Publications HAL du labo/EPI LAAS

2025

Rapport

titre
Bilan des activités 2024 de la plateforme de micro et nanotechnologies du LAAS-CNRS
auteur
Hugues Granier, Alexandre Arnoult, Amel Beghersa, David Bourrier, Laurent Bouscayrol, David Broquet, Pierre-François Calmon, Franck Carcenac, Guillaume Castaings, Samuel Charlot, David Colin, Monique Dilhan, Jean Baptiste Doucet, Manon Drob, Pascal Dubreuil, Daniel Ferri-Angulo, Quentin Gravelier, Gwenaelle Guittier, Éric Imbernon, Adrian Laborde, Benoit Lantin, Aurélie Lecestre, Guillaume Libaude, Jean-Christophe Marrot, Laurent Mazenq, Fabien Mesnilgrente, Benjamin Reig, Ludovic Salvagnac
article
LAAS-CNRS. 2025
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https://laas.hal.science/hal-05085249/file/Bilan%20des%20activit%C3%A9s%202024%20de%20la%20plateforme%20de%20micro%20et%20nanotechnologies%20du%20LAAS-CNRS.pdf BibTex
titre
Comteam 2025 : 10 avril 2025
auteur
Hugues Granier, Alexandre Arnoult, Mathieu Arribat, Amel Beghersa, David Bourrier, Laurent Bouscayrol, Pierre Francois Calmon, Franck Carcenac, Guillaume Castaings, Samuel Charlot, David Colin, Monique Dilhan, Jean‐baptiste Doucet, Manon Drob, Pascal Dubreuil, Daniel Ferri-Angulo, Quentin Gravelier, Éric Imbernon, Marrot Jean Christophe, Adrian Laborde, Benoît Lantin, Aurelie Lecestre, Guillaume Libaude, Jean-Christophe Marrot, Laurent Mazenq, Fabien Mesnilgrente, Benjamin Reig, Ludovic Salvagnac, David Broquet, Gwenaelle Guittier
article
LAAS-CNRS. 2025
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https://laas.hal.science/hal-05085277/file/2025%20COMTEAM%2010%20avril%202025.pdf BibTex

2024

Article dans une revue

titre
Suspended tip overhanging from chip edge for atomic force microscopy with an optomechanical resonator
auteur
Aleksandra Marković, Mathis Lefebvre, Laurent Mazenq, Samuel Charlot, Marc Gély, Aurélie Lecestre, Mathieu Arribat, Guillaume Jourdan, Bernard Legrand
article
Journal of Optical Microsystems, 2024, 4 (3), pp.033501. ⟨10.1117/1.JOM.4.3.033501⟩
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https://laas.hal.science/hal-04689661/file/JOM-24016G_online.pdf BibTex
titre
Grating design methodology for laser cooling
auteur
Romain Calviac, Antoine Monmayrant, Pascal Dubreuil, Laurent Mazenq, Samuel Charlot, Alexandre Gauguet, Baptiste Allard, Olivier Gauthier-Lafaye
article
Journal of the Optical Society of America B, 2024, 41 (7), pp.1533-1540. ⟨10.1364/JOSAB.519552⟩
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https://laas.hal.science/hal-04613751/file/tri-grating-mot.pdf BibTex
titre
Parallel on-chip micropipettes enabling quantitative multiplexed characterization of vesicle mechanics and cell aggregates rheology
auteur
Sylvain Landiech, Marianne Elias, Pierre Lapèze, Hajar Ajiyel, Marine Plancke, Blanca González-Bermúdez, Adrian Laborde, Fabien Mesnilgrente, David Bourrier, Debora Berti, Costanza Montis, Laurent Mazenq, Jérémy Baldo, Clément Roux, Morgan Delarue, Pierre Joseph
article
APL Bioengineering, 2024, 8 (2), pp.026122. ⟨10.1063/5.0193333⟩
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https://hal.science/hal-04616249/file/APB23-AR-00346-1.pdf BibTex
titre
Annealed Gallium-Doped Zinc Oxide (ZnO:Ga) Thin Films for Sub-ppm NO2 Sensing
auteur
Benjamin Paret, Philippe Menini, Thierry Camps, Yohann Thimont, Antoine Barnabé, Laurent Mazenq, Lionel Presmanes
article
PROCEEDINGS, 2024, 97 (1), pp.61. ⟨10.3390/proceedings2024097061⟩
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https://hal.science/hal-04796318/file/proceedings-97-00061.pdf BibTex

Communication dans un congrès

titre
Nanowires vs Neurons : engineering network scale guidance and promoting biointerface through nanotopographical cues
auteur
Aziliz Lecomte, Adrien Casanova, Marie-Charline Blatché, Jade Gonzalès, Amina Ajagli, Laurent Mazenq, Daniel Gonzalez-Dunia, Guilhem Larrieu
article
Micro Nano Engineering Conference 2024, Sep 2024, Montpellier, France
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https://laas.hal.science/hal-04730783/file/ALecomte_MNE2024_NWneurons_submitted.pdf BibTex
titre
Les mauvais réseaux font de bons atomes froids
auteur
Romain Calviac, Antoine Monmayrant, Pascal Dubreuil, Laurent Mazenq, Samuel Charlot, Alexandre Gauguet, Baptiste Allard, Olivier Gauthier-Lafaye
article
Optique Normandie 2024 (Nanophotonique), SFO, Jul 2024, Rouen, France
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https://laas.hal.science/hal-04682189/file/Nanophotonique-conception%20de%20reseaux%20atomes%20froids_AM.pdf BibTex
titre
Development of transparent nanowire array technology for high resolution electrophysiology of brain-on-chip
auteur
Emilie Belot, Blatche Marie-Charline, Fabrice Mathieu, Bardie Frank, Laurent Mazenq, Aurélie Lecestre, Duenki Tomoya, Ikeuchi Yoshiho, Guilhem Larrieu
article
Journées Nationales Nanofils Semiconducteurs, Jun 2024, Palaiseau, France
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https://hal.science/hal-04730546/file/abstract_J2N_Emilie_V3.pdf BibTex
titre
Comparaison de procédés de lithographie, une initiative du groupe Euronanolab Lithographies
auteur
Laurent Mazenq, Edmond Cambril, Adrian Laborde, Jean-René Coudevylle, Pierre-François Calmon, Nathalie Bardou, Franck Carcenac, David Colin
article
JOURNÉES RENATECH LITHO/GRAVURE 2024, Jun 2024, Valbonne (06560), France
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BibTex
titre
Scripting" PYTHON des dessins en EBL : une expérience de l'évolution de l'accueil des projets
auteur
Franck Carcenac, Jean-Baptiste Doucet, Laurent Mazenq
article
JOURNÉES RENATECH LITHO/GRAVURE 2024 3, CHREA, Jun 2024, Valbonne (06560), France
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BibTex
titre
Sondes optomécaniques : vers l'AFM aux fréquences GHz
auteur
Suyambulingham Subramanian, Clément Le Fur, Lucien Schwab, Ilan Shlesinger, Pierre Allain, Chérif Bélacel, Marc Gély, Nicolas Mauran, Laurent Mazenq, Felix Rico, Ignacio Casuso, Sébastien Hentz, Guillaume Jourdan, Ivan Favero, Bernard Legrand
article
Forum de microscopie à sondes locales, Apr 2024, Lyon, France
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https://laas.hal.science/hal-04562805/file/BernardLegrand-Forum2024.pdf BibTex

Poster de conférence

titre
Résine pour la lithographie Electronique : Tests sur la HSQ Em Resist en poudre
auteur
Justine Harmel, Laure Noé, Sébastien Pinaud, Laurent Mazenq, Franck Carcenac, Christophe Capello, Reasmey Tan, Marc Respaud
article
Journées Renatech Lithographie/Gravure 2024, Jun 2024, CRHEA (Valbonne), France. 2024
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https://hal.science/hal-04610482/file/2024_06_13_PosterRenatech.pdf BibTex

Rapport

titre
Bilan des activités 2023 de la plateforme de micro et nanotechnologies du LAAS-CNRS
auteur
Hugues Granier, Alexandre Arnoult, David Bourrier, Laurent Bouscayrol, Pierre Francois Calmon, Franck Carcenac, Samuel Charlot, David Colin, Véronique Conédéra, Monique Dilhan, Jean‐baptiste Doucet, Pascal Dubreuil, Quentin Gravelier, Éric Imbernon, Adrian Laborde, Aurelie Lecestre, Guillaume Libaude, Jean-Christophe Marrot, Laurent Mazenq, Fabien Mesnilgrente, Benjamin Reig, Ludovic Salvagnac, Mathieu Arribat, Amel Beghersa, Guillaume Castaings, Daniel Ferri-Angulo, Manon Drob, Benoît Lantin, Jeanne Aigoin, Rislène Kourdi
article
2024
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https://laas.hal.science/hal-04583613/file/Bilan%20des%20activit%C3%A9s%202023%20de%20la%20plateforme%20de%20micro%20et%20nanotechnologies%20du%20LAAS-CNRS.pdf BibTex

2023

Article dans une revue

titre
A microfluidic mechano-chemostat for tissues and organisms reveals that confined growth is accompanied with increased macromolecular crowding
auteur
Zacchari Ben Meriem, Tiphaine Mateo, Julien Faccini, Céline Denais, Romane Dusfour-Castan, Catherine Guynet, Tatiana Merle, Magali Suzanne, Mickaël Di-Luoffo, Julie Guillermet-Guibert, Baptiste Alric, Sylvain Landiech, Laurent Malaquin, Fabien Mesnilgrente, Adrian Laborde, Rémi Courson, Laurent Mazenq, Morgan Delarue
article
Lab on a Chip, 2023, 20, pp.4445-4455. ⟨10.1039/d3lc00313b⟩
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https://laas.hal.science/hal-04214597/file/D3LC00313B.pdf BibTex
titre
Combining PEDOT:PSS Polymer Coating with Metallic 3D Nanowires Electrodes to Achieve High Electrochemical Performances for Neuronal Interfacing Applications (Adv. Mater. 39/2023)
auteur
Inès Muguet, Ali Maziz, Fabrice Mathieu, Laurent Mazenq, Guilhem Larrieu
article
Advanced Materials, 2023, 35 (39), pp.2302472. ⟨10.1002/adma.202370281⟩
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BibTex
titre
Combining PEDOT:PSS Polymer Coating with Metallic 3D Nanowires Electrodes to Achieve High Electrochemical Performances for Neuronal Interfacing Applications
auteur
Inès Muguet, Ali Maziz, Fabrice Mathieu, Laurent Mazenq, Guilhem Larrieu
article
Advanced Materials, 2023, 35 (39), pp.2302472. ⟨10.1002/adma.202302472⟩
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https://laas.hal.science/hal-04234494/file/23%20Advanced%20Materials%20-%202023%20-%20Muguet%20-%20Combining%20PEDOT%20PSS%20Polymer%20Coating%20with%20Metallic%203D%20Nanowires%20Electrodes%20to%20Achieve-1.pdf BibTex
titre
Top-down integration of suspended N+/P/N+ silicon-nanowire-based ion-sensitive field effect transistors for pH analysis at the submicronic scale
auteur
A. Lale, Auriane Grappin, Aurélie Lecestre, Laurent Mazenq, Jérôme Launay, Pierre Temple-Boyer
article
Thin Solid Films, 2023, 764, pp.139609. ⟨10.1016/j.tsf.2022.139609⟩
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https://laas.hal.science/hal-04744383/file/manuscript_TSF_nanoFET-nanoISFET_vf.pdf BibTex

Communication dans un congrès

titre
ADIABATIC LOGIC GATES FOR ULTRA-LOW-POWER OPERATION USING CONTACTLESS CAPACITIVE MEMS
auteur
Aleksandra Marković, Hervé Fanet, Gaël Pillonnet, Bernard Legrand, Laurent Mazenq, Adrian Laborde
article
22nd International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers), Jun 2023, Kyoto (Japan), Japan. pp.546-549
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https://laas.hal.science/hal-04241697/file/Transducers2023A.Markovic.pdf BibTex
titre
Development of nanoprobe array technology for high resolution electrophysiology of brain-on-chip
auteur
Emilie Belot, Marie-Charline Blatche, Fabrice Mathieu, Frank Bardie, Laurent Mazenq, Aurélie Lecestre, Daniel Gonzalez-Dunia, Elsa Suberbielle, Tomoya Duenki, Yoshiho Ikeuchi, Guilhem Larrieu
article
E-MRS (European Materials Research Society), May 2023, Strasbourg, France
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BibTex
titre
Process management in an academic laboratory: recipe library, data access, monitoring, different tools to be implemented
auteur
Adrian Laborde, Ayoub Choukri, Laurent Mazenq, Mairame Diallo
article
ENRIS 2023, May 2023, Palaiseau, France
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BibTex
titre
A simple process for the fabrication of parallel-plate electrostatic MEMS resonators by gold thermocompression bonding
auteur
Maria Dolores Manrique-Juarez, Fabrice Mathieu, Guillaume Libaude, Véronique Conédéra, David Bourrier, Samuel Charlot, Thierry Leichle, Laurent Mazenq, Ludovic Salvagnac, Isabelle Dufour, Liviu Nicu
article
The 36th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (IEEE MEMS 2023), Jan 2023, Munich, Germany. ⟨10.1109/MEMS49605.2023.10052563⟩
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https://laas.hal.science/hal-03951363/file/PosterMEMS2023.pdf BibTex

Poster de conférence

titre
Moyens de lithographies de la plateforme de Micro et Nanotechnologies du LAAS-CNRS
auteur
Laurent Mazenq, Franck Carcenac, Pierre-François Calmon, Emmanuelle Daran, Adrian Laborde, Mairame Diallo, David Colin, Jean-Baptiste Doucet, Hugues Granier
article
Renatech Litho Gravure, Jan 2023, Lille, France. 2023
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https://hal.science/hal-03976338/file/Poster-LAAS-Lithos%20Renatech-LithoGravure%20Lille%202023.pdf BibTex

Rapport

titre
Procédés de photolithographie développés au sein de la plateforme de micro et nanotechnologie du LAAS-CNRS
auteur
Adrian Laborde, Laurent Mazenq, David Bourrier, Véronique Conédéra, Rémi Courson
article
2023
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https://laas.hal.science/hal-04132932/file/Rapport%20TEAM%20Proc%C3%A9d%C3%A9s%20Photolithographie.pdf BibTex
titre
Bilan des activités 2022 de la plateforme de micro et nanotechnologies du LAAS-CNRS
auteur
Hugues Granier, Alexandre Arnoult, David Bourrier, Laurent Bouscayrol, Pierre-François Calmon, Franck Carcenac, Samuel Charlot, David Colin, Véronique Conédéra, Emmanuelle Daran, Mairame Diallo, Monique Dilhan, Jean-Baptiste Doucet, Pascal Dubreuil, Quentin Gravelier, Éric Imbernon, Adrian Laborde, Aurélie Lecestre, Guillaume Libaude, Jean-Christophe Marrot, Laurent Mazenq, Fabien Mesnilgrente, Benjamin Reig, Ludovic Salvagnac
article
2023
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https://laas.hal.science/hal-04124098/file/Bilan%20des%20activit%C3%A9s%202022%20de%20la%20plateforme%20de%20micro%20et%20nanotechnologies%20du%20LAAS-CNRS.pdf BibTex

2022

Article dans une revue

titre
Very high frequency probes for atomic force microscopy with silicon optomechanics
auteur
L Schwab, P E Allain, Nicolas Mauran, Xavier Dollat, Laurent Mazenq, Denis Lagrange, M Gély, S Hentz, G Jourdan, I Favero, Bernard Legrand
article
Microsystems & Nanoengineering, 2022, 8, pp.32. ⟨10.1038/s41378-022-00364-4⟩
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https://hal.science/hal-03326075/file/s41378-022-00364-4-2.pdf BibTex

Communication dans un congrès

titre
Ultra-Low-Power Logic with Contactless Capacitive MEMS
auteur
Aleksandra Markovic, Laurent Mazenq, Adrian Laborde, Herve Fanet, Gael Pillonnet, Bernard Legrand
article
21st International Conference on Micro and Nanotechnology for Power Generation and Energy Conversion Applications (PowerMEMS 2022), Dec 2022, Salt Lake City, United States. pp.233-227, ⟨10.1109/PowerMEMS56853.2022.10007572⟩
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https://hal.science/hal-03946985/file/PMEMS2022_A.Markovic.pdf BibTex
titre
Optimizing a brain-on-chip technology with nanowire based-3D electrodes to record and stimulate the neuronal activity with high resolution
auteur
Inès Muguet, Fabrice Mathieu, Ali Maziz, Laurent Mazenq, Guilhem Larrieu
article
Les Journées Nationales des Nanofils semiconducteurs, Sep 2022, Nice, France
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BibTex
titre
H2MEMS Project: Resonant MEMS for detection of hydrogen release in radioactive waste disposal facility
auteur
Isabelle Dufour, Luis Iglesias Hernandez, Priyadarshini Shanmugam, Jean-François Michaud, Laurent Colin, Daniel Alquier, Dominique Certon, Maria Dolores Manrique-Juarez, Thierry Leichle, Fabrice Mathieu, Laurent Mazenq, Liviu Nicu, Luan Nguyen, Sebastien Chenot, Marc Portail, Johan Bertrand
article
Joint Conference of the European Frequency and Time Forum and IEEE International Frequency Control Symposium (EFTF / IFCS 2022), Apr 2022, Paris, France
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https://hal.science/hal-03778623/file/Paper_IsabelleDUFOUR_2022_IFCS_soumis.pdf BibTex

Rapport

titre
Bilan des activités 2021 de la plateforme de micro et nanotechnologies du LAAS-CNRS
auteur
Alexandre Arnoult, David Bourrier, Laurent Bouscayrol, Pierre-François Calmon, Franck Carcenac, Samuel Charlot, David Colin, Véronique Conédéra, Emmanuelle Daran, Monique Dilhan, Jean‐baptiste Doucet, Pascal Dubreuil, Hugues Granier, Quentin Gravelier, Éric Imbernon, Adrian Laborde, Aurélie Lecestre, Guillaume Libaude, Jean-Christophe Marrot, Laurent Mazenq, Fabien Mesnilgrente, Benjamin Reig, Ludovic Salvagnac
article
2022
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https://laas.hal.science/hal-03646902/file/LAAS-CNRS%20Bilan%20des%20activit%C3%A9s%202021%20de%20la%20plateforme%20de%20micro%20et%20nanotechnologies.pdf BibTex

2021

Communication dans un congrès

titre
Conductive polymer coated 3D-nanostructured electrodes to enhance the stimulation and recording performances of neuronal activity
auteur
Inès Muguet, Ali Maziz, Laurent Mazenq, Fabrice Mathieu, Guilhem Larrieu
article
2021 MRS Fall Meeting & exhibit, Nov 2021, Boston, United States
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BibTex

Rapport

titre
Bilan des activités 2020 de la plateforme de micro et nanotechnologies du LAAS-CNRS
auteur
Hugues Granier, Alexandre Arnoult, David Bourrier, Laurent Bouscayrol, Pierre-François Calmon, Franck Carcenac, Samuel Charlot, David Colin, Véronique Conédéra, Rémi Courson, Emmanuelle Daran, Monique Dilhan, Jean‐baptiste Doucet, Pascal Dubreuil, Quentin Gravelier, Éric Imbernon, Julien Joneau, Adrian Laborde, Aurelie Lecestre, Guillaume Libaude, Antoine Maiorano, Jean-Christophe Marrot, Laurent Mazenq, Fabien Mesnilgrente, Benjamin Reig, Ludovic Salvagnac, Lucie F Seveno, Séverine Vivies
article
2021
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https://laas.hal.science/hal-03263205/file/Bilan%20des%20activit%C3%A9s%202020%20de%20la%20plateforme%20de%20micro%20et%20nanotechnologies%20du%20LAAS-CNRS.pdf BibTex

2020

Communication dans un congrès

titre
Resonant MEMS for Gas Detection Based on the Measurements of Physical Properties of Gas Mixtures
auteur
Isabelle Dufour, Luis Iglesias Hernandez, Priyadarshini Shanmugam, Jean-François Michaud, Daniel Alquier, Dominique Certon, Maria Dolores Manrique-Juarez, Thierry Leichle, Fabrice Mathieu, Laurent Mazenq, Liviu Nicu
article
2020 Joint Conference of the IEEE International Frequency Control Symposium and the IEEE International Symposium on Applications of Ferroelectrics, Jul 2020, Keystone (virtual conference), United States. pp.1-3, ⟨10.1109/IFCS-ISAF41089.2020.9234908⟩
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https://hal.science/hal-02481928/file/PID6365117.pdf BibTex

Rapport

titre
Bilan des activités 2019 de la plateforme de micro et nanotechnologies du LAAS-CNRS
auteur
Hugues Granier, Franck Carcenac, Pierre-François Calmon, Véronique Conédéra, Monique Dilhan, Samuel Charlot, Alexandre Arnoult, David Colin, Adrian Laborde, Éric Imbernon, Lucie Seveno, Jean-Christophe Marrot, Laurent Mazenq, Emmanuelle Daran, Jean-Baptiste Doucet, Laurent Bouscayrol, Aurélie Lecestre, David Bourrier, Ludovic Salvagnac, Guillaume Libaude, Pascal Dubreuil, Quentin Gravelier, Antoine Maiorano, Fabien Mesnilgrente, Benjamin Reig
article
2020
Accès au texte intégral et bibtex
https://laas.hal.science/hal-03187781/file/Bilan%20des%20activit%C3%A9s%202019%20de%20la%20plateforme%20de%20micro%20et%20nanotechnologies%20du%20LAAS-CNRS.pdf BibTex

2019

Article dans une revue

titre
Electro-Absorption Modulator vertically integrated on a VCSEL: microstrip-based high-speed electrical injection on top of a BCB layer
auteur
Ludovic Marigo-Lombart, Christophe Viallon, Alexandre Rumeau, Alexandre Arnoult, Aurelie Lecestre, Laurent Mazenq, Ayad Ghannam, Hugo Thienpont, Krassimir Panajotov, Guilhem Almuneau
article
Journal of Lightwave Technology, 2019, 37 (15), pp.3861-3868. ⟨10.1109/jlt.2019.2921806⟩
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https://laas.hal.science/hal-03012166/file/FINAL%20VERSION.pdf BibTex
titre
Electro-Absorption Modulator Vertically Integrated on a VCSEL: Microstrip-Based High-Speed Electrical Injection on Top of a BCB Layer
auteur
Ludovic Marigo-Lombart, Christophe Viallon, Alexandre Rumeau, Alexandre Arnoult, Aurélie Lecestre, Laurent Mazenq, Ayad Ghannam, Hugo Thienpont, Krassimir Panajotov, Guilhem Almuneau
article
Journal of Lightwave Technology, 2019, 37 (15), pp.3861-3868. ⟨10.1109/JLT.2019.2921806⟩
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BibTex

Communication dans un congrès

titre
Technological bricks development for the vertical integration of a Modulator onto a VCSEL for high-speed communications
auteur
Ludovic Marigo-Lombart, Alexandre Arnoult, Stéphane Calvez, Christophe Viallon, Olivier Gauthier-Lafaye, Antoine Monmayrant, Aurélie Lecestre, Laurent Mazenq, Jean Baptiste Doucet, Alexandre Rumeau, H Thienpont, K Panajotov, Guilhem Almuneau
article
Journées Nationales sur les Technologies Emergentes, Nov 2019, Grenoble, France. 2p
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https://laas.hal.science/hal-02449214/file/JNTE19_Ludovic_Marigo-1.pdf BibTex
titre
New user's training procedure in an open academic platform: LAAS-CNRS example
auteur
Benjamin Reig, Laurent Mazenq, Pierre-François Calmon, Aurélie Lecestre, Jean Baptiste Doucet, Emmanuelle Daran, K Jarallah
article
European Nanofabrication Research Infrastructure Symposium (ENRIS) 2019, Jun 2019, Enschede, Netherlands
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BibTex

Rapport

titre
Développement d'une platine de déplacements nanométriques pour la réalisation d'un Microscope à Force Atomique (AFM) rapide
auteur
Laurent Mazenq, Lucien Schwab, Nicolas Mauran, Denis Lagrange, Xavier Dollat, Bernard Legrand
article
[Rapport Technique] LAAS-CNRS. 2019
Accès au texte intégral et bibtex
https://hal.science/hal-03603368/file/2022-03-09%20Rapport%20Olympia%20mems%20laurent%20mazenq.pdf BibTex
titre
Bilan 2018 des activités de la centrale de micro et nanotechnologies du LAAS-CNRS et du service TEAM
auteur
Hugues Granier, Pierre-François Calmon, Franck Carcenac, Véronique Conédéra, Monique Dilhan, Samuel Charlot, Benjamin Reig, Emmanuelle Daran, Andréa Nicollet, Jean-Baptiste Doucet, Pascal Dubreuil, Éric Imbernon, Jean-Christophe Marrot, Ludovic Salvagnac, Guillaume Libaude, Séverine Vivies, Adrian Laborde, David Bourrier, Alexandre Arnoult, Quentin Gravelier, Aurélie Lecestre, Laurent Bouscayrol, Fabien Mesnilgrente, David Colin, Rémi Courson, Julien Joneau, Laurent Mazenq, Thierry Do Conto, Antoine Maiorano, Vinciane Luque
article
2019
Accès au texte intégral et bibtex
https://laas.hal.science/hal-02137930/file/Un%20bilan%20des%20activit%C3%A9s%202018%20de%20la%20plateforme%20de%20micro%20et%20nanotechnologies%20du%20LAAS-CNRS.pdf BibTex

2018

Communication dans un congrès

titre
Fabrication of Doubly-Corrugated Zero-Contrast-Grating for Broadband Pixelated Filtering in the Mid-IR Range
auteur
Léopold Macé, Olivier Gauthier-Lafaye, Antoine Monmayrant, Henri Camon, Pascal Dubreuil, Laurent Mazenq, M. Oussalah, A. Hervy, Fabien Pradal, Hervé Leplan
article
20th International Conference on Transparent Optical Networks (ICTON 2018), Jul 2018, Bucharest, Romania
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BibTex

Rapport

titre
Mise au point de procédés de lithographie UV sur l'équipement Suss Microtec MA-BA6 Gen4
auteur
Julien Joneau, Laurent Mazenq, Séverine Vivies, Adrian Laborde, Hugues Granier
article
2018
Accès au texte intégral et bibtex
https://laas.hal.science/hal-01911255/file/Mise%20au%20point%20exposition%20UV%20MA-BA6%20Gen4-2.pdf BibTex
titre
Développement de procédés de lithographie UV de résines photosensibles sur l'équipement Suss Microtec MA6 Gen 4
auteur
Julien Joneau, Adrian Laborde, Laurent Mazenq
article
[Rapport Technique] Rapport LAAS n° 18698, LAAS-CNRS. 2018
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https://hal.science/hal-02902736/file/2020-07-20%20D%C3%A9veloppement%20de%20proc%C3%A9d%C3%A9s%20de%20lithographie%20UV%20de%20r%C3%A9sines%20photosensibles%20sur%20l%27%C3%A9quipement%20Suss%20Microtec%20MA6%20Gen%204.pdf BibTex
titre
Mise au point d'un dépôt HMDS sur la plaque OBDUCAT QS V 200 BM
auteur
Séverine Vivies, Adrian Laborde, Julien Joneau, Laurent Mazenq, Hugues Granier
article
[Rapport Technique] LAAS-CNRS. 2018
Accès au texte intégral et bibtex
https://hal.science/hal-02572420/file/Mise%20au%20point%20d%E2%80%99un%20d%C3%A9p%C3%B4t%20HMDS%20sur%20la%20plaque%20OBDUCAT%20QS%20V%20200%20BM%20200%C2%B0C.pdf BibTex
titre
Un bilan des activités 2017 de la plateforme de micro et nanotechnologies du LAAS-CNRS
auteur
Hugues Granier, Alexandre Arnoult, David Bourrier, Laurent Bouscayrol, Pierre-François Calmon, Franck Carcenac, Samuel Charlot, David Colin, Véronique Conédéra, Rémi Courson, Emmanuelle Daran, Monique Dilhan, Thierry Do Conto, Jean-Baptiste Doucet, Pascal Dubreuil, Quentin Gravelier, Éric Imbernon, Adrian Laborde, Guy Lacoste, Nathalie Lauber, Alexandre Lauvergne, Aurélie Lecestre, Guillaume Libaude, Vinciane Luque, Antoine Maiorano, Jean-Christophe Marrot, Laurent Mazenq, Fabien Mesnilgrente, Benjamin Reig, Bernard Rousset, Ludovic Salvagnac
article
2018
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https://laas.hal.science/hal-01767583/file/Un%20bilan%20des%20activit%C3%A9s%202017%20de%20la%20plateforme%20de%20micro%20et%20nanotechnologies%20du%20LAAS-CNRS.pdf BibTex

2017

Communication dans un congrès

titre
Multimodal probe based on ISFET electrochemical microsensors for in-situ monitoring of soil nutrients in agriculture
auteur
Matthieu Joly, Laurent Mazenq, Maurane Marlet, Pierre Temple-Boyer, Céline Durieu, Jérôme Launay
article
31th European Conference on Solid-State Transducers, EUROSENSORS XXXI, Sep 2017, Paris, France
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https://laas.hal.science/hal-01687830/file/Proceedings_Eurosensors2017_JOLY_vf.pdf BibTex
titre
Development of all-around, SiO2/Al2O3 gate, suspended silicon nanowire chemical field effect transistors Si-nw-ChemFET
auteur
Ahmet Lale, Auriane Grappin, David Bourrier, Laurent Mazenq, Aurélie Lecestre, Jérôme Launay, Pierre Temple-Boyer
article
EUROSENSORS XXXI, Sep 2017, Paris, France
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https://laas.hal.science/hal-01687839/file/proceedings_Eurosensors2017_LALE_vf.pdf BibTex
titre
High-K thin films for simultaneous dielectric actuation and detection of M/NEMS flexural vibration
auteur
Cécile Fuinel, Fabrice Mathieu, Adrian Laborde, Laurent Mazenq, Christian Bergaud, Bernard Legrand
article
19th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems TRANSDUCERS 17, Jun 2017, Kaohsiung, Taiwan. ⟨10.1109/TRANSDUCERS.2017.7994155⟩
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BibTex
titre
All-solid-state multimodal probe based on ISFET electrochemical microsensors for in-situ soil nutrients monitoring in agriculture
auteur
Matthieu Joly, Laurent Mazenq, Maurane Marlet, Pierre Temple-Boyer, Céline Durieu, Jérôme Launay
article
19th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers 2017), Jun 2017, Kaohsiung, Taiwan. 4p., ⟨10.1109/TRANSDUCERS.2017.7994028⟩
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https://laas.hal.science/hal-01871403/file/Extended_paper_Transducers2017_Joly_vf.pdf BibTex
titre
Design, realization and characterization of all-arround SiO2/Al2O3gate, suspended silicon nanowire chemical field effect transistors
auteur
Ahmet Lale, Auriane Grappin, David Bourrier, Laurent Mazenq, Aurélie Lecestre, Jérôme Launay, Pierre Temple-Boyer
article
19th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (TRANSDUCERS 2017), Jun 2017, Kaohsiung, Taiwan. 4p., ⟨10.1109/TRANSDUCERS.2017.7994346⟩
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https://laas.hal.science/hal-01871397/file/Extended_paper_Transducers2017_Lale_vf.pdf BibTex
titre
Spin crossover materials for MEMS actuation: Film integration and characterization
auteur
Maria Dolores Manrique-Juarez, Sylvain Rat, Laurent Mazenq, Fabrice Mathieu, Isabelle Séguy, Thierry Leichle, Liviu Nicu, Lionel Salmon, Gábor Molnár, Azzedine Bousseksou
article
2017 19th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (TRANSDUCERS), Jun 2017, Kaohsiung, Taiwan. ⟨10.1109/TRANSDUCERS.2017.7994294⟩
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BibTex

Poster de conférence

titre
High Speed Atomic Force Microscope
auteur
Nicolas Mauran, Denis Lagrange, Xavier Dollat, Laurent Mazenq, Lucien Schwab, Jean-Paul Salvetat, Bernard Legrand
article
NI-Week 2017, May 2017, Austin, TX, United States. , 2017
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https://laas.hal.science/hal-01529673/file/Poster_NiWeek2017_A0Landscape.pdf BibTex

Rapport

titre
Réalisation d'un filtre étroit dans l'infrarouge thermique en technologie nanophotonique. Rapport final.
auteur
Ksenia Sharshavina, Philippe Arguel, Pierre-François Calmon, Franck Carcenac, Emmanuelle Daran, Xavier Dollat, Jean-Baptiste Doucet, Pascal Dubreuil, Olivier Gauthier-Lafaye, Aurélie Lecestre, Amandine Lestras, Laurent Mazenq, Antoine Monmayrant, Sylvain Pelloquin
article
CNES, 18 avenue Edouard Belin 31401 Toulouse. 2017
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BibTex
titre
Développement d'un procédé de gravure submicronique : Approche basée sur les copolymères à blocs auto-assemblés
auteur
Marianne Brillat, Inès Massiot, Laurent Mazenq, Adrian Laborde, Olivier Gauthier-Lafaye, Hugues Granier
article
2017
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https://laas.hal.science/hal-01911188/file/Marianne-BRILLAT-2017-rapport-de-stage%20%282%29.pdf BibTex
titre
Bilan des activités de la plateforme de micro et nano technologies du LAAS-CNRS
auteur
Hugues Granier, Véronique Conédéra, Monique Dilhan, Franck Carcenac, Pierre-François Calmon, Alexandre Arnoult, David Bourrier, Laurent Bouscayrol, Samuel Charlot, David Colin, Emmanuelle Daran, Pascal Dubreuil, Thierry Do Conto, Jean-Baptiste Doucet, Christine Fourcade, Éric Imbernon, Laurent Jalabert, Adrian Laborde, Aurélie Lecestre, Laurent Mazenq, Fabien Mesnilgrente, Lucie Seveno, Benjamin Reig, Bernard Rousset, Ludovic Salvagnac, Guy Lacoste, Guillaume Libaude, Vinciane Luque, Nathalie Lauber, Antoine Maiorano, Jean-Christophe Marrot, Alexandre Lauvergne, Quentin Gravelier, Arnaud Durlach
article
2017
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https://laas.hal.science/hal-01485548/file/Un%20bilan%20des%20activit%C3%A9s%202016%20de%20la%20plateforme%20de%20micro%20et%20nanotechnologies%20du%20LAAS-CNRS.pdf BibTex

2016

Article dans une revue

titre
Astigmatic multifocus microscopy enables deep 3D super-resolved imaging
auteur
Laura Oudjedi, Jean-Bernard Fiche, Sara Abrahamsson, Laurent Mazenq, Aurélie Lecestre, Pierre-François Calmon, Aline Cerf, Marcelo Nollmann
article
Biomedical optics express, 2016, 7 (6), pp.2163. ⟨10.1364/BOE.7.002163⟩
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https://laas.hal.science/hal-02060576/file/2163.pdf BibTex

Communication dans un congrès

titre
VCSELs fabricated using self-aligned processing
auteur
Ludovic Marigo-Lombart, Laurent Mazenq, Ludovic Salvagnac, Guillaume Libaude, Bernard Rousset, Benjamin Reig, Pascal Dubreuil, Nicolas Mauran, Alexandre Arnoult, Hugo Thienpont, Krassimir Panajotov, Guilhem Almuneau
article
42nd Micro and Nano Engineering (MNE), Sep 2016, Vienna, Austria
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BibTex
titre
Design, realization and characterization of several types of micro-initiators integrating Al/CuO nanothermite: role of metallic micro-heater and substrate on fire/no fire characteristics
auteur
Andréa Nicollet, Sandrine Assié-Souleille, Ludovic Glavier, Laurent Mazenq, Ludovic Salvagnac, Carole Rossi
article
42nd International Pyrotechnics Seminar, Jul 2016, Grand Junction, CO, United States
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BibTex
titre
Development of an ISFET-based analysis microsystem for nitrogen cycle monitoring in durum wheat crop Introduction
auteur
Mathieu Joly, Sandrine Assié-Souleille, Laurent Mazenq, Maurane Marlet, Pierre Temple-Boyer, Céline Durieu, Jérôme Launay
article
4th CIGR international conference of agriculture engineering, CIGR AgEng 2016, Jun 2016, Aarhus, Denmark. 12p
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BibTex
titre
VCSELs fabricated using self-aligned processing
auteur
Ludovic Marigo-Lombart, Alexandre Arnoult, Laurent Mazenq, Pascal Dubreuil, Benjamin Reig, Nicolas Mauran, Hugo Thienpont, Krassimir Panajotov, Guilhem Almuneau
article
Workshop VCSEL Day 2016, Jun 2016, Darmstadt, Germany. 2p
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BibTex
titre
HIGH-K THIN FILMS AS DIELECTRIC TRANSDUCERS FOR FLEXURAL M/NEMS RESONATORS
auteur
Cécile Fuinel, Khadim Daffé, Adrian Laborde, Olivier Thomas, Laurent Mazenq, Liviu Nicu, Thierry Leichle, Bernard Legrand
article
The 29th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS 2016), IEEE, Jan 2016, Shanghai, China. ⟨10.1109/MEMSYS.2016.7421850⟩
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https://hal.science/hal-01279717/file/Fuinel_paper.pdf BibTex

Poster de conférence

titre
Développement de briques technologiques pour la fabrication d’un VCSEL avec un modulateur intégré verticalement
auteur
Ludovic Marigo-Lombart, Alexandre Arnoult, Laurent Mazenq, Pascal Dubreuil, Jean-Baptiste Doucet, Bernard Rousset, Nicolas Mauran, Hugo Thienpont, Krassimir Panajotov, Guilhem Almuneau
article
15eme Journees Nano, Micro et Optoelectronique (JNMO), May 2016, Les Issambres, France. 2016
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BibTex

Rapport

titre
Bilan 2015 des activités de la plateforme de micro et nano technologies du LAAS-CNRS
auteur
Hugues Granier, Adrian Laborde, Alexandre Arnoult, Antoine Maiorano, Aurélie Lecestre, Benjamin Reig, Bernard Rousset, Christine Fourcade, David Bourrier, David Colin, Emmanuelle Daran, Fabien Mesnilgrente, Franck Carcenac, Guillaume Libaude, Guy Lacoste, Jean-Baptiste Doucet, Jean-Christophe Marrot, Laurent Bouscayrol, Laurent Mazenq, Ludovic Salvagnac, Monique Dilhan, Pascal Dubreuil, Pierre-François Calmon, Samuel Charlot, Thierry Do Conto, Vinciane Luque, Véronique Conédéra, Éric Imbernon
article
2016
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https://laas.hal.science/hal-01867462/file/Un%20bilan%20des%20activit%C3%A9s%202015%20de%20la%20plateforme%20de%20micro%20et%20nanotechnologies%20du%20LAAS-CNRS.pdf BibTex

2015

Article dans une revue

titre
PEDOT-modified integrated microelectrodes for the detection of ascorbic acid, dopamine and uric acid
auteur
Fadhila Sekli-Belaidi, Aurélie Civélas, Valentina Castagnola, Aliki Tsopela, Laurent Mazenq, Pierre Gros, Jérôme Launay, Pierre Temple-Boyer
article
Sensors and Actuators B: Chemical, 2015, 214, pp. 1-9. ⟨10.1016/j.snb.2015.03.005⟩
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https://hal.science/hal-01148710/file/Sekli_Belaidi_13875.pdf BibTex
titre
Microchannel-connected SU-8 honeycombs by single-step projection photolithography for positioning cells on silicon oxide nanopillar arrays
auteur
Florian Larramendy, Marie-Charline Blatché, Laurent Mazenq, Adrian Laborde, Pierre Temple-Boyer, Oliver Paul
article
Journal of Micromechanics and Microengineering, 2015, 25 (4), pp.045010. ⟨10.1088/0960-1317/25/4/045010⟩
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https://hal.science/hal-01225646/file/manuscript_Microchannel-connected_SU-8_honeycombs.pdf BibTex
titre
Wafer-scale fabrication of self-actuated piezoelectric nanoelectromechanical resonators based on lead zirconate titanate (PZT)
auteur
Denis Dezest, Olivier Thomas, Fabrice Mathieu, Laurent Mazenq, Caroline Soyer, Jean Costecalde, Denis Remiens, Jean-François Deü, Liviu Nicu
article
Journal of Micromechanics and Microengineering, 2015, 25 (3), pp.35002-35013. ⟨10.1088/0960-1317/25/3/035002⟩
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https://hal.science/hal-01169283/file/LSIS_JMM_2015_THOMAS.pdf BibTex
titre
Geometry optimization of uncoated silicon microcantilever-based gas density sensors
auteur
Mohand-Tayeb Boudjiet, Johan Bertrand, Fabrice Mathieu, Liviu Nicu, Laurent Mazenq, Thierry Leichle, Stephen Heinrich, Claude Pellet, Isabelle Dufour
article
Sensors and Actuators B: Chemical, 2015, 208, pp.600-607. ⟨10.1016/j.snb.2014.11.067⟩
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https://hal.science/hal-01082346/file/post_print_Geometry%20optimization.pdf BibTex

Communication dans un congrès

titre
Micro and nanotechnology evolution towards vertical Silicon nanowires for ultra-sensitive gas detection
auteur
Philippe Menini, Brieux Durand, Guilhem Larrieu, Audrey Chapelle, Aurélie Lecestre, Laurent Mazenq, Chabane Talhi
article
IX International Workshop on Semiconductor Gas Sensors SGS 2015, Dec 2015, Zakopane, Poland
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https://hal.science/hal-02048921/file/Abstract-SGS2015-Pologne.pdf BibTex
titre
3D silicon nanowires sensors for NO2 detection down to ppb levels
auteur
Brieux Durand, Aurélie Lecestre, Laurent Mazenq, Philippe Menini, Guilhem Larrieu
article
2015 MRS Fall Meeting & Exhibit, Nov 2015, Boston, United States
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BibTex
titre
Capteurs de gaz à base de nanofils verticaux et ordonnés de silicium
auteur
Brieux Durand, Aurélie Lecestre, Laurent Mazenq, Philippe Menini, Guilhem Larrieu
article
Journées Nationales du Réseau Doctoral en Microélectronique (JNRDM2015), May 2015, Bordeaux, France. 4p
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https://hal.science/hal-01216418/file/JNRDM_2015_Brieux_DURAND.pdf BibTex
titre
PZT Nanofilm-Based Wafer Scale Nanoresonators
auteur
Denis Dezest, Fabrice Mathieu, Laurent Mazenq, Liviu Nicu, Caroline Soyer, Jean Costecalde, Olivier Thomas, Denis Remiens
article
IEEE Frequency Control Symposium, Apr 2015, Denver, United States. 6p
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https://hal.science/hal-01144194/file/5086%20-%20Dezest%20et%20al.pdf BibTex

Rapport

titre
Bilan 2014 des zones de la plateforme de micro et nanotechnologies
auteur
Hugues Granier, Adrian Laborde, Alexandre Arnoult, Antoine Maiorano, Aurélie Lecestre, Benjamin Reig, Bernard Rousset, Christine Fourcade, David Bourrier, David Colin, Emmanuelle Daran, Fabien Mesnilgrente, Franck Carcenac, Guillaume Libaude, Guy Lacoste, Jean-Baptiste Doucet, Laurent Bouscayrol, Laurent Mazenq, Ludovic Salvagnac, Monique Dilhan, Pascal Dubreuil, Pierre-François Calmon, Samuel Charlot, Thierry Do Conto, Vinciane Luque, Véronique Conédéra, Éric Imbernon
article
2015, 105p
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https://laas.hal.science/hal-01867464/file/Bilan%202014%20%20des%20zones%20de%20la%20plateforme%20de%20micro%20et%20nanotechnologies.pdf BibTex

2014

Communication dans un congrès

titre
Sensitivity optimization of silicon microcantilever-based density sensor for hydrogen detection
auteur
Mohand-Tayeb Boudjiet, Johan Bertrand, Laurent Mazenq, Thierry Leichle, Fabrice Mathieu, Liviu Nicu, Claude Pellet, Isabelle Dufour
article
11th Nanomechanical Sensing Workshop NMC 2014, Apr 2014, Madrid, Spain. 2 p
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BibTex

Poster de conférence

titre
PEDOT-modified electrochemical microsensors: a versatile probe for the detection of antioxidant biomarkers
auteur
Fadhila Sekli-Belaidi, Aurélie Civélas, Aliki Tsopela, Laurent Mazenq, Jérôme Launay, Pierre Temple-Boyer
article
13th world congress on biosensors, BIOSENSORS 2014, May 2014, Melbourne, Australia. 2014
Accès au texte intégral et bibtex
https://laas.hal.science/hal-01874795/file/poster_Biosensors2014_ElecCellPEDOT_vf.pdf BibTex

Rapport

titre
Protocole d'arrêt général de la plateforme de micro et nanotechnologies du LAAS-CNRS
auteur
Hugues Granier, Alexandre Arnoult, David Bourrier, Laurent Bouscayrol, Pierre-François Calmon, Franck Carcenac, Samuel Charlot, David Colin, Véronique Conédéra, Emmanuelle Daran, Monique Dilhan, Thierry Do Conto, Jean-Baptiste Doucet, Pascal Dubreuil, Éric Imbernon, Adrian Laborde, Guy Lacoste, Nathalie Lauber, Aurélie Lecestre, Vinciane Luque, Antoine Maiorano, Jean-Christophe Marrot, Laurent Mazenq, Fabien Mesnilgrente, Benjamin Reig, Bernard Rousset, Ludovic Salvagnac
article
2014
Accès au texte intégral et bibtex
https://laas.hal.science/hal-01867458/file/Protocole%20d%27arret%20g%C3%A9n%C3%A9ral%20de%20la%20plateforme%20de%20micro%20et%20nanotechnologies%20du%20CNRS-LAAS-v1-novembre%202013.pdf BibTex

2013

Article dans une revue

titre
Optical label free biodetection based on the diffraction of light by nanoscale protein gratings
auteur
Amandine Egea, Laurent Mazenq, Emmanuelle Trévisiol, Vincent Paveau, Christophe Vieu
article
Microelectronic Engineering, 2013, 111, pp.425 - 427. ⟨10.1016/j.mee.2013.05.002⟩
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BibTex
titre
Development of pH-based ElecFET biosensors for lactate ion detection
auteur
Abdou Karim Diallo, Lyas Djeghlaf, Laurent Mazenq, Jérôme Launay, William Sant, Pierre Temple-Boyer
article
Biosensors and Bioelectronics, 2013, 40 (1), pp.291-296. ⟨10.1016/j.bios.2012.07.063⟩
Accès au texte intégral et bibtex
https://hal.science/hal-01508091/file/manuscript_lactate-EnFET_vf.pdf BibTex

Communication dans un congrès

titre
Wafer-scale integration of piezoelectric actuation capabilities in nanoelectromechanical systems resonators
auteur
Denis Dezest, Fabrice Mathieu, Laurent Mazenq, Caroline Soyer, Jean Costecalde, Denis Remiens, Olivier Thomas, Jean-François Deü, Liviu Nicu
article
2013 Nanomechanical Sensing Workshop, May 2013, Stanford, USA, United States. pp.0
Accès au texte intégral et bibtex
https://hal.science/hal-03165172/file/LSIS_NMC_2013_THOMAS.pdf BibTex

2012

Article dans une revue

titre
Three-dimensional closed microfluidic channel fabrication by stepper projection single step lithography: the diabolo effect
auteur
Florian Larramendy, Laurent Mazenq, Pierre Temple-Boyer, Liviu Nicu
article
Lab on a Chip, 2012, 12 (2), pp.387-390. ⟨10.1039/C1LC20810A⟩
Accès au texte intégral et bibtex
https://laas.hal.science/hal-01511362/file/manuscript_SU8-3D.pdf BibTex
titre
Efficient prototyping of large-scale pdms and silicon nanofluidic devices using pdms-based phase-shift lithography
auteur
Yannick Viero, Qihao He, Laurent Mazenq, Hubert Ranchon, Jean-Yves Fourniols, Aurélien Bancaud
article
Microfluidics and Nanofluidics, 2012, 12 (1-4), pp.465 - 473. ⟨10.1007/s10404-011-0888-0⟩
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https://hal.science/hal-01682518/file/Article-Phaseshift-Version_11-08-08.pdf BibTex
titre
Biological functionalization of massively parallel arrays of nanocantilevers using microcontact printing
auteur
Christophe Thibault, Samuel Guillon, Sven Salomon, Florent Seichepine, Denis Dezest, Fabrice Mathieu, Aude Bouchier, Laurent Mazenq, Christophe Vieu, Thierry Leichle, Liviu Nicu
article
Sensors and Actuators B: Chemical, 2012, 161 (1), pp.1135 - 1138. ⟨10.1016/j.snb.2011.10.084⟩
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2011

Article dans une revue

titre
Effect of non-ideal clamping shape on the resonance frequencies of silicon nanocantilevers
auteur
Samuel Guillon, Daisuke Saya, Laurent Mazenq, Sorin Perisanu, Pascal Vincent, Arnaud Lazarus, Olivier Thomas, Liviu Nicu
article
Nanotechnology, 2011, 22 (24), pp.id 245501. ⟨10.1088/0957-4484/22/24/245501⟩
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https://hal.science/hal-01343625/file/nano.pdf BibTex

2010

Article dans une revue

titre
Theoretical studies of the spin coating process for the deposition of polymer-based Maxwellian liquids
auteur
Pierre Temple-Boyer, Laurent Mazenq, Jean-Baptiste Doucet, Véronique Conédéra, Benoit Torbiero, Jérôme Launay
article
Microelectronic Engineering, 2010, 87 (2), pp.163-166. ⟨10.1016/j.mee.2009.06.030⟩
Accès au texte intégral et bibtex
https://laas.hal.science/hal-01687852/file/paper_spincoating.pdf BibTex

2009

Communication dans un congrès

titre
Temporary adhesives for wafer bonding: deep reactive ion etching application
auteur
David Colin, Djaffar Belharet, Pascal Dubreuil, Laurent Mazenq, Hugues Granier
article
European Microelectronics and Packaging Conference (EMPC 2009), Jun 2009, Rimini, Italy
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BibTex

2008

Article dans une revue

titre
pH-CHEMFET-BASED ANALYSIS DEVICES FOR THE BACTERIAL ACTIVITY MONITORING
auteur
Marie Laure L Pourciel-Gouzy, Sandrine Assié-Souleille, Laurent Mazenq, Jérôme Launay, Pierre Temple-Boyer
article
Sensors and Actuators B: Chemical, 2008, 134 (1), pp.339 - 344. ⟨10.1016/j.snb.2008.04.029⟩
Accès au texte intégral et bibtex
https://laas.hal.science/hal-01687854/file/manuscript_microtank-pH-ChemFET.pdf BibTex

Communication dans un congrès

titre
Single step patterning of molecularly imprinted polymers for large scale fabrication of biochips
auteur
Samuel Guillon, Rémi Lemaire, David Bourrier, Laurent Mazenq, Fabien Mesnilgrente, Karsten Haupt, Cédric Ayela
article
Micro and Nano Engineering 2008, 2008, Greece
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BibTex
titre
SINGLE STEP PATTERNING OF MOLECULARLY IMPRINTED POLYMERS FOR LARGE SCALE FABRICATION OF BIOCHIPS
auteur
Samuel Guillon, Rémi Lemaire, David Bourrier, Laurent Mazenq, Fabien Mesnilgrente, Karsten Haupt, Cédric Ayela
article
MIP 2008, 2008, Japan
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BibTex

2004

Communication dans un congrès

titre
Cpw-fed slot microstrip MEMS-based reconfigurable arrays
auteur
Loïc Le Garrec, Mohamed Himdi, Ronan Sauleau, Laurent Mazenq, Katia Grenier, Robert Plana
article
IEEE AP-S International Symposium, Jun 2004, Monterey, United States. pp.1835-1838
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