-Paul Booth
- article
- Plasma Sources Science and Technology, 2016, 25 (1), pp.01LT02. ⟨10.1088/0963-0252/25/1/01LT02⟩
- identifiant
- hal-01549332
- Accès au bibtex
-
- titre
- Controlling the shape of the ion energy distribution at constant ion flux and constant mean ion energy with tailored voltage waveforms
- auteur
- Bastien Bruneau, Trevor Lafleur, Jean-Paul Booth, Erik Johnson
- article
- Plasma Sources Science and Technology, 2016, 25 (2), pp.025006. ⟨10.1088/0963-0252/25/2/025006⟩
- identifiant
- hal-01549334
- Accès au bibtex
-
- titre
- Pressure broadening of atomic oxygen two-photon absorption laser induced fluorescence
- auteur
- Daniil Marinov, Cyril Drag, Christophe Blondel, Olivier Guaitella, Judith Golda, Bart Klarenaar, Richard Engeln, Volker Schulz-von Der Gathen, Jean-Paul Booth
- article
- Plasma Sources Science and Technology, 2016, 25 (6), pp.06LT03. ⟨10.1088/0963-0252/25/6/06LT03⟩
- identifiant
- hal-01549339
- Accès au bibtex
-
- titre
- A computational analysis of the vibrational levels of molecular oxygen in low-pressure stationary and transient radio-frequency oxygen plasma
- auteur
- Efe Kemaneci, Jean-Paul Booth, Pascal Chabert, Jan van Dijk, Thomas Mussenbrock, Ralf Peter Brinkmann
- article
- Plasma Sources Science and Technology, 2016, 25 (2), pp.025025. ⟨10.1088/0963-0252/25/2/025025⟩
- identifiant
- hal-01549335
- Accès au bibtex
-
Conference papers
- titre
- Multifrequency impedance matching solutions for plasma excitation by Tailored Voltage Waveforms
- auteur
- Erik Johnson, Sebastien Dine, Jean-Paul Booth
- article
- AVS Symposium, Nov 2016, Nashville, United States
- identifiant
- hal-02593689
- Accès au bibtex
-
- titre
- Translational and Vibrational Energy in Cl2 and O2 Plasmas Probed by Innovative Optical Diagnostics
- auteur
- Jean-Paul Booth, Daniil Marinov, Mickaël Foucher, Olivier Guaitella, Cyril Drag, Ankur Agarwal, S. Rauf
- article
- AVS Symposium, Nov 2016, Nashville, United States
- identifiant
- hal-02573357
- Accès au bibtex
-
- titre
- Charged Particle Dynamics in Technological Radio Frequency Plasmas Operated in CF4
- auteur
- J. Schulze, B. Berger, S. Brandt, Bastien Bruneau, Y. Liu, Ihor Korolov, A. Derzsi, E. Schuengel, M. Koepke, T. Mussenbrock, E.V. Johnson, Trevor Lafleur, Jean-Paul Booth, D. O'Connell, T. Gans, Yn Wang, Z. Donkó
- article
- AVS Symposium, Nov 2016, Nashville, United States
- identifiant
- hal-02573358
- Accès au bibtex
-
- titre
- Two Dimensional Particle-in-cell/Monte Carlo (PIC/MC) Simulation of Radio Frequency Capacitively Coupled Plasmas with a Dielectric Side Wall Boundary
- auteur
- Yue Liu, Jean-Paul Booth, Pascal Chabert
- article
- GEC, Oct 2016, Bochum, Germany
- identifiant
- hal-02593691
- Accès au bibtex
-
- titre
- Reactive species in humidity containing atmospheric pressure plasma jets − Numerical and experimental investigations
- auteur
- Sandra Schröter, Jérôme Bredin, A. West, J. Dedrick, K. Niemi, Andrew Gibson, Mickaël Foucher, Jean-Paul Booth, N. de Oliveira, D. Joyeux, Laurent Nahon, V. Chechik, E. Wagenaars, T. Gans, D. O'Connell
- article
- GEC, Oct 2016, Bochum, Germany
- identifiant
- hal-02593693
- Accès au bibtex
-
- titre
- Vibrational excitation in O2 and Cl2 inductively-coupled plasmas and DC discharges
- auteur
- V. Guerra, Jean-Paul Booth, Daniil Marinov, Mickaël Foucher, Adriana Annusova
- article
- GEC, Oct 2016, Bochum, Germany
- identifiant
- hal-02593690
- Accès au bibtex
-
- titre
- Gas temperature measuements by high-resolution TALIF
- auteur
- Jean-Paul Booth
- article
- Workshop on Oxygen Plasma Kinetics, Sep 2016, Reykjavik, Iceland
- identifiant
- hal-02593694
- Accès au bibtex
-
- titre
- Dynamics of inductive plasmas in Cl2, O2 and Cl2/O2 mixtures: quantitative diagnostics and numerical modelling
- auteur
- Daniil Marinov, Mickaël Foucher, Andrew Gibson, Pascal Chabert, Jean-Paul Booth
- article
- IVC (International Vacuum Conference), Aug 2016, Busan, Korea, Unknown Region
- identifiant
- hal-02573356
- Accès au bibtex
-
- titre
- Quantitative Diagnostics of Inductively-coupled Radiofrequency Plasmas in Cl2, O2 and mixtures
- auteur
- Jean-Paul Booth, Mickaël Foucher, Andrew Gibson, Daniil Marinov
- article
- International Symposium on Gas Kinetics and Related Phenomena, Jul 2016, York, United Kingdom
- identifiant
- hal-02593687
- Accès au bibtex
-
- titre
- Plasma-surface interaction: Heterogeneous processes of atmospheric gases
- auteur
- Daniil Marinov, Olivier Guaitella, V. Guerra, Jean-Paul Booth, Antoine Rousseau
- article
- ESCAMPIG, Jul 2016, Bratislava, Slovakia
- identifiant
- hal-02573354
- Accès au bibtex
-
- titre
- Vibrational excitation in O2 and Cl2 inductively-coupled plasmas and DC discharges
- auteur
- Jean-Paul Booth, Mickaël Foucher, Daniil Marinov, Andrew Gibson, Pascal Chabert, Adriana Annusova, V. Guerra
- article
- ESCAMPIG Workshop on electron processes active in low temperature plasmas, Jul 2016, Bratislava, Slovakia
- identifiant
- hal-02573355
- Accès au bibtex
-
- titre
- The role of surface interaction probabilities in reactive plasma modelling
- auteur
- Andrew Gibson, Mickaël Foucher, Daniil Marinov, Pascal Chabert, T. Gans, V. Guerra, M.J. Kushner, Jean-Paul Booth
- article
- ESCAMPIG, Jul 2016, Bratislava, Slovakia
- identifiant
- hal-02593684
- Accès au bibtex
-
- titre
- Modelling of tailored ion energy distributions for plasma processing applications
- auteur
- P. Diomede, Trevor Lafleur, Jean-Paul Booth, S. Longo, D. J. Economou
- article
- ESCAMPIG, Jul 2016, Bratislava, Slovakia
- identifiant
- hal-02573353
- Accès au bibtex
-
- titre
- Charged and neutral particle dynamics in low pressure chlorine and oxygen plasmas: the role of collisional processes
- auteur
- Andrew Gibson, Mickaël Foucher, Daniil Marinov, Pascal Chabert, T. Gans, V. Guerra, M.J. Kushner, Jean-Paul Booth
- article
- EPS Plasma, Jul 2016, Leuven, Belgium
- identifiant
- hal-02573351
- Accès au bibtex
-
- titre
- Modelling and experimental validation of capacitively coupled plasmas in hydrogen
- auteur
- D. Diomede, Bastien Bruneau, Trevor Lafleur, D. J. Economou, S. Longo, T. Gans, D. O'Connell, Arthur Greb, E.V. Johnson, Jean-Paul Booth
- article
- EPS Plasma, Jul 2016, Leuven, Belgium
- identifiant
- hal-02573350
- Accès au bibtex
-
- titre
- Heating dynamics and control of energy distribution functions in capacitive discharges driven by tailored voltage waveforms
- auteur
- J. Schulze, B. Berger, S. Brandt, M. Koepke, T. Mussenbrock, Bastien Bruneau, Erik Johnson, Trevor Lafleur, Jean-Paul Booth, D. O'Connell, T. Gans, Ihor Korolov, A. Derzsi, Z. Donkó
- article
- International Conference on Plasma Physics ICPP, Jun 2016, Kaohsiung, Taiwan
- identifiant
- hal-02573352
- Accès au bibtex
-
- titre
- ELECTRON POWER ABSORPTION DYNAMICS AND ION ENERGY DISTRIBUTIONS IN CAPACITIVE DISCHARGES DRIVEN BY CUSTOMIZED VOLTAGE WAVEFORMS IN ARGON AND CF4
- auteur
- B. Berger, S. Brandt, J. Franek, E. Shuengel, M. Koepke, J. Schulze, T. Mussenbrock, Bastien Bruneau, E.V. Johnson, Trevor Lafleur, Jean-Paul Booth, D. O'Connell, T. Gans, Ihor Korolov, A. Derzsi, Z. Donkó
- article
- IEEE-ICOPS, Jun 2016, Banff, Canada
- identifiant
- hal-02593683
- Accès au bibtex
-
- titre
- The importance of surface interaction probabilities in low pressure plasma simulations for process design
- auteur
- Andrew Gibson, Mickaël Foucher, Daniil Marinov, Pascal Chabert, T. Gans, V. Guerra, M.J. Kushner, Jean-Paul Booth
- article
- PESM (Plasma Etch and Strip for Microelectronics), May 2016, Grenoble, France
- identifiant
- hal-02593686
- Accès au bibtex
-
Poster communications
- titre
- Frequency dependence of the Electrical Asymmetry Effect in electronegative capacitive RF discharges driven by Tailored Voltage Waveforms
- auteur
- J. Schulze, E. Schuengel, Bastien Bruneau, E.V. Johnson, Jean-Paul Booth, A. Derzsi, Z. Donko, D. O'Connell, T. Gas
- article
- GEC, Oct 2016, Bochum, Germany. 2016
- identifiant
- hal-02611341
- Accès au bibtex
-
- titre
- High-resolution TALIF measurements of atomic oxygen: determination of gas temperature and collisional broadening coefficients
- auteur
- Jean-Paul Booth, Daniil Marinov, Olivier Guaitella, Cyril Drag, Richard Engeln, J. Golda, V. Schultz-von Der Gathern
- article
- GEC (Gaseous Electronics Synposium), Oct 2016, Bochum, Germany. 2016
- identifiant
- hal-02611340
- Accès au bibtex
-
- titre
- Measuring atomic oxygen densities and electron properties in an Inductively Coupled Plasma for thin film deposition
- auteur
- D. Meehan, Andrew Gibson, Jean-Paul Booth, E. Wagenaars
- article
- GEC, Oct 2016, Bochum, Germany. 2016
- identifiant
- hal-02611342
- Accès au bibtex
-
- titre
- The role of gas kinetics and surface interaction probabilities in simulations of industrial plasma sources at low pressure
- auteur
- Andrew Gibson, Mickaël Foucher, Daniil Marinov, Pascal Chabert, T. Gans, V. Guerra, M.J. Kushner, Jean-Paul Booth
- article
- International Symposium on Gas Kinetics, Jul 2016, York, United Kingdom. 2016
- identifiant
- hal-02611343
- Accès au bibtex
-
- titre
- Atmospheric pressure plasmas as sources of reactive oxygen and hydrogen species for biomedical applications
- auteur
- Sandra Schröter, Andrew Gibson, Jérôme Bredin, A. West, A. Wijiaikum, K. Niemi, J. Dedrick, Mickaël Foucher, N. de Oliviera, D. Joyeux, L. Nahon, Jean-Paul Booth, E. Wagenaars, T. Gans, D. O'Connell
- article
- International Symposium on Gas Kinetics, Jul 2016, York, United Kingdom. 2016
- identifiant
- hal-02611339
- Accès au bibtex
-
- titre
- Highly vibrationally excited O2 molecules in low pressure oxygen plasmas: 1. Broad-band absorption spectroscopy
- auteur
- Daniil Marinov, Mickaël Foucher, Olivier Guaitella, Richard Engeln, Pascal Chabert, V. Guerra, Jean-Paul Booth
- article
- ESCAMPIG, Jul 2016, Bratislava, Slovakia. 2016
- identifiant
- hal-02611336
- Accès au bibtex
-
- titre
- Experimental and simulation study of capacitively coupled oxygen discharges driven by tailored voltage waveforms
- auteur
- A. Derzsi, Bastien Bruneau, Trevor Lafleur, Jean-Paul Booth, Ihor Korolov, Andrew Gibson, T. Gans, Z. Donko
- article
- ESCAMPIG, Jul 2016, Bratislava, Slovakia. 2016
- identifiant
- hal-02611337
- Accès au bibtex
-
- titre
- Highly vibrationally excited O2 molecules in low pressure oxygen plasmas: 2. Self-consistent model
- auteur
- Adriana Annusova, V. Guerra, M. Lino Da Silva, B. Lopez, Mickaël Foucher, Daniil Marinov, Jean-Paul Booth
- article
- ESCAMPIG, Jul 2016, Bratislava, Slovakia. 2016
- identifiant
- hal-02611338
- Accès au bibtex
-
2015
Journal articles
- titre
- Strong Ionization Asymmetry in a Geometrically Symmetric Radio Frequency Capacitively Coupled Plasma Induced by Sawtooth Voltage Waveforms
- auteur
- Bastien Bruneau, T. Gans, D. O'Connell, Arthur Greb, E.V. Johnson, Jean-Paul Booth
- article
- Physical Review Letters, 2015, 114, pp.125002. ⟨10.1103/PhysRevLett.114.125002⟩
- identifiant
- hal-01549359
- Accès au bibtex
-
- titre
- Control and optimization of the slope asymmetry effect in tailored voltage waveforms for capacitively coupled plasmas
- auteur
- Bastien Bruneau, T. Novikova, Trevor Lafleur, Jean-Paul Booth, E.V. Johnson
- article
- Plasma Sources Science and Technology, 2015, 24 (1), pp.015021. ⟨10.1088/0963-0252/24/1/015021⟩
- identifiant
- hal-01549355
- Accès au bibtex
-
- titre
- Highly vibrationally excited O2 molecules in low-pressure inductively-coupled plasmas detected by high sensitivity ultra-broad-band optical absorption spectroscopy
- auteur
- Mickaël Foucher, Daniil Marinov, Emile Carbone, Pascal Chabert, Jean-Paul Booth
- article
- Plasma Sources Science and Technology, 2015, 24 (4), pp.042001. ⟨10.1088/0963-0252/24/4/042001⟩
- identifiant
- hal-01549357
- Accès au bibtex
-
- titre
- Gas temperature measurements in oxygen plasmas by high-resolution Two-Photon Absorption Laser-induced Fluorescence
- auteur
- Jean-Paul Booth, Daniil Marinov, Mickaël Foucher, Olivier Guaitella, D. Bresteau, Louis Cabaret, Cyril Drag
- article
- Journal of Instrumentation, 2015, 10 (11), pp.C11003. ⟨10.1088/1748-0221/10/11/C11003⟩
- identifiant
- hal-01549365
- Accès au bibtex
-
- titre
- TALIF measurements of oxygen atom density in the afterglow of a capillary nanosecond discharge
- auteur
- A.V. Klochko, J. Lemainque, Jean-Paul Booth, Svetlana Starikovskaia
- article
- Plasma Sources Science and Technology, 2015, 24 (2), pp.025010. ⟨10.1088/0963-0252/24/2/025010⟩
- identifiant
- hal-01549360
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-
Conference papers
- titre
- Quantitative Diagnostics of Inductive Plasmas in Chlorine, Oxygen and Chlorine-Oxygen Mixtures
- auteur
- Jean-Paul Booth, Mickaël Foucher, Daniil Marinov, Pascal Chabert
- article
- MRS-Japan, Dec 2015, Yokohama, Japan
- identifiant
- hal-02573344
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-
- titre
- Validation of Inductively Coupled Plasmas Sustained in Halogen Chemistries
- auteur
- Ankur Agarwal, Mickaël Foucher, S. Rauf, Jean-Paul Booth, Pascal Chabert, Ken Collins
- article
- AVS Annual Symposium, Oct 2015, San Jose, California, United States
- identifiant
- hal-02593676
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-
- titre
- Detection of Biomedically Relevant Reactive Oxygen Species in Atmospheric Pressure Plasmas
- auteur
- Sandra Schröter, Jérôme Bredin, K. Niemi, J. Dedrick, Mickaël Foucher, N. de Oliviera, D. Joyeux, Laurent Nahon, Jean-Paul Booth, E. Wagenaars, T. Gans, D. O'Connell
- article
- AVS Symposium, Oct 2015, San Jose, California, United States
- identifiant
- hal-02593680
- Accès au bibtex
-
- titre
- A Comprehensive Quantitative Study of Low Pressure Inductively-Coupled Plasmas in Cl2, O2 and Mixtures
- auteur
- Jean-Paul Booth, Mickaël Foucher, Daniil Marinov, Pascal Chabert, Ankur Agarwal, S. Rauf
- article
- AVS Symposium, Oct 2015, San Jose, California, United States
- identifiant
- hal-02593682
- Accès au bibtex
-
- titre
- Vibrational kinetics in Cl2 and O2 low-pressure inductively-coupled plasmas
- auteur
- Jean-Paul Booth, Mickaël Foucher, Daniil Marinov, Pascal Chabert, Adriana Annusova, V. Guerra, Ankur Agarwal, S. Rauf
- article
- Gaseous Electronics Conference, Oct 2015, Honolulu, United States
- identifiant
- hal-02593669
- Accès au bibtex
-
- titre
- Reactive species generated in atmospheric-pressure plasmas with water admixtures for biomedical applications: Absolute measurements and numerical simulations
- auteur
- Sandra Schröter, Jérôme Bredin, A. West, K. Niemi, J. Dedrick, N. de Oliviera, D. Joyeux, L. Nahon, Mickaël Foucher, Jean-Paul Booth, E. Wagenaars, T. Gans, D. O'Connell
- article
- Gaseaous Electronics Conference, Oct 2015, Honolulu, United States
- identifiant
- hal-02593672
- Accès au bibtex
-
- titre
- Modelling the influence of neutral gas heating mechanisms on particle densities in inductively coupled chlorine discharges
- auteur
- Andrew Gibson, T. Gans, Mickaël Foucher, Daniil Marinov, Pascal Chabert, M.J. Kushner, Jean-Paul Booth
- article
- Gaseous Electronics Conference, Oct 2015, Honolulu, United States
- identifiant
- hal-02593670
- Accès au bibtex
-
- titre
- Comparison of the effect of sawtooth-like voltage waveforms on discharge dynamics of Ar, H2, and CF4 plasmas
- auteur
- Bastien Bruneau, Erik Johnson, T. Gans, Arthur Greb, Ihor Korolov, Aranka Derszi, Z. Donkó, S. Brandt, E. Schuengel, J. Schulze, D. J. Economou, P. Diomede, S. Longo, Trevor Lafleur, Jean-Paul Booth, D. O'Connell
- article
- Gaseaous Electronics Conference, Oct 2015, Honolulu, United States
- identifiant
- hal-02593667
- Accès au bibtex
-
- titre
- Gas Temperature Measurements in Plasmas by High-Resolution TALIF
- auteur
- Jean-Paul Booth, Olivier Guaitella, Daniil Marinov, Mickaël Foucher, Cyril Drag, Louis Cabaret
- article
- Laser AIded Plasma Diagnostics LAPD, Sep 2015, Sapporo, Japan
- identifiant
- hal-02593665
- Accès au bibtex
-
- titre
- Inductively-coupled plasmas in Cl2 and O2: Comparing HPEM with advanced diagnostic measurements
- auteur
- Jean-Paul Booth, Mickaël Foucher, Andrew Gibson, Daniil Marinov, Nishant Sirse, Pascal Chabert, M.J. Kushner
- article
- Quantumol Workshop -Linking Simulation with Experiment, Sep 2015, London, United Kingdom
- identifiant
- hal-02573341
- Accès au bibtex
-
- titre
- 101 uses of Cold Plasmas: from smartphones to space travel
- auteur
- Jean-Paul Booth
- article
- Plas@par International Summer School : Discover Plasmas, Aug 2015, Roscoff, France
- identifiant
- hal-02573342
- Accès au bibtex
-
- titre
- Density and temperature measurements in ICP's of Cl2/O2 using high sensitivity ultra broad-band absorption spectroscopy
- auteur
- Mickaël Foucher, Daniil Marinov, Emile Carbone, Pascal Chabert, Jean-Paul Booth
- article
- International Symposium on Plasma Chemistry, Jul 2015, Anvers, Belgium
- identifiant
- hal-02593678
- Accès au bibtex
-
- titre
- Reactive adsorption of molecules and radicals on surfaces
- auteur
- Daniil Marinov, Olivier Guaitella, Jean-Paul Booth, Antoine Rousseau
- article
- 22nd International Symposium on Plasma Chemistry, Jul 2015, Antwerp, Belgium
- identifiant
- hal-02573340
- Accès au bibtex
-
- titre
- Quantitative Diagnostics of Inductive Plasmas in Chlorine, Oxygen and Chlorine-Oxygen Mixtures
- auteur
- Jean-Paul Booth
- article
- Radiofrequency Plasma Workshop, Jun 2015, Dublin, Ireland
- identifiant
- hal-02573339
- Accès au bibtex
-
- titre
- Capacitively coupled CF4 discharges excited by tailored waveforms: experiments and kinetic simulations
- auteur
- Bastien Bruneau, Erik Johnson, Jean-Paul Booth, Trevor Lafleur, T. Gans, D. O'Connell, Arthur Greb, Ihor Korolov, Aranka Derszi, Z. Donkó, E. Schuengel, J. Schulze
- article
- Radiofrequency Plasma Workshop, Jun 2015, Dublin, Ireland
- identifiant
- hal-02573343
- Accès au bibtex
-
- titre
- Ultra broad-band high sensitivity absorption spectroscopy of inductively-coupled plasmas in Cl2/O2 mixtures
- auteur
- Jean-Paul Booth, Mickaël Foucher, Daniil Marinov, Pascal Chabert
- article
- Frontiers in Low-temperature Plasma Diagnostics FLTPD, May 2015, Porquerolles, France
- identifiant
- hal-02593663
- Accès au bibtex
-
- titre
- Cleaning and doping of CVD graphene using tailored voltage waveform capacitively coupled plasma
- auteur
- Daniil Marinov, Bastien Bruneau, Erik Johnson, Jean-Paul Booth
- article
- Plasma Etch and Strip in Microelectronics _PESM, Apr 2015, Louvain, Belgium
- identifiant
- hal-02593662
- Accès au bibtex
-
- titre
- Ion flux asymmetry obtained by sawtooth-like waveforms: A new degree of freedom in capacitively coupled plasmas
- auteur
- Bastien Bruneau, T. Gans, D. O'Connell, Arthur Greb, Trevor Lafleur, Erik Johnson, Jean-Paul Booth
- article
- Plasma Etch and Strip in Microelectronics (PESM), Apr 2015, Louvain, Belgium
- identifiant
- hal-02593661
- Accès au bibtex
-
- titre
- Quantitative Diagnostics of Inductive Plasmas in Cl2, O2 AND Cl2/O2 Mixtures
- auteur
- Jean-Paul Booth, Mickaël Foucher, Daniil Marinov, Pascal Chabert
- article
- Symposium on Application of Plasma Processes, Jan 2015, Vysoké Tatry, Slovakia
- identifiant
- hal-02573337
- Accès au bibtex
-
- titre
- Low Pressure Plasma Cleaning and Doping of CVD Graphene
- auteur
- D. Marinov, G. Cunge, D. Ferrah, E.V. Johnson, J.P. Booth
- article
- AVS 62nd International Symposium & Exhibition, 2015, San José, United States
- identifiant
- hal-01878405
- Accès au bibtex
-
Poster communications
- titre
- Vibrational kinetics in Cl2 and O2 low-pressure inductively-coupled plasmas
- auteur
- Jean-Paul Booth, Mickaël Foucher, Daniil Marinov, Pascal Chabert, Adriana Annusova, V. Guerra
- article
- POSMOL, Jul 2015, Lisbon, Portugal. 2015
- identifiant
- hal-02611335
- Accès au bibtex
-
- titre
- Capacitively Coupled Radio-Frequency Plasmas Excited by Tailored Voltage Waveforms: Particle-In-Cell/Monte Carlo Simulations in 1 and 2 Dimensions
- auteur
- Yue Liu, Jean-Paul Booth, Pascal Chabert
- article
- Radiofrequency Plasma Workshop, Jun 2015, Dublin, Ireland. 2015
- identifiant
- hal-02611334
- Accès au bibtex
-
- titre
- A model for inductively coupled plasmas in O2 including vibrational kinetics
- auteur
- Adriana Annusova, V. Guerra, Jean-Paul Booth, Mickaël Foucher, Daniil Marinov, Pascal Chabert
- article
- EPS Plasma, Jun 2015, Lisbon, Portugal. 2015
- identifiant
- hal-02611333
- Accès au bibtex
-
- titre
- EXPERIMENTAL AND MODELING STUDIES OF LOW-PRESSURE CAPACITIVE OXYGEN PLASMAS EXCITED BY TAILORED VOLTAGE WAVEFORMS
- auteur
- Aranka Derszi, Trevor Lafleur, Ihor Korolov, Jean-Paul Booth, Zoltan Donko
- article
- Symposium on Application of Plasma Processes, Jan 2015, Tatranská Lomnica, Slovakia. 2015
- identifiant
- hal-02611332
- Accès au bibtex
-
2014
Journal articles
- titre
- Electron heating in capacitively coupled plasmas revisited
- auteur
- Trevor Lafleur, Pascal Chabert, Jean-Paul Booth
- article
- Plasma Sources Science and Technology, 2014, 23 (3), pp.035010. ⟨10.1088/0963-0252/23/3/035010⟩
- identifiant
- hal-01549379
- Accès au bibtex
-
- titre
- Radio-frequency capacitively coupled plasmas in hydrogen excited by tailored voltage waveforms: comparison of simulations with experiments
- auteur
- P. Diomede, D. J. Economou, Trevor Lafleur, Jean-Paul Booth, S. Longo
- article
- Plasma Sources Science and Technology, 2014, 23 (6), pp.065049. ⟨10.1088/0963-0252/23/6/065049⟩
- identifiant
- hal-01549381
- Accès au bibtex
-
- titre
- Electron transport parameters in NF3
- auteur
- V. A. Lisovskiy, V. D. Yegorenkov, P. Ogloblina, Jean-Paul Booth, S. Martins, K. Landry, D. Douai, V. Cassagne
- article
- Journal of Physics D: Applied Physics, 2014, 47 (11), pp.115203. ⟨10.1088/0022-3727/47/11/115203⟩
- identifiant
- hal-01549378
- Accès au bibtex
-
- titre
- Equivalence of the hard-wall and kinetic-fluid models of collisionless electron heating in capacitively coupled discharges
- auteur
- Trevor Lafleur, Pascal Chabert, Miles Turner, Jean-Paul Booth
- article
- Plasma Sources Science and Technology, 2014, 23 (1), pp.015016. ⟨10.1088/0963-0252/23/1/015016⟩
- identifiant
- hal-01549398
- Accès au bibtex
-
- titre
- Ground state bromine atom density measurements by two-photon absorption laser-induced fluorescence
- auteur
- Nishant Sirse, Mickaël Foucher, Pascal Chabert, Jean-Paul Booth
- article
- Plasma Sources Science and Technology, 2014, 23 (6), pp.062003. ⟨10.1088/0963-0252/23/6/062003⟩
- identifiant
- hal-01549574
- Accès au bibtex
-
- titre
- Global (volume-averaged) model of inductively coupled chlorine plasma: Influence of Cl wall recombination and external heating on continuous and pulse-modulated plasmas
- auteur
- Efe Kemaneci, Emile Carbone, Jean-Paul Booth, Wouter Graef, Jan van Dijk, G. Kroesen
- article
- Plasma Sources Science and Technology, 2014, 23 (4), pp.045002. ⟨10.1088/0963-0252/23/4/045002⟩
- identifiant
- hal-01549388
- Accès au bibtex
-
- titre
- Ion flux asymmetry in radiofrequency capacitively-coupled plasmas excited by sawtooth-like waveforms
- auteur
- Bastien Bruneau, T. Novikova, Trevor Lafleur, Jean-Paul Booth, E.V. Johnson
- article
- Plasma Sources Science and Technology, 2014, 23 (6), pp.065010. ⟨10.1088/0963-0252/23/6/065010⟩
- identifiant
- hal-01549377
- Accès au bibtex
-
Conference papers
- titre
- Control over the ion flux obtained by sawtooth-like waveforms in radiofrequency capacitively coupled plasmas
- auteur
- Bastien Bruneau, T. Novikova, Trevor Lafleur, Jean-Paul Booth, Erik Johnson
- article
- AVS Annual Symposium, Nov 2014, Baltimore, Maryland, United States
- identifiant
- hal-02593674
- Accès au bibtex
-
- titre
- Diagnostics of Cl2/O2 Inductively-Coupled Plasmas by Ultra-High sensitivity Broad-Band Absorption Spectroscopy
- auteur
- Mickaël Foucher, Daniil Marinov, Emile Carbone, Jean-Paul Booth, Pascal Chabert
- article
- AVS, Nov 2014, Baltimore, Maryland, United States
- identifiant
- hal-02593659
- Accès au bibtex
-
- titre
- Inductively-coupled plasmas of Cl2, O2 and mixtures : measurement of atoms, ClxOy and electron densities
- auteur
- Mickaël Foucher, Daniil Marinov, Emile Carbone, Jean-Paul Booth, Pascal Chabert
- article
- GEC, Nov 2014, Raleigh, North Carolina, United States
- identifiant
- hal-02593658
- Accès au bibtex
-
- titre
- Dynamique des Plasmas à Couplage Inductive dans les gaz HBr, Cl2 et O2 et mixtures: Diagnostiques Laser et Absorption Ultraviolet Large-Bande
- auteur
- Jean-Paul Booth, Mickaël Foucher, Pascal Chabert
- article
- Colloque de Plasma-Québec, Jun 2014, Montreal, Canada
- identifiant
- hal-02573338
- Accès au bibtex
-
- titre
- Inductively-coupled plasmas of Cl2, O2 and mixtures : measurement of atoms, ClxOy and electron densities
- auteur
- Mickaël Foucher, Emile Carbone, Jean-Paul Booth, Pascal Chabert
- article
- PESM, May 2014, Grenoble, France
- identifiant
- hal-02593657
- Accès au bibtex
-
- titre
- A model for capacitive discharges with arbitrary RF waveform excitation including the electrical asymmetry effect and the associated self-bias
- auteur
- Pascal Chabert, Trevor Lafleur, Jean-Paul Booth, Miles Turner
- article
- 8th International Conference on reactive Plasma, Feb 2014, Fukuoka, Japan
- identifiant
- hal-02573360
- Accès au bibtex
-
- titre
- Experimental and numerical study of fast gas heating and O atom production in a capillary nanosecond discharge
- auteur
- A.V. Klochko, A. Salmon, J. Lemainque, N.A. Popov, Jean-Paul Booth, Z. Xiong, M.J. Kushner, Svetlana Starikovskaia
- article
- 52st AIAA Aerospace Sciences Meeting, Jan 2014, National Harbor, Maine, United States. pp.2014-1030
- identifiant
- hal-02588024
- Accès au bibtex
-
Poster communications
- titre
- Inductively-coupled plasmas (ICP) of Cl2, O2 and mixtures : measurements of atoms, ClxOy and electron densities
- auteur
- Mickaël Foucher, Daniil Marinov, Emile Carbone, Jean-Paul Booth, Pascal Chabert
- article
- GEC, Nov 2014, Raleigh, North Carolina, United States. 2014
- identifiant
- hal-02611329
- Accès au bibtex
-
- titre
- High sensitivity ultra-broad-band absorption spectroscopy applied to etching plasmas
- auteur
- Mickaël Foucher, Daniil Marinov, Emile Carbone, Jean-Paul Booth, Pascal Chabert
- article
- GEC, Nov 2014, Raleigh, North Carolina, United States. 2014
- identifiant
- hal-02611330
- Accès au bibtex
-
- titre
- Inductively-coupled plasmas in pure Cl2, O2 and mixtures: measurements of atom, ClxOy and electron densities
- auteur
- Mickaël Foucher, Pascal Chabert, Jean-Paul Booth
- article
- Plasma Kinetics Master Class, Oct 2014, Bad Honnef, Germany. 2014
- identifiant
- hal-02611331
- Accès au bibtex
-
- titre
- Inductively-coupled plasmas (ICP) of Cl2, O2 and mixtures : measurements of atoms, ClxOy and electron densit
- auteur
- Mickaël Foucher, Emile Carbone, Jean-Paul Booth, Pascal Chabert
- article
- ESCAMPIG, Jul 2014, Greifswald, Germany. 2014
- identifiant
- hal-02611327
- Accès au bibtex
-
- titre
- High sensitivity ultra-broad-band absorption spectroscopy applied to etching plasmas
- auteur
- Mickaël Foucher, Emile Carbone, Jean-Paul Booth, Pascal Chabert
- article
- ESCAMPIG, Jul 2014, Greifswald, Germany. 2014
- identifiant
- hal-02611328
- Accès au bibtex
-
- titre
- Inductively-coupled plasmas (ICP) of Cl2,O2 and mixtures : measurements of atoms, ClxOy and electron densities
- auteur
- Mickaël Foucher, Emile Carbone, Jean-Paul Booth, Pascal Chabert
- article
- PESM, May 2014, Grenoble, France. 2014
- identifiant
- hal-02611325
- Accès au bibtex
-
- titre
- Ground-state bromine atoms measurements by Two-Photon Absorption Laser-Induced Fluorescence
- auteur
- Mickaël Foucher, Emile Carbone, Jean-Paul Booth, Pascal Chabert
- article
- PESM, May 2014, Grenoble, France. 2014
- identifiant
- hal-02611326
- Accès au bibtex
-
2013
Journal articles
- titre
- Theory for the self-bias formation in capacitively coupled plasmas excited by arbitrary waveforms
- auteur
- Trevor Lafleur, Pascal Chabert, M.M. Turner, Jean-Paul Booth
- article
- Plasma Sources Science and Technology, 2013, 22 (6), pp.065013. ⟨10.1088/0963-0252/22/6/065013⟩
- identifiant
- hal-01549415
- Accès au bibtex
-
- titre
- Capacitively coupled radio-frequency plasmas excited by tailored voltage waveforms
- auteur
- Trevor Lafleur, Pierre-Alexandre Delattre, E.V. Johnson, Jean-Paul Booth
- article
- Plasma Physics and Controlled Fusion, 2013, 55 (12), pp.124002. ⟨10.1088/0741-3335/55/12/124002⟩
- identifiant
- hal-01549416
- Accès au bibtex
-
- titre
- Anomalous collisionality in low-pressure plasmas
- auteur
- Trevor Lafleur, Pascal Chabert, M.M. Turner, Jean-Paul Booth
- article
- Physics of Plasmas, 2013, 20 (12), pp.124503. ⟨10.1063/1.4859155⟩
- identifiant
- hal-01549421
- Accès au bibtex
-
- titre
- Chlorine atom densities in the (3p5)2 P01/2 excited spin-orbit state measured by two-photon absorption laser-induced fluorescence in a chlorine inductively coupled plasma
- auteur
- Nishant Sirse, Jean-Paul Booth, Pascal Chabert, A. Surzhykov, P. Indelicato
- article
- Journal of Physics D: Applied Physics, 2013, 46 (29), pp.295203. ⟨10.1088/0022-3727/46/29/295203⟩
- identifiant
- hal-01549418
- Accès au bibtex
-
- titre
- Direct observation of ozone formation on SiO2 surfaces in O2 discharges
- auteur
- Daniil Marinov, Olivier Guaitella, Jean-Paul Booth, Antoine Rousseau
- article
- Journal of Physics D: Applied Physics, 2013, 46, pp.032001. ⟨10.1088/0022-3727/46/3/032001⟩
- identifiant
- hal-01549402
- Accès au bibtex
-
- titre
- Radio-frequency capacitively coupled plasmas excited by tailored voltage waveforms: comparison of experiment and particle-in-cell simulations
- auteur
- Pierre-Alexandre Delattre, Trevor Lafleur, Erik Johnson, Jean-Paul Booth
- article
- Journal of Physics D: Applied Physics, 2013, 46, pp.235201. ⟨10.1088/0022-3727/46/23/235201⟩
- identifiant
- hal-01549413
- Accès au bibtex
-
- titre
- Fine-structure-resolved electron collisions from chlorine atoms in the (3p5)2P3/2o and (3p5)2P1/2o states
- auteur
- Yang Wang, Oleg Zatsarinny, Klaus Bartschat, Jean-Paul Booth
- article
- Physical Review A : Atomic, molecular, and optical physics [1990-2015], 2013, 87, pp.022703. ⟨10.1103/PhysRevA.87.022703⟩
- identifiant
- hal-01549405
- Accès au bibtex
-
- titre
- Normal regime of the weak-current mode of an rf capacitive discharge
- auteur
- V. A. Lisovskiy, V. D. Yegorenkov, E. Artushenko, Jean-Paul Booth, S. Martins, K. Landry, D. Douai, V. Cassagne
- article
- Plasma Sources Science and Technology, 2013, 22 (1), pp.015018. ⟨10.1088/0963-0252/22/1/015018⟩
- identifiant
- hal-01549408
- Accès au bibtex
-
- titre
- Secondary electron induced asymmetry in capacitively coupled plasmas
- auteur
- Trevor Lafleur, Pascal Chabert, Jean-Paul Booth
- article
- Journal of Physics D: Applied Physics, 2013, 46, pp.135201. ⟨10.1088/0022-3727/46/13/135201⟩
- identifiant
- hal-01549417
- Accès au bibtex
-
- titre
- Ozone kinetics in low-pressure discharges: vibrationally excited ozone and molecule formation on surfaces
- auteur
- Daniil Marinov, V. Guerra, Olivier Guaitella, Jean-Paul Booth, Antoine Rousseau
- article
- Plasma Sources Science and Technology, 2013, 22, pp.055018. ⟨10.1088/0963-0252/22/5/055018⟩
- identifiant
- hal-01549572
- Accès au bibtex
-
- titre
- Absolute atomic oxygen and nitrogen densities in radio-frequency driven atmospheric pressure cold plasmas: Synchrotron vacuum ultra-violet high-resolution Fourier-transform absorption measurements
- auteur
- K. Niemi, D. O'Connell, N. de Oliveira, D. Joyeux, L. Nahon, Jean-Paul Booth, T. Gans
- article
- Applied Physics Letters, 2013, 103 (3), pp.034102. ⟨10.1063/1.4813817⟩
- identifiant
- hal-01549425
- Accès au bibtex
-
- titre
- Radio frequency current-voltage probe for impedance and power measurements in multi-frequency unmatched loads
- auteur
- Trevor Lafleur, Pierre-Alexandre Delattre, E.V. Johnson, Jean-Paul Booth, Sébastien Diné
- article
- Review of Scientific Instruments, 2013, 84, pp.015001. ⟨10.1063/1.4773540⟩
- identifiant
- hal-01549400
- Accès au bibtex
-
- titre
- Frequency dependence of the electrical asymmetry effect in dual-frequency capacitively coupled discharges
- auteur
- Jean-Paul Booth, Trevor Lafleur
- article
- Applied Physics Letters, 2013, 102, pp.154104. ⟨10.1063/1.4802241⟩
- identifiant
- hal-01549406
- Accès au bibtex
-
Conference papers
- titre
- Diagnostics of inductively-coupled plasmas in hydrogen bromide : Bromine atom and electron densities
- auteur
- Jean-Paul Booth, Nishant Sirse, Pascal Chabert, Mickaël Foucher
- article
- UK Technological Plasmas Workshop, Dec 2013, York, United Kingdom
- identifiant
- hal-02594799
- Accès au bibtex
-
- titre
- Diagnostics of Inductively-Coupled Plasmas in Hydrogen Bromide : Bromine Atom and Electron Densities
- auteur
- Jean-Paul Booth, Nishant Sirse, Pascal Chabert, Mickaël Foucher
- article
- AVS Symposium, Oct 2013, Long Beach, California, United States
- identifiant
- hal-02594800
- Accès au bibtex
-
- titre
- Practical Aspects of using Tailored Voltage Waveforms for Thin Film Processing of Photovoltaic Devices
- auteur
- E.V. Johnson, Bastien Bruneau, Pierre-Alexandre Delattre, Trevor Lafleur, Jean-Paul Booth
- article
- AVS Symposium, Oct 2013, Long Beach, California, United States
- identifiant
- hal-02573331
- Accès au bibtex
-
- titre
- Ground state bromine atom density measurements by two-photon absorption laser-induced fluorescence
- auteur
- Mickaël Foucher, Nishant Sirse, Jean-Paul Booth, Pascal Chabert
- article
- Journées dEchange du Réseau des Technologies des Plasmas Froids, Oct 2013, La Rochelle, France
- identifiant
- hal-02594807
- Accès au bibtex
-
- titre
- Diagnostics of inductively-coupled plasmas in HBr : Bromine atom and electron densities
- auteur
- Jean-Paul Booth, Nishant Sirse, Robert Soriano, Mickaël Foucher, Pascal Chabert
- article
- Gaseous Electronics Conference, Oct 2013, Princeton, New Jersey, United States
- identifiant
- hal-02594803
- Accès au bibtex
-
- titre
- Electron heating in capacitively coupled plasmas revisited: single and multi-frequency discharges
- auteur
- Trevor Lafleur, Pascal Chabert, Miles Turner, Jean-Paul Booth
- article
- Gaseous Electronics Conference, Oct 2013, Princeton, New Jersey, United States
- identifiant
- hal-02573333
- Accès au bibtex
-
- titre
- Vibrational kinetics in a Cl2 inductively-coupled plasma
- auteur
- B. Pruvost, Jean-Paul Booth, Mickaël Foucher, Pascal Chabert, V. Guerra, Ilya Fabrikant, M.J. Kushner
- article
- Gaseous Electronics Conference, Oct 2013, Princeton, New Jersey, United States
- identifiant
- hal-02594801
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-
- titre
- Determining atom and radical surface recombination coefficients in low-pressure plasmas
- auteur
- Jean-Paul Booth
- article
- Gaseous Electronics Conference : workshop on plasma-surface interactions, Sep 2013, Princeton, New Jersey, United, Unknown Region
- identifiant
- hal-02573332
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-
- titre
- IN-SITU OBSERVATION OF MICROCRYSTALLINE SILICON THIN FILM GROWTH USING TAILORED VOLTAGE WAVEFORMS
- auteur
- E.V. Johnson, Bastien Bruneau, Pierre-Alexandre Delattre, Trevor Lafleur, Jean-Paul Booth
- article
- International Vacuum Conference, Sep 2013, Paris, France
- identifiant
- hal-02594804
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-
- titre
- Tailoring plasma properties using pulse-shaping technology,
- auteur
- Jean-Paul Booth, E.V. Johnson, Trevor Lafleur, Pierre-Alexandre Delattre, R.W. Boswell
- article
- 21st ISPC, Aug 2013, Cairns, Australia
- identifiant
- hal-02573330
- Accès au bibtex
-
- titre
- Optical diagnostics of low-pressure plasmas in halogen gases
- auteur
- Jean-Paul Booth, Pascal Chabert, Nishant Sirse, P. Indelicato, A. Surzykov, M.J. Kushner
- article
- ICPIG, Jul 2013, Granada, Spain
- identifiant
- hal-02573296
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-
- titre
- Capacitively coupled plasmas excited by tailored voltage waveforms
- auteur
- Trevor Lafleur, Pierre-Alexandre Delattre, E.V. Johnson, Jean-Paul Booth
- article
- EPS Plasma, Jul 2013, Espoo, Finland
- identifiant
- hal-02573294
- Accès au bibtex
-
- titre
- Inductively-coupled plasmas in pure chlorine: comparison of atom density, electron density and gas temperature measurements with the HPEM hybrid model.
- auteur
- Jean-Paul Booth, Nishant Sirse, Pascal Chabert, B. Pruvost, M.J. Kushner
- article
- RF Plasma workshop, May 2013, Presqu ile de Giens, France
- identifiant
- hal-02573293
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-
- titre
- Thin Film Deposition with Tailored Voltage Waveforms: Material Questions and Practical Answers
- auteur
- E.V. Johnson, Bastien Bruneau, Pierre-Alexandre Delattre, Trevor Lafleur, Jean-Paul Booth
- article
- RF Plasma workshop, May 2013, Presqu île de Giens, France
- identifiant
- hal-02573291
- Accès au bibtex
-
- titre
- Dynamics of Cl2 inductively-coupled plasmas: Role of electronic and vibrational excitation
- auteur
- Jean-Paul Booth, Nishant Sirse, Pascal Chabert, P. Indelicato, A. Surzhykov, M.J. Kushner
- article
- FLTPD, Apr 2013, Rolduc, Netherlands
- identifiant
- hal-02573290
- Accès au bibtex
-
- titre
- Tailored Voltage Waveform Capacitively-Coupled Plasmas for IEDF and electron density control: Application to Microcrystalline Si Deposition
- auteur
- Jean-Paul Booth, Erik Johnson, Trevor Lafleur, Pierre-Alexandre Delattre
- article
- Semicon Korea, Jan 2013, Seoul, Korea, Unknown Region
- identifiant
- hal-02573289
- Accès au bibtex
-
- titre
- OZONE KINETICS IN LOW-PRESSURE DISCHARGES
- auteur
- V. Guerra, Daniil Marinov, Jean-Paul Booth, Olivier Guaitella, Antoine Rousseau
- article
- SAPP, Jan 2013, Malá Fatra, Slovakia
- identifiant
- hal-02573288
- Accès au bibtex
-
- titre
- Study of fast gas heating in a capillary nanosecond discharge in air. TALIF O atoms measurements and kinetic modeling (AIAA 2013-0574)
- auteur
- A.V. Klochko, J. Lemainque, N.A. Popov, Jean-Paul Booth, Svetlana Starikovskaia
- article
- 51st AIAA Aerospace Sciences Meeting, Jan 2013, Grapevine, Texas, United States
- identifiant
- hal-02589147
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-
Poster communications
- titre
- Dynamique des plasmas radio-fréquences pulsés à couplage inductif en gaz halogénés simples
- auteur
- Mickaël Foucher, Jean-Paul Booth, B. Pruvost, Pascal Chabert
- article
- Journée de l'industrie Plas@par, Nov 2013, Paris, France. 2013
- identifiant
- hal-02611324
- Accès au bibtex
-
- titre
- Atomic bromine density measurements in HBr inductively coupled plasma by two-photon absorption laser-induced fluorescence
- auteur
- Jean-Paul Booth, Nishant Sirse, Mickaël Foucher
- article
- Laser Aided Plasma Diagnostics, Sep 2013, Madison, Wisconsin, United States. 2013
- identifiant
- hal-02611316
- Accès au bibtex
-
2012
Journal articles
- titre
- Control of the ion flux and ion energy in CCP discharges using non-sinusoidal voltage waveforms
- auteur
- Trevor Lafleur, Jean-Paul Booth
- article
- Journal of Physics D: Applied Physics, 2012, 45, pp.395203. ⟨10.1088/0022-3727/45/39/395203⟩
- identifiant
- hal-01549449
- Accès au bibtex
-
- titre
- Hydrogenated microcrystalline silicon thin films deposited by RF-PECVD under low ion bombardment energy using voltage waveform tailoring
- auteur
- E.V. Johnson, S. Pouliquen, Pierre-Alexandre Delattre, Jean-Paul Booth
- article
- Journal of Non-Crystalline Solids, 2012, 358 (17), pp.1974-1977. ⟨10.1016/j.jnoncrysol.2012.01.014⟩
- identifiant
- hal-01549432
- Accès au bibtex
-
- titre
- Tailored voltage waveform deposition of Microcrystalline Silicon thin films from hydrogen-diluted silane and silicon tetrafluoride: optoelectronic properties of films
- auteur
- E.V. Johnson, S. Pouliquen, Pierre-Alexandre Delattre, Jean-Paul Booth
- article
- Japanese Journal of Applied Physics, 2012, 51, pp.08HF01. ⟨10.1143/JJAP.51.08HF01⟩
- identifiant
- hal-01549433
- Accès au bibtex
-
- titre
- Microcrystalline silicon solar cells deposited using a plasma process excited by tailored voltage waveforms
- auteur
- E.V. Johnson, Pierre-Alexandre Delattre, Jean-Paul Booth
- article
- Applied Physics Letters, 2012, 100, pp.133504. ⟨10.1063/1.3699222⟩
- identifiant
- hal-01549437
- Accès au bibtex
-
- titre
- Enhanced sheath heating in capacitively coupled discharges due to non-sinusoidal voltage waveforms
- auteur
- Trevor Lafleur, R.W. Boswell, Jean-Paul Booth
- article
- Applied Physics Letters, 2012, 100, pp.194101. ⟨10.1063/1.4712128⟩
- identifiant
- hal-01549438
- Accès au bibtex
-
- titre
- Absolute atomic chlorine densities in a Cl2 ICP determined by Two-Photon Laser Induced Fluorescence with a new calibration method
- auteur
- Jean-Paul Booth, Yasmina Azamoum, Nishant Sirse, Pascal Chabert
- article
- Journal of Physics D: Applied Physics, 2012, 45, pp.195201. ⟨10.1088/0022-3727/45/19/195201⟩
- identifiant
- hal-01549434
- Accès au bibtex
-
- titre
- Separate control of the ion flux and ion energy in capacitively coupled rf discharges using voltage waveform tailoring
- auteur
- Trevor Lafleur, Pierre-Alexandre Delattre, E.V. Johnson, Jean-Paul Booth
- article
- Applied Physics Letters, 2012, 101, pp.124104. ⟨10.1063/1.4754692⟩
- identifiant
- hal-01549435
- Accès au bibtex
-
- titre
- A dc-pulsed capacitively coupled planar Langmuir probe for plasma process diagnostics and monitoring
- auteur
- V. Samara, Jean-Paul Booth, J.-F. de Marneffe, A.P. Milenin, M. Brouri, W. Boullart
- article
- Plasma Sources Science and Technology, 2012, 21, pp.065004. ⟨10.1088/0963-0252/21/6/065004⟩
- identifiant
- hal-01549444
- Accès au bibtex
-
Conference papers
- titre
- Cl atom spin-orbit excited densities in a Cl2 ICP determined by TALIF
- auteur
- Jean-Paul Booth, Nishant Sirse, P. Indelicato, A. Surzhykov, Y. Wang, Oleg Zatsarinny, Klaus Bartschat, M.J. Kushner
- article
- UK TPW, Dec 2012, Milton Keynes, United Kingdom
- identifiant
- hal-02594737
- Accès au bibtex
-
- titre
- Cl atom spin-orbit excited densities in a Cl2 ICP determined by TALIF
- auteur
- Jean-Paul Booth, Nishant Sirse, P. Indelicato, Y. Wang, Oleg Zatsarinny, K. Bartschatt, M.J. Kushner
- article
- UK Technological Plasmas Workshop, Dec 2012, Milton Keynes, United Kingdom
- identifiant
- hal-02594805
- Accès au bibtex
-
- titre
- Plasma deposition processes excited using Tailored Voltage Waveforms: from microcrystalline silicon thin films to devices
- auteur
- E.V. Johnson, S. Pouliquen, Pierre-Alexandre Delattre, Jean-Paul Booth
- article
- AVS Symposium, Oct 2012, Tampa, Floride, United States
- identifiant
- hal-02573299
- Accès au bibtex
-
- titre
- Tailored Voltage Waveform Capacitively-Coupled Plasmas
- auteur
- Jean-Paul Booth, Trevor Lafleur, Pierre-Alexandre Delattre, E.V. Johnson
- article
- GEC, Oct 2012, Austin, Texas, United States
- identifiant
- hal-02594732
- Accès au bibtex
-
- titre
- Plasma characteristics in non-sinusoidally excited CCP discharges
- auteur
- Trevor Lafleur, Jean-Paul Booth
- article
- GEC, Oct 2012, Austin, Texas, United States
- identifiant
- hal-02594733
- Accès au bibtex
-
- titre
- Plasma Excitation using Tailored Voltage Waveforms for the Deposition of Thin Film Silicon for Photovoltaics: From Plasma Physics to Devices
- auteur
- E.V. Johnson, Pierre-Alexandre Delattre, Trevor Lafleur, Jean-Paul Booth
- article
- 5th International Symposium on Atomically Controlled, Oct 2012, Osaka, Japan
- identifiant
- hal-02573298
- Accès au bibtex
-
- titre
- Inductively-coupled plasmas in pure chlorine: comparison experiments/HPEM
- auteur
- Jean-Paul Booth, Nishant Sirse, Yasmina Azamoum, Pascal Chabert
- article
- GEC, Oct 2012, Austin, Texas, United States
- identifiant
- hal-02594735
- Accès au bibtex
-
- titre
- Mesure de densité électronique dans les plasmas froids par techniques micro-ondes
- auteur
- Jean-Paul Booth
- article
- Les Journées du Plasma Froid, Oct 2012, Ecully, France
- identifiant
- hal-02573281
- Accès au bibtex
-
- titre
- Gas temperature measurement in Ar and Ar-Cl2 based ICP discharge: Comparison between experiments and simulations
- auteur
- Nishant Sirse, Quentin Délivré, Jean-Paul Booth, Pascal Chabert
- article
- IEEE International Conference on Plasma Science (ICOPS), Jul 2012, Edinburgh, United Kingdom
- identifiant
- hal-02594795
- Accès au bibtex
-
- titre
- Chlorine atom and molecule dynamics in an inductively coupled plasma in pure Cl2
- auteur
- Jean-Paul Booth, Pascal Chabert, Yasmina Azamoum, Nishant Sirse
- article
- International Workshop on Plasma Spectroscopy (IPS), May 2012, Presqu ile de Giens, France
- identifiant
- hal-02594731
- Accès au bibtex
-
- titre
- Seeing Inside Plasma Etch Reactors: from diagnostics to sensors for control
- auteur
- Jean-Paul Booth
- article
- Fusion Frontiers and Interfaces Workshop, Mar 2012, York, United Kingdom
- identifiant
- hal-02573297
- Accès au bibtex
-
- titre
- Chlorine atom and molecule dynamics in an inductively coupled plasma in pure Cl2
- auteur
- Jean-Paul Booth, Pascal Chabert, Yasmina Azamoum, Nishant Sirse
- article
- Plasma Etch and Strip in Microelectronics (PESM), Mar 2012, Grenoble, France
- identifiant
- hal-02594730
- Accès au bibtex
-
- titre
- Plasma deposition of nanocrystalline silicon for solar cells : RF waveform tailoring to optimize deposition rate and film morphology
- auteur
- Jean-Paul Booth, E.V. Johnson, Pierre-Alexandre Delattre
- article
- Gaseous Electronics Meeting, Feb 2012, Murramarang, Australia
- identifiant
- hal-02573287
- Accès au bibtex
-
- titre
- Absolute Cl and Cl2 densities in a Cl2 ICP determined by TALIF with a new calibration method
- auteur
- Jean-Paul Booth, Nishant Sirse, Yasmina Azamoum, Pascal Chabert
- article
- Technological Plasmas Workshop, Jan 2012, Manchester, United Kingdom
- identifiant
- hal-02594794
- Accès au bibtex
-
Poster communications
- titre
- Hybrid Model of Parallel Plate RF Discharges in H2: Effect of DC and Tailored Voltage Waveforms
- auteur
- P. Diomede, Pierre-Alexandre Delattre, E.V. Johnson, Jean-Paul Booth, S. Longo, D. J. Economou, M. Capitelli
- article
- ESCAMPIG, Jul 2012, Viana do Costello, Portugal. 2012
- identifiant
- hal-02611272
- Accès au bibtex
-
- titre
- Gas temperature and electron density measurements in Ar and Ar-Cl2 ICP discharges
- auteur
- Jean-Paul Booth, Nishant Sirse, Quentin Délivré, Pascal Chabert
- article
- ESCAMPIG, Jul 2012, Viana do Costello, Portugal. 2012
- identifiant
- hal-02611271
- Accès au bibtex
-
- titre
- Investigation of Voltage Waveform Tailoring Effect in CapacitivelyCoupled H2 Discharge: Fluid Simulations and Experimental Validation
- auteur
- T. Novikova, E.V. Johnson, M. Mao, P. Bulkin, Jean-Paul Booth, P. Roca I Cabarrocas
- article
- EPS Plasma Physics, Jul 2012, Stockholm, Sweden. 2012
- identifiant
- hal-02611270
- Accès au bibtex
-
- titre
- Ozone production in O2 plasma at low pressure: evaluation of surface and gas phase mechanisms
- auteur
- Daniil Marinov, Olivier Guaitella, V. Guerra, Nishant Sirse, Jean-Paul Booth, Antoine Rousseau
- article
- IPS, May 2012, Presqu'île de Giens, France. 2012
- identifiant
- hal-02611269
- Accès au bibtex
-
2011
Journal articles
- titre
- Control of Nanocrystalline Silicon Growth Phase and Deposition Rate through Voltage Waveform Tailoring during PECVD
- auteur
- E.V. Johnson, S. Pouliquen, Pierre-Alexandre Delattre, Jean-Paul Booth
- article
- MRS Online Proceedings Library, 2011, 1339, pp.mrss11-1339-s04-5. ⟨10.1557/opl.2011.993⟩
- identifiant
- hal-01549456
- Accès au bibtex
-
Conference papers
- titre
- Absolute Cl and Cl2 densities in a Cl2 ICP determined by TALIF with a new calibration method
- auteur
- Nishant Sirse, Yasmina Azamoum, Pascal Chabert, Jean-Paul Booth
- article
- UK TPW, Dec 2011, Manchester, United Kingdom
- identifiant
- hal-02594750
- Accès au bibtex
-
- titre
- DEPOSITION OF THIN FILM OF SILICON MICROCRISTALLINE BY RADIO FREQUENCY VOLTAGE WAVEFORM TAILORING
- auteur
- S. Pouliquen, Pierre-Alexandre Delattre, E.V. Johnson, Jean-Paul Booth
- article
- AVS, Oct 2011, Nashville, Tennessee, United States
- identifiant
- hal-02594748
- Accès au bibtex
-
- titre
- Atomic Chlorine absolute densities and surface recombination coefficients in inductively coupled plasmas in Cl2
- auteur
- Jean-Paul Booth, Nishant Sirse, Yasmina Azamoum, Pascal Chabert
- article
- AVS, Oct 2011, Nashville, Tennessee, United States
- identifiant
- hal-02594749
- Accès au bibtex
-
- titre
- Detection of atomic chlorine in an inductively-coupled plasma by TALIF:Absolute densities and surface recombination coefficients
- auteur
- Jean-Paul Booth, Nishant Sirse, Yasmina Azamoum, Pascal Chabert
- article
- LAPD, Oct 2011, Jeju, Korea, Unknown Region
- identifiant
- hal-02573303
- Accès au bibtex
-
- titre
- Absolute atomic chlorine densities in a Cl2 ICP determined by TALIF with a new calibration method
- auteur
- Jean-Paul Booth, Nishant Sirse, Yasmina Azamoum, Pascal Chabert
- article
- 30th ICPIG, Aug 2011, Belfast, Northern Ireland, United Kingdom
- identifiant
- hal-02594798
- Accès au bibtex
-
- titre
- Tailored Voltage Waveforms for the Deposition of Microcrystalline Silicon
- auteur
- E.V. Johnson, Pierre-Alexandre Delattre, Jean-Paul Booth
- article
- ICANS, Aug 2011, Nara, Japan
- identifiant
- hal-02594746
- Accès au bibtex
-
- titre
- All you ever wanted to know about Fluorocarbon Plasmas but never dared to ask
- auteur
- Jean-Paul Booth
- article
- POSMOL (International Symposium on Electron Molecule Collisions and Swarms), Jul 2011, Maynooth, Ireland
- identifiant
- hal-02573302
- Accès au bibtex
-
- titre
- VOLTAGE WAVEFORM TAILORING: A PROMISING NEW METHOD FOR SILICON DEPOSITION
- auteur
- Pierre-Alexandre Delattre, S. Pouliquen, E.V. Johnson, Nishant Sirse, Jean-Paul Booth
- article
- CIP (Congres International sur les Plasmas), Jun 2011, Nantes, France
- identifiant
- hal-02594747
- Accès au bibtex
-
- titre
- MESURE DE TEMPERATURE DU GAZ DANS UN RÉACTEUR DE GRAVURE DOUBLE FRÉQUENCES CAPACITIF
- auteur
- Jean-Paul Booth, Wladimir Bjelogrlic, Jérôme Bredin
- article
- Journees du Reseau Plasmas Froids, May 2011, Toulouse, France
- identifiant
- hal-02573301
- Accès au bibtex
-
- titre
- Cl atom recombination coefficients in a Cl2 ICP determined by TALIF
- auteur
- Jean-Paul Booth, Pascal Chabert, F. Boutaiba, Mujahid Zaka-Ul-Islam
- article
- Frontiers in Low Temperature Plasma Diagnostics (FLTPD), May 2011, Zinnowitz, Germany
- identifiant
- hal-02594745
- Accès au bibtex
-
- titre
- Recombination coefficients of Cl atoms on Al2O3 walls determined by TALIF
- auteur
- Jean-Paul Booth, Nishant Sirse, Yasmina Azamoum, Mujahid Zaka-Ul-Islam, Pascal Chabert
- article
- Plasma Etch and Strip for Microelectronics (PESM), May 2011, Mechelen, Belgium
- identifiant
- hal-02594744
- Accès au bibtex
-
- titre
- Planar Langmuir probe in pulsing regime
- auteur
- V. Samara, Jean-Paul Booth, J.-F. de Marneffe, W. Boullart
- article
- PESM (Plasma Etch and Strip for Microelectronics), May 2011, Mechelen, Belgium
- identifiant
- hal-02594742
- Accès au bibtex
-
- titre
- Control of Nanocrystalline Growth Phase and Deposition Rate through Voltage Waveform Tailoring
- auteur
- E.V. Johnson, Pierre-Alexandre Delattre, Jean-Paul Booth
- article
- MRS spring meeting, Apr 2011, San Francisco, California, United States
- identifiant
- hal-02594741
- Accès au bibtex
-
- titre
- RF waveform tailoring to control film morphology during nanocrystalline silicon PECVD
- auteur
- Jean-Paul Booth, E.V. Johnson, Pierre-Alexandre Delattre, T. Verbeke, J-C Vanel
- article
- International Conference on Plasmas and Nanotechnology (ICPLANTS), Feb 2011, Takayama, Japan
- identifiant
- hal-02594739
- Accès au bibtex
-
- titre
- Seeing Inside Plasma Etch Reactors: from diagnostics to sensors for control
- auteur
- Jean-Paul Booth, Pascal Chabert, Rodolphe Sarot, Mujahid Zaka-Ul-Islam
- article
- IS-Plasma (International Symposium-Plasma), Feb 2011, Nagoya, Japan
- identifiant
- hal-02573300
- Accès au bibtex
-
- titre
- INCLINE - Inductively coupled plasma for CMOS-compatible etching of III-V integrated laser sources
- auteur
- S. Bouchoule, L. Gatilova, G. Patriarche, S. Guilet, L. Le Gratiet, L. Vallier, Pascal Chabert, Jean-Paul Booth, R. Chanson, A. Rhallabi, C. Cardinaud, P. Rojo-Romeo, J.-L. Leclercq, X. Letartre
- article
- Journées Nationales en Nanosciences et Nanotechnologies, 2011, Ecole Polytechnique, Palaiseau, France
- identifiant
- hal-02594797
- Accès au bibtex
-
Poster communications
- titre
- Electron density comparison between experiments and simulations in Chlorine based ICP discharge
- auteur
- Jean-Paul Booth, Nishant Sirse, Yasmina Azamoum, Pascal Chabert
- article
- ICPIG, Aug 2011, Belfast, Northern Ireland, United Kingdom. 2011
- identifiant
- hal-02611275
- Accès au bibtex
-
- titre
- Voltage Waveform Tailoring in a RF-CCP reactor: Exploration of self-bias, electron density and current waveform
- auteur
- Pierre-Alexandre Delattre, S. Pouliquen, E.V. Johnson, Jean-Paul Booth
- article
- ICPIG, Aug 2011, Belfast, Northern Ireland, United Kingdom. 2011
- identifiant
- hal-02611277
- Accès au bibtex
-
- titre
- Recombination coefficient of Cl atoms on Al2O3 walls determined byTwo-Photon Laser-Induced Fluorescence
- auteur
- Jean-Paul Booth, Nishant Sirse, Pascal Chabert, Yasmina Azamoum, Mujahid Zaka-Ul-Islam
- article
- ICPIG, Aug 2011, Belfast, Northern Ireland, United Kingdom. 2011
- identifiant
- hal-02611274
- Accès au bibtex
-
2010
Journal articles
- titre
- Plasmas froids
- auteur
- Jean-Paul Booth, Pascal Chabert
- article
- FlashX, 2010, 12, pp.3-5
- identifiant
- hal-02570443
- Accès au bibtex
-
- titre
- Surface loss rates of H and Cl atoms in an inductively coupled plasma etcher using time-resolved electron density and optical emission measurements
- auteur
- G. A. Curley, L. Gatilova, S. Guilet, S. Bouchoule, G. S. Gogna, Nishant Sirse, S. Karkari, Jean-Paul Booth
- article
- Journal of Vacuum Science & Technology A, 2010, 28 (2), pp.360-372. ⟨10.1116/1.3330766⟩
- identifiant
- hal-01549465
- Accès au bibtex
-
- titre
- Electron drift velocity in SF6 in strong electric fields determined from rf breakdown curves
- auteur
- V. Lisovskiy, V. Yegorenkov, Jean-Paul Booth, K. Landry, D. Douai, V. Cassagne
- article
- Journal of Physics D: Applied Physics, 2010, 43, pp.385203. ⟨10.1088/0022-3727/43/38/385203⟩
- identifiant
- hal-01549464
- Accès au bibtex
-
- titre
- Dual-frequency capacitive radiofrequency discharges: effect of low-frequency power on electron density and ion flux
- auteur
- Jean-Paul Booth, G. Curley, D. Marić, Pascal Chabert
- article
- Plasma Sources Science and Technology, 2010, 19, pp.015005. ⟨10.1088/0963-0252/19/1/015005⟩
- identifiant
- hal-01549466
- Accès au bibtex
-
- titre
- Nanocrystalline silicon film growth morphology control through RF waveform tailoring
- auteur
- E.V. Johnson, T. Verbeke, J-C Vanel, Jean-Paul Booth
- article
- Journal of Physics D: Applied Physics, 2010, 43, pp.412001. ⟨10.1088/0022-3727/43/41/412001⟩
- identifiant
- hal-01549485
- Accès au bibtex
-
Conference papers
- titre
- RF waveform tailoring to control film morphology during nanocrystalline silicon PECVD
- auteur
- Jean-Paul Booth, E.V. Johnson, T. Verbeke, J-C Vanel
- article
- UK-Technological Plasmas Workshop, Dec 2010, Bristol, United Kingdom
- identifiant
- hal-02595161
- Accès au bibtex
-
- titre
- Physique et physicochimie des Plasmas excites par radio-frequence
- auteur
- Jean-Paul Booth
- article
- Journees Plasma-Photovoltaique, Nov 2010, St Cyprien, France
- identifiant
- hal-02611098
- Accès au bibtex
-
- titre
- Nanocrystalline silicon film growth morphology control through RF waveform tailoring
- auteur
- Jean-Paul Booth, E.V. Johnson, T. Verbeke, J-C Vanel
- article
- AVS Symposium, Oct 2010, Albuquerque, New Mexico, United States
- identifiant
- hal-02595160
- Accès au bibtex
-
- titre
- Control of Microcrystalline Silicon Deposition by RF Waveform Tailoring
- auteur
- E.V. Johnson, Jean-Paul Booth, J-C Vanel, T. Verbeke
- article
- Gaseous Electronics Conference, Oct 2010, Paris, France
- identifiant
- hal-02595158
- Accès au bibtex
-
- titre
- GAS BREAKDOWN IN RF AND LONGITUDINAL COMBINED ELECTRIC FIELDS
- auteur
- V. A. Lisovskiy, Jean-Paul Booth, V. D. Yegorenkov, N. D. Kharchenko
- article
- RF Breakdown Workshop, Oct 2010, Paris, France
- identifiant
- hal-02573304
- Accès au bibtex
-
- titre
- Effect of low-frequency power on electron density and ion flux in dual-frequency capacitive radiofrequency discharges
- auteur
- Jean-Paul Booth, G. Curley, Pascal Chabert
- article
- PESM, Mar 2010, Grenoble, France
- identifiant
- hal-02595157
- Accès au bibtex
-
- titre
- Time-resolved electron density and OES measurements for studying the surface loss rates of H and Cl atoms in a Cl2-H2 ICP plasma
- auteur
- G. Curley, L. Gatilova, S. Guilet, S. Bouchoule, G. Gogna, N. Sirse, S. Karkari, J.P. Booth
- article
- 63rd Annual Gaseous Electronics Conference and 7th International Conference on Reactive Plasmas, 2010, Paris, France. TF4-005, 763-764, Hori M. and Graha W.G. (Eds), Japan Society of Applied Physics
- identifiant
- hal-00800895
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-
Poster communications
- titre
- Inductive plasmas in Cl2/Ar :Comparison of hybrid model results with experimental measurements
- auteur
- Jean-Paul Booth, Emilie Despiau-Pujo, Pascal Chabert, Rodolphe Sarot
- article
- AVS Symposium, Oct 2010, Albuquerque, New Mexico, United States. 2010
- identifiant
- hal-02611282
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-
- titre
- Electron densities and temperatures in a Cl2/Ar ICP
- auteur
- Jean-Paul Booth, Rodolphe Sarot, Emilie Despiau-Pujo, Pascal Chabert, L. Gatilova, S. Bouchoule
- article
- Gaseous Electronics Conference, Oct 2010, Paris, France. 2010
- identifiant
- hal-02611281
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-
- titre
- Inductive plasmas in Cl2/Ar : Comparison of hybrid model results with experimental measurements
- auteur
- Jean-Paul Booth, Rodolphe Sarot, Emilie Despiau-Pujo, Pascal Chabert, L. Gatilova, S. Bouchoule
- article
- ESCAMPIG, Jul 2010, Novi Sad, Serbia. 2010
- identifiant
- hal-02611280
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-
- titre
- Plasma inductif en Cl2/Ar : comparaison entre simulations hybrides et expériences
- auteur
- Rodolphe Sarot, Emilie Despiau-Pujo, Pascal Chabert, Jean-Paul Booth, L. Gatilova, S. Bouchoule
- article
- Congres de la Division Plasma du SFP, May 2010, Bordeaux, France. 2010
- identifiant
- hal-02611278
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-
2009
Journal articles
- titre
- Electron transport coefficients in mixtures of CF4 and CF2 radicals
- auteur
- Zd Nikitovic, Vd Stojanovic, Jean-Paul Booth, Zl Petrovic
- article
- Plasma Sources Science and Technology, 2009, 18, pp.035008. ⟨10.1088/0963-0252/18/3/035008⟩
- identifiant
- hal-01549497
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-
Conference papers
- titre
- Absorption spectroscopy diagnostics of a dual-frequency capacitive dielectric etch tool using Ultraviolet Light-Emitting Diodes
- auteur
- Jean-Paul Booth, Jérôme Bredin
- article
- AVS International Symposium, Nov 2009, San Jose, California, United States
- identifiant
- hal-02595165
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-
- titre
- Absorption spectroscopy diagnostics of a dual-frequency capacitive dielectric etch tool using Ultraviolet Light-Emitting Diodes
- auteur
- Jérôme Bredin, Jean-Paul Booth
- article
- Gaseous Electronics Conference, Oct 2009, Saratoga Springs, New York, United States
- identifiant
- hal-02595162
- Accès au bibtex
-
- titre
- Dual-frequency capacitive radiofrequency discharges : Effect of low-frequency power on electron density and flux
- auteur
- Jean-Paul Booth, G. Curley, Pascal Chabert, D. Maric
- article
- Gaseous Electronics Conference, Oct 2009, Saratoga Springs, New York, United States
- identifiant
- hal-02595163
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-
- titre
- Etch process control with a deposition-tolerant planar electrostatic probe
- auteur
- Jean-Paul Booth, D. Keil, C. Thorgrimsson, M. Nagai, L. Albarede
- article
- Irish Plasma and Beam Processing Group Meeting, May 2009, Belfast, Northern Ireland, United Kingdom
- identifiant
- hal-02573307
- Accès au bibtex
-
- titre
- Etch process control with a deposition-tolerant planar electrostatic probe
- auteur
- Jean-Paul Booth, D. Keil, C. Thorgrimsson, M. Nagai, L. Albarede
- article
- Radiofrequency Plasma Workshop, May 2009, Presqu ile de Giens, France
- identifiant
- hal-02573306
- Accès au bibtex
-
- titre
- Etch process control with a deposition-tolerant planar electrostatic probe
- auteur
- Jean-Paul Booth, D. Keil, C. Thorgrimsson, M. Nagai, L. Albarede
- article
- PESM, Feb 2009, Louvain, Belgium
- identifiant
- hal-02573305
- Accès au bibtex
-
Poster communications
- titre
- Broadband absorption with UV Light-Emitting Diodes in a dual-frequency capacitively coupled reactor
- auteur
- Jérôme Bredin, Jean-Paul Booth
- article
- Radiofrequency Plasma Workshop, May 2009, Presqu ile de Giens, France. 2009
- identifiant
- hal-02611283
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-
2002
Journal articles
- titre
- Chlorine dissociation fraction in an inductively coupled plasma measured by ultraviolet absorption spectroscopy
- auteur
- F. Neuilly, J.P Booth, L. Vallier
- article
- Journal of Vacuum Science and Technology, 2002, pp.A20(1), 225, (2002)
- identifiant
- hal-00475898
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-
2001
Journal articles
- titre
- Absolute fluorine atoms concentration in fluorocarbon plasma determined from CF2 loss kinetics
- auteur
- Gilles Cunge, Pascal Chabert, Jean-Paul Booth
- article
- Journal of Applied Physics, 2001, 89 (12), pp.7750. ⟨10.1063/1.1371940⟩
- identifiant
- hal-00475790
- Accès au texte intégral et bibtex
-
- titre
- Reactive ion etching of SiC in SF6 gas: detection of CF, CF2 and SiF2 etch products
- auteur
- Pascal Chabert, G. Cunge, Jean-Paul Booth
- article
- Applied Physics Letters, 2001, pp.79, 916
- identifiant
- hal-00475792
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-
Conference papers
- titre
- CFX kinetics, gas temperature and instabilities in a CF4 inductively coupled discharge
- auteur
- J.P Booth, H. Abada, P. Chabert, G. Cunge
- article
- 48th National AVS symposium & Topical conferences, 2001, San Francisco, United States
- identifiant
- hal-00494528
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-
- titre
- CFx kinetics, gas temperatures and instabilities in a CF4 inductively-coupled discharge
- auteur
- J.P Booth, H. Abada, P. Chabert, G. Cunge
- article
- 48th AVS Annual Symposium, 2001, San Francisco, United States
- identifiant
- hal-00486179
- Accès au bibtex
-
- titre
- Chlorine Inductively- coupled Plasma diagnostics using UV absorption spectroscopy and an ion flux probE
- auteur
- J.P Booth, F. Neuilly, J.M Francou, L. Vallier
- article
- International Colloquium on Plasma Processes, CIP, 2001, Antibes, France
- identifiant
- hal-00486185
- Accès au bibtex
-
- titre
- High rate silicon carbide etching
- auteur
- P. Chabert, J. Perrin, J.P Booth, G. Cunge
- article
- ISPC, 15th International Symposium on Plasma Chemistry, 2001, Orleans, France
- identifiant
- hal-00481964
- Accès au bibtex
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